振子式バルブコントロールシステム Series 65 Series 65.0 Main applications SEMI FPD プロセスの圧力制御および真空封止用バルブ特に苛酷なエッチングクリーニングプロセスに最適 Ordering information コントローラ搭載型バルブ DN O

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ゆきすすむ
5 years ago
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1 振子式バルブコントロールシステム Series 65 Series 65.0 Main applications SEMI FPD プロセスの圧力制御および真空封止用バルブ特に苛酷なエッチングクリーニングプロセスに最適 Ordering information コントローラ搭載型バルブ Ordering numbers aluminum aluminum, hard anodized ISO-F JIS ISO-F JIS PA x y 640-JA x y 640-PH x y 640-JH x y PA x y 644-JA x y 644-PH x y 644-JH x y PA x y 646-JA x y 646-PH x y 646-JH x y PA x y 648-JA x y 648-PH x y 648-JH x y 6-PA x y 6-JA x y 6-PH x y 6-JH x y JA x y 651-JH x y 652-PA x y 652-JA x y 652-PH x y 652-JH x y コントローラ構成 : x G = basic version A = with SPS H = with PFO C = with SPS and PFO T = basic version with VC master V = with SPS and VC master U = with PFO and VC master W = with SPS, PFO and VC master SPS = センサー電源供給 (±15 V DC センサー用電源供給 ) PFO = 停電対策オプション ( 停電時に自動的にバルブ開 / 閉 ) VC = バルブクラスター ( 複数のバルブを同期をとって制御 ) 例 :640-PAGG = ISO-F フランジアルミニウムボディ RS232 インターフェイス 1 センサー y インターセンサーフェイスの数量 G = RS232 1 H = RS232 2 C = Logic 1 E = Logic 2 P = DeviceNet 1 Q = DeviceNet 2 D = Profibus 1 F = Profibus 2 J = RS485 1 K = RS485 2 Y = Ethernet 1 Z = Ethernet 2 L = CC-Link 1 N = CC-Link 2 I = EtherCAT 1 X = EtherCAT 2 S = VC slave (without interface) 圧力コントローラについては 6 9 頁を参照下さい 134

2 特長ボディ材質 : アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウムコンパクトデザイン高速パーティクルフリーショックフリーな動作搭載型または別置き圧力コントローラ極めて短い制御応答時間ポジションインジケータ付きサービスポート装備 (PC 接続用またはサービスOX2 接続用 ) メンテナンスが簡単 Functional principle Series 65 1 Plate 4 onnet seal 8 Shaft feedthrough seal 2 Sealing ring 5 Actuator shaft 9 Rotary feedthrough seal 3a Plate seal 6 Actuator 10 Piston ring seal 3b ody seal 7 Controller Valve seat side バルブプレートはバルブ開口のコンダクタンスを可変させる絞り要素として動作しますバルブ本体と一体化されたコントローラは設定圧力を実現するために必要なプレートの開度を計算します 280 頁に記載の動作原理図も参照下さいまたエンコーダがステッピングモーターの位置をモニターしており高速で正確な圧力制御を実現しておりますバルブの封止はシーリングリングが降りてきてプレートを押さえる事により行いますシーリングリングはスプリングにより降下圧空によりリフトアップされます Pressure control Sealing ring Plate Isolation Sealing ring Plate 135

3 振子式バルブコントロールシステム Series 65 技術データリーク量 1): バルブボディアルミニウム Pam 3 s -1 硬質アルマイト加工アルミニウム Pam 3 s -1 リーク量 1): バルブシートアルミニウム Pam 3 s -1 硬質アルマイト加工アルミニウム Pam 3 s -1 使用圧力範囲 1) アルミニウム Pa to 0. MPa (abs) 硬質アルマイト加工アルミニウム Pa to 0. MPa (abs) 第 1 回サービスまでのサイクル数 2) 圧力コントロール ( 閉止動作を行わない場合 ) 百万回閉 / 開,000 許容温度 2) バルブボディ 0 C 周囲温度 C 材質バルブボディプレート EN AW-6082 (3.2315) シーリングリング EN AW-6082 (3.2315), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568) その他の部材 AISI 3L (1.4404, ), AISI 440 (1.42), AISI 301 (1.4310), AISI 3 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301) シール : ボンネットプレートボディ軸シール FKM (Viton ) 1) バルブの加熱なしの条件下で 2) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる 3) バルブシートをチャンバー側に取付けを推奨軸シールアクチュエータ O-リング回転軸シールシーリングリング O-リング軸シール取付け方向 2 自由 3) 水平取付けのみ 3) (nominal I. D.) Conductance (molecular flow) Minimum controllable conductance (molecular flow) Max. differential pressure on the plate Max. differential pressure during operation Compressed air min. max. overpressure Operating time for throttling Typical closing / opening time Open closed Closed open Weight ls -1 ls -1 mbar mbar bar psi s s s kg lbs 圧力コントローラについては 6 9 頁を参照下さい 136

オプションオプションによっては適用できないバルブ口径がありますまた組み合わせての適用が出来ないものがあります更にオプション適用により技術データの数値に変更を生じることがあります図 1 アクチュエータアクチュエータ取付け位置 2( 図 1) PID パラメータ設定可能なコントローラ ( 適応型制御アップストリーム制御ダウンストリーム制御ソフト排気制御 ) 2

標準以外のシール材料 KF ポート付きのボディヒーター ( 断熱カバー付き )( 写真 2) バルブ加熱温度 0 C まで ( ご要望により C までの加熱 ) 圧力コントローラ別置き ( 写真 3) 圧力コントロール機能のみのバルブ ( リークタイト封止機能なし ) くさび形プレート ( 制御可能な最小コンダクタンスを改善 ) - : ls -1 ( 標準 22 ls -1 ) - 3:

4 オプションオプションによっては適用できないバルブ口径がありますまた組み合わせての適用が出来ないものがあります更にオプション適用により技術データの数値に変更を生じることがあります図 1 アクチュエータアクチュエータ取付け位置 2( 図 1) PID パラメータ設定可能なコントローラ ( 適応型制御アップストリーム制御ダウンストリーム制御ソフト排気制御 ) 2 つのアナログ出力を持つ RS232 インターフェイス Series 65 Actuator on 1-side (standard) 写真 2 写真 3 Actuator on 2-side (option) バルブ標準外のバルブサイズ例 : 80 他のフランジ型式例 : ASA-LP お客様指定のフランジ例 : チャンバー直付け用の角型フランジ表面処理例 : ニッケルメッキ標準以外のシール材料 KF ポート付きのボディヒーター ( 断熱カバー付き )( 写真 2) バルブ加熱温度 0 C まで ( ご要望により C までの加熱 ) 圧力コントローラ別置き ( 写真 3) 圧力コントロール機能のみのバルブ ( リークタイト封止機能なし ) くさび形プレート ( 制御可能な最小コンダクタンスを改善 ) - : ls -1 ( 標準 22 ls -1 ) - 3: 19 ls -1 ( 標準 25 ls -1 ) - : 22 ls -1 ( 標準 30 ls -1 ) オプション注文の手引き : バルブの Ordering No. -X ( 例 :646-PAGH-X, X = 0 C のヒーター付き ) スペアパーツシールお問い合わせ下さい ( バルブの製造番号をお知らせ下さい ) 別売付属品バルブ取付け用真空継ぎ手類 : Series 32 参照 137

振子式バルブコントロールシステム Series 65 簡単なメンテナンスメンテナンスのためにバルブを装置から取外す必要はありません振子プレートシーリングリングの取外し組込みが短時間で可能メンテナンスに必要な工具は 2 つのみ寸法図 Valve with stepper motor and integrated pressure controller (4" ") Connection

5 振子式バルブコントロールシステム Series 65 簡単なメンテナンスメンテナンスのためにバルブを装置から取外す必要はありません振子プレートシーリングリングの取外し組込みが短時間で可能メンテナンスに必要な工具は 2 つのみ寸法図 Valve with stepper motor and integrated pressure controller (4" ") Connection box for heated valves Insulation for heated valves Controller a Valve seat side g Required for dismantling b Compressed air connection c Electrical connection f Position indicator A M N O Q R S V W

6 Series 65 フランジ寸法図 ISO-F (4" ") A C D E F 8 M8 8 M10 M10 M10 M M G H I JIS 保守用フランジ ( VF/VF 型 ) (4" ") A C D E F 8 M10 8 M10 8 M M M M M G Projection E a Valve seat side 139

Microsoft Word - MBV-LDカタログ

Microsoft Word - MBV-LDカタログフランジ内のストッパーを廃止バタフライバルブ AX シリーズ - より高性能長寿命で価格は据置きです - フランジ内のストッパーを廃止することにより弁体閉時に発生する衝撃力並びに静止時常に加わる力が低減されたので寿命の向上並びにコンダクタンスが向上しました特許機構のダブルシリンダ方式を採用 ( ニューマチックタイフ ) ダブルエアーシリンダ方式を採用することにより弁体開時にはエアー推力が倍増し

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