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1 Park Systems

2 Park Systems Enabling Nanoscale Advances ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ ㅣ

3 Courtesy NASA/JPL-Caltech Park Systems Enabling Nanoscale Advances 5

4 Prof. C.F. Quate Dr. Sang-il Park Park Scientific Instruments Park Systems Headquarters Invention of AFM (Stanford University) 6 Park Systems Enabling Nanoscale Advances [] Microscopy Devices Market (Optical, Electron and Scanning Probe Microscopes, Semiconductor, Life Sciences, Nanotechnology, Material Sciences) Global Industry Analysis, Size, Share, Growth, Trends and Forecast, -8, by Transparency Market Research. 7

5 Park SmartScan True Non-Contact Mode nm 8 Unprocessed raw data Decoupled XY and Z Scanners & Unprocessed row data Less than nm Highly Linear and Orthogonal XY Scan Park Systems Enabling Nanoscale Advances 8 Park Systems Enabling Nanoscale Advances 9

6 Park NX Park NX SICM Park NX-Bio Park NX Park NX-Hivac Park NX-HDM Park NX-PTR Park XE7 Park XE5 Park NX-Wafer Park NX-DM Park Systems Enabling Nanoscale Advances

7 Park NX Park NX QuickStep SCM PinPoint CP-AFM V 8 µm Defect Site PinPoint Park Systems Enabling Nanoscale Advances

8 x 7 / Cm Park NX-Hivac Park XE Cm Cm Cm / / / 9 8 x x x Cm Cm / / 6 5 x x Si Si Si Si Si Si Si Park Systems Enabling Nanoscale Advances 5

9 Park XE5 Park NX SICM a b 7 6 Park Systems Enabling Nanoscale Advances 7

10 Park NX-Bio Park NX-HDM d r d q d d d d Park Systems Enabling Nanoscale Advances 9

11 Park NX-PTR Park NX-Wafer µm µm µm µm ABS µm x µm Y X Y Y l X X l 5 µm x µm Park Systems Enabling Nanoscale Advances

12 ,µ mm mm mm mm mm CD, nm CD, by SEM 5 CD, by AFM, nm CD, by AFM, nm CD, by AFM, nm Height, nm Aerial image contrast, % Height by SEM Aerial image contrast, % Park NX-DM Z, µm Y, µm Park Systems Enabling Nanoscale Advances Y, µm Y, µm Y, µm Y, µm Z, µm Y, µm Z Height (µm) X Position(µm) Z, µm Z, µm Z, µm Z Height (µm) Top Sidewall Bottom X Position(µm) RMS=.9 nm.5 RMS=5.8 nm.5 RMS=.5 nm.5

13 5 Park Systems Enabling Nanoscale Advances

14 Company DC AC OUT NX BIAS COUPLER 7 6 Park Systems Enabling Nanoscale Advances

15 Regional headquarters Distribution partners France UK Spain Benelux & Scandinavia Germany Russia Romania Turkey Italy Israel Pakistan China Saudi Arabia UAE India Thailand Malaysia Singapore Switzerland Japan Korea Taiwan Vietnam Philippines Indonesia US Mexico US/East coast Colombia Ecuador Canada Australia Brazil Chile HEADQUARTERS GLOBAL HEADQUARTERS: AMERICAS HEADQUARTERS: JAPAN HEADQUARTERS: SE ASIA HEADQUARTERS: OCEANIA Australia and New Zealand: ASIA China: India: Indonesia: Malaysia: Philippines: Saudi Arabia: Taiwan: Thailand: UAE: Vietnam: EUROPE AMERICAS France: USA: Germany: Canada: Italy: Brazil: Israel: Colombia: Switzerland: Ecuador: Romania: Chile: Russia: +7 (95) --8 Mexico: Spain and Portugal: Turkey: UK and Ireland: +() Benelux, Scandinavia, and Baltics:

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