解 説 1.は じ め 特 集 接 着 と接 合 に 2.接 エ レ ク トロ ニ ク ス 機 器 を 始 め とす る 工 業 製 品 の 大 半 は, 必 要 な 特 性 を有 す る 材 料 か らな る 多 くの 部 品(要 素)が 何 らか の 方 法 で 接 合 さ れ て 成 り立 っ

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1 解 説 1.は じ め 特 集 接 着 と接 合 に 2.接 エ レ ク トロ ニ ク ス 機 器 を 始 め とす る 工 業 製 品 の 大 半 は, 必 要 な 特 性 を有 す る 材 料 か らな る 多 くの 部 品(要 素)が 何 らか の 方 法 で 接 合 さ れ て 成 り立 っ て い る し た が っ て,製 品 の 良 否 は,接 合 の 良 否 に 大 き く依 存 合の基礎 接 合 とは,材 料(固 体)を 何 ら か の 力(エ ネ ル ギ よ り結 合 させ 一 体 化 させ る こ と と定 義 で きよう 固 体 状 態 の 材 料 で は,原 子 が 規 則 的 に 配 列 し て い る 隣 合 ー)に っ た2つ の 原 子 間 の ポ テ ン シ ャ ル エ ネ ル ギー と距 離 との して お り,接 合 技 術 は 基 礎 的 製 品 化 技 術 の キー 技 術 と 言 関 係 はFig.11)の っ て も過 言 で は な い 接 合 は,同 距 離 で は 斥 力 が 働 い て 距 離r=R0で で行 わ れ る が,前 者 は 主 に,複 種 あ るいは異種 材 料 間 雑 形状 部材 の組 み立 て を よ う に 示 さ れ,遠 に 相 当 す る 結 合 エ ネ ル ギー は,基 材)単 間 に 働 く静 電 的 力 で あ る が,原 で達 成 し,高 機 能 化 を実 現 す る う え で 重 要 と 考 え ら れ る 化 し た4つ 1)フ い ず れ に せ よ,接 合 に お い て は,接 保 有 す る こ とが 必 須 で,強 る い は 熱 伝 導,電 度,気 合 部 が 目標 特 性 を 密性 等の構 造 的特性 あ 気伝 導 な どの機 能的特 性 の達 成が求 め 平 衡 状 態 に な る R0 で ポ テ ン シ ャ ル は 極 小 と な り,こ の 値 が 結 合 エ ネ ル ギー 簡 略 に 行 う方 法 と して 多 用 さ れ て い る 後 者 は,材 料(部 独 で は 得 に くい 機 能 を特 性 の 異 な る材 料 の 複 合 化 距 離 で は 引 力 が,近 本 的 に異符 号 の電荷 子 間 の結合 に対 して単純 の 結 合 方 式 が 考 え られ て い る そ れ は, ァ ン デ ル ワ ー ル ス 結 合(Van bond) der Waals 原 子 中 の 電 子 の 電 荷 の 分 布 の 揺 ら ぎ等 に 起因 2)共 有 結 合(Covalent bond) 最 外殻 の電 子 が られ る 接 合 対 象 と な る 材 料 の 種 類 は,有 ラ ミ ッ ク ス),金 機 材 料,無 機 材 料(セ 属 材 料 に わ た る(半 導体材料はここで は 対 象 外 とす る) こ れ らの 材 料 は そ れ ぞ れ 異 な っ た 特 性 を 有 して お り,単 独 で も用 い ら れ る が 接 合 に よ り さ ら に 広 範 な 用 途 が 開 か れ る 例 え ば,セ 度,耐 摩 耗 性,絶 ラ ミ ッ ク ス は,強 縁 性 等 に 優 れ る が 脆 性 で あ る こ れ を, 延 性 で 導 電 性 に 富 む 金 属 と複 合 化 す る こ と に よ り,単 独 で は 得 られ な い 特 性 の 部 品 が 得 ら れ る こ こ で は,異 材 料,特 に 金 属 一金 属,金 と して,接 * Masako 種 属 一セ ラ ミ ッ クス の 接 合 を 中 心 合 の 基 礎 に つ い て 概 略 を述 べ る Fig. 1 Nakahashi 東 芝/TOSHIBA Corp. Vol.5,No.2 Interaction between Different Materials中橋昌子* 異種材料の接合 Electronic potential energy as a fanction of distance between two nuclei 3

2 Tab. 1 Properties of materials Tab. 2 Methods of material bonding

3 Fig. 2 Shear strength of the joints using adhesives and silver brazing alloy vs test temperature Fig. 3 Eutectic type phase diagram Fig. 4 Distribution of solute

4 Fig. 5 Thermal expansion coefficient of metals and ceramics (RT-100 Ž) Tab. 3 Methods for bonding ceramic to metal

5 Tab. 4 Thermal stress relaxation methods Fig. 6 The standard free energy for formation of a number of metal nitride as a function o f Temperature Vol. 5, No. 2 7

6 Fig. 8 Cross-sectional microanalysis brazed with Ti containing of ceramic/cu joints alloy 期 待 され て いる 6.お わ り に 接 合 に 関 して な る べ く基 礎 的 視 点 か ら述 べ て き た が, 金 属 と セ ラ ミ ッ ク スの 接 合 等 異 種 材 料 の 接 合 に は ま だ ま だ 不 明 な 点 が 多 く,実 用 化 され て い る もの も少 な い し か し な が ら,高 機 能 部 品 へ の 強 い要 求 に 答 え るべ く地 道 な 努 力 が 続 け ら れ て お り,今 Fig. 7 Bonding strength of nitride-ceramic/metal joints using Ti containing Fig.77)は,各 後 さ らに 発 展 す る こ と と思 われ る alloys 参 考 文 献 種Ti含 有 ろ う材 を 用 い てAIN,とMoの 1) A. J. Dekker:固 2) 接 着 ハ ン ドブ ッ ク: p.551,日 3) ろ う 接 便 覧, 4) 中 橋 他:表 面: No.10, p.596, (1986) 5) 中 橋 他:日 本 複 合 材 料 学 会 誌, Vol.12, No.5, 生成 6) 金 属 便 覧, 基 礎 編, は 認 め ら れ な か っ た これ よ り反 応 層 の 生 成 と接 合 性 に 7) M. Nakahashi 接 合 強 度 を調 査 した 結 果 で あ る こ れ に よ り,Ti含 有 ろ う材 で も常 に 接 合 が 可 能 で あ る と は 限 ら な い こ とが 分 か る 良 好 な 接 合 性 を示 し たTi-Ag-Cu,Ti-Cuろ 接 合 部 に は,Fig.8に 認 さ れ た が,接 示 す よ う に 界 面 にTiNの 合 性 の 乏 しいTi-Niろ うでの 生成が確 うで はTiNの は,大 き な 関 連 が あ る こ とが 判 明 した Ti-Ag-Cuろう は,融 点 が 約780 で 比 較 的 低 く,接 合強度が高いこ と (1987), 8) p.17産 報, p.26,コ ロ ナ 社, p.92, 丸 善, (1971) p.226, (1986) (1974) Engineering Institute (1970) 刊 工 業 新 聞社, (1970) Vo1.24, et. al: The 中 橋 他:第2回 p.141, 体 物 理, with Ceramics 2, p.25 of Ceramics. マ イ ク ロ エ レ ク ト ロ ニ ク ス シ ン ポ ジ ウ ム 要 旨 集, (1987) か ら セ ラ ミ ッ ク ス パ ッ ケー ジ の ピ ン 接 合 等 へ の 適 用8)が 8 HYBRIDS

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