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1 14 2

2

3 1. Ti:Sapphire 2. (1) (2) (3)(4) (5) (6)

4 μm

5 kw. ћω 2 光子励起 仮想レベル ћω 従来の光

6 Z 拡大 λ I 硬化部分 最小加工分解能

7 拡大 λ I 硬化部分 最小加工分解能 (7) 5

8 2 3 (NA). NA Numerical Aperture NA0 sin Z 2.3. (8) (9) 硬化範囲 NA 大 NA 小 2.3 NA 1.3(Plan Flour Nikon ).. (10) 6

9 2 4 X 2.4. (11) = : : (NAo) : NA:. NAo = NAc 拡大 回折限界 2.4 7

10 SCR701(( ) ) Ar 紫外線 モノマー モノマー モノマー 開始剤 モノマー 開始剤 液体 固体 SCR Ti:Sapphire 710nm 355nm. 2. 8

11 [nm] SCR

12 スペーシャルフィルター 顕微鏡 ガルバノミラー フェムト秒レーザー

13 Ti:Sapphire Laser 顕微鏡 GM f35 f10 f300 スペイシャルフィルター f Ti:Sapphire ( :710nm :130fs :80MHz) f300 f NA. 対物レンズ (100 倍 N.A 1.3) f400 f300 スペイシャルフィルターガルバノミラー

14 3 2. Ti:Sapphire (Spectra-Physics Tsunami Millennia Vs) (12) Ti:Sapphire Ti:Sapphire. 12

15 (GSI Lumonics SC2000) XY

16 μm 2μm 10μm 線幅 レーザーパワー [mw] 線幅 [nm]

17 [ ] [ W] W. 5mW. 5mW 190nm. (SEM)

18 4.1.3 :710nm :5mW :100 (NA 1.3) : :710nm :5mW :100 (NA 1.3) :

19 μm 10μm 基盤面 レーザーパワー [mw] 高さ [μm]

20 4 [ m] [mw] mW 34mW. 5mW 230nm. 18

21 :710nm :9.5mW :100 (NA 1.3) 19

22 4.3.2 :710nm :9.5mW :100 (NA 1.3)

23 22μm 22μm 5μm 基盤面

24 波長 710nm パワー 9mW 対物レンズ 100 倍 (NA=1.3) 加温温度 80 洗浄液 エタノール (2.5ml) 測定装置 レーザー顕微鏡 ( 楠川研 )

25 23

26 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率

27 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率

28 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率 横 縦 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率

29 平均 [μm] 比率 [ 横 / 縦 ] 標準偏差 [μm] 収縮率 [%] 横 縦 横 縦 横 縦 基準 平均 [μm] 比率 [ 横 / 縦 ] 標準偏差 [μm] 収縮率 [%] 横 縦 横 縦 横 縦 基準

30 収縮率 [%] 加温条件 系列 1 24%. 13%. (5 ). 28

31 波長 710nm パワー 9mW 対物レンズ 100 倍 (NA=1.3) 加温温度 80 洗浄液 エタノール (2.5ml) 測定装置 レーザー顕微鏡 ( 楠川研 ) 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率

32 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率 平均 [μm] 比率 [ 横 / 縦 ] 標準偏差 [μm] 収縮率 [%] 横 縦 横 縦 横 縦 基準 回走査 回走査 回走査 回走査

33 30 [%] [ ]

34 波長 710nm パワー 9mW 対物レンズ 100 倍 (NA=1.3) 加温温度 80 洗浄液 エタノール (2.5ml) 測定装置 レーザー顕微鏡 ( 楠川研 ) 結果を表 に示す 5 5 横 [μm] 縦 [μm] 横 / 縦 平均 標準偏差 収縮率

35 平均値 収縮率 横 [μm] 縦 [μm] 横 [%] 縦 [%] 5 時間加温 回走査 回走査 +5 時間加温 % 5 5 6%

36 4.3.6 :710nm :9.5mW :100 (NA 1.3) :710nm :9.5mW :100 (NA 1.3) 34

37 μm 5μm 5μm 基盤面 nm 9 mw 42 m/s 100 NA.=1.3 (SEM) (SEM)

38 5.2 SEM 3. 36

39 mW X-Y 190nm Z 230nm % 5% X-Y-Z. 3 (13). 37

40 .. (SEM).. 38

41 (1) O.Nakamura O plus E vol. 20 No1(1998) (2) S.Kawata S.Maruo O plus E vol. 20 No2(1998) (3) S.Kawata et al Nature 412 (2001) 697 (4) 30 4 (2001) (5) (1996) (6). (1990) (7) 30 4 (2001) (8) Max Born Emit Wolf (1998) 256 (9) (1995) (10) (1995) 128 (11) (2001) (12) Vol.8 No3 (2001) (13) (2001) 39

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