¾ ¾¼½ ¾ º½ ¾ ÖÜ Ì Ü Ä Ù Å Ù Ü Ì Æ Þµ Þµ Þ ÞµÈ Ç ½ ¾ Ü Ì Ü Ì Þµ Ù Ö Ü Þ Ì Æ Þµ Þµ ÙÅ ÔÐÒØ Ü Ä Ü Ì Ç º½ ¾

Size: px

Start display at page:

Download "¾ ¾¼½ ¾ º½ ¾ ÖÜ Ì Ü Ä Ù Å Ù Ü Ì Æ Þµ Þµ Þ ÞµÈ Ç ½ ¾ Ü Ì Ü Ì Þµ Ù Ö Ü Þ Ì Æ Þµ Þµ ÙÅ ÔÐÒØ Ü Ä Ü Ì Ç º½ ¾"

かずきみやまる
9 years ago
Views:

1 Title 転がり案内を有する位置決め機構に対する摩擦モデリングと補償 Author(s) 前田, 佳弘 Citation Issue Date URL Rights Type Thesis or Dissertation Textversion author 名古屋工業大学学術機関リポジトリは名古屋工業大学内で生産された学術情報を電子的に収集保存発信するシステムです論文の著作権は著者または出版社が保持しています著作権法で定める権利制限規定を超える利用については著作権者に許諾を得てください Textversion に Author と記載された論文は著者原稿となります実際の出版社版とはレイアウト字句校正レベルの異同がある場合もあります Nagoya Institute of Technology Repository Sytem i offer electronically the academic information pr Technology. The copyright and related rights of the article a The copyright owners' consents must be required copyrights. Textversion "Author " means the article is author Author version may have some difference in layou version.

作権法で定める権利制限規定を超える利用については著作権者に許諾を得てください Textversion に Author と記載された論文は著者原稿となります実際の出版社版とはレイアウト字句校正レベルの異同がある場合もあります Nagoya Institute of

2 ¾ ¾¼½ ¾ º½ ¾ ÖÜ Ì Ü Ä Ù Å Ù Ü Ì Æ Þµ Þµ Þ ÞµÈ Ç ½ ¾ Ü Ì Ü Ì Þµ Ù Ö Ü Þ Ì Æ Þµ Þµ ÙÅ ÔÐÒØ Ü Ä Ü Ì Ç º½ ¾

3 ¾¼¾ ¾ gain [db] phase [deg.] experiment model º¾ ¾ºº½ º¾µ ½ È Ò µ È Ò µ Ã Ø Ø¼ ¾ Ø½ ¾ ¾ Ø½ Ø½ ¾ Ø½ º½µ Ì È Ò µ Ì º¾ ÑÓÐµ ÜÔÖÑÒØµ ½ ½ µ º½µ ¾º½µ Æ Þµ Þµ ¾º½µ ¾º½µ ½ µ ÁÁÁ º½µ ¾ ¾¼¼ Ö ¾º½µ ¾º½µ Ì ½ µ Æ Þµ Þµ º Æ Þµ Þµ ½ ÀÞ

1 3 º¾ ¾ºº½ º¾µ ½ È Ò µ È Ò µ Ã Ø Ø¼ ¾ Ø½ ¾ ¾ Ø½ Ø½ ¾ Ø½ º½µ Ì È Ò µ

4 ¾ ¾¼ gain [db] phase [deg.] N(z) D(z) º Æ Þµ Þµ Æ Þµ Þµ º½ ¾ ÁÁÁ ¼½ ÑÑ µ Ù µ Ü Ì µ Ü Ä º º µ Ù º µ Ü Ì Ü Ì º µ ½¼ Ñ ½¼ Ñ ¾º½ È Ò Þµ º½µ Ì Ä Ò Þµ Þ É Þµ º¾µ É µ Ì º½ É µ É É ¾ ¾ ¾ ÉÒ ÉÆ ¾ ÉÆ ¾ ¾ É ÉÆ ¾ ÉÆ º¾µ É É ¾ ¼¼ Ö

3 º Æ Þµ Þµ Æ Þµ Þµ º½ ¾ ÁÁÁ ¼½ ÑÑ µ Ù µ Ü Ì µ Ü Ä º º µ Ù º µ Ü Ì Ü

5 ¾¼ ¾ thrust [N] u ff r x T x T load position [mm].1.5 x L ±1 µm º ÉÆ ¾ ¼ Ö ÉÒ ¼¼ É ¼ Þµ Þµ È µ Ã Ô Ã ½ º µ Ã Ô ¾¼¼ ÎÑÑÃ ¼½ Î ÑÑ ½Ñ º µ Ì Þµ Ù Å Ù Å µ Ù Å Ù Å µ Ü Ì µ º º ½¾ ÀÞµ ¾¼ ½¼¼ ÀÞµ ¼

6 ¾ ¾¼ phase [deg.] gain [db] imaginary axis real axis º º gain [db] º

36 45 1 1 1 1 2 1 3 imaginary axis 5 4 3 2 1 1 2

8 ¾¼ ¾ ÁÎ µ ¼ ÑÑ ¼½ ÀÞ¼ ÀÞ ÑÑ ½ ÑÑ µ Ñ ¾ º½ ÖÜ Ì Ù Æ Þµ Þµ¾ºº½ Þ ¾ Þµ¾ºº¾ Ç ¾ºº¾ Ê Å Þ ¾ Ü Ì Ù Ö Ù Ö ¼µ º½ ÁÎ º¾ º ÜÔÖÑÒØµ µ µ ¾ µ Ü Ì µ Ü Ì Ü Ì µ

9 ¾¼ Ê Å Ù Ö Þµ Ù Ö Æ Þµ Ü Ì Ü Ì Ù Å Þ ¾ Þµ ÔÐÒØ Ü Ì Ç º½ ¾ µ Ñ Ñ ¼½ ÀÞ Ñ¼ ÀÞ ½¾ Ñ ÑÙÐØÓÒµ µ ÖØÓÒ ÑÓÐµ º º Û» ÊÅµ º¾ º Û» ÊÅµ µ ÖØÓÒ ÑÓÐµ Ù Ö Ñ ÈÓÒØ ØÓ ÈÓÒØ

10 ¾¼ experiment 2 simulation µ ÓÚÖÚÛ experiment 2 simulation µ ÚÐÓØÝ ÖÚÖ Ð º¾ ¼º½ ÀÞ µ experiment 2 simulation 3 µ ÓÚÖÚÛ experiment 2 simulation 3 µ ÚÐÓØÝ ÖÚÖ Ð º ¼º ÀÞ µ

8 9.85 9.9 9.95 1 1.5 1.1 1.15 1.2 1.25 1.

11 ¾½¼ w/o RFM 2 w/ RFM µ ÓÚÖÚÛ w/o RFM 2 w/ RFM µ ÚÐÓØÝ ÖÚÖ Ð º ¼º½ ÀÞ µ w/o RFM 2 w/ RFM 3 µ ÓÚÖÚÛ w/o RFM 2 w/ RFM 3 µ ÚÐÓØÝ ÖÚÖ Ð º ¼º ÀÞ µ

½ ¾ ½ ¾º½ ½ ¾º¾ ¾º¾º½ ¾º¾º¾ ½¾ ¾º¾º ½ ¾º¾º ½ ¾º ¾¼ ¾º º½ ¾½ ¾º º¾ ¾ ¾º ¾ ¾

¾ Ï ØØÔ»»ÛÛÛºÑÔÐÜº ºÒ ÓÝ ¹Ùº º Ô» ÙÖÙ» Ù Ø ÓÒ»ËØ Ø Ø ÅÙÐØ Ú Ö Ø» Ò Üº ØÑÐ ½ ¾ ½ ¾º½ ½ ¾º¾ ¾º¾º½ ¾º¾º¾ ½¾ ¾º¾º ½ ¾º¾º ½ ¾º ¾¼ ¾º º½ ¾½ ¾º º¾ ¾ ¾º ¾ ¾ ½ ¾ ¾º½ ¾º½ Ê Æ µ ºÜÐ Üµ Ê Æ µ ¾º½ Å ÖÓ Ó Ø Ü Ð ¾¼¼

¾ ¾¼½ ¾ º½ ¾ ÖÜ Ì Ü Ä Ù Å Ù Ü Ì Æ Þµ Þµ Þ ÞµÈ Ç ½ ¾ Ü Ì Ü Ì Þµ Ù Ö Ü Þ Ì Æ Þµ Þµ ÙÅ ÔÐÒØ Ü Ä Ü Ì Ç º½ ¾

½ ¾ ½ ¾º½ ½ ¾º¾ ¾º¾º½ ¾º¾º¾ ½¾ ¾º¾º ½ ¾º¾º ½ ¾º ¾¼ ¾º º½ ¾½ ¾º º¾ ¾ ¾º ¾ ¾

ÊÆ ½ Ì Î ÄÀ ¾¼¼ ÌÄ Ë ÄÀ À Ì Ò Ô Ñ Ö Ì ÌÄ Ë Ì ½¼¼¼ Ì Ã Ã Ì

000Dthesis.dvi

(a) S D 1 D 2 (b) barrier 1 barrier 2 barrier 3 emitter well 1 well 2 collector z z ½¼ µ ¾ µ ¾ µ ÖÖÖ ½ ÖÖÖ ¾ ÛÐÐ ½ ¾ ¾ ½¼ µ ÖÖÖ ½ ÖÖÖ ¾ ½ µ ÛÐÐ ½ Þ ÛÐ

Title 本 間 久 雄 日 記 を 読 む (3) Author(s) 岡 崎, 一 Citation 人 文 学 報 表 象 文 化 論 (461): 1-26 Issue Date 2012-03-30 URL http://hdl.handle.net/10748/5350 Rights

ÅÅËµ ÒØÖ Ð Þ Ñ Ö Ø ½º ¾º Ã ÝÏÓÖ

Title 本間久雄日記を読む (3) Author(s) 岡崎, 一 Citation 人文学報表象文化論 (461): 1-26 Issue Date 2012-03-30 URL http://hdl.handle.net/10748/5350 Rights