SU-8020の使用方法

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かずしにかどり
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1 FE-SEM Su-8020 Operating manual( 暫定版 ) 2016/04/09 精密分析室

2 始動 ( 通常は必要無し ) 1.Display SW を ON にして装置を立ち上げるしばらくすると Windows が起動する 2. SU-8000 をクリック 3. PC-SEM をクリックする ( 通常は自動立ち上げ ) 4. パスワード入力画面が表示されるリターンを押す ( パスワード無し ) PC-SEM が起動する 2

3 フラッシング ( 必要に応じて ) 1. 画面上に赤く Flashing と点滅した場合のみ以下の操作を行ってください 2.Vacc 等 HV 表示部をクリックする 3.HV 設定画面下部 Flashing ボタンをクリックする 4.Intensity が 2 であることを確認して Execute ボタンをクリックする 5.Ie に 30uA 程度の電流が流れる 6.Flashing 直後はビームが安定しません 30 分程度は落ち着くのを待ってから測定するのが望ましいです 3

4 試料の準備 1. サンプルを試料台に固定する ( 以下の説明は 15mmφ 試料台使用時 ) 必要に応じて Pt 等金属コートを行う 2. ホルダに試料台をセットする 3. 試料台の高さとホルダの高さ一致するよう調整し止めネジを締める 4. 治具と同じ高さになるようサンプルホルダの高さを調整するサンプルホルダ高さ試料台治具高さ調整治具 15mmφ 真鍮製試料台とリボルバ型サンプルホルダー止めネジ 4

5 試料のイントロへの挿入 1 1. 加速電圧が OFF であること ( 消灯 ) を確認する ON なら OFF する 2. Home ランプの点灯 ( 緑色 ) を確認するステージ位置は (X=0.0, Y=0.0, Z=8.0) であることも確認しておく 3. Intro 操作スイッチの AIR ボタンを押すピッと音がなるまで待つ通常この状態になっている AIR ボタンを押すとオレンジ色に点滅する点滅が点灯に変わった頃音がピッとなり Air( 大気 ) に Intro が戻る 5

6 試料のイントロへの挿入 2 1. 音がしたら Intro を引き出す 2. サンプルロッドをノブを持って少し押し出しノブを UNLOCK 方向に回す 3. サンプルをロッド先端に装着しノブを LOCK 方向に回す 4. ロッドをカチッと音がするまで引き出す 5. Intro を本体にセットし EVAC ボタンを押す Intro Sample rod UNLOCK LOCK 6

7 試料のイントロへの挿入 3 1. しばらくすると EVAC ボタンの点滅が点灯に変わる 2. ブザー音がピッとなり真空引きが終わる 3. OPEN ボタンを押すしばらくすると本体とのゲートバルブが Open する 4. LOCK のままサンプルロッドを挿入する 5. ステージ位置に挿入されると XC ランプが点灯する 6. XC ランプを確認してからノブを LOCK から UNLOCK に回す 7. ロッドを UNLOCK のまま最後まで引き出す 8. サンプルが本体にセットされたことを確認し CLOSE ボタンを押す 9. しばらくするとゲートバルブが Close しブザー音が鳴る OPEN XC CLOSE EVAC 7

8 電子線の発生 1. 電圧表示部をクリックし設定画面を表示させる 2. 任意の加速電圧 (Vacc) エミッション電流 (Ie) をプルダウンから選択する 3. ON ボタンをクリックし加速電圧を印加する加速電圧エミッション電流初期設定条件 Vacc 15 kv Ie 10 µa Stage X=0.0, Y= 0.0, Z= 8.0 Probe Current Norm Cond. Lens 5.0 W.D. 8.0 mm Mode TV1 8

9 観察位置の調整 ( 約 1 万倍程度まで ) 1. 最初は High Mag( 高倍率 ) モードでかつステージ中心付近が表示される 15mm 試料台は中心より同心円状に配置されているので観察位置の調整が必要となる 2. 画面より H/L ボタンをクリック High mag から Low mag モードに切り替える ( 倍率表示に LM 表示が出る ) 3. コントローラで倍率 (magnification) を下げトラックボールでサンプル位置まで移動明るさは ABC(Auto Brightness Control) ボタンで調整する 4. 適度に倍率を上げ下げしながら観察する場所を探す 5. 必要に応じて Focus を調整 Corse( 粗調整 ) で調整する倍率表示コントローラフォーカスダイヤル倍率粗調整 9

10 ビーム位置調整 ( 加速電圧を変えた時 ) 1. 観察位置が決まったら H/L ボタンを押し High mag モードに戻す 2. コントローラで倍率を上げながら Focus を調整 3. 観察しやすい場所で約 1 万倍 (10k) まで倍率を上げる 4. B align ボタンをクリックしビーム調整 (Beam alignment) 画面を表示する 5. コントローラ X, Y ダイアルを使いビーム位置を中心にビームアライメント画面 Alignment menu 10

11 アパーチャー ( 絞り ) 調整 1. Alignment メニューより Aperture Align を選択する 2. 画像が上下左右に揺れる 3. コントローラ X,Y ダイアルを使って揺れが止まるないしは中心位置で同心円状に画像が伸縮するように調整する横揺れ X ダイヤル縦揺れ Y ダイヤル 4. 調整が終わったらメニューより OFF を選択する X,Y ダイヤル Alignment menu 11

12 Focus 調整 1. コントローラの倍率 Focus で画像を明るさを ABC ボタンで調整する 2. Focus は数万倍以上では粗調整 (Corse) ではなく微調整 (Fine) で調整する自動フォーカス調整 AFC(Auto Focus Control) ボタンもある 3. 画像が Focus 調整だけでは調整仕切れない ( 輪郭のボケがとれない ) ぐらいになってきたら非点収差補正 ( 次のページ ) を行う Reduce 画面を使うと Focus を合わせやすくなります Reduce ボタンフォーカスダイヤル倍率粗調整微調整 Reduce 画面 12

X 及び Y を選択画像に揺れが出るので X,Y ダイアルで揺れを止める Focus を合わせておき

13 非点収差補正 Focus 調整だけでは画質調整ができなくなってからコントローラ X,Y ダイアルを回して調整する分かりづらい場合は Alignment メニューより Stigma align. X 及び Y を選択画像に揺れが出るので X,Y ダイアルで揺れを止める Focus を合わせておき輪郭がシャープになるように調整すると早い非点収差がない場合フォーカスで均一にぼやける STIGMA/ALIGNMENT X Y アンダーフォーカス最良点オーバーフォーカス非点収差がある場合フォーカスで不均一にぼやけるぼけの方向が違ってくる 13

14 画像取り込み条件の設定 1. Capture ボタン右上の黒い三角をクリックすると Capture setup 画面が表示される 2. Capture するモード ( スピード TV Fast Slow から選択する ) 及び画像解像度 (Resolution) 読み込みスピード (Speed) を設定 3. 設定したら OK ボタンを押し元の画面に戻る初期設定条件モード Slow Resolution Speed 20 sec 14

15 画像の取り込み画像の取り込み方法 1. Capture( 推奨 ) 1 フレーム設定条件でスキャンしてからメモリ ( キャプチャボックス画面左下 ) に一時保存される保存はキャプチャボックス側で指定可能 2. Direct Save 観察中画面をそのまま取り込み保存ファイル名指定 3. Quick Save 観察中画面をそのまま取り込み保存ファイル名指定不要時キャプチャボックス Capture ボタン 15

16 画像の保存 1. キャプチャボックスの保存したい画像を選択する ( 黄色く色がつく ) 2. Save ボタンをクリックし Image Save 画面を起動 3. Select をクリックし保存先のフォルダーを選択する 4. Increment 機能 ( 画像に続き番号を付加 ) する場合は先に Increment ボタンを選択しスタートする番号を No に入力する 5. Image type を選択しファイル名を入力する 6. Save ボタンをクリックすると画像が保存される 16

17 試料取り出し方法 1 1. OFF をクリックし加速電圧を OFF する 2. Home をクリックしステージを Home ポジションに戻す 3. Home ランプの点灯 ( 緑色 ) を確認するステージ位置は (X=0.0, Y=0.0, Z=8.0) であることも確認しておく 4. Intro 操作スイッチの Open を押しゲートバルブを Open する 17

18 試料取り出し方法 2 1. ブザーが鳴り Open ランプが点灯ゲートバルブの Open を窓から確認する 2. Sample rod を UNLOCK の状態で挿入する 3. 完全に挿入され XC ランプ ( 青色 ) が点灯することを確認する 4. ノブを LOCK 方向いっぱいに回す 5. Sample rod を最後まで引き出す 6. Intro 操作スイッチの Close を押しゲートバルブを Close する Intro Sample rod UNLOCK LOCK 18

19 試料取り出し方法 3 1. ブザーが鳴り Close ランプが点灯ゲートが Close したのを確認する 2. AIR ボタンを押し Intro を大気に戻す 3. ブザーがなり AIR ボタンが点灯したら Intro を引き出す 4. Sample rod をノブを押して少し押し出す 5. サンプルホルダを Sample rod から取り出す ( ノブは UNLOCK へ回す ) 6. Sample rod をカチッとロックされるまで引き出す 7. Intro を本体に戻し ( くっつける ) Intro 操作スイッチの EVAC を押して真空引きを行う OPEN AIR XC CLOSE EVAC 19

20 観察の終了と装置の停止 1. Intro 操作部の EVAC が点灯していることを確認する 2. キャプチャボックス内の画像を消去する 3. 条件を初期設定値に戻す (p. 8 参照のこと ) SEMソフトなどそのままで次の使用者に引き渡すその日最後の使用者は次の操作を行ってください 1. SEM ソフトを終了する 2. Windows を終了する Display Power は切らなくても結構です 20

日立 S-5000H (FE-SEM) 簡易マニュアル井上純一 14/04/01 立ち上げ ( 基本立ち上げっぱなしなので確認事項を守ること ) 1. 確認事項 IP1 が Pa 以下を確認 Pe が 10-2 オーダー以下を確認 EVAC POWER スイッチのランプ確認 TMP,

日立 S-5000H (FE-SEM) 簡易マニュアル井上純一 14/04/01 立ち上げ ( 基本立ち上げっぱなしなので確認事項を守ること ) 1. 確認事項 IP1 が Pa 以下を確認 Pe が 10-2 オーダー以下を確認 EVAC POWER スイッチのランプ確認 TMP, 日立 S-5000H (FE-SEM) 簡易マニュアル井上純一 14/04/01 1 日立 S-5000H (FE-SEM) 簡易マニュアル井上純一 14/04/01 立ち上げ ( 基本立ち上げっぱなしなので確認事項を守ること ) 1. 確認事項 IP1 が 1 10-7Pa 以下を確認 Pe が 10-2 オーダー以下を確認 EVAC POWER スイッチのランプ確認 TMP,AIR PRES