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1 Series ø1.5, ø2, ø3.5, ø4, ø6, ø8, ø10, ø13, ø16 ø2 9mm RoHS 11mm 12 mm 19.5 mm 3mm 8.5mm ø27 ø mm 2 75% ø2 ø4 ø mm 2 ø2 ø2 ø2 ø2 ø1.5 ø1.5 ø2 ø3.5 ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 E 2 2V T R 297

2 ø2 3mm øøø øøø øøø ø SMC ø mm 298

3 ø1.5 ø2 ø3.5 ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø øø -T- J -T-- J K -Y-- J -Y-- J K øøø ø øø øøø ø øø øøø ø øø øøø E 2 2V T R 299

4 q CONTENTS 8

5 ø ø E 2 T R 2V

6 qw q w e e 302

7 q q q ø1.5ø50 ø1.5 ø2 ø3.5 ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø ø63ø340 ø63 ø80 ø100 ø125 ø150 ø200 ø250 ø300 ø , E 2 2V T R

8 304

9 E F C 305 E 2 2V T R

10 q w e r 306

11 t 307 E 2 T R 2V

12 3 w 4 ZH07S, ZH07S c 308

13 5 E 2 2V T R e 309

14 w q q q qc 310

15 6 311 E 2 T R 2V

16 ZH13S ZH13L q we qwe rty rty 312

17 PFMV GZ46 ø ZSE PFMV GZ i 313 E 2 T R 2V

18 q w e r t ZFZFZFC 314

19 7 q w e q w π e r q π π w q we E 2 2V T R e 315

20 8 w ø ø e ø øø ø 316

21 317 E 2 T R 2V

22 真空吸着システムにおける問題点の対応策 ( トラブルシューティング ) 状態 改善内容要因対応策 初期的吸着不良 ( 試運転時 ) 真空到達時間がおそい ( 応答時間の短縮 ) 吸着面積が小さい ( ワークの重さよりリフト力が小さい ) 真空圧力が低い ( 吸着面からの漏れ ) ( 通気性のあるワーク ) 真空圧力が低い ( 真空配管からの漏れ ) 真空回路の内容積が大きい 真空配管の圧力降下が大きい 真空エジェクタの供給圧力不足 ノズル ディフューザの目詰まり ( 配管時の異物混入 ) 供給弁 ( 切換弁 ) が作動していない 吸着時にワークが変形する 真空回路の内容積が大きい 真空配管の圧力降下が大きい 必要な真空圧力が高すぎる 真空圧力スイッチの設定が高すぎる ワークの重さとリフト力の関係を再確認する 吸着面積の大きな真空パッドを使用する 真空パッドの個数を増やす吸着面からの漏れをなくす ( 減らす ) 真空パッドの形状見直し真空エジェクタの吸込流量と到達圧力の関係を確認する 吸込流量の大きな真空エジェクタを使用 吸着面積を増やす漏れ箇所の修理 真空回路の内容積と真空エジェクタの吸込流量との関係を確認 真空回路の内容積を減らす 吸込流量の大きな真空エジェクタを使用真空配管の見直し チューブは短く 太く( 適切な径 ) 真空発生状態における供給圧力を測定 標準供給圧力で使用する 圧縮空気回路( ライン ) の見直し異物を除去する テスターで 電磁弁の供給電圧を測定 電気回路 配線 コネクタの見直し 定格電圧範囲で使用するワークが薄いため 変形して漏れる 薄物吸着用パッドを使用する真空回路の内容積と真空エジェクタの吸込流量との関係を確認 真空回路の内容積を減らす 吸込流量の大きな真空エジェクタを使用真空配管の見直し チューブは短く 太く( 適切な径 ) パッド径の最適化などにより真空圧力を必要最低限にするエジェクタ等は真空圧力が低いほど吸込み量が多いパッド径を1サイズ大きくする等により必要真空圧力を低くし 吸込み量を増やす適切な設定圧力にする 真空圧力の変動 供給圧力の変動 圧縮空気回路 ( ライン ) の見直し ( タンクの追加等 ) 真空エジェクタの排気から異音 ( 間欠音 ) が発生マニホールドタイプの真空エジェクタで 真空ポートよりエアが漏れる エジェクタの特性上 ある一定の条件において真空圧力が変動することがあるエジェクタの特性上 ある一定の条件において間欠音が発生することがあるエジェクタの排気エアが 停止中の他のエジェクタの真空ポートに回りこむ 供給圧力を少しずつ下げるか上げるかして 真空圧力が変動しない供給圧力範囲で使用する供給圧力を少しずつ下げるか上げるかして 間欠音の発生しない供給圧力範囲で使用するチェック弁付仕様の真空エジェクタを使用する ( チェック弁付エジェクタの品番は 当社までお問合せください ) 318

23 状態 改善内容要因対応策 経時的吸着不良 ( 試運転時には吸着していた ) サクションフィルタの目詰まり 吸音材の目詰まり ノズル ディフューザの目詰まり 真空パッド ( ゴム ) の劣化 摩耗 フィルタの交換設置環境の改善吸音材の交換供給 ( 圧縮 ) 空気回路へのフィルタ追加サクションフィルタの追加設置異物を除去する供給 ( 圧縮 ) 空気回路へのフィルタ追加サクションフィルタの追加設置真空パッドの交換真空パッド材質とワークの適合性確認 ワークが離脱しない破壊流量不足破壊流量調整ニードルを開く 真空圧力が高い真空圧力における押付け力がパッド ( ゴム ) 部に生じている静電気による影響使用環境やパッドの摩耗によるゴムの粘着性増加 ゴムの一般特性として粘着性がある 真空パッド( ゴム ) の摩耗により粘着性も増加する 真空圧力を下げるリフト力が不足しワーク搬送に支障が生じる場合は パッド数量を増やす等の見直しを行う導電性パッドを使用するパッドの交換パッド材質の見直しおよびパッド材質とワークの適合性確認パッドの形状の見直し ( リブ付 / 溝付 / ブラスト付への変更 ) パッド径や使用数量等の見直し E 2 2V T R 319

24 不適合事例 問題原因対策 テスト時には問題がなかったが 本運用を開始したら吸着が不安定になった パッド交換を行ったら 吸着が不安定になった 同じワークを同じパッドで吸着しているが 吸着できる場所とできない場所がある ベロウパッドの蛇腹部に貼付き現象 復元遅延が発生する ( 早期に発生する場合あり ) 製品 ( パッド / バッファ等 ) の交換を行ったら 前回より寿命が短くなった 使用中に アダプタからパッドが抜ける パッドに亀裂が発生する 320 真空スイッチの設定が適正でない 供給圧力が不安定で 真空圧力が設定値に満たない ワークと真空パッド間の漏れがある 初期の設定条件が変更( 真空圧力 真空スイッチの設定 パッドの高さ方向の位置等 ) されている 使用環境下において パッドに摩耗 へたり等が生じたために設定変更を行った パッド交換時に ねじ接続部および パッドとアダプタの接合部からの漏れが生じている ワークと真空パッド間に漏れがある 空気圧回路において シリンダ 電磁弁等とエジェクタの供給回路が同一系統にあり 同時使用時に供給圧力が低下する ( 真空圧力が上がらない ) ねじ接続部および パッドとアダプタの接合部からの漏れが生じている 真空パッド ( ベロウ形 ) のライフアウトのモードとして 屈曲部のヘタリ 摩耗 ゴムの貼付き等をもっている 必要以上の真空圧力にて使用しており 真空圧力における押付け力がパッド ( ゴム ) 部に生じている 下記のような動作により 蛇腹屈曲部に負荷がかかり ゴムの貼付き パッド復帰力が低下することがある パッド変位量( 稼働範囲 ) 以上の押付け 外部負荷 ワーク保持/ 待機動作ワーク保持状態で10 秒以上の待機動作 10 秒以内であっても 使用環境 使用方法によっては 貼付き現象 復元遅延が早期に発生する場合がある また ワーク保持状態時間が長くなると 復帰時間が長くなり 寿命も短くなる 製品のセッティングが変わった チューブが引っ張られている 偏荷重 ( 回転方向 ) が増加 搬送速度が上がった 搬送ワークが変わった ( 形状 / 重心 / 重量等 ) 取付姿勢が斜めになった 作業環境変化 バッファ( 取付用ナット ) が 適正トルクで締められていない 下記より パッド ( ゴム部 ) に負荷がかかった リフト力が足りない 吸着バランスが悪い 選定時に 搬送時の加速度による負荷が考慮されていない 1) ワーク吸着時に 真空機器の圧力 ( エジェクタの場合 供給圧力 ) を 必要な真空圧力になるように設定し 真空スイッチの設定圧力を 吸着に必要な真空圧力に設定してください 2) テスト時において漏れがあったが 吸着に支障が起こるレベルではなかった事が考えられます 真空エジェクタ 真空パッド形状 径 材質等の見直しを行ってください 真空パッドの見直しを行ってください 1) 使用条件 ( 真空圧力 真空スイッチの設定圧力 パッドの高さ方向設定位置等 ) の見直しを行ってください 2) 再度 接合部の見直しを行ってください 1) パッド径 形状 材質 真空エジェクタ ( 吸込流量 ) 等の見直しをしてください 2) 空気圧回路の見直しを行ってください 3) 再度 接続部の見直しを行ってください 使用条件下におけるライフアウト 十分検証を行い 交換時期を設定してください パッド交換 真空パッド径 形状 材質等の見直し 真空パッドの使用数量の見直し 真空圧力を下げる 真空圧力を下げる事により リフト力が不足しワーク搬送に支障が生じる場合は パッド数量を増やす等の見直しを行う パッドへの負荷低減を行う パッド変位量( 稼働範囲 ) 以上の外部負荷がかからないように 設備の見直しを行う ワーク保持/ 待機動作を避ける お客様のご使用条件におけるライフアウト 十分検証を行い 交換時期を設定してください 使用開始時における問題 ( 吸着できない ) でない場合は お客様仕様条件におけるライフアウトの可能性があります 配管および作業 ( 仕様 ) の見直しを行ってください また 現状の搬送ワーク / 仕様に合っていない事が考えられます 製品の再選定 ( パッド形状 径 数量 吸着バランス含む ) を ご検討ください 現状の搬送ワーク / 仕様に合っていない事が考えられます 製品の再選定 ( パッド形状 径 数量 吸着バランス含む ) を ご検討ください

25 問題原因対策 ゴム (NR/ 導電性 NR) にクラック ( ヒビ 亀裂等 ) が入った オゾン環境で使用している イオナイザを使用している 押当て 使用真空圧力が高い等により 早期に現象が発生し易くなる 使用環境の見直しを行う 使用材料の見直しを行う 吸着跡対策パッドを使用したが 早期に先端部が摩耗する ( 吸着跡が付く ) 吸着跡対策パッドを使用したが 吸着跡が付く クリーン度が高いワークを吸着した場合 滑り現象が発生し難い状態となり パッド先端部に負荷 ( 衝撃 ) がかかる 使用目的が違う ( 跡が 変形による跡であった ) 装置取付時によるパッドの汚れ ( 洗浄不足 ) 使用環境における埃等 フッ素樹脂焼付パッド クリーンアタッチメントを使用する ワークに付着した跡を確認する 1) ワーク変形 ( しわ ) による跡 パッド径 形状 材質 真空エジェクタ ( 吸込流量 ) 等の見直しを行う 2) ゴムが摩耗したことによる跡 パッド径 形状 材質 真空エジェクタ ( 吸込流量 ) 等の見直しを行う 3) 成分移行による跡 吸着跡を 布 ウエス等で拭き ( 溶剤を使用しない ) とり 吸着痕が消えた ( 薄くなった ) 場合は パッドが汚れたことが考えられるため洗浄を行う カタログ記載の 吸着跡対策パッド の洗浄方法を参照 E 2 2V T R 321

26 ø1.5ø3.5 ø4ø16 ø2ø ø10ø32 ø20ø50 ø40ø50 ø63ø80 ø100ø125 ø40ø50 ø63ø80 ø100ø

27 ø40, ø50 ø63, ø80 ø100, ø125 E 2 2V T R 323

28 ø1.5, ø2, ø3.5, ø4, ø6, ø8, ø10, ø13, ø16 U UM 015 U N 015 ø 02 ø 035 ø 04 ø 06 ø 08 ø 10 ø 13 ø 16 ø N S U F GN GS U UM øø øø U -02U -035U ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -04UM -06UM -08UM ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø 324

29 Series -10UM -13UM -16UM ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø 015U/02U/035U ø ø ø ø 04UM/06UM/08UM/04/06/08 ø ø ø ø 10UM/13UM/16UM/10/13/16 E 2 2V T R ø ø ø ø ø ø ø ø ø 325

30 ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T015U-3 -T02U-3 -T035U-3 T 015 U 6 N S U F GN GS N ø1.5 ø3.5 ø4 ø8 ø10 ø16 ø ø ø ø ø ø 3 5 U2 U4 U U UM U UM T040608UM-5 -T T040608UM-5 -T T040608UM-10- -T T040608UM T øø -T U-3 -T U-3 -T U-6- øø -T101316UM-5 -T T101316UM-5 -T T101316UM-12- -T T101316UM T T101316UM T øø ø1.5ø3.5 T ø ø ø ø ø ø ø ø ø 326 Series

31 Series ø1.5ø3.5 -T015U-3 -T02U-3 -T035U-3 ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T015U-6-3 -T02U-6-3 -T035U-6-3 ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T015U-6-U2 -T02U-6-U2 -T035U-6-U2 ø -T015U-6-U4 -T02U-6-U4 -T035U-6-U4 ø -T015U T02U T035U T015U T02U T035U-6-04 E 2 2V 327 T R M-3U-2 M-3U-4-X83 KJH02-M3 KJH04-M3-X83

32 Series ø4ø8 -T04UM-5 -T06UM-5 -T08UM-5 ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T04UM-5 -T06UM-5 -T08UM-5 ø ø ø ø ø ø ø ø ø 328

33 Series ø4ø8 -T04UM T06UM-10-5 ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T04UM-10-U2 -T04UM-10-U4 -T04UM T06UM-10-U2 -T06UM-10-U4 -T06UM T08UM-10-U2 -T08UM-10-U4 -T08UM ø ø -T08UM T04UM M-5U-2 ø ø M-5U-4-X83 -T06UM ø ø KJH02-M5 -T08UM ø ø E 2 2V T R ø ø ø ø ø ø ø ø ø 329

34 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T10UM-5 -T13UM-5 -T16UM-5 -T10UM-5 -T13UM-5 -T16UM-5 ø10ø Series

35 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T10UM T13UM T16UM-12-5 M-5U-2 -T10UM-12-U2 -T13UM-12-U2 -T16UM-12-U2 M-5U-4-X83 -T10UM-12-U4 -T13UM-12-U4 -T16UM-12-U4 M-5U-6-X83 -T10UM-12-U6 -T13UM-12-U6 -T16UM-12-U6KJH02-M5 -T10UM T13UM T16UM ø10ø Series E 2 T R 2V

36 -T16UM T13UM T10UM ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T10UM T13UM T16UM ø10ø Series

37 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T04-5 -T06-5 -T08-5 -T04-5 -T06-5 -T08-5 ø4ø8 333 Series E 2 T R 2V

38 -T T T ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T T T M-5U-2 M-5U-4-X83 -T04-10-U2 -T06-10-U2 -T08-10-U2 -T04-10-U4 -T06-10-U4 -T08-10-U4 KJH02-M5 -T T T ø4ø8 334 Series

39 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T10-5 -T13-5 -T16-5 -T10-5 -T13-5 -T16-5 ø10ø Series E 2 T R 2V

40 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T T T M-5U-2 -T10-12-U2 -T13-12-U2 -T16-12-U2 M-5U-4-X83 -T10-12-U4 -T13-12-U4 -T16-12-U4 M-5U-6-X83 -T10-12-U6 -T13-12-U6 -T16-12-U6KJH02-M5 -T T T ø10ø Series

41 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T T T T T T ø10ø Series E 2 T R 2V

42 T 015 U J 3 3 N 3 5 U2 U4 U ø ø ø ø ø ø ø4 ø8 ø1.5 ø3.5 ø10 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø J J K ø1.5ø3.5 J J J K K ø4ø16 U UM U UM N S U F GN GS T J K J J K øø øø -T04/06/08UMJ/K3- -T04/06/08J/K3- -T04/06/08UMJ/K6- -T04/06/08J/K6- -T04/06/08UMJ/K10- -T04/06/08J/K10- -T04/06/08UMJ/K15- -T04/06/08J/K15- -T04/06/08UMJ/K20- -T04/06/08J/K20- øø -T015/02/035UJ/K3- -T015/02/035UJ/K6- øø -T10/13/16UMJ/K3- -T10/13/16J/K3- -T10/13/16UMJ/K6- -T10/13/16J/K6- -T10/13/16UMJ/K10- -T10/13/16J/K10- -T10/13/16UMJ/K15- -T10/13/16J/K15- -T10/13/16UMJ/K20- -T10/13/16J/K20- øø 338 Series

43 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T015UJ-3 -T02UJ-3 -T015UK-3 -T02UK-3 -T035UJ-3 -T015UJ3-3 -T015UJ6-3 -T02UJ3-3 -T02UJ6-3 -T035UJ3-3 -T035UJ6-3 -T035UK-3 -T015UK3-3 -T015UK6-3 -T02UK3-3 -T02UK6-3 -T035UK3-3 -T035UK6-3 KJH02-M3 -T015U-02 -T02U-02 -T035U-02 KJH04-M3-X83 -T015U-04 -T02U-04 -T035U-04 M-3U-2 -T015U-U2 -T02U-U2 -T035U-U2 M-3U-4-X83 -T015U-U4 -T02U-U4 -T035U-U4 ø1.5ø3.5 3, 6mm 339 Series E 2 T R 2V

44 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T04UMJ-5 -T04UMK-5 -T06UMJ-5 -T06UMK-5 -T08UMJ-5 -T08UMK-5 -T04UM3-5 -T04UM6-5 -T04UM10-5 -T08UM3-5 -T08UM6-5 -T08UM10-5 -T06UM3-5 -T06UM6-5 -T06UM10-5 KJH02-M5 -T04UM-02 -T06UM-02 -T08UM-02 KJH04-M5 -T04UM-04 -T06UM-04 -T08UM-04 M-5U-2 -T04UM-U2 -T06UM-U2 -T08UM-U2 M-5U-4-X83 -T04UM-U4 -T06UM-U4 -T08UM-U4 ø4ø8 3, 6, 10mm 340 Series

45 Series ø4ø8 15, 20mm -T04UMJ-5 ø -T04UMK-5 -T06UMJ-5 ø -T06UMK-5 ø ø ø ø ø ø ø -T08UMJ-5 -T04UM15-5 -T04UM20-5 -T08UMK-5 -T08UM15-5 -T08UM20-5 ø ø ø ø -T04UM-U2 -T06UM-U2 -T08UM-U2 M-5U-2 -T04UM-U4 -T06UM-U4 -T08UM-U4 ø -T06UM15-5 -T06UM20-5 -T04UM-02 -T06UM-02 -T08UM-02 KJH02-M5 -T04UM-04 -T06UM-04 -T08UM-04 M-5U-4-X83 KJH04-M5 341 E 2 2V T R

46 Series ø10ø16 3, 6, 10mm -T10UMJ-5 -T10UMK-5 -T13UMJ-5 -T13UMK-5 ø ø ø ø ø ø -T16UMJ-5 -T10UM3-5 -T10UM6-5 -T10UM10-5 -T16UMK-5 ø ø ø -T10UM-U2 -T13UM-U2 -T16UM-U2 -T13UM3-5 -T13UM6-5 -T13UM10-5 -T10UM-02 -T13UM-02 -T16UM-02 ø ø ø ø M-5U-2 -T10UM-U4 -T13UM-U4 -T16UM-U4 ø KJH02-M5 -T10UM-04 -T13UM-04 -T16UM-04 -T16UM3-5 -T16UM6-5 -T16UM M-5U-4-X83 -T10UM-U6 -T13UM-U6 -T16UM-U6 ø M-5U-6-X83 KJH04-M5 -T10UM-06 -T13UM-06 -T16UM-06 KJH06-M5

47 Series ø10ø16 15, 20mm -T10UMJ-5 ø -T10UMK-5 -T13UMJ-5 ø -T13UMK-5 ø ø ø ø ø ø ø -T16UMJ-5 -T10UM15-5 -T10UM20-5 -T16UMK-5 ø ø ø -T10UM-U2 -T13UM-U2 -T16UM-U2 ø M-5U-2 -T10UM-U4 -T13UM-U4 -T16UM-U4 -T13UM15-5 -T13UM20-5 ø ø M-5U-4-X83 -T10UM-U6 -T13UM-U6 -T16UM-U6 -T10UM-02 -T13UM-02 -T16UM-02 KJH02-M5 -T10UM-04 -T13UM-04 -T16UM-04 KJH04-M5 -T10UM-06 -T13UM-06 -T16UM-06 E 2 2V T R -T16UM15-5 -T16UM20-5 M-5U-6-X83 KJH06-M5 343

48 Series ø4ø8 3, 6, 10mm -T04J-5 -T04K-5 -T06J-5 -T06K-5 ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T T T T T T T08J-5 ø -T08K-5 -T04-U2 -T06-U2 -T08-U2 -T T T08-02 ø ø ø ø -T T T ø M-5U-2 -T04-U4 -T06-U4 -T08-U4 ø M-5U-4-X83 KJH02-M5 -T T T08-04 KJH04-M5

49 Series ø4ø8 15, 20mm -T04J-5 ø -T04K-5 -T06J-5 ø -T06K-5 ø ø ø ø -T08J-5 -T08K-5 -T T ø ø ø ø ø -T04-U2 -T06-U2 -T08-U2 M-5U-2 -T04-U4 -T06-U4 -T08-U4 -T T ø -T T T08-02 KJH02-M5 -T T T08-04 E 2 2V T R ø ø ø ø -T T M-5U-4-X83 KJH04-M5 345

50 Series ø10ø16 3, 6, 10mm -T10J-5 -T10K-5 -T13J-5 -T13K-5 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T T T T T T T16J-5 ø ø ø ø ø -T T T T16K-5 -T10-U2 -T13-U2 -T16-U2 ø M-5U-2 -T10-U4 -T13-U4 -T16-U4 ø M-5U-4-X83 -T10-U6 -T13-U6 -T16-U6 ø -T T T16-02 KJH02-M5 -T T T16-04 KJH04-M5 -T T T16-06 M-5U-6-X83 KJH06-M5

51 Series ø10ø16 15, 20mm -T10J-5 ø -T10K-5 -T13J-5 ø -T13K-5 ø ø ø ø ø ø ø ø -T T T T T16J-5 ø -T16K-5 -T10-U2 -T13-U2 -T16-U2 ø M-5U-2 -T10-U4 -T13-U4 -T16-U4 ø -T T T16-02 KJH02-M5 -T T T16-04 E 2 2V ø ø ø ø M-5U-4-X83 -T10-U6 -T13-U6 -T16-U6 KJH04-M5 -T T T16-06 T R ø -T T M-5U-6-X83 KJH06-M5 347

52 Y 015 U 3 3 N Y 3 5 U2 U4 U ø1.5 ø3.5 ø ø ø ø ø ø ø4 ø8 ø10 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø U UM N S U F GN GS 3 5 ø1.5 ø3.5 ø4 ø16 -Y U-3- øø -Y040608UM-5- -Y øø -Y101316UM-5- -Y øø 348 Series

53 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -Y015U-3-3 -Y02U-3-3 -Y035U-3-3 KJH02-M3 KJH04-M3-X83 -Y015U Y02U Y035U Y015U Y02U Y035U-3-04M-3U-2 M-3U-4-X83 -Y015U-3-U2 -Y02U-3-U2 -Y035U-3-U2 -Y015U-3-U4 -Y02U-3-U4 -Y035U-3-U4 ø1.5ø Series E 2 T R 2V

54 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -Y04UM-5-5 -Y06UM-5-5 -Y08UM-5-5 KJH02-M5 KJH04-M5 -Y04UM Y06UM Y08UM Y04UM Y06UM Y08UM-5-04M-5U-2 M-5U-4-X83 -Y04UM-5-U2 -Y06UM-5-U2 -Y08UM-5-U2 -Y04UM-5-U4 -Y06UM-5-U4 -Y08UM-5-U4 ø4ø8 350 Series

55 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -Y10UM-5-5 -Y13UM-5-5 -Y16UM-5-5 KJH02-M5 KJH04-M5 -Y10UM Y13UM Y16UM Y10UM Y13UM Y16UM-5-04M-5U-2 M-5U-4-X83 M-5U-6-X83 KJH06-M5 -Y10UM-5-U2 -Y13UM-5-U2 -Y16UM-5-U2 -Y10UM-5-U4 -Y13UM-5-U4 -Y16UM-5-U4 -Y10UM Y13UM Y16UM Y10UM-5-U6 -Y13UM-5-U6 -Y16UM-5-U6 ø10ø Series E 2 T R 2V

56 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -Y Y Y KJH02-M5 KJH04-M5 -Y Y Y Y Y Y M-5U-2 M-5U-4-X83 -Y04-5-U2 -Y06-5-U2 -Y08-5-U2 -Y04-5-U4 -Y06-5-U4 -Y08-5-U4 ø4ø8 352 Series

57 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -Y Y Y KJH02-M5 KJH04-M5 -Y Y Y Y Y Y KJH06-M5 M-5U-2 M-5U-4-X83 M-5U-6-X83 -Y10-5-U2 -Y13-5-U2 -Y16-5-U2 -Y10-5-U4 -Y13-5-U4 -Y16-5-U4 -Y Y Y Y10-5-U6 -Y13-5-U6 -Y16-5-U6 ø10ø Series E 2 T R 2V

58 Y 015 U J 3 3 N S U F GN GS N Y 3 5 U2 U4 U ø ø ø ø ø ø ø4 ø8 ø1.5 ø3.5 ø10 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø J J K ø1.5ø3.5 J K J J K ø4ø16 U UM U UM J K J J K øø øø -Y015/02/035UJ/K3- -Y015/02/035UJ/K6- øø -Y04/06/08UMJ/K3- -Y04/06/08J/K3- -Y04/06/08UMJ/K6- -Y04/06/08J/K6- -Y04/06/08UMJ/K10- -Y04/06/08J/K10- -Y04/06/08UMJ/K15- -Y04/06/08J/K15- -Y04/06/08UMJ/K20- -Y04/06/08J/K20- øø -Y10/13/16UMJ/K3- -Y10/13/16J/K3- -Y10/13/16UMJ/K6- -Y10/13/16J/K6- -Y10/13/16UMJ/K10- -Y10/13/16J/K10- -Y10/13/16UMJ/K15- -Y10/13/16J/K15- -Y10/13/16UMJ/K20- -Y10/13/16J/K20- øø 354 Series

59 Series ø1.5ø3.5 3, 6mm -Y015UJ-3 -Y015UK-3 -Y02UJ-3 -Y02UK-3 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -Y015UJ3-3 -Y015UJ6-3 -Y015UK3-3 -Y015UK6-3 -Y02UJ3-3 -Y02UJ6-3 -Y02UK3-3 -Y02UK6-3 -Y035UJ-3 ø ø ø ø -Y035UK-3 ø ø ø ø -Y015UJ-U2 -Y02UJ-U2 -Y035UJ-U2 ø M-3U-2 -Y015UJ-U4 -Y02UJ-U4 -Y035UJ-U4 -Y015UJ-02 -Y02UJ-02 -Y035UJ-02 KJH02-M3 -Y015UJ-04 -Y02UJ-04 -Y035UJ-04 E 2 2V T R -Y035UJ3-3 -Y035UJ6-3 -Y035UK3-3 -Y035UK6-3 ø M-3U-4-X83 KJH04-M3-X83 355

60 Series ø4ø8 3, 6, 10mm -Y04UMJ-5 -Y04UMK-5 -Y06UMJ-5 -Y06UMK-5 ø ø ø ø ø ø -Y04UM3-5 -Y04UM6-5 -Y04UM10-5 ø ø ø -Y06UM3-5 -Y06UM6-5 -Y06UM10-5 -Y08UMJ-5 ø -Y08UMK-5 -Y04UM-U2 -Y06UM-U2 -Y08UM-U2 -Y04UM-02 -Y06UM-02 -Y08UM ø ø ø -Y08UM3-5 -Y08UM6-5 -Y08UM10-5 ø M-5U-2 -Y04UM-U4 -Y06UM-U4 -Y08UM-U4 ø KJH02-M5 -Y04UM-04 -Y06UM-04 -Y08UM-04 M-5U-4-X83 KJH04-M5

61 Series ø4ø8 15, 20mm -Y04UMJ-5 -Y04UMK-5 -Y06UMJ-5 -Y06UMK-5 ø ø ø ø ø ø -Y04UM15-5 -Y04UM20-5 ø ø ø -Y06UM15-5 -Y06UM20-5 -Y08UMJ-5 ø ø ø ø -Y08UMK-5 -Y08UM15-5 -Y08UM20-5 -Y04UM-U2 -Y06UM-U2 -Y08UM-U2 ø M-5U-2 -Y04UM-U4 -Y06UM-U4 -Y08UM-U4 ø -Y04UM-02 -Y06UM-02 -Y08UM-02 KJH02-M5 -Y04UM-04 -Y06UM-04 -Y08UM-04 E 2 2V T R M-5U-4-X83 KJH04-M5 357

62 Series ø10ø16 3, 6, 10mm -Y10UMJ-5 -Y10UMK-5 -Y13UMJ-5 -Y13UMK-5 ø ø ø ø ø -Y10UM3-5 -Y10UM6-5 -Y10UM10-5 ø ø ø -Y13UM3-5 -Y13UM6-5 -Y13UM10-5 -Y16UMJ-5 ø -Y16UMK-5 -Y10UM-U2 -Y13UM-U2 -Y16UM-U2 -Y10UM-02 -Y13UM-02 -Y16UM-02 ø M-5U-2 -Y10UM-U4 -Y13UM-U4 -Y16UM-U4 KJH02-M5 -Y10UM-04 -Y13UM-04 -Y16UM ø ø ø -Y16UM3-5 -Y16UM6-5 -Y16UM10-5 ø ø M-5U-4-X83 -Y10UM-U6 -Y13UM-U6 -Y16UM-U6 M-5U-6-X83 KJH04-M5 -Y10UM-06 -Y13UM-06 -Y16UM-06 KJH06-M5

63 Series ø10ø16 15, 20mm -Y10UMJ-5 -Y10UMK-5 -Y13UMJ-5 -Y13UMK-5 ø ø ø ø ø -Y10UM15-5 -Y10UM20-5 ø ø ø -Y13UM15-5 -Y13UM20-5 -Y16UMJ-5 ø -Y16UMK-5 -Y10UM-U2 -Y13UM-U2 -Y16UM-U2 -Y10UM-02 -Y13UM-02 -Y16UM-02 ø ø ø -Y16UM15-5 -Y16UM20-5 ø M-5U-2 -Y10UM-U4 -Y13UM-U4 -Y16UM-U4 ø M-5U-4-X83 -Y10UM-U6 -Y13UM-U6 -Y16UM-U6 ø KJH02-M5 -Y10UM-04 -Y13UM-04 -Y16UM-04 KJH04-M5 -Y10UM-06 -Y13UM-06 -Y16UM-06 M-5U-6-X83 KJH06-M5 359 E 2 2V T R

64 Series ø4ø8 3, 6, 10mm -Y04J-5 -Y04K-5 -Y06J-5 -Y06K-5 ø ø ø ø ø -Y Y Y ø ø ø ø -Y Y Y Y08J-5 ø -Y08K-5 -Y04-U2 -Y06-U2 -Y08-U2 -Y Y Y08-02 ø ø ø ø ø -Y Y Y M-5U-2 -Y04-U4 -Y06-U4 -Y08-U4 ø KJH02-M5 -Y Y Y M-5U-4-X83 KJH04-M5

65 Series ø4ø8 15, 20mm -Y04J-5 -Y04K-5 -Y06J-5 -Y06K-5 ø ø ø ø -Y Y ø ø ø ø -Y Y Y08J-5 ø -Y08K-5 -Y04-U2 -Y06-U2 -Y08-U2 -Y Y Y08-02 ø ø ø ø -Y Y ø M-5U-2 -Y04-U4 -Y06-U4 -Y08-U4 ø KJH02-M5 -Y Y Y08-04 E 2 2V T R M-5U-4-X83 KJH04-M5 361

66 Series ø10ø16 3, 6, 10mm -Y10J-5 -Y10K-5 -Y13J-5 -Y13K-5 ø ø ø ø ø ø -Y Y Y ø ø ø ø -Y Y Y Y16J-5 ø -Y16K-5 -Y10-U2 -Y13-U2 -Y16-U2 -Y Y Y16-02 ø M-5U-2 -Y10-U4 -Y13-U4 -Y16-U4 KJH02-M5 -Y Y Y16-04 ø ø ø ø ø 362 -Y Y Y M-5U-4-X83 -Y10-U6 -Y13-U6 -Y16-U6 ø KJH04-M5 -Y Y Y16-06 M-5U-6-X83 KJH06-M5

67 Series ø10ø16 15, 20mm -Y10J-5 -Y10K-5 -Y13J-5 -Y13K-5 ø ø ø ø ø ø -Y Y ø ø ø ø -Y Y Y16J-5 ø -Y16K-5 -Y10-U2 -Y13-U2 -Y16-U2 -Y Y Y16-02 ø ø ø ø -Y Y ø M-5U-2 -Y10-U4 -Y13-U4 -Y16-U4 ø M-5U-4-X83 -Y10-U6 -Y13-U6 -Y16-U6 ø KJH02-M5 -Y Y Y16-04 KJH04-M5 -Y Y Y16-06 M-5U-6-X83 KJH06-M5 363 E 2 2V T R

68 w e i y t u r e w q i y t u r o e w q i y t u r e w q i y t u r e w q q w q w q t w q t r Series 364

69 Series Series P U -02U -035U -T1-3 P U -02U -035U -T1-3 P U -02U -035U -T1-6-3 P UM -06UM -08UM T2-5 P UM -06UM -08UM T2-5 P UM -06UM -08UM T P UM -06UM -08UM T P UM -13UM -16UM T3-5 P UM -13UM -16UM T3-5 P UM -13UM -16UM T P UM -13UM -16UM T P UM -13UM -16UM T P U -02U -035U -Y1-3 P UM -06UM -08UM Y2-5 P UM -13UM -16UM Y E 2 T R 2V

70 Series P U -02U -035U -T1J3-3 P U -02U -035U -T1J6-3 P U -02U -035U -T1K3-3 P U -02U -035U -T1K6-3 P UM -06UM -08UM T2J3-5 P UM -06UM -08UM T2J6-5 P UM -06UM -08UM T2J10-5 P UM -06UM -08UM T2K3-5 P UM -06UM -08UM T2K6-5 P UM -06UM -08UM T2K10-5 P UM -06UM -08UM T2J15-5 P UM -06UM -08UM T2J20-5 P UM -06UM -08UM T2K15-5 P UM -06UM -08UM T2K

71 P UM -13UM -16UM T2J3-5 P UM -13UM -16UM T2J6-5 P UM -13UM -16UM T2J10-5 P UM -13UM -16UM T2K3-5 P UM -13UM -16UM T2K6-5 P UM -13UM -16UM T2K10-5 P UM -13UM -16UM T2J15-5 P UM -13UM -16UM T2J20-5 P UM -13UM -16UM T2K15-5 P UM -13UM -16UM T2K20-5 P U -02U -035U -Y1J3-3 P U -02U -035U -Y1J6-3 P U -02U -035U -Y1K3-3 P U -02U -035U -Y1K Series E 2 T R 2V

72 P UM -06UM -08UM Y2J3-5 P UM -06UM -08UM Y2J6-5 P UM -06UM -08UM Y2J10-5 P UM -06UM -08UM Y2K3-5 P UM -06UM -08UM Y2K6-5 P UM -06UM -08UM Y2K10-5 P UM -06UM -08UM Y2J15-5 P UM -06UM -08UM Y2J20-5 P UM -06UM -08UM Y2K15-5 P UM -06UM -08UM Y2K Series

73 P UM -13UM -16UM Y2J3-5 P UM -13UM -16UM Y2J6-5 P UM -13UM -16UM Y2J10-5 P UM -13UM -16UM Y2K3-5 P UM -13UM -16UM Y2K6-5 P UM -13UM -16UM Y2K10-5 P UM -13UM -16UM Y2J15-5 P UM -13UM -16UM Y2J20-5 P UM -13UM -16UM Y2K15-5 P UM -13UM -16UM Y2K Series E 2 T R 2V

74 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø Series -015U -02U -035U -T U -02U -035U -T U -02U -035U -T UM -06UM -08UM T UM -06UM -08UM T UM -06UM -08UM T UM -06UM -08UM T UM -13UM -16UM T

75 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -10UM -13UM -16UM T UM -13UM -16UM T UM -13UM -16UM T U -02U -035U -Y UM -06UM -08UM Y UM -13UM -16UM Y UM -13UM -16UM T Series E 2 T R 2V

76 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -T1J3-3 -T1J6-3 -T1K3-3 -T1K6-3 -T1J-3 -T1K-3 -T2J-5 -T2K-5 -T2J-5 -T2K-5 -T2J3-5 -T2J6-5 -T2J10-5 -T2K3-5 -T2K6-5 -T2K10-5 -T2J15-5 -T2J20-5 -T2K15-5 -T2K20-5 Series -015U -02U -035U -T1J3-3 -T1J6-3 -T1K3-3 -T1K UM -06UM -08UM T23-5 -T26-5 -T UM -06UM -08UM T T

77 ø ø ø ø ø ø ø ø -T2J15-5 -T2J20-5 -T2K15-5 -T2K20-5 -T2J3-5 -T2J6-5 -T2J10-5 -T2K3-5 -T2K6-5 -T2K UM -13UM -16UM T23-5 -T26-5 -T T T UM -13UM -16UM T2J-5 -T2K-5 -T2J-5 -T2K Series E 2 T R 2V

78 ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø -Y1J3-3 -Y1J6-3 -Y1K3-3 -Y1K6-3 -Y2J3-5 -Y2J6-5 -Y2J10-5 -Y2K3-5 -Y2K6-5 -Y2K10-5 -Y2J15-5 -Y2J20-5 -Y2K15-5 -Y2K U -02U -035U -Y1K3-3 -Y1K6-3 -Y1J3-3 -Y1J UM -06UM -08UM Y23-5 -Y26-5 -Y UM -06UM -08UM Y Y Y1J-3 -Y1K-3 -Y2J-5 -Y2K-5 -Y2J-5 -Y2K Series

79 ø ø ø ø ø ø ø ø -Y2J3-5 -Y2J6-5 -Y2J10-5 -Y2K3-5 -Y2K6-5 -Y2K10-5 -Y2J15-5 -Y2J20-5 -Y2K15-5 -Y2K UM -13UM -16UM UM -13UM -16UM Y Y Y23-5 -Y26-5 -Y Y2J-5 -Y2K-5 -Y2J-5 -Y2K Series E 2 T R 2V

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