1516-機器センサ_J.indb

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2 機器用センサ Grid-EYE Grid-EYE Grid-EYE Grid-EYE Grid-EYE 着座検知 扉開閉 洗濯機の水位検知 電子レンジ PS-A 微圧タイプ 水位検知 Grid-EYE 温度計測 位置検知 熱 軸GF 赤外線アレイセンサ Grid-EYE 設計 仕様について予告なく変更する場合があります ご購入及びご使用前に当社の技術仕様書などをお求め願い それらに基づいて購入及び使用していただきますようお願いします なお 本製品の安全性について疑義が生じたときは 速やかに当社へご通知をいただき 必ず技術検討をしてください

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4 Aug. 25

5 Aug. 25

6 AGS mm 8.5 mm 2 2 V/g V/g 6.6 V/g 8.8 V/g 3 3 V.DC 5 5 V.DC ASIC ±2 g.6v/g AGS263 3 V.DC ±.5 g.8v/g AGS283 ±2 g V/g AGS25 5 V.DC ±.5 g.333v/g AGS235 Min. Typ. Max. V.DC.3 7 Ta=25 C C 85 C 85 g 5,

7 Min. Typ. Max. AGS25 AGS235 AGS263 AGS283 AGS25 AGS235 AGS263 AGS283 AGS25 AGS235 AGS263 AGS283 g V.DC C ~ +85 C ma g, Ta=25 C V/g Ta=25 C (g) V Ta=25 C % 2 2 C ~ +85 C mg C ~ +85 C % 5 5 Ta=25 C %FS Ta=25 C ms g, Ta=25 C C=22 nf, C2, C3=27 nf Hz DC 6 3 db point, C2=27 nf. g9.8 m/s 2 2. VDD Typ g 2 g AGS25AGS g.5 g AGS235AGS283. C VDDGNDC2 VoutXExtCapX C3 VoutYExtCapY 5. C2,C3 Max. 6 Hz AGS25 AGS25 5 V.DC (%) ( C) 8 5 V.DC 5 V.DC 5 V.DC (Hz)(%) ( C).. 2. (C2,C3=27 nf) (mg) ( C) (mg) ( C) 3. (db)

8 8 AGS ± ±.2 6.2±.2 NC 2 GND 3 NC Vout(X) 5 Ext-Cap(X) 6 GND 7 NC 8 NC 9 VDD J Ext-Cap(Y) K Vout(Y) L NC M NC N NC ± P.27±.5 =5.8.2 P V.DC C: 22 nf Min. VDD Vout(X) Sensor C2 : Output(X) 27 nf Ext-Cap(X) Vout(Y) Sensor GND C3 : 27 nf Output(Y) Ext-Cap(Y) f-3db= 2π ( kω) (C2 or C3) 2.±.2 5.5±.5.75±..3±.5 f8± 7.± 3.± 9.±. AGS25 AGS25 6.7±. f ±..±. 2.±.5.95±.2 f.5±. 2.±.5 f2±.8 f3±.2 f8± f25±2

9 T3 T2 T t t2

10 AGS mm 8.5 mm V/g V/g 5 5V.DC ASIC 5 V.DC ±2 g V/g AGS5 ±.5 g.333 V/g AGS35 Min. Typ. Max. V.DC.3 7 Ta=25 C C 85 C 85 g 5,

11 Min. Typ. Max. AGS5 AGS35 AGS5 AGS35 AGS5 AGS35 g V.DC C ~ +85 C ma 2 5 g, Ta=25 C V/g Ta=25 C (g) V Ta=25 C % C ~ +85 C mg 7 7 C ~ +85 C % 5 5 Ta=25 C %FS Ta=25 C ms g, Ta=25 C C=22 nf, C2=27 nf Hz DC 6 3 db point, C2=27 nf AGS5 AGS5 5 V.DC g9.8 m/s 2 2. VDD=5 V g 2 g AGS5+.5 g.5 g AGS35. C VDDGNDC2 VoutExtCap 5. C2 Max. 2 Hz (mg) V.DC. (C2=27nF) (db) ( C) (Hz)(%) ( C)

12 .6±.2 6.2±.2 AGS5 8.5± NC 2 GND 3 NC Vout 5 Ext-Cap 6 GND 7 NC 8 NC 9 VDD J NC K NC L NC M NC N NC ± P.27±.5 =5.8 P V.DC C: 22 nf Min. VDD GND Vout Ext -Cap Sensor Output C2: 27 nf f-3db= 2π ( kω) C2 2.±.2 5.5±.5.75±..3±.5 f8± 7.± 3.± 9.±. AGS5 AGS5 2.±..±. 2.±.5 f.5 +. f.5±. 2.±.5 f2±.8 f3±.2 f8± f25±2 6.7±..95±.2

13 T3 T2 T t t2

14 ± AGF 3.36 V/(m/s 2 ) {.333 V/g} 7.36 V/(m/s 2 ) {3. V/g} 5 V.DC 2 2 V.DC 3 2 V.DC 5 V.DC ±.76 m/s 2 (±.2 g).36 V/(m/s 2 ) (.333 V/g) AGF3 ±.9 m/s 2 (±.5g).36 V/(m/s 2 ) (3. V/g) AGF7 2 V.DC ±.76 m/s 2 (±.2 g).36 V/(m/s 2 ) (.333 V/g) AGF32 ±.9 m/s 2 (±.5g).36 V/(m/s 2 ) (3. V/g) AGF72 2 V.DC ±.76 m/s 2 (±.2 g).36 V/(m/s 2 ) (.333 V/g) AGF33 ±.9 m/s 2 (±.5g).36 V/(m/s 2 ) (3. V/g) AGF73 AGF AGF 2 AGF 3 5 V.DC 2 V.DC 2 V.DC V.DC 5 V.DC 2 V.DC 2 V.DC Max. Ta=25 C AGF 3 5 Max. g AGF 7 5 Max. C 3 ~ 85 C 3 ~ 85 g 5, Max. IP67

15 AGF AGF 2 AGF 3 5 V.DC 2 V.DC 2 V.DC V.DC 5 V.DC±5 % 2 V.DC± % 2 V.DC± % 3 C ~ +85 C g ±.2 ( ) (9) ma 5 g, Ta=2 C, Max. V/g.333±3 % 3 C ~ +85 C (g) V 2.5±. Ta=2 C V ±.93 3 C ~ +85 C % ±5 Ta=2 C %FS ± Ta=2 C Hz ~5 3 db point V.5 Typ. V.5 Typ. AGF AGF 2 AGF 3 5 V.DC 2 V.DC 2 V.DC V.DC 5 V.DC±5 % 2 V.DC± % 2 V.DC± % 3 C ~ +85 C g ±.5 ( ) (3) ma 5 g, Ta=2 C, Max. V/g 3.±3 % 3 C ~ +85 C (g) V 2.5±. Ta=2 C V ±.2 3 C ~ +85 C % ±5 Ta=2 C %FS ± Ta=2 C Hz ~5 3 db point V.5 Typ. V.5 Typ.. g9.8 m/s g.2 g AGF 3.5 g.5 g AGF V.DC/2 V.DC

16 (mg) AGF3 AGF3.5 AGF7 AGF (V)2.5 (V) (Hz) ( ) ( C) (db) (G) (%) ( C)

17 AGF 58 ±.5 2-f GND Vout VDD AGF f AGF3 6 JAPAN GND Vout VDD VDD VDD Vout Sensor Output GND RL RL=(Min.5 kω)

18

19 26 μa AMS32T AMS32 Ev= lxev V R.5 V.DC ~ 8 V.DC I L 5 ma P mw T opr 3 C ~ 85 C T stg C ~ C AMS32.5 V.DC V R 6 V.DC

20 (μa)(μa) AMS32 l p 58 nm 9. μa I L 3 μa V R=5 V.DC, E v=5 lx 6.9 μa 82 μa I L2 26 μa V R=5 V.DC, E v= lx μa I L3 5 μa V R=5 V.DC, E v= lx 2 I D.3 μa V R=5 V.DC, E v= lx tr 8.5 ms V cc=5. V.DC, V =2.5 V.DC, R L=5 kω t f 8.5 ms 2 IF IF AMS RL VO VR VCC AMS32 : 2.5 V.DC VO 9 % % tr tf AMS (mw) ( C) AMS AMS (nm)..2. (lx)..8 AMS32 AMS ( C) ( C) AMS (V)

21 (ms) AMS32 tr AMS32 tf.. (kω) f5.±.2 f5.8.3±.2 Max (.) (.7) (.). 2 Max.. 3± (2.5) (2.5)

22 Ω Ω T2 T t t2 t3

23 AMS32T L P2 P P F Δp D H W W W 2 W Δh P 2.7±.3 P 2.7±. P ±.3 H 2.5±. F 2.5±.5 Δh ±. Δp ±. W W 3.±.3 W W 2 ~.5 D 3.8±.2 t.5±.2 L Max:. VR IL P Topr Tstg lp ID tr tf

24 AM A BA cm AMA595 AMA595 cm AMA59 AMA59 5 cm AMA595 AMA595.5 V.DC ~ 5.5 V.DC 5 cm AMA695 AMA695 cm AMA69 AMA69 5 cm AMA695 AMA cm cm 5 cm 5 cm 6 cm 7 cm 8 cm 9 cm cm 2 cm 3 cm cm 5 cm 6 cm 7 cm 8 cm 3 cm cm 5 cm 6 cm 7 cm 8 cm 9 cm cm cm 2 cm 3 cm cm 5 cm 6 cm 7 cm 8 cm 9 cm 2 cm 2

25 .5 V.DC ~ 5.5 V.DC 5.5 V.DC ~ 27 V.DC 5 cm AMBA95 AMBA95 6 cm AMBA96 AMBA96 7 cm AMBA97 AMBA97 8 cm AMBA98 AMBA98 9 cm AMBA99 AMBA99 cm AMBA9 AMBA9 5 cm AMBA25 AMBA25 6 cm AMBA26 AMBA26 7 cm AMBA27 AMBA27 8 cm AMBA28 AMBA28 9 cm AMBA29 AMBA29 cm AMBA2 AMBA2 2 cm AMBA292 AMBA292 3 cm AMBA293 AMBA293 cm AMBA29 AMBA29.5 V.DC ~ 5.5 V.DC 5 cm AMBA295 AMBA295 6 cm AMBA296 AMBA296 7 cm AMBA297 AMBA297 8 cm AMBA29 AMBA29 2 cm AMBA222 AMBA222 3 cm AMBA223 AMBA223 cm AMBA22 AMBA V.DC ~ 27 V.DC 5 cm AMBA225 AMBA225 6 cm AMBA226 AMBA226 7 cm AMBA227 AMBA227 8 cm AMBA22 AMBA22

26 DC.5 ~ 5.5 V DC5.5 ~ 27 V 3 cm AMBA393 AMBA393 AMBA3593 AMBA3593 cm AMBA39 AMBA39 AMBA359 AMBA359 5 cm AMBA395 AMBA395 AMBA3595 AMBA cm AMBA396 AMBA396 AMBA3596 AMBA cm AMBA397 AMBA397 AMBA3597 AMBA cm AMBA398 AMBA398 AMBA3598 AMBA cm AMBA399 AMBA399 AMBA3599 AMBA3599 cm AMBA39 AMBA39 AMBA359 AMBA359 cm AMBA39 AMBA39 AMBA359 AMBA359 2 cm AMBA392 AMBA392 AMBA3592 AMBA cm AMBA393 AMBA393 AMBA3593 AMBA3593 cm AMBA39 AMBA39 AMBA359 AMBA359 5 cm AMBA395 AMBA395 AMBA3595 AMBA cm AMBA396 AMBA396 AMBA3596 AMBA cm AMBA397 AMBA397 AMBA3597 AMBA cm AMBA398 AMBA398 AMBA3598 AMBA cm AMBA399 AMBA399 AMBA3599 AMBA cm AMBA39 AMBA39 AMBA359 AMBA359 3 cm AMBA323 AMBA323 AMBA3523 AMBA3523 cm AMBA32 AMBA32 AMBA352 AMBA352 5 cm AMBA325 AMBA325 AMBA3525 AMBA cm AMBA326 AMBA326 AMBA3526 AMBA cm AMBA327 AMBA327 AMBA3527 AMBA cm AMBA328 AMBA328 AMBA3528 AMBA cm AMBA329 AMBA329 AMBA3529 AMBA3529 cm AMBA32 AMBA32 AMBA352 AMBA352 cm AMBA32 AMBA32 AMBA352 AMBA352 2 cm AMBA322 AMBA322 AMBA3522 AMBA cm AMBA323 AMBA323 AMBA3523 AMBA3523 cm AMBA32 AMBA32 AMBA352 AMBA352 5 cm AMBA325 AMBA325 AMBA3525 AMBA cm AMBA326 AMBA326 AMBA3526 AMBA cm AMBA327 AMBA327 AMBA3527 AMBA cm AMBA328 AMBA328 AMBA3528 AMBA cm AMBA329 AMBA329 AMBA3529 AMBA cm AMBA32 AMBA32 AMBA352 AMBA352 cm mm % % ~ 8 % 3, lx 2 2,

27 cm mm % % ~ 8 % 3, lx 2 2, cm mm % % ~ 8 % 3, lx 2 2, cm mm % % ~ 8 % 3, lx 2, cm mm % % ~ 8 % 3, lx 2,

28 a b a (%) (q, q )> 5 q 3 q 3 < (q2, q2 ) < 5 q2 q2 5 V.DC 5 V.DC.3 V.DC ~ 6 V.DC.3 V.DC ~ 3 V.DC.3 V.DC ~ 6 V.DC.3 V.DC ~ 3 V.DC 3 V.DC 3 V.DC ma ma 25 C ~ +75 C 25 C ~ +75 C 3 C ~ 85 C 3 C ~ 85 C 5 V.DC.5 V.DC5.5 V.DC VDD 5 V.DC 5.5 V.DC27 V.DC It.5 ma 5 V.DC.5 ma 5.6 ma 5 V.DC 6.2 ma 6.2 ma 7.8 ma Iout=mA It 7. ma. ma 5 V.DC 7. ma 9. ma.2 ma 5.2 ma 5 V.DC.2mA.2 ma T 8 ms/ Vr V.DC.2 V.DC V.DC It= ma II 5 μa 3 μa V=3 V.DC

29 DC5 V.5 V.DC5.5 V.DC VDD DC5 V 5.5 V.DC27 V.DC Ib. ma 5 V.DC.5 ma. ma.3 ma 5 V.DC.3 ma.8 ma 2 b Id 2.6 ma 6.7 ma 5 V.DC.5 ma. ma 6.6 ma 9.6 ma 5 V.DC 3. ma.5 ma 2 d Ia 2.2 ma 5 V.DC 2.2 ma 3. ma 6.2 ma 5 V.DC 6.2 ma 7.2 ma 2 a Ic.2 ma 8.5 ma 5 V.DC 2. ma 3.3 ma 8.2 ma 2.5 ma 5 V.DC 8.2 ma 9.3 ma 2 c Tt 5 ms/ 2 μs Tw /2 Tt VTL.8 V V TH 3 V 3 Tr 5 ms Vr V.DC.2 V.DC V.DC It= ma II 5 μa 3 μa V=3 V.DC a b c d OFF Tr OFF ON Tr ON Tr OFF Tr ON Tr OFF Tr GND Tr ON ON OFF OFF Tr OFF Tr ON ON OFF

30 ON OFF Tt : Min. 5ms Tr : Max. 5ms VTH VTH VTL VTL Tr Tr OFF ON ON Tw ON OFF OFF ON OFF + 33 μf μf N.C. Tr 2 GND 3 GND μf μf N.C. Tr 2 GND 3 GND 3

31 (mm) W (mm) AMA AMBA AMBA2 AMBA3 (mm) mm 9 % Y X cm 9 cm 8 cm 7 cm 6 cm 5 cm (mm) mm 9 % Y X 8 cm 7 cm 6 cm 5 cm cm 3 cm 2 cm (mm) mm 9 % Y X 2 cm 5 cm cm 5 cm 2 2 W (mm) W (mm) W (mm) 2-R f Max.. mm 2 22 f

32 33 f f Max Max. 32 BMB-SRSS DF3-P-.25DS DF3-P-.25DSA DF3-P-.25DSA DF3-P-.25DSA AMV93 AWG ± ±5 DF3-S-.25C AMV92 UL 368, AWG ±5.5±2 SHR-V-S

33 AMBA 5 cm AMA 8 cm AMBA2 cm AMBA3 2 cm X Y Z (%RH) ( C)

34

35 AMG V.DC 5 5 V.DC 2 Grid-EYE 6 ( 8 8 ) 3.3 V.DC 5. V.DC AMG883 AMG8832 AMG885 AMG V.DC±.3 V.DC5. V.DC±.5 V.DC C ~ 8 C 2 C ~ C C ~ 8 C 2 C ~ 8 C 2 C ~ 8 C 2 C ~ 8 C

36 .3 V.DC ~ 6.5 V.DC VDD.3 V.DC ~ VDD +.3 V.DC SCL, SDA, AD_SELECT ma ~ ma INT, SDA (Human Body Model) kv (Machine Model) 2 V Typ.±2.5 C Typ.±3. C Max. 5 m Typ.6 Typ.±5.6 Typ..5 ma Typ..2 ma Typ..8 ma Typ.5 ms Typ.5 s C 7 25 mm I 2 Cfast mode Typ. s or 6 s 2.25 C 2I 2 C 2 C ~ 8 C.625 C 3.3 V.DC or 5 V.DC μf VDD GND 9 6 Selector Gain amp ADC ROM Control I 2 C I/F SDA SCL AD_SELECT INT GND Thermistor

37 ( ) ( ) ( ) ( ) N P NC 2 SDA 3 SCL INT 5 AD_SELECT 6 GND 7 NC 8 NC 9 VDD J AVDD-PC K NC L DVDD-PC M VPP N NC (.75) 3.6.± P.27±.5 = N 8 P.27.9

38 VDD VDD kω±5% kω±5% kω±5% kω±5% kω±5% kω±5% kω±5% 2SDA 3SCL INT 5AD_SELECT 6GND MVPP LDVDD-PC JAVDD-PC 9VDD 2SDA 3SCL INT 5AD_SELECT 6GND MVPP LDVDD-PC JAVDD-PC 9VDD GND μf±2% 2 Ω±5% μf±%.5 μf±% GND μf±2% 2 Ω±5% μf±%.5 μf±% 2.6±. 6.±.3 7.5±..75±. f ±..±. 6.±..35±.5 f ±. f3±.2 2.5±. f8.±. f38.±2. 9.±..7±.

39 (%RH) ( C) (%RH) ( C) T3 T2 T t t2

40

41 ADP5 2 ± kpa kpa 3 mm 3 mm kpa 5 kpa kpa 2 kpa 5 kpa 5 mm 3 mm mm 5.5 mm 3 7, kpa 3.6 mm 5.5 mm A kpa B6 6 kpa 3 mm 5 mm 5 mm 3.5 mm 5.6 mm ± kpa ADP5 ADP52 ADP5 ADP52 kpa ADP5 ADP52 ADP5 ADP52 25 kpa ADP52 ADP52 5 kpa ADP53 ADP53 kpa ADP5 ADP52 ADP5 ADP52 2 kpa ADP55 ADP525 ADP55 ADP525 5 kpa ADP56 ADP526 ADP56 ADP526, kpa ADP57 ADP527 ADP57 ADP527 kpa ADP5A 6 kpa ADP5B6 ADP5B62 ADP5B63

42 kpa ± , C ~ +6 C 2 C ~ +85 C 5±.25 V.DC C ~ 5 C 2.5±.5.5±.5 V 2, 3, 5.5±.5 (+ kpa ).5±.5 V 2, 3, 5 ±.25 %FS 3,, 5 ma 2, 3 5 Ω (Typ.) 2.2 ma 2, 3 2 ma 2, 3 kpa 5 C ~ +5 C 2 C ~ +7 C 3±.5 V.DC 5 C ~ 5 C.3±.9 V 2, 3, 5 2.±.3 V 2, 3, 5 ±. %FS 3,, 5.3 %FS 3,, 5 3 ma 2 2 Ω (Typ.) 2, 3.5 ma 2, 3.5 ma 2, 3

43 kpa 6 C ~ +7 C 3 C ~ + C 5±.25 V.DC C ~ 7 C.5 V (Typ.) 2. V (Typ.) 2 ±2.5 %FS 2, 3, ma 5 Ω (Typ.).2 ma 2. ma (V) (kpa) (%FS) ( C) (%FS) ( C) (V) (kpa) (%FS) ( C) (%FS) ( C)

44 (V) (V).6..2 (V) (kpa). intial h 5h 3.5 intial h 5h (V).6. (V) ( C) ( C) (V).6. (V) intial after test 3.5 intial after test (V).6. (V) intial after test 3.5 intial after test

45 Temp. 65 C 25 C Time cycle (2h) 65 C C 25 C 2.5h 3h 2.5h 2.5h 3h 2.5h.5h 3.5h 3h (V) (V) % RH % RH intial cyc 3.5 intial cyc 85 C 2 C : C 9 %RH 2 C 85 C 3 9%RH.5mm 55Hz X Y Z 3 : 2 75cm :2 9.8N.9N C 5 26 C ±2.5%FS

46 ADP5 Vcc NU Vout 7.Max. 7.2Max. f2.2 6-f.9 VccDC 5V Vout GND NU NU -R C f3. R.2 GND GND NU NU JAPAN Vcc NU Vout Vcc 2 NU (NOT USE) 3 Vout NU (NOT USE) 5 NU (NOT USE) 6 GND( ADP52 Vcc NU Vout 7.Max. 7.2Max. f2.2. VccDC 5V Vout GND NU NU f3. -R.7 R C GND GND NU NU JAPAN Vcc NUVout Vcc 2 NU (NOT USE) 3 Vout NU (NOT USE) 5 NU (NOT USE) 6 GND(

47 ADP5 /ADP5A Vcc NU Vout 7.Max. 7.2Max. f2.2 6-f.9 VccDC 5V Vout GND NU NU f3. -R.7 R C GND GND NU NU JAPAN Vcc NU Vout Vcc 2 NU (NOT USE) 3 Vout NU (NOT USE) 5 NU (NOT USE) 6 GND( ADP52 f2.2 Vcc NC Vout 7.Max. 7.2Max.. VccDC 5V Vout GNDNC f3. NC -R.7 R C GND GND NC NC JAPAN Vcc NC Vout Vcc 2 NU (NOT USE) 3 Vout NU (NOT USE) 5 NU (NOT USE) 6 GND( 7.

48 ADP5B6 P2.5 3= P2.5 3= P/N,Lot. B6 72 JAPAN.7 R.5. f f μf. μf NU VccGndVout NU NU NU NU.76 NU (NOT USE) 2 Vcc 3 GND( Vout 5 NU (NOT USE) 6 NU (NOT USE) 7 NU (NOT USE) 8 NU (NOT USE) ADP5B62 P2.5 3= P2.5 3= R.5. f5.5 8-f P/N,Lot 9.3 C μf. μf B JAPAN 2.7 NU VccGndVout NU NU NU NU.76 NU (NOT USE) 2 Vcc 3 GND( Vout 5 NU (NOT USE) 6 NU (NOT USE) 7 NU (NOT USE) 8 NU (NOT USE) ADP5B63 P2.5 3= P2.5 3= f5.5 8-f P/N, Lot 2.2 f μf. μf.25 B JAPAN 3.3 NUVccGndVout NUNU NUNU.76 NU (NOT USE) 2 Vcc 3 GND( Vout 5 NU (NOT USE) 6 NU (NOT USE) 7 NU (NOT USE) 8 NU (NOT USE)

49 23 C 5 C 6 μ

50

51 ADP 2.9 kpa kpa 3 9. kpa 98. kpa kpa kpa kpa kpa kpa A. kpa PF 5 kω 2 PS 5 kω kω 5 kω 3.3 kω 5 kω 3.3 kω 3.3kPa ADP2 ADP22 ADP2 ADP22 9.kPa ADP3 ADP23 ADP3 ADP23 98.kPa ADP ADP2 ADP932 ADP3 ADP23 ADP ADP2 96.kPa ADP5 ADP25 ADP5 ADP kPa ADP6 ADP26 ADP6 ADP26 9.3kPa ADP7 ADP27 ADP7 ADP kPa ADP8 ADP28 ADP8 ADP kPa ADP9 ADP29 ADP933 ADP93 ADP293 ADP9 ADP29.kPa ADPA23 ADP2A23 ADPA23 ADP2A23

52 2 kpa ~ , Ω ±, Ω 3,3 Ω ±7 Ω 3,3 Ω ±6 Ω 2 C ~ + C 5 C ~ +5 C C ~ +2 C 2 C ~ +7 C 25 C 3 C 25 C C ~ 5 C C ~ 6 C 5 C ~ 5 C.5 ma.dc. ma.dc.5 ma.dc ±2 mv ± mv 65±25 mv 3.5±22.5 mv ±2 mv ±5 mv ±.7 %FS ±.3 %FS ±.5 %FS ±.6 %FS ±. %FS ±.3 %FS ±.6 %FS ±.2 %FS ±. %FS ±. %FS ±.7 %FS ±5 %FS ±5. %FS ±3.5 %FS ± %FS ± %FS ±2.5 %FS ±.3 %FS (mv) /2{5} 98.7{} (kpa{kgf/cm 2 }) (%FS) ( C) (%FS) ( C) 3 3 (%FS) 2 2 (%FS) ,,, (cycle) 3 5,,, (cycle)

53 (mv) {.5} 98.{} (kpa{kgf/cm 2 }) (%FS) ( C) (%FS) ( C) 2 2 (%FS) (%FS) (cycle) (cycle) 2 C, C, C, 9 %RH, C ~ 2 C 3 C, 9 %RH.5 mm ~ 55 Hz X, Y, Z cm N,.9 N, +9, 23 C 5 ±5.%FS 26 C

54 ADP f. 7.2 f 7.2 f2.5 R Max 6-f Input 2 +Output R2 R 3 Input R3 R 6 NC 5 Output 2.5 JAPAN Input 2 +Out 3 Input Input 5 Out 6 NC ADP2 f f JAPAN f 8.2 Max ADP932, ADP933 f. R.2 f f Input R2 R3 2 +Output R 3 Input R 6 NC 5 Output +Input 2 +Out 3 Input Input 5 Out 6 NC 2 +Output R2 R f. f R Input R3 3 Input R 6 NC 5 Output JAPAN Input 2 +Out 3 Input Input 5 Out 6 NC

55 ADP ( ) f.8 6-f.9 +Input 2 f C.5.6 +Output 3 R2 R3 R R 6 Output R.5 ~ ±. 5 Input Out 2 +Input 3 +Out NC 5 Input 6 Out JAPAN 2 3 ADP2 ( ) f.8 6-f.9 +Input 2 R2 R 8.6 f6.6 +Output 3 Output 6 R3 R f3 C.5 ~ Input R.5.6 ±. Out 2 +Input 3 +Out NC 5 Input 6 Out JAPAN 2 3

56 23 C 5 C 6 OP AMP OP AMP OP AMP.9k Pa98. kpa 96. kpa98.7 kpa

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