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1 第 47 回 空 に 関 する 連 合 講 演 会 主 催 : 日 本 空 協 会 共 催 : 大 阪 大 産 業 研 究 所 協 賛 : 映 像 情 報 メディア 会, 応 用 物 理 会, 化 工 会, 原 子 衝 突 研 究 協 会, 触 媒 会, 低 温 工 協 会, 電 気 会, 電 子 情 報 通 信 会, 日 本 化 会, 日 本 加 速 器 会, 日 本 機 械 会, 日 本 金 属 会, 日 本 顕 微 鏡 会, 日 本 原 子 力 会, 日 本 材 料 会, 日 本 質 量 分 析 会, 日 本 空 工 業 会, 日 本 チタン 協 会, 日 本 鉄 鋼 協 会, 日 本 会, 日 本 物 理 会, 日 本 分 析 会, 日 本 放 射 光 会, 技 術 協 会, 腐 食 防 食 協 会,プラズマ 核 融 合 会 期 日 : 11 月 6 日 ( 月 ) 9:00~17:30 11 月 7 日 ( 火 ) 9:00~17:45 11 月 8 日 ( 水 ) 9:00~17:45 11 月 9 日 ( 木 ) 9:00~15:45 懇 親 会 18:15~20:15 第 47 回 空 に 関 する 連 合 講 演 会 企 業 展 示 会 合 同 シンポジウム 合 同 セッション 第 26 回 講 演 大 会 会 場 : 大 阪 大 コンベンションセンター 1F, 2F, 3F ( 大 阪 府 吹 田 市 山 田 丘 2-1) A 会 場 ( 口 頭 発 ) 1F 会 議 室 1 B 会 場 ( 口 頭 発 ) 1F 研 修 室 1 C 会 場 ( 口 頭 発 ) 2F 会 議 室 2 D 会 場 ( 口 頭 発 ) 2F 会 議 室 3 E 会 場 (ポスター, 企 業 展 示 ) 3F MO ホール 懇 親 会 場 (カフェテリア 匠 の 2F) 参 加 費 : 一 般 :2,500 円, 生 :1,500 円 ( 会 の 講 演 プログラムも 聴 くことができます) 予 稿 集 代 : 2 分 冊 ( 空 協 会 分 及 び 会 分 各 1 冊 ) 3,500 円, 1 冊 のみ 購 入 の 場 合 2,500 円 懇 親 会 : 11 月 7 日 ( 火 )18:15~20:15 講 演 会 場 北 向 かいのカフェテリア 匠 の 2 階 にて, 会 と 合 同 開 催. 懇 親 会 費 : 3,000 円.( 人 数 に 余 裕 がある 場 合 は, 当 日 も 受 け 付 けます) 併 設 展 示 会 出 展 企 業 リスト(10 月 1 日 現 在 小 間 番 号 順 ): 1. ( 株 )トヤマ 16. アルバック 理 工 ( 株 ) 2. ( 株 )グリーンテック 17. ( 株 ) 大 阪 空 機 器 製 作 所 3. ナイス( 株 ) 18. 佐 藤 空 ( 株 ) 4. 東 京 電 子 ( 株 ) 19. ( 株 ) 岡 野 製 作 所 5. 入 江 工 研 ( 株 ) 20. 大 成 技 研 ( 株 ) 6. 神 港 精 機 ( 株 ) 21. アユミ 工 業 ( 株 ) 7. ( 株 ) 松 村 石 油 研 究 所 22. ( 株 ) 島 津 製 作 所 8. ( 株 )アンペール 23. ( 株 )アルバック 9. サイバネットシステム( 株 ) 24. アルバックテクノ( 株 ) 10. カワソーテクセル( 株 ) 25. アリオス( 株 ) 11. ( 株 )ヤマト 26. 大 阪 ラセン 管 工 業 ( 株 ) 12. ( 株 ) 美 和 製 作 所 27. 伯 東 ( 株 ) 13. 日 本 エム ケー エス( 株 ) 28. エス ケイ ケイ バキュウムエンジニアリング( 株 ) 14. ( 株 ) 岡 崎 製 作 所 29. キヤノンアネルバ( 株 ) 15. アルバック ファイ( 株 ) 30. ( 株 )リガク ( 1 )

2 第 47 回 空 に 関 する 連 合 講 演 会 会 場 スケジュール 会 議 室 1(1F) A 会 場 11 月 7 日 ( 火 ) 11 月 8 日 ( 水 ) 研 修 室 (1F) MOホール 会 議 室 1(1F) 研 修 室 (1F) B 会 場 E 会 場 A 会 場 B 会 場 MOホール 会 議 室 1(1F) A 会 場 11 月 9 日 ( 木 ) 研 修 室 (1F) B 会 場 9:00 空 開 会 式 8Aa-1 8Ba-1 9:00 彰 式 小 倉 浩 一 合 森 田 清 三 9:15 受 賞 記 念 講 演 (1) 同 8Ba-2 9Aa-1 9Ba-1 9:15 ( 特 別 ) ッ 鈴 木 淳 板 倉 明 子 趙 福 来 ョ 9:30 渡 辺 文 夫 8Aa-2 8Ba-3 9Aa-2 9Ba-2 9:30 ン プ 安 江 常 夫 ラ 久 保 隆 薄 丸 山 淳 平 Liu Huarong 9:45 受 賞 記 念 講 演 (2) 8Aa-3 ズ 膜 8Ba-4 9Aa-3 9Ba-3 9:45 マ 垣 内 拓 大 山 田 哲 也 兼 松 秀 行 越 川 孝 範 10:00 城 範 ( 8Aa-4 8Ba-5 9Aa-4 9Ba-4 10:00 空 津 田 宗 幸 吉 森 晋 太 郎 Yuriy Pihosh ) 吉 川 潔 10:15 受 賞 記 念 講 演 (3) 8Aa-5 10:15 ( 特 別 ) 応 用 鷺 坂 圭 亮 10:30 佐 藤 陽 亮 9Aa-5 9Ba-5 10:30 稲 吉 さかえ 広 畑 優 子 10:45 8Aa-6 8Ba-6 9Aa-6 ナ 9Ba-6 10:45 合 ノ 同 平 塚 崇 人 道 園 一 郎 構 牧 田 欧 子 ッ 舟 窪 浩 造 11:00 7Aa-1 7Ba-1 8Aa-7 空 9Aa-7 9Ba-7 11:00 ( 特 別 ) ョ 吉 武 道 子 中 辻 寛 櫻 井 誠 西 脇 みちる 村 越 敬 ン ナ 11:15 7Ba-2 8Aa-8 8Ba-7 9Aa-8 9Ba-8 11:15 ( 特 別 ) 応 ノ ナ 用 ノ 吉 武 道 子 大 西 洋 構 加 藤 茂 樹 吉 田 肇 鷹 野 一 朗 造 構 11:30 7Aa-2 7Ba-3 8Aa-9 8Ba-8 9Aa-9 9Ba-9 11:30 造 ( 鈴 木 基 史 青 山 正 宏 吉 田 憲 司 大 石 也 斉 藤 直 昭 11:45 7Aa-3 8Aa-10 8Ba-9 11:45 山 本 浩 二 高 岡 毅 日 浅 健 田 中 信 夫 ( 特 別 ) ) 12:00 12:00 E 会 場 13:00 7Ap-1 7Bp-1 8Ap-1 8Bp-1 9Ap-1 9Bp-1 13:00 鳥 養 祐 二 川 端 克 昌 清 水 勝 松 原 秀 彰 13:15 多 々 良 源 高 柳 邦 夫 8Bp-2 9Ap-2 13:15 ( 特 別 ) ( 特 別 ) 中 島 大 樹 任 星 淳 13:30 7Ap-2 7Bp-2 8Ap-2 8Bp-3 9Ap-3 9Bp-2 13:30 合 薄 合 膜 企 企 同 平 井 孝 彦 業 同 渡 辺 文 夫 業 伊 藤 哲 蔵 シ 13:45 7Bp-3 展 シ 8Bp-4 展 酒 井 滋 樹 工 ン 石 橋 幸 治 ン 本 間 芳 和 9Bp-3 13:45 示 示 ( 特 別 ) ポ ポ 尾 崎 祐 輔 浦 野 俊 夫 Lee Chaechu 14:00 ス 7Ap-3 7Bp-4 超 8Ap-3 ピ 高 空 8Bp-5 9Ap-4 9Bp-4 14:00 ン 中 野 武 雄 園 部 宗 孝 電 ト 空 子 亀 田 直 人 濱 田 拓 郎 14:15 ロ 秋 永 広 幸 7Bp-5 越 川 孝 範 8Bp-6 材 9Ap-5 9Bp-5 14:15 ニ 料 ク 顕 和 田 薫 元 谷 卓 神 崎 祥 尚 14:30 ス 平 田 正 紘 微 薄 7Ap-4 8Ap-4 8Bp-7 の ( 特 別 ) 鏡 膜 14:30 の 城 範 最 14:45 川 越 毅 空 7Bp-6 前 小 池 和 幸 8Bp-8 9Ap-6 14:45 線 金 戸 成 楠 本 淑 郎 古 塚 毅 士 15:00 7Ap-5 7Bp-7 8Ap-5 8Bp-9 9Ap-7 15:00 田 村 芳 一 新 井 健 太 岡 村 健 太 郎 15:15 木 村 昭 夫 7Bp-8 尾 嶋 正 治 9Ap-8 15:15 秋 道 斉 佐 々 木 紀 和 15:30 9Ap-9 15:30 15:45 15:45 日 根 清 裕 16:00 16:00 ポスター7P ポスター8P 奇 数 番 奇 数 番 16:15 コアタイム コアタイム 16:15 16:30 16:30 16:45 16:45 17:00 17:00 ポスター7P ポスター8P 偶 数 番 偶 数 番 17:15 コアタイム コアタイム 17:15 17:30 17:30 17:45 17:45 18:00 18:00 18:15 18:15 合 同 懇 親 会 カフェテリア 匠 2F 講 演 会 会 場 より 徒 歩 1 分 20:15 20:15 ( 2 )

3 第 47 回 空 に 関 する 連 合 講 演 会 受 賞 記 念 講 演 シンポジウム 特 別 講 演 一 覧 発 番 号 講 演 題 目 講 演 者 ( 所 属 ) セッション 期 日 時 間 会 場 空 技 術 賞 極 空 用 残 留 ガス 分 析 計 の 開 発 渡 辺 文 夫 (( 有 ) 空 実 験 室 ) 受 賞 記 念 11 月 7 日 9:15~9:45 A 空 進 歩 賞 鏡 反 射 成 分 を 考 慮 したオリフィス 透 過 確 率 のモンテカルロシミュレー ション 城 範 ( 産 総 研 ) 受 賞 記 念 11 月 7 日 9:45~10:15 A 空 進 歩 賞 高 濃 度 オゾンガス 局 所 リアルタイム 濃 度 測 定 法 の 開 発 佐 藤 陽 亮 ( 産 総 研, 東 京 理 大 ) 受 賞 記 念 11 月 7 日 10:15~10:45 A 7Aa-1 金 属 微 小 接 合 形 成 と 機 能 性 賦 与 村 越 敬 ( 北 大 ) ナノ 構 造 11 月 7 日 11:00~11:30 A 7Ba-3 球 収 差 補 正 TEM/STEM 技 術 の 進 展 とそのナノ 解 析 への 応 用 田 中 信 夫 ( 名 大 ) 応 用 11 月 7 日 11:30~12:00 B 7Ap-1 磁 壁 の 電 流 駆 動 の 理 論 多 々 良 源 ( 首 都 大 東 京 ) 11 月 7 日 13:00~13:30 A 7Ap-2 7Ap-3 7Ap-4 カーボンナノチューブ 人 工 原 子 に おける 単 一 スピンの 発 生 と 制 御 カーボンナノチューブ 探 針 を 用 いた 高 分 解 能 磁 気 力 顕 微 鏡 スピン 偏 極 STM STS による 層 状 反 強 磁 性 Cr 薄 膜 の 磁 性 石 橋 幸 治 ( 理 研 ) 合 同 11 月 7 日 13:30~14:00 A シンポ ジウム1 秋 永 広 幸 ( 産 総 研 ) 11 月 7 日 14:00~14:30 A スピントロ ニクスの 川 越 毅 ( 大 阪 教 育 大 ) 11 月 7 日 14:30~15:00 A 7Ap-5 スピン 分 解 光 電 子 分 光 でみるナノ 磁 性 体 の 電 子 構 造 木 村 昭 夫 ( 広 大 ) 11 月 7 日 15:00~15:30 A 7Bp-1 MOCVD 法 による 強 誘 電 体 極 薄 膜 及 びナノ 構 造 の 作 製 と 物 性 評 価 清 水 勝 ( 兵 庫 県 立 大 ) 薄 膜 11 月 7 日 13:00~13:30 B ( 3 )

4 7Bp-5 空 技 術 関 連 規 格 の 現 状 と 動 向 平 田 正 紘 ( 産 総 研 ) 空 11 月 7 日 14:15~14:45 B 8Aa-1 複 素 ナノ 構 造 体 を 組 み 立 てる -AFM で 原 子 を 識 別 操 作 組 立 - 森 田 清 三 ( 阪 大 ) 11 月 8 日 9:00~9:30 A 8Ba-5 超 小 型 核 融 合 中 性 子 源 による 人 道 的 対 人 地 雷 探 知 技 術 開 発 研 究 の 現 状 吉 川 潔 ( 京 大 ) プラズマ 11 月 8 日 10:00~10:30 B 8Ba-6 自 然 超 格 子 構 造 を 用 いたサイズ 効 果 フリー 誘 電 体 キャパシタ 舟 窪 浩 ( 東 工 大 ) ナノ 構 造 11 月 8 日 10:45~11:15 B 8Ap-1 50 pm 分 解 能 物 質 解 析 電 子 顕 微 鏡 と 研 究 高 柳 邦 夫 ( 東 工 大 ) 11 月 8 日 13:00~13:30 A 合 同 8Ap-2 超 高 空 SEM を 用 いた 観 察 本 間 芳 和 ( 東 京 理 大 ) 11 月 8 日 13:30~14:00 A シンポ ジウム2 8Ap-3 LEEM/PEEM を 用 いた の 動 的 観 察 越 川 孝 範 ( 大 阪 電 通 大 ) 11 月 8 日 14:00~14:30 A 超 高 空 顕 微 鏡 の 8Ap-4 スピン 偏 極 走 査 電 子 顕 微 鏡 小 池 和 幸 ( 北 大 ) 最 前 線 11 月 8 日 14:30~15:00 A 8Ap-5 放 射 光 光 電 子 顕 微 鏡 を 用 いた 磁 性 ナノ 構 造 の 観 察 尾 嶋 正 治 ( 東 大 ) 11 月 8 日 15:00~15:30 A 9Ap-3 強 誘 電 体 FET の 最 近 の 発 展 :ゲー ト 材 料,プロセス, 自 己 整 合 ゲート 酒 井 滋 樹 ( 産 総 研 ) 電 子 材 料 薄 膜 11 月 9 日 13:30~14:00 A 9Bp-1 電 子 ビーム PVD 法 によるセラミック スコーティングとナノ 構 造 制 御 松 原 秀 彰 (JFCC, ファインセラミック スセンター) 工 11 月 9 日 13:00~13:30 B ( 4 )

5 プ ロ グ ラ ム 11 月 7 日 A 会 場 午 前 の 部 開 会 式 彰 式 受 賞 記 念 講 演 9:00~10:45 開 会 の 挨 拶 彰 式 受 賞 記 念 講 演 ( 空 技 術 賞 ) 極 空 用 残 留 ガス 分 析 計 の 開 発 (( 有 ) 空 実 験 室 ) 渡 辺 文 夫 受 賞 記 念 講 演 ( 空 進 歩 賞 ) 鏡 反 射 成 分 を 考 慮 したオリフィス 透 過 確 率 のモンテカルロシミュレーション ( 産 業 技 術 総 合 研 究 所 ) 城 範 受 賞 記 念 講 演 ( 空 進 歩 賞 ) 高 濃 度 オゾンガス 局 所 リアルタイム 濃 度 測 定 法 の 開 発 ( 産 業 技 術 総 合 研 究 所, 東 京 理 大 ) 佐 藤 陽 亮 ナノ 構 造 11:00~12:00 7Aa-1 特 別 講 演 金 属 微 小 接 合 形 成 と 機 能 性 賦 与 ( 北 大 ) 村 越 敬 7Aa-2 動 的 斜 め 蒸 着 法 による 高 密 度 金 ナノロッドアレイの 形 成 と 増 強 ラマン 散 乱 基 板 への 応 用 ( 京 大 院 工 JST 京 都 府 CREATE* 1 同 大 工 * 2 ) 鈴 木 基 史 和 田 吉 典 中 嶋 薫 木 村 健 二 福 岡 隆 夫 * 1 森 康 維 * 2 7Aa-3 Au(111) 上 に 堆 積 された Poly(3-hexylthiophene) 分 子 の STM 観 察 ( 愛 知 工 大 ) 山 本 浩 二 落 合 鎮 康 澤 五 郎 内 田 悦 行 小 嶋 憲 三 大 橋 朝 夫 水 谷 照 吉 B 会 場 午 前 の 部 応 用 11:00~12:00 7Ba-1 アルミナ 極 薄 膜 の 結 晶 性 による 仕 事 関 数 の 違 い ( 物 材 研 * 1 ) 吉 武 道 子 * 1 Song Weijie* 1 7Ba-2 基 板 -アルミナ 膜 界 のバンドアライメントに 対 するアルミナ 極 薄 膜 の 結 晶 性 の 影 響 ( 物 材 研 * 1 カレル 大 * 2 Sincrotrone Trieste* 3 ) 吉 武 道 子 * 1 W.Song* 1 V.Matolin* 2 J.Libra* 2 K.Masek* 2 F.Sutara* 2 K.C.Prince* 3 7Ba-3 特 別 講 演 球 収 差 補 正 TEM/STEM 技 術 の 進 展 とそのナノ 解 析 への 応 用 ( 名 大 ) 田 中 信 夫 A 会 場 午 後 の 部 合 同 シンポジウム1 スピントロニクスの 13:00~15:30 7Ap-1 磁 壁 の 電 流 駆 動 の 理 論 ( 首 都 大 東 京 ) 多 々 良 源 7Ap-2 カーボンナノチューブ 人 工 原 子 における 単 一 スピンの 発 生 と 制 御 ( 理 化 研 究 所 ) 石 橋 幸 治 7Ap-3 カーボンナノチューブ 探 針 を 用 いた 高 分 解 能 磁 気 力 顕 微 鏡 ( 産 業 技 術 総 合 研 究 所 ) 秋 永 広 幸 7Ap-4 スピン 偏 極 STM STS による 層 状 反 強 磁 性 Cr 薄 膜 の 磁 性 ( 大 阪 教 育 大 ) 川 越 毅 7Ap-5 スピン 分 解 光 電 子 分 光 でみるナノ 磁 性 体 の 電 子 構 造 ( 広 島 大 ) 木 村 昭 夫 B 会 場 午 後 の 部 薄 膜 13:00~14:15 7Bp-1 特 別 講 演 MOCVD 法 による 強 誘 電 体 極 薄 膜 及 びナノ 構 造 の 作 製 と 物 性 評 価 ( 兵 庫 県 立 大 ) 清 水 勝 7Bp-2 イオンビームアシスト 蒸 着 法 による HfO2 薄 膜 の 結 晶 配 向 制 御 ( 松 下 電 工 ( 株 ) 生 研 ) 平 井 孝 彦 北 村 啓 明 7Bp-3 Xerogel を 蒸 着 源 とした 空 蒸 着 法 による 酸 化 ニオブ 薄 膜 の 作 製 ( 高 松 高 専 ) 尾 崎 祐 輔 岡 野 寛 鹿 間 共 一 7Bp-4 金 属 窒 化 物 の 反 応 性 スパッタ 製 膜 における 空 環 境 の 影 響 ( 成 蹊 大 理 工 ) 中 野 武 雄 星 堅 一 郎 馬 場 茂 ( 5 )

6 空 14:15~15:30 7Bp-5 特 別 講 演 空 技 術 関 連 規 格 の 現 状 と 動 向 ( 産 総 研 ) 平 田 正 紘 7Bp-6 ポンプの 性 能 試 験 方 法 に 関 する 標 準 化 の 現 状 (( 株 ) 大 阪 空 機 器 製 作 所 ) 金 戸 成 7Bp-7 漏 れ 試 験 方 法 の 規 格 の 現 状 (キヤノンアネルバテクニクス( 株 )) 田 村 芳 一 7Bp-8 産 総 研 の 空 標 準 と 校 正 サービス ( 産 総 研 ) 秋 道 斉 平 田 正 紘 E 会 場 ポスターセッション 奇 数 番 コアタイム 15:45~16:45 偶 数 番 コアタイム 16:45~17:45 ( 発 番 号 右 肩 に* 印 のあるものは 優 秀 ポスター 審 査 対 象 ) 薄 膜 ナノ 構 造 電 子 材 料 プロセス 7P- 1 Performance of Organic Field Effect Transistor with Polycarbonate Dielectric Layer ( 愛 工 大 ) ZHANG QIANG 落 合 鎮 康 澤 五 郎 内 田 悦 行 大 橋 朝 夫 小 嶋 憲 三 水 谷 照 吉 7P- 2 オールプラスチック 有 機 電 界 効 果 トランジスタの 作 成 とその 性 能 評 価 ( 愛 知 工 大 ) 山 本 浩 二 落 合 鎮 康 澤 五 郎 内 田 悦 行 小 嶋 憲 三 大 橋 朝 夫 水 谷 照 吉 7P- 3 複 合 膜 で 作 成 したプリズム 結 合 導 波 路 の 光 双 安 定 特 性 の 複 合 膜 中 の Poly(3-hexylthiophene) 濃 度 効 果 ( 愛 知 工 大 ) 磯 貝 考 治 落 合 鎮 康 澤 五 郎 内 田 悦 行 小 嶋 憲 三 大 橋 朝 夫 水 谷 照 吉 7P- 4* PLD 法 を 用 いて 作 製 した 酸 化 物 透 明 導 電 膜 の 仕 事 関 数 ( 大 阪 産 大 工 * 1 奥 田 技 術 事 務 所 * 2 ( 株 )リガク* 3 ) 吉 田 和 夫 * 1 村 上 一 郎 * 1 安 倉 秀 明 * 1 青 木 孝 憲 * 1 鈴 木 晶 雄 * 1 松 下 辰 彦 * 1 奥 田 昌 宏 * 2 太 田 弘 道 * 3 7P- 5 Effect of Annealing on the Structure of Poly(3-hexylthiophene) Thin Films for OFET Applications ( 愛 工 大 ) Xin Wang 落 合 鎮 康 澤 五 郎 内 田 悦 行 大 橋 朝 夫 小 嶋 憲 三 水 谷 照 吉 7P- 6 発 取 消 7P- 7 溶 液 法 によるポリ(3-ヘキシルチオフェン) 薄 膜 の 配 向 制 御 ( 愛 工 大 ) 山 田 有 落 合 鎮 康 小 嶋 憲 三 大 橋 朝 夫 内 田 悦 行 水 谷 照 吉 7P- 8 DC リアクティブスパッタリング 法 による Al ドープ ZnO 薄 膜 の 基 板 バイアス 効 果 ( 電 通 大 ) 宇 佐 美 興 一 本 橋 弘 一 黒 川 雄 介 守 屋 雅 隆 水 柿 義 直 小 林 忠 行 7P- 9* ZnO 系 透 明 導 電 膜 上 に RF スパッタ 法 を 用 いて 堆 積 させた 金 属 薄 膜 の 特 性 ( 大 阪 産 大 工 * 1 奥 田 技 術 事 務 所 * 2 ( 株 )リガク* 3 ) 大 月 寛 之 * 1 安 倉 秀 明 * 1 青 木 孝 憲 * 1 鈴 木 晶 雄 * 1 松 下 辰 彦 * 1 奥 田 昌 宏 * 2 太 田 弘 道 * 3 7P-10* ArF エキシマレーザーを 用 いた PLD 法 で 成 膜 した ITO + AZO 積 層 透 明 導 電 膜 の 特 性 ( 大 阪 産 大 工 * 1 奥 田 技 術 事 務 所 * 2 ( 株 )リガク* 3 ) 東 村 佳 則 * 1 中 村 貴 * 1 奥 野 智 也 * 1 安 倉 秀 明 * 1 青 木 孝 憲 * 1 鈴 木 晶 雄 * 1 松 下 辰 彦 * 1 奥 田 昌 宏 * 2 太 田 弘 道 * 3 7P-11* PLD 法 により 作 製 した 酸 化 亜 鉛 系 透 明 導 電 膜 の 特 性 改 善 2 ( 大 阪 産 大 工 * 1 奥 田 技 術 事 務 所 * 2 ( 株 )リガク* 3 ) 高 瀬 康 則 * 1 安 倉 秀 明 * 1 青 木 孝 憲 * 1 鈴 木 晶 雄 * 1 松 下 辰 彦 * 1 奥 田 昌 宏 * 2 太 田 弘 道 * 3 7P-12* PLD 法 により 有 機 基 板 上 に 作 製 した AZO 透 明 導 電 膜 の 特 性 ( 大 阪 産 大 工 * 1 奥 田 技 術 事 務 所 * 2 ( 株 )リガク* 3 ) 中 村 篤 宏 * 1 安 倉 秀 明 * 1 青 木 孝 憲 * 1 鈴 木 晶 雄 * 1 松 下 辰 彦 * 1 奥 田 昌 宏 * 2 太 田 弘 道 * 3 7P-13* PLD 法 による GZO 透 明 導 電 膜 の 保 護 層 付 有 機 基 板 上 への 成 膜 ( 大 阪 産 大 工 * 1 奥 田 技 術 事 務 所 * 2 ( 株 )リガク* 3 ) 上 原 賢 二 * 1 室 中 正 太 * 1 道 畑 良 太 * 1 安 倉 秀 明 * 1 青 木 孝 憲 * 1 鈴 木 晶 雄 * 1 松 下 辰 彦 * 1 奥 田 昌 宏 * 2 太 田 弘 道 * 3 7P-14 階 段 状 構 造 を 有 する X 線 用 多 層 膜 レンズの 作 製 ( 産 総 研 * 1 関 西 医 大 * 2 SPring-8* 3 ) 田 村 繁 治 * 1 安 本 正 人 * 1 上 條 長 生 * 2 鈴 木 芳 生 * 3 竹 内 晃 久 * 3 上 杉 健 太 朗 * 3 寺 田 靖 子 * 3 7P-15* RF マグネトロンスパッタ 法 により 作 製 した Fe 系 酸 化 物 光 記 録 膜 の 光 記 録 特 性 ( 大 阪 産 大 工 * 1 奥 田 技 術 事 務 所 * 2 ) 三 代 一 * 1 青 木 孝 憲 * 1 鈴 木 晶 雄 * 1 松 下 辰 彦 * 1 奥 田 昌 宏 * 2 7P-16 スパッタ 法 による a-sic:h 薄 膜 の 微 結 晶 化 ( 宮 崎 大 * 1 高 松 工 専 * 2 静 岡 県 富 士 工 技 センタ* 3 ) 斎 藤 順 雄 * 1 藤 田 宏 * 1 岩 田 弘 * 2 仲 秋 勇 * 3 杉 山 治 * 3 7P-17* Investigation of photocatalytic property of TiO2 films prepared by RF magnetron sputtering on unheated substrates ( 物 材 研 材 料 信 頼 性 センター) Yuriy Pihosh 後 藤 宏 笠 原 章 土 佐 正 弘 7P-18 冷 陰 極 材 料 としての 窒 化 ハフニウム 薄 膜 の 評 価 ( 京 大 院 工 ) 神 澤 太 郎 瀬 戸 島 範 幸 後 藤 康 仁 辻 博 司 石 川 順 三 ( 6 )

7 7P-19 Ni-Cr 複 合 酸 化 物 薄 膜 のエレクトロクロミズム ( 宮 崎 大 * 1 高 松 工 専 * 2 静 岡 県 富 士 工 技 センタ* 3 ) 斎 藤 順 雄 * 1 野 村 典 史 * 1 吉 野 賢 二 * 1 岩 田 弘 * 2 仲 秋 勇 * 3 杉 山 治 * 3 7P-20* 発 取 消 7P-21* プラズマスパッタ 法 により 作 製 した Pt-C 複 合 薄 膜 の 電 極 触 媒 への 応 用 メタノール 酸 化 における CO 被 毒 耐 性 の 評 価 ( 大 阪 府 立 産 技 研 情 報 電 子 部 * 1 大 阪 府 立 産 技 研 機 械 金 属 部 * 2 ) 松 本 茂 生 * 1 西 村 崇 * 2 岡 本 昭 夫 * 1 7P-22* 高 分 子 フィルム 上 への 酸 化 クロム 薄 膜 ストレインゲージの 作 製 と 触 覚 センサへの 応 用 ( 大 阪 府 立 産 技 研 ) 筧 芳 治 佐 藤 和 郎 岡 本 昭 夫 松 永 崇 小 栗 泰 造 山 元 和 彦 日 下 忠 興 吉 竹 正 明 7P-23 硬 X 線 用 1 次 元 多 層 膜 フレネルゾーンプレートの 作 製 ( 産 総 研 * 1 関 西 医 大 * 2 JASRI* 3 ) 安 本 正 人 * 1 田 村 繁 治 * 1 上 條 長 生 * 2 竹 内 晃 久 * 3 上 杉 健 太 朗 * 3 鈴 木 芳 生 * 3 7P-24 誘 導 結 合 プラズマ 支 援 型 多 重 磁 極 マグネトロンスパッタ 法 における Cu 成 膜 中 の 基 板 電 流 特 性 ( 広 工 大 院 工 ) 村 岡 裕 紀 小 林 祐 司 小 埜 芳 和 川 畑 敬 志 7P-25* 反 応 性 スパッタ 法 による TaAl-N 薄 膜 における 高 TCR 化 への 検 討 (( 株 ) 岡 野 製 作 所 * 1 大 阪 府 立 産 技 研 * 2 ( 財 ) 大 阪 産 業 振 興 機 構 * 3 大 阪 市 立 大 * 4 ) 岡 野 夕 紀 子 * 1 田 尻 修 一 * 1 青 園 隆 司 * 1 岡 本 昭 夫 * 2 小 川 倉 一 * 3 美 馬 宏 司 * 4 7P-26* イオン 照 射 によって 改 善 された 酸 化 チタン 薄 膜 の 光 機 能 特 性 ( 工 院 大 ) 濱 口 純 一 鷹 野 一 朗 佐 藤 光 史 7P-27 Ar または Kr ガス 中 における 多 重 磁 極 型 高 周 波 マグネトロンスパッタ 法 による Fe 薄 膜 の 作 製 ( 広 工 大 ) 桑 原 豪 岩 瀬 一 毅 八 重 垣 周 平 上 田 康 夫 川 上 博 之 川 畑 敬 志 7P-28 M-I-M 型 薄 膜 電 子 エミッタの 作 製 とその 特 性 ( 阪 大 院 工 * 1 物 質 材 料 機 構 * 2 ) 小 久 保 勇 志 * 1 毎 田 修 * 1 寺 地 徳 之 * 2 伊 藤 利 道 * 1 7P-29* プロトン 伝 導 性 ベーマイト 電 解 質 膜 の 燃 料 電 池 への 応 用 ( 大 阪 工 大 工 ) 木 村 健 志 長 田 昭 義 7P-30 高 周 波 多 重 磁 極 スパッタ 法 による Ni ターゲット 上 の 磁 場 分 布 と 薄 膜 作 製 ( 広 島 工 大 工 電 子 光 システム 工 * 1 ) 岡 山 勇 太 * 1 村 岡 裕 紀 * 1 小 埜 芳 和 * 1 小 林 佑 司 * 1 川 畑 敬 志 * 1 7P-31 高 品 質 CVD ダイヤモンドにおけるショットキー 接 合 の 形 成 とその 応 用 ( 阪 大 院 工 ) 岩 鍜 治 陽 子 毎 田 修 伊 藤 利 道 7P-32 高 出 力 マイクロ 波 プラズマ CVD による 配 向 多 結 晶 ダイヤモンド 薄 膜 の 高 品 質 化 の 検 討 ( 阪 大 * 1 物 材 研 * 2 ) 長 谷 川 哲 視 * 1 野 呂 雅 和 * 1 毎 田 修 * 1 寺 地 徳 之 * 2 伊 藤 利 通 * 1 7P-33 石 英 管 型 低 出 力 MWPCVD 装 置 を 用 いた 高 電 力 密 度 化 によるボロンドープダイヤモンド 薄 膜 合 成 ( 阪 大 工 * 1 東 芝 松 下 ディスプレイテクノロジー* 2 ) 中 井 孝 洋 * 1 宮 武 秀 宇 * 1 有 馬 一 也 * 2 毎 田 修 * 1 伊 藤 利 道 * 1 7P-34 CVD ダイヤモンド 中 の 生 成 キャリアの 制 御 とその 紫 外 線 検 出 器 への 応 用 ( 阪 大 * 1 物 材 研 * 2 ) 山 元 貴 * 1 松 原 弘 * 1 毎 田 修 * 1 寺 地 徳 之 * 2 伊 藤 利 道 * 1 7P-35 高 品 質 ホモエピタキシャル CVD ダイヤモンド 成 長 における 基 板 研 磨 処 理 及 び ステップ 密 度 依 存 性 ( 阪 大 院 工 * 1 物 材 研 * 2 ) 宮 武 秀 宇 * 1 有 馬 和 也 * 1 寺 地 徳 之 * 2 伊 藤 利 道 * 1 7P-36 高 品 質 単 結 晶 CVD ダイヤモンド 薄 膜 を 用 いた 軟 X 線 および 紫 外 線 検 出 器 の 特 性 評 価 ( 阪 大 工 * 1 物 質 材 料 機 構 * 2 ) 松 原 弘 * 1 毎 田 修 * 1 寺 地 徳 之 * 2 伊 藤 利 道 * 1 7P-37* イオンビームアシスト 法 により 作 製 した DLC 薄 膜 における 基 板 温 度 の 影 響 ( 工 院 大 工 ) 足 立 宏 鷹 野 一 朗 7P-38 Ab-initio study on single-walled carbon nanotubes filled with Fe wire on metal surfaces ( 阪 大 ) Melanie David* 1 Tomoya Kishi* 1 Masanori Kisaku* 1 Hiroshi Nakanishi* 1 Hideaki Kasai* 1 7P-39* 配 向 カーボンナノチューブの 熱 電 界 電 子 放 出 特 性 ( 京 都 工 繊 大 * 1 ( 株 ) 太 陽 光 研 * 2 ) 大 前 敦 義 * 1 吉 岡 久 * 1 林 康 明 * 1 北 村 幸 三 * 2 九 十 九 清 彦 * 2 7P-40* カーボンナノチューブ 電 子 源 を 搭 載 した 小 型 走 査 電 子 顕 微 鏡 の 開 発 ( 産 総 研 ナノテク 1 日 大 理 工 2 テクネックス 工 房 ( 株 )3 北 大 電 子 研 4) 菅 洋 志 * 1 * 2 大 野 輝 昭 * 3 田 中 深 幸 * 1 西 岡 泰 城 * 2 徳 本 洋 志 * 4 清 水 哲 夫 * 1 7P-41* 配 向 カーボンナノチューブの 後 処 理 効 果 ( 京 都 工 繊 大 工 芸 研 究 ) 飯 高 大 介 林 康 明 7P-42 炭 素 化 した Si-FEA から 放 出 される 電 子 のエネルギー 分 析 ( 7 )

8 ( 技 術 振 興 機 構 研 究 成 果 活 用 プラザ 京 都 * 1 京 大 院 工 * 2 産 総 研 * 3 日 新 イオン 機 器 * 4 ) 竹 内 光 明 * 1 大 和 田 淳 * 2 小 島 俊 彦 * 2 後 藤 康 仁 * 2 長 尾 昌 善 * 3 辻 博 司 * 2 石 川 順 三 * 2 酒 井 滋 樹 * 4 木 本 恒 暢 * 2 7P-43 BN 微 粒 子 からの 電 界 放 射 特 性 ( 北 海 道 東 海 大 工 ) 吉 本 智 巳 岩 田 達 夫 7P-44* 単 原 子 電 子 源 の 走 査 型 電 子 顕 微 鏡 への 応 用 ( 早 大 材 研 * 1 JST さきがけ* 2 電 気 化 工 業 * 3 ホロン* 4 アプコ* 5 ) 裏 田 友 洋 * 1 趙 福 來 * 1 * 2 石 川 剛 * 1 六 田 英 治 * 1 野 々 垣 良 三 * 3 米 澤 彬 * 4 齋 藤 秀 一 * 5 大 島 忠 平 * 1 7P-45 水 素 ガス 導 入 下 における Si:C-FEA の 経 時 変 化 の 測 定 ( 京 大 院 工 * 1 JST* 2 産 総 研 * 3 日 新 イオン 機 器 * 4 ) 大 和 田 淳 * 1 小 島 俊 彦 * 1 竹 内 光 明 * 2 後 藤 康 仁 * 1 長 尾 昌 善 * 3 辻 博 司 * 1 石 川 順 三 * 1 酒 井 滋 樹 * 4 木 本 恒 暢 * 1 7P-46 水 素 プラズマ 照 射 により 形 成 した 粒 状 白 金 の 構 造 及 び 特 性 評 価 ( 阪 大 院 * 1 ) 鐘 ヶ 江 孝 祐 * 1 毎 田 修 * 1 伊 藤 利 道 * 1 7P-47 A comparative study on the interaction of platinum with group 4A (germanium, tin and lead) porphyrins ( 阪 大 工 応 用 物 理 専 攻 * 1 ) エべンシディ* 1 笠 井 秀 明 * 1 7P-48 ラマン 分 光 による 負 イオン 注 入 形 成 ゲルマニウムナノ 粒 子 の 評 価 ( 京 大 院 工 * 1 シャープ 基 盤 研 * 2 ) 洗 暢 俊 * 1 2 辻 博 司 * 1 箕 谷 崇 * 1 中 塚 博 之 * 1 小 嶋 研 史 * 1 足 立 浩 一 郎 * 2 小 瀧 浩 * 2 石 橋 豊 次 * 1 後 藤 康 仁 * 1 石 川 順 三 7P-49* In/Si(111) 相 転 移 の 解 析 ( 岡 山 理 大 総 合 情 報 * 1 岡 山 理 大 工 * 2 ) 矢 城 陽 一 朗 * 1 垣 谷 公 徳 * 2 加 地 博 子 * 2 吉 森 昭 夫 * 1 7P-50 DC マグネトロンスパッタを 用 いたナノスケール 基 板 上 の 結 晶 Si 薄 膜 の 室 温 形 成 ( 阪 大 院 工 * 1 ( 株 )デンソー* 2 ) 山 口 晴 央 * 1 和 泉 智 久 * 2 伊 藤 利 通 * 1 毎 田 修 * 1 7P-51 遷 移 金 属 酸 化 物 の 磁 性 状 態 と 電 気 伝 導 ( 阪 大 院 工 ) 南 谷 英 美 Melanie David 中 西 寛 笠 井 秀 明 7P-52* テープポルフィリンに 対 する 分 子 吸 着 効 果 ( 阪 大 院 工 ) 宮 本 敬 太 Eben Sy Dy 中 西 寛 笠 井 秀 明 7P-53* Density functional theory based investigation of electric and magnetic properties of benzene-transition metal multiple-decked sandwich chain ( 阪 大 院 工 ) M. M. Rahman R. Muhida H. Kasai 7P-54 磁 気 記 録 媒 体 用 薄 膜 の 加 熱 処 理 による 膜 構 造 変 化 ( 秋 田 県 産 総 研 究 センター) 有 明 順 原 田 紀 子 本 多 直 樹 7P-55 マイクロ 波 プラズマ CVD 法 による 円 錐 状 カーボンの 形 成 とその 電 界 電 子 放 出 特 性 ( 電 通 大 電 子 ) 松 本 裕 司 宇 佐 美 興 一 守 屋 雅 隆 水 柿 義 直 小 林 忠 行 湯 郷 成 美 7P-56* 7P-57* 酸 化 チタン 薄 膜 の 反 応 性 イオンエッチング(RIE)に 関 する 理 論 的 研 究 ( 阪 大 工 * 1 阪 大 ナノサイエンス ナノテクノロジー 研 究 推 進 機 構 * 2 ) 松 本 茂 野 * 1 Melanie Y. David* 1 Tanglaw A. Roman* 1 Rifki Muhida* 1 Wilson A. T. Diño* 2 笠 井 秀 明 * 1 低 エネルギーCF3 イオンビームによる SiO2 のエッチング 機 構 ( 阪 大 工 原 子 分 子 イオン 制 御 理 工 センター* 1 産 総 研 * 2 ) 滝 澤 敏 史 * 1 豊 島 隆 寛 * 1 木 内 正 人 * 2 吉 村 智 * 1 浜 口 智 志 * 1 7P-58 極 高 空 装 置 を 用 いた 微 細 孔 への Cu 埋 め 込 み ( 東 京 理 大 工 ) 中 野 弘 文 宇 原 祥 夫 今 村 睦 畑 山 慶 成 ジャンフォンイン 小 串 佳 己 斉 藤 茂 7P-59* Al2O3 微 粒 子 を 用 いた 光 閉 じ 込 め 構 造 を 有 する a-si 太 陽 電 池 の 作 製 ( 阪 大 院 工 * 1 阪 大 院 理 * 2 阪 大 産 研 * 3 ) 毎 田 修 * 1 小 林 克 稔 * 2 岡 藤 麻 子 * 2 小 林 光 * 3 7P- 60 c-bn 膜 の 硬 さ 特 性 と 工 具 応 用 ( 神 港 精 機 * 1 滋 賀 県 東 北 部 工 業 技 術 センター* 2 滋 賀 県 立 大 * 3 ) 野 間 正 男 小 松 永 治 * 1 所 敏 夫 * 2 大 西 宏 明 * 2 小 川 圭 二 * 3 中 川 平 三 郎 * 3 カフェテリア 匠 2F 合 同 懇 親 会 18:15~20:15 ( 8 )

9 11 月 8 日 A 会 場 午 前 の 部 (9:00~12:00) 合 同 セッション 9:00~12:00 8Aa-1 特 別 講 演 複 素 ナノ 構 造 体 を 組 み 立 てる-AFM で 原 子 を 識 別 操 作 組 立 - ( 阪 大 ) 森 田 清 三 杉 本 宜 昭 *1 大 藪 範 昭 *1 オスカル クスタンセ *1 *1 阿 部 之 8Aa-2 Cu/W(110)の PEEM コントラストの 被 覆 率 依 存 性 ( 大 阪 電 通 大 エレ 研 * 1 アリゾナ 州 立 大 * 2 ) 清 水 宏 * 1 中 口 明 彦 * 1 橋 本 道 廣 * 1 上 田 将 人 * 1 安 江 常 夫 * 1 E.Bauer* 2 越 川 孝 範 * 1 8Aa-3 電 子 電 子 イオンコインシデンス 分 光 装 置 の 開 発, 性 能 評 価,SiO2 / Si(111)のサイト 選 択 的 Si LVV オージェ 過 程 研 究 への 応 用 ( 総 研 大 物 質 構 造 * 1 産 総 研 * 2 群 馬 大 教 育 * 3 千 葉 大 工 * 4 物 構 研 * 5 JST/さきがけ* 6 ) 垣 内 拓 大 * 1 小 林 英 一 * 2 岡 田 直 之 * 3 小 山 田 健 * 3 奥 沢 誠 * 3 奥 平 幸 司 * 4 間 瀬 一 彦 * 1 * 5 * 6 8Aa-4 白 金 上 に 吸 着 した 酸 素 へのプロトン 移 動 ( 阪 大 工 ) 津 田 宗 幸 笠 井 秀 明 8Aa-5 電 子 衝 撃 脱 離 法 による MgO(001) 劈 開 へのメタノール 吸 着 の 観 察 ( 東 邦 大 理 ) 鷺 坂 圭 亮 高 木 祥 示 後 藤 哲 二 8Aa-6 NH 3 -MBE 法 を 用 いた GaN 成 長 における Ga の 触 媒 効 果 ( 早 大 理 工 *1 早 大 医 工 研 *2 ) 平 塚 崇 人 *1 吉 崎 忠 *1 川 原 塚 篤 *2 *2 堀 越 佳 治 8Aa-7 Co/N/Cu(001) の 電 子 状 態 ( 東 大 物 性 研 *1 東 大 理 *2 ) 中 辻 寛 *1 飯 盛 拓 嗣 *1 関 場 大 一 郎 *1 *1 土 肥 俊 介 *1 *1 *1 *1 *1 *2 *2 *2 *1 柳 生 数 馬 高 木 康 多 大 野 也 宮 岡 秀 治 山 田 正 理 雨 宮 健 太 松 村 大 樹 太 田 俊 明 小 森 文 夫 8Aa-8 ケルビンプローブ 顕 微 鏡 を 用 いた Pt/TiO 2 モデル 触 媒 の 電 荷 移 動 計 測 *1 *2 ( 神 戸 大 理 技 術 振 興 機 構 ) *1*2 *1 笹 原 亮 稗 圃 久 美 子 *1 大 西 洋 8Aa-9 フェムト 秒 時 間 分 解 STM で 覗 く GaNAs の 超 高 速 光 誘 起 キャリアダイナミクス *1 ( 筑 波 大 数 理 物 質 CREST-JST *2 21 世 紀 COE *3 ) *1*2*3 *1*2*3 *1*2*3 *1*2*3 青 山 正 宏 近 藤 博 行 寺 田 康 彦 武 内 修 重 川 秀 実 *1*2*3 8Aa-10 *1 Pt(997) における CO の 拡 散 ( 東 北 大 多 元 研 ) *1 *1 高 岡 毅 米 田 忠 弘 B 会 場 午 前 の 部 プラズマ 9:00~10:30 8Ba-1 超 短 パルスレーザー 生 成 プラズマからの 高 エネルギープロトン 発 生 と X 線 の 同 時 計 測 ( 原 子 力 機 構 * 1 京 大 化 研 * 2 ) 小 倉 浩 一 * 1 織 茂 聡 * 1 匂 坂 明 人 * 1 西 内 満 美 子 * 1 森 道 昭 * 1 中 村 衆 * 2 大 道 博 行 * 1 野 田 章 * 2 8Ba-2 水 晶 振 動 子 計 測 によるプラズマ 気 相 成 分 分 析 ( 産 総 研 計 測 フロンティア 研 究 部 門 ) 鈴 木 淳 黒 河 明 野 中 秀 彦 8Ba-3 Ar プラズマ 中 における 金 属 の 電 気 特 性 に 関 する 研 究 II ( 広 国 院 大 工 ) 久 保 隆 8Ba-4 炭 素 負 イオン 注 入 処 理 を 施 した 高 分 子 材 料 上 におけるタンパク 質 吸 着 性 の 評 価 ( 京 大 院 工 ) 山 田 哲 也 辻 博 司 服 部 光 高 ソムマニピヤヌット 8Ba-5 特 別 講 演 超 小 型 核 融 合 中 性 子 源 による 人 道 的 対 人 地 雷 探 知 技 術 開 発 研 究 の 現 状 ( 京 大 ) 吉 川 潔 ナノ 構 造 10:45~12:00 8Ba-6 特 別 講 演 自 然 超 格 子 構 造 を 用 いたサイズ 効 果 フリー 誘 電 体 キャパシタ ( 東 工 大 ) 舟 窪 浩 8Ba-7 1V/μ 以 下 の 低 閾 値 電 界 と 50A/cm 2 以 上 の 大 電 子 電 流 をもつ CNT エミッターの 研 究 ( 高 エネ 研 * 1 総 合 研 究 院 大 * 2 ( 株 ) 化 研 * 3 ) 加 藤 茂 樹 * 1 * 2 Liu Huarong* 2 野 口 恒 行 * 3 8Ba-8 化 気 相 成 長 法 による 金 属 微 小 針 先 端 へのカーボンナノチューブ 直 接 成 長 ( 三 重 大 院 * 1 名 大 院 * 2 ) 吉 田 憲 司 * 1 佐 藤 英 樹 * 1 畑 浩 一 * 1 齋 藤 弥 八 * 2 8Ba-9 アルコール 触 媒 化 気 相 成 長 法 によるカーボンナノチューブ 成 長 ( 三 重 大 院 工 * 1 名 古 屋 大 院 * 2 ) 日 浅 健 * 1 佐 藤 英 樹 * 1 畑 浩 一 * 1 梶 原 和 夫 * 1 斉 藤 弥 八 * 2 ( 9 )

10 A 会 場 午 後 の 部 合 同 シンポジウム2 超 高 空 顕 微 鏡 の 最 前 線 13:00~15:30 8Ap-1 50 pm 分 解 能 物 質 解 析 電 子 顕 微 鏡 と 研 究 ( 東 京 工 業 大 ) 高 柳 邦 夫 8Ap-2 超 高 空 SEM を 用 いた 観 察 ( 東 京 理 大 ) 本 間 芳 和 8Ap-3 LEEM/PEEM を 用 いた の 動 的 観 察 ( 大 阪 電 気 通 信 大 ) 越 川 孝 範 8Ap-4 スピン 偏 極 走 査 電 子 顕 微 鏡 ( 北 海 道 大 ) 小 池 和 幸 8Ap-5 放 射 光 光 電 子 顕 微 鏡 を 用 いた 磁 性 ナノ 構 造 の 観 察 ( 東 京 大 ) 尾 嶋 正 治 B 会 場 午 後 の 部 空 13:00~15:15 8Bp- 1 SS316 からのトリチウムの 脱 離 挙 動 ( 富 山 大 水 素 同 位 体 研 究 センター) 鳥 養 祐 二 直 江 昭 吾 赤 石 憲 也 渡 辺 国 昭 松 山 政 夫 8Bp- 2 チタン 材 料 に 溶 存 した 水 素 の 放 出 機 構 ( 山 口 大 工 * 1 三 愛 プラント 工 業 ( 株 )* 2 UBE 分 析 センター* 3 ) 中 島 大 樹 * 1 石 澤 克 修 * 1 * 2 田 中 和 彦 * 1 栗 巣 普 揮 * 1 山 本 節 夫 * 1 野 村 健 * 2 村 重 信 之 * 2 宗 山 悦 博 * 3 竹 田 将 利 * 3 8Bp- 3 有 機 性 汚 染 ガス 中 で 劣 化 しない BA 型 電 離 空 計 ( 有 限 会 社 空 実 験 室 ) 渡 辺 文 夫 8Bp- 4 X 線 を 発 生 しない 電 離 空 計 (II) ( 神 大 工 * 1 呉 高 専 * 2 ) 浦 野 俊 夫 * 1 金 持 徹 池 田 朋 大 * 1 山 口 俊 * 1 田 中 誠 * 2 8Bp- 5 カーボンナノチューブを 用 いたイオンゲージの 研 究 ( 名 工 大 院 * 1 産 総 研 * 2 ) 園 部 宗 孝 * 1 村 上 寛 * 2 山 下 司 中 井 仁 木 村 高 志 阿 部 宣 之 * 2 岩 田 敏 彰 * 2 市 川 洋 8Bp- 6 耐 放 射 線 磁 気 軸 受 形 複 合 分 子 ポンプの 開 発 ( 日 本 原 子 力 研 究 開 発 機 構 * 1 石 川 島 播 磨 重 工 業 ( 株 )* 2 ) 和 田 薫 猪 原 崇 井 口 昌 司 荻 原 徳 男 * 1 三 尾 圭 吾 * 2 中 山 浩 範 * 2 8Bp- 7 高 空 ポンプの 排 気 速 度 測 定 用 テストドーム 形 状 の 検 討 ( 産 総 研 ) 城 範 秋 道 斉 平 田 正 紘 8Bp- 8 パイプコンダクタンスの 対 称 性 について 吸 収 のあるパイプ (( 株 )アルバック) 楠 本 淑 郎 8Bp- 9 標 準 リークの 標 準 の 立 ち 上 げ ( 産 総 研 計 測 標 準 研 究 部 門 ) 新 井 健 太 吉 田 肇 秋 道 斉 平 田 正 紘 E 会 場 ポスターセッション 奇 数 番 コアタイム 15:45~16:45 偶 数 番 コアタイム 16:45~17:45 ( 発 番 号 右 肩 に* 印 のあるものは 優 秀 ポスター 審 査 対 象 ) 空 応 用 工 プラズマ 8P- 1 矩 形 導 管 の 管 内 平 均 自 由 工 程 ( 電 機 大 工 ) 松 田 七 美 男 8P- 2 B-A 空 計 のグリッド 内 のイオン 収 集 効 率 の 変 化 ( 産 総 研 ) 杉 沼 茂 実 平 田 正 紘 8P- 3 スピニングロータゲージ(SRG)のロータ 球 の 切 欠 の 影 響 について ( 産 総 研 ) 小 松 栄 一 秋 道 斉 平 田 正 紘 8P- 4* 微 小 電 気 機 械 システム(MEMS)ピラニ- 空 計 (( 株 )アルバック) 村 田 奉 之 田 中 愛 堀 内 俊 奥 野 亨 吉 良 敦 史 前 平 謙 山 室 和 弘 高 橋 直 樹 不 破 耕 8P- 5 ベローズバルブの 遮 断 時 に 発 生 する 圧 力 差 ( 産 総 研 計 測 標 準 ) 富 田 琢 也 秋 道 斉 平 田 正 紘 8P- 6* モンテカルロ 法 を 用 いた 非 定 常 分 子 流 の 解 析 ( 函 館 高 専 ) 十 文 字 孝 太 祐 延 悟 8P- 7 蓋 を 設 けたねじ 溝 式 空 ポンプの 排 気 特 性 ( 鶴 岡 高 専 * 1 放 送 大 秋 田 習 センター* 2 秋 田 大 * 3 ) 矢 吹 益 久 * 1 澤 田 雅 * 2 杉 山 渉 * 3 8P- 8* JIS4 種 純 チタンのガス 放 出 特 性 ( 山 口 大 工 * 1 三 愛 プラント 工 業 ( 株 )* 2 新 光 産 業 ( 株 )* 3 ) 田 中 和 彦 * 1 石 澤 克 修 * 1 2 中 島 大 樹 * 1 栗 巣 普 揮 * 1 山 本 節 夫 * 1 部 坂 正 樹 * 3 8P- 9 ステンレス 上 の 純 クロム 酸 化 膜 作 製 とその 応 用 (Pohang Univ. of Sci. & Technol. 韓 国 ) 趙 福 来 Taekyun Ha Sukmin Chung 8P-10 空 中 における 竹 炭 のガス 吸 着 効 果 ( 広 工 大 院 工 ) 烏 帽 子 良 川 畑 敬 志 8P-11 陽 極 酸 化 アルミニウム 材 の 摩 擦 係 数 に 及 ぼす ナノ 粗 さの 影 響 ( 物 材 研 ) 笠 原 章 後 藤 宏 Yuriy Pihosh 土 佐 正 弘 8P-12 空 ギャップのスパークコンディショニング 処 理 過 程 で 生 じるパルス 状 電 流 の 観 測 ( 埼 玉 大 院 理 工 * 1 高 エネ 研 * 2 ) 川 田 将 司 * 1 山 納 康 * 1 小 林 信 一 * 1 齋 藤 芳 男 * 2 ( 10 )

11 8P-13 陽 極 材 料 が 無 酸 素 銅 陰 極 の 電 界 電 子 放 出 特 性 に 与 える 影 響 と 陰 極 の 分 析 ( 埼 玉 大 院 理 工 * 1 高 エネ 研 * 2 ) 中 川 太 * 1 山 納 康 * 1 小 林 信 一 * 1 齋 藤 芳 男 * 2 8P-14* The role of vacancies on hydrogen diffusion on platinum ( 阪 大 工 ) Tanglaw Roman 中 西 寛 笠 井 秀 明 8P-15* PdAg(111) における 水 素 原 子 の 振 る 舞 い ( 阪 大 院 工 ) 尾 澤 伸 樹 Tanglaw Abat Roman 中 西 寛 笠 井 秀 明 8P-16 軌 道 上 暴 露 試 験 による 固 体 潤 滑 材 被 膜 の 材 料 特 性 変 化 ( 物 材 研 * 1 宇 宙 航 空 研 究 開 発 機 構 * 2 ) 土 佐 正 弘 * 1 笠 原 章 * 1 後 藤 宏 * 1 Yuriy Pihosh* 1 太 田 悟 志 * 1 木 村 隆 * 1 福 島 整 * 1 井 上 利 彦 * 2 宮 崎 英 治 * 2 今 川 吉 郎 * 2 8P-17 パルス 放 射 光 とコンパクト CMA を 用 いたイオンの 質 量 と 運 動 エネルギー 分 析 ( 物 構 研 * 1 千 葉 大 工 * 2 JST/さきがけ* 3 ) 小 林 英 一 * 1 奥 平 幸 司 * 2 間 瀬 一 彦 * 1 * 3 8P-18 電 子 線 損 傷 を 与 えたイオン 結 晶 での 高 速 陽 子 の 散 乱 ( 大 阪 教 育 大 物 理 ) 深 澤 優 子 光 原 圭 越 智 健 太 松 本 雄 吾 塩 見 祐 樹 鈴 木 康 文 8P-19* ICF114 マウント 型 電 子 イオンコインシデンス 分 光 装 置 の 開 発 と 性 能 評 価 ( 総 研 大 物 質 構 造 * 1 産 総 研 * 2 千 葉 大 工 * 3 物 構 研 * 4 JST/さきがけ* 5 ) 垣 内 拓 大 * 1 小 林 英 一 * 2 奥 平 幸 司 * 3 間 瀬 一 彦 * 1 * 4 * 5 8P-20* 卓 上 サイズのイオン 付 着 飛 行 時 間 質 量 分 析 装 置 (IA-TOF)による 発 生 ガスのリアルタイム 全 質 量 範 囲 高 分 解 能 計 測 ( 産 総 研 計 測 フロンティア* 1 東 理 大 理 工 * 2 キヤノンアネルバテクニクス* 3 明 星 大 ) 南 條 純 一 * 1 * 2 齋 藤 直 昭 * 1 種 田 康 之 * 3 塩 川 善 郎 * 3 谷 本 充 司 * 4 8P-21 光 電 子 顕 微 鏡 による 絶 対 仕 事 関 数 マッピング ( 大 阪 電 通 大 エレ 研 ) 越 川 孝 範 安 江 常 夫 8P-22 LEEM による In/Si(111) 上 での Ag 成 長 過 程 ( 大 阪 電 通 大 エレ 研 ) 上 田 将 人 橋 本 道 廣 鈴 木 雅 彦 安 江 常 夫 越 川 孝 範 8P-23 反 射 分 光 による Si(001) 初 期 酸 化 過 程 における 活 性 化 エネルギーの 考 察 ( 横 浜 国 大 工 ) 滝 澤 純 一 小 泉 順 也 小 林 昭 宏 三 戸 部 史 岳 藻 川 芳 晴 大 野 也 首 藤 健 一 田 中 正 俊 8P-24 Bi ナノワイヤ 形 成 Si(100) への CuPc 吸 着 に 関 する STM 研 究 ( 九 州 工 大 工 * 1 宇 部 高 専 * 2 九 州 共 立 大 工 * 3 ) 上 代 祐 藏 * 1 吉 岩 由 人 * 1 頭 島 周 * 1 塗 木 貴 彦 * 1 中 村 慎 太 郎 * 1 碇 智 徳 * 2 内 藤 正 路 * 1 西 垣 敏 * 1 生 地 文 也 * 3 8P-25 シリコン 酸 化 膜 の 構 造 遷 移 層 の 密 度 分 布 解 析 ( 産 総 研 ) 黒 河 明 尾 高 憲 二 藤 本 俊 幸 東 康 史 8P-26 シリコン 熱 酸 化 膜 のフッ 酸 エッチによる 構 造 遷 移 層 の 解 析 ( 産 総 研 ) 黒 河 明 尾 高 憲 二 一 村 信 吾 8P-27 Ti 蒸 着 した Si(111),(001) の 高 温 における 構 造 観 察 ( 横 浜 国 大 工 ) 飯 田 貴 則 小 間 大 弘 寅 丸 雅 光 佐 藤 和 成 首 藤 健 一 大 野 也 田 中 正 俊 8P-28* TDS,XPS,IR を 用 いた 水 素 終 端 シリコン のオゾン 酸 化 に 伴 う 結 合 状 態 変 化 の 解 析 ( 産 総 研 * 1 東 京 理 大 * 2 ) 藤 原 哲 之 * 2 黒 河 明 * 1 山 本 和 弘 * 1 東 康 史 * 1 一 村 信 吾 * 1 二 瓶 好 正 * 2 8P-29* SiO2 薄 膜 の 電 子 線 照 射 支 援 スパッタリングのリソグラフィへの 応 用 ( 物 材 研 ) 大 西 桂 子 藤 田 大 介 8P-30 水 素 終 端 6H-SiC(0001)3 3 への CuPc 吸 着 に 関 する STM 研 究 ( 九 州 工 大 工 * 1 宇 部 高 専 * 2 九 州 共 立 大 工 * 3 ) 安 冨 一 裕 * 1 田 中 圭 介 * 1 碇 智 徳 * 2 内 藤 正 路 * 1 遠 山 尚 武 * 1 西 垣 敏 * 1 生 地 文 也 * 3 8P-31 SiC 分 解 法 での CNT 配 向 膜 形 成 に 関 する 研 究 ( 九 州 工 大 工 * 1 九 州 共 立 大 工 * 2 ( 財 )ファインセラミックスセンター* 3 ) 上 田 大 志 * 1 米 久 保 喜 彦 * 1 山 内 貴 志 * 1 内 藤 正 路 * 1 遠 山 尚 武 * 1 西 垣 敏 * 1 生 地 文 也 * 2 楠 美 智 子 * 3 8P-32 酸 化 物 超 伝 導 体 Bi2Sr2CaCu2O8 の 仕 事 関 数 への 偏 極 スピン 電 子 注 入 の 影 響 ( 東 京 理 大 工 ) 小 串 佳 己 中 野 弘 文 会 田 広 明 高 優 一 浅 海 宏 漆 戸 優 川 原 太 志 武 田 昌 樹 宇 原 祥 夫 斉 藤 茂 宗 村 哲 雄 喜 岡 俊 英 8P-33* 銀 単 結 晶 上 のクリプトンの 吸 着 と 脱 離 のヒステリシス ( 習 院 大 理 ) 浜 田 望 本 修 一 三 浦 崇 荒 川 一 郎 8P-34* 金 属 に 吸 着 した 水 素 原 子 の 局 所 的 な 拡 散 ( 理 研 * 1 東 大 新 領 域 * 2 ) 片 野 諭 * 1 金 有 洙 * 1 川 合 紀 * 1 * 2 8P-35 グルタル 酸 及 び 無 水 グルタル 酸 の Cu(110) での 吸 着 構 造 ( 物 材 機 構 半 導 体 材 料 センター) 柳 生 進 二 郎 吉 武 道 子 知 京 豊 裕 ( 11 )

12 8P-36* Potential energy surface (PES) for hydrogen production from water using Cyanocobaltate Complexes- Density functional theory calculations - (Dept. Precision Sci. & Technol. & Appl. Phys. Osaka Univ.* 1 Center for the Promotion of Research on Nanoscience and Nanotechnology Osaka Univ. * 2 Dept. Mechatronics Eng. International Islamic Univ. Malaysia * 3 ) Rifki Muhida* 1 Md. Mahmudur Rahman* 1 Wilson A. Diño* 2 Riza Muhida* 3 Hiroshi Nakanishi* 1 Hideaki Kasai * 1 8P-37* AES の 絶 対 計 側 :CMA の 透 過 特 性 とエネルギー 計 側 ( 名 工 大 * 1 大 阪 工 大 * 2 産 総 研 ( 中 部 )* 3 ) アデルアルカフリ* 1 市 川 洋 * 1 志 水 隆 一 * 2 後 藤 敬 典 * 3 8P-38 液 中 における 分 子 マイクロジェットを 用 いたガラス 材 料 へのペリレン 分 子 の 注 入 ( 物 材 機 構 材 料 信 頼 性 センター) 後 藤 宏 Yuriy Pihosh 笠 原 章 土 佐 正 弘 8P-39 プラズマベースイオン 注 入 法 を 用 いて Si 中 に 注 入 した 窒 素 イオン 分 布 の HRBS と SIMS の 比 較 ( 広 島 工 大 ) 田 中 武 髙 木 俊 宣 8P-40 Si(001) 上 におけるチタン 初 期 成 長 過 程 の 分 光 的 研 究 ( 横 国 大 工 ) 九 鬼 隆 良 小 泉 順 也 脇 田 創 滝 澤 純 一 大 野 也 首 藤 健 一 田 中 正 俊 8P-41* 電 子 ビーム 照 射 下 における 単 層 カーボンナノチューブのダイナミクス 解 析 ( 大 阪 府 立 大 院 工 * 1 阪 大 FRC* 2 ) 多 田 和 広 * 1 安 田 雅 昭 * 1 木 元 慶 久 * 1 森 英 喜 * 1 秋 田 成 司 * 1 中 山 喜 萬 * 1 * 2 平 井 義 彦 * 1 8P-42 水 電 極 誘 電 体 バリア 放 電 の 生 成 と 評 価 ( 京 大 工 * 1 京 大 IIC* 2 ) 木 村 優 * 1 白 藤 立 * 2 橘 邦 英 * 1 8P-43* 単 層 カーボンナノチューブを 含 む 微 粒 子 のプラズマ CVD 法 による 気 相 合 成 ( 京 都 工 繊 大 ) 今 里 直 樹 林 康 明 8P-44* プラズマ 中 微 粒 子 の 運 動 に 関 する 画 像 解 析 ( 京 都 工 繊 大 ) 柳 宗 一 郎 8P-45* 炭 素 負 イオン 注 入 改 質 したポリスチレン 上 での 培 養 神 経 細 胞 のパターン 接 着 における 最 小 改 質 処 理 サイズ ( 京 大 工 ) 辻 博 司 ピヤニュチソムマニ 服 部 光 高 山 田 哲 也 佐 藤 弘 子 後 藤 康 仁 石 川 順 三 8P-46* Observation of Surface Modification of Silicone Rubber for Mesenchymal Stem Cell Attachment by Carbon Negative Ion Implantation (Dept. Elec. Sci. Eng. Kyoto Univ.) P. Sommani H. Tsuji M. Hattori T. Yamada H. Kojima H. Sato Y. Gotoh J. Ishikawa 8P-47* ゲルマニウム 負 イオン 注 入 したシリコン 酸 化 膜 のカソードルミネッセンス ( 京 大 工 * 1 シャープ 基 盤 研 * 2 ) 辻 博 司 * 1 洗 暢 俊 * 1 中 塚 博 之 * 1 箕 谷 崇 * 1 小 嶋 研 史 * 1 石 橋 豊 次 * 1 足 立 浩 一 郎 * 2 小 瀧 浩 * 2 後 藤 康 仁 * 1 石 川 順 三 * 1 8P-48* シリコン 熱 酸 化 膜 に 負 イオン 注 入 したゲルマニウムの XPS による 酸 化 状 態 評 価 ( 京 大 院 工 * 1 シャープ( 株 )* 2 ) 小 嶋 研 史 * 1 辻 博 司 * 1 洗 暢 俊 * 1 * 2 中 塚 博 之 * 1 箕 谷 崇 * 1 奥 峰 徹 也 * 2 足 立 浩 一 郎 * 2 小 滝 浩 * 2 後 藤 康 仁 * 1 石 川 順 三 * 1 8P-49* パルス 変 調 波 酸 素 プラズマの 生 成 とその 特 性 ( 東 洋 大 工 ) 尾 坂 拓 郎 岡 本 幸 雄 8P-50 電 子 遷 移 誘 起 脱 離 研 究 の 先 駆 者, 石 川 義 興 博 士 および 太 田 芳 雄 博 士 の 業 績 紹 介 (KEK 物 構 研 * 1 JST/さきがけ* 2 ブルックヘブン 国 立 研 * 3 ) 間 瀬 一 彦 * 1 * 2 南 部 英 * 3 8P-51* 空 用 フランジと 配 管 類 に 関 する 国 際 国 内 規 格 の 相 関 (( 株 )バックスエスイーブイ* 1 キヤノンアネルバテクニクス( 株 )* 2 産 総 研 * 3 ) 黒 河 内 智 * 1 菊 地 俊 雄 * 2 秋 道 斉 * 3 平 田 正 紘 * 3 8P-52* Ti,Zr 添 加 した DLC 薄 膜 のトライボロジー 特 性 に 与 える 雰 囲 気 ガス 種 の 影 響 ( 理 研 * 1 工 院 大 工 * 2 ) 佐 々 木 ミチコ* 1 鷹 野 一 朗 * 2 岩 木 正 哉 * 1 8P-53* Secondary Electron Emission and Surface Charging of Dielectric Materials (Saitama Univ.* 1 High Energy Research Organization (KEK)* 2 ) Suharyanto* 1 S. Michizono* 2 Y. Saito* 2 Y. Yamano* 1 S. Kobayashi* 1 8P-54 ポリプロピレン 上 への DLC 薄 膜 の 形 成 ( 大 阪 府 立 産 技 研 * 1 日 本 ポリプロ( 株 )* 2 ) 松 永 崇 * 1 岡 本 昭 夫 * 1 残 華 幸 仁 * 2 木 村 茂 人 * 2 8P- 55* Mg 合 金 における 水 素 吸 蔵 メカニズムに 関 する 第 一 原 理 計 算 ( 阪 大 院 工 ) 花 房 浩 ( 12 )

13 11 月 9 日 A 会 場 午 前 の 部 薄 膜 9:15~10:15 9Aa- 1 カンチレバーセンサーを 利 用 した 薄 膜 ヤング 率 測 定 法 ( 物 材 機 構 * 1 JST* 2 阪 大 工 * 3 マックスプランク 高 分 子 研 * 4 ) 板 倉 明 子 * 1 * 2 五 十 嵐 慎 一 * 2 戸 田 雅 也 * 3 * 4 R.Berger* 4 9Aa- 2 イオンプレーティング 法 による Ag 合 金 薄 膜 の 成 膜 条 件 と 反 射 率, 耐 環 境 性 の 関 係 ( 新 明 和 工 業 ( 株 )) 丸 山 淳 平 小 泉 康 浩 米 山 信 夫 武 内 清 9Aa- 3 空 成 膜 技 術 とめっき 熱 処 理 を 組 み 合 わせた 抗 菌 性 Sn-Ag 薄 膜 の 作 製 ( 鈴 鹿 高 専 * 1 物 質 材 料 研 究 機 構 * 2 ) 兼 松 秀 行 * 1 生 貝 初 * 1 吉 武 道 子 * 2 9Aa- 4 チタン 合 金 製 スパッタ 装 置 で 作 製 した ZnO 薄 膜 発 光 に 対 する 残 留 ガスの 影 響 ( 山 口 大 工 * 1 三 愛 プラント 工 業 ( 株 )* 2 新 光 産 業 ( 株 )* 3 ) 吉 森 晋 太 郎 * 1 栗 巣 普 揮 * 1 石 澤 克 修 * 1 2 山 本 節 夫 * 1 部 坂 正 樹 * 3 空 10:30~11:45 9Aa- 5 マイクロアーク 酸 化 処 理 をしたアルミニウム 合 金 のガス 放 出 特 性 (アルバック 筑 波 超 材 研 ) 稲 吉 さかえ 石 榑 文 昭 9Aa- 6 TiN 薄 膜 をコーティングしたアルミナ 高 周 波 窓 の 帯 電 ( 高 エネ 研 * 1 埼 玉 大 院 * 2 ) 道 園 一 郎 * 1 薺 藤 芳 男 * 1 Suharyanto* 2 小 林 信 一 * 2 9Aa- 7 ナノプロセス 用 電 子 ビーム 多 価 イオン 源 の 開 発 Ⅱ ( 神 大 理 * 1 核 融 合 研 * 2 電 通 大 * 3 情 報 通 信 研 究 機 構 * 4 ) 櫻 井 誠 * 1 川 瀬 悠 司 * 1 三 森 恵 太 * 1 坂 上 裕 之 * 2 渡 辺 裕 文 * 3 中 村 信 行 * 3 大 谷 俊 介 * 3 照 井 通 文 * 4 益 子 信 郎 * 4 9Aa- 8 二 段 式 流 量 分 配 法 を 用 いた 安 定 な 超 高 空 圧 力 場 の 発 生 ( 産 総 研 圧 力 空 標 準 研 究 室 ) 吉 田 肇 新 井 健 二 秋 道 斉 平 田 正 紘 9Aa- 9 放 射 線 による 圧 力 測 定 異 常 の 実 験 的 研 究 (( 財 ) 高 輝 度 光 研 究 センター) 大 石 也 小 路 正 純 谷 内 友 希 子 高 野 史 郎 早 乙 女 光 一 大 熊 春 夫 B 会 場 午 前 の 部 応 用 ナノ 構 造 9:15~10:15 9Ba- 1 極 高 空 電 界 電 子 顕 微 鏡 の 作 製 とテスト ( 早 稲 田 大 各 務 記 念 材 料 技 術 研 ) 趙 福 来 板 垣 考 洋 裏 田 友 洋 石 川 剛 六 田 英 治 大 島 忠 平 9Ba- 2 CNT エミッターの 電 子 放 出 安 定 性 に 対 する RuO2 担 持 の 影 響 ( 総 研 大 * 1 ( 株 ) 化 研 * 2 高 エネ 研 * 3 ) Liu Huarong* 1 野 口 恒 行 * 2 加 藤 茂 樹 * 1 * 3 9Ba- 3 SR-XPEEM における 焦 点 位 置 変 調 球 収 差 補 正 ( 大 阪 電 通 大 * 1 ELETTRA* 2 アリゾナ 州 立 大 * 3 ) 越 川 孝 範 * 1 中 口 明 彦 * 1 橋 本 道 廣 * 1 生 田 孝 * 1 安 江 常 夫 * 1 A.Locatelli* 2 T.O.Mentes* 2 E.Bauer* 3 9Ba- 4 Laser molecular implantation through water layer ( 物 材 研 材 料 信 頼 性 センター) Yuriy Pihosh 後 藤 宏 笠 原 章 土 佐 正 弘 応 用 ナノ 構 造 10:30~11:45 9Ba- 5 JT-60U プラズマ 実 験 装 置 内 における 炭 素 の 損 耗 / 再 堆 積 と 水 素 同 位 体 の 蓄 積 ( 北 大 工 * 1 九 大 総 理 工 * 2 静 岡 大 理 * 3 名 大 工 * 4 JAEA* 5 アドバンテストテク* 6 ) 広 畑 優 子 * 1 田 辺 哲 朗 * 2 大 矢 恭 久 * 3 柴 原 孝 宏 * 4 杉 山 一 慶 * 2 小 柳 津 誠 * 3 吉 河 朗 * 3 吉 田 雅 史 * 2 新 井 貴 * 5 正 木 圭 * 5 後 藤 純 孝 * 6 奥 野 健 二 * 3 宮 直 之 * ( 13 )

14 9Ba- 6 MgO(001) 劈 開 への 水 曝 露 による 水 酸 化 の 観 察 ( 東 邦 大 理 ) 牧 田 欧 子 髙 木 祥 示 後 藤 哲 二 Arboleda Nelson Jr. Buntimil 中 西 寛 笠 井 秀 明 9Ba- 7 グラファイト 化 された 銅 における 電 子 衝 撃 脱 離 ( 高 エネ 研 * 1 総 合 研 究 院 大 * 2 ) 西 脇 みちる* 1 加 藤 茂 樹 * 1 * 2 9Ba- 8 エチレンガス 中 の 窒 素 イオン 照 射 により 作 製 した 炭 素 薄 膜 の 機 械 的 特 性 ( 工 院 大 工 ) 鷹 野 一 朗 高 倉 英 輔 森 紀 暁 宮 本 章 雄 原 田 絋 平 9Ba- 9 イオン 付 着 飛 行 時 間 質 量 分 析 法 (IA-TOF)の 開 発 ( 産 総 研 計 測 フロンティア* 1 東 理 大 理 工 * 2 キヤノンアネルバテクニクス* 3 明 星 大 理 工 * 4 ) 齋 藤 直 昭 * 1 南 條 純 一 * 1 2 種 田 康 之 * 3 塩 川 善 郎 * 3 谷 本 充 司 * 4 A 会 場 午 後 の 部 電 子 材 料 薄 膜 13:00~14:30 9Ap- 1 シリコンウェハ 研 磨 パッドの 性 状 と 動 的 特 性 (ニッタ ハース( 株 ) 技 術 開 発 本 部 ) 川 端 克 昌 繁 田 好 胤 玉 川 智 史 木 下 正 治 9Ap- 2 水 素 処 理 による SiC の 平 滑 化 と SiO2/SiC 構 造 の 特 性 向 上 ( 阪 大 産 研 技 振 戦 略 ) 任 星 淳 高 橋 昌 男 小 林 光 9Ap- 3 特 別 講 演 強 誘 電 体 FET の 最 近 の 発 展 :ゲート 材 料,プロセス, 自 己 整 合 ゲート ( 産 総 研 ) 酒 井 滋 樹 9Ap- 4 UV 光 励 起 オゾンを 用 いたポリシリコンの 低 温 酸 化 ( 産 総 研 * 1 ) 亀 田 直 人 西 口 哲 也 森 川 良 樹 花 倉 満 野 中 秀 彦 * 1 一 村 信 吾 * 1 9Ap- 5 異 なる 蒸 発 温 度 で KBr 基 板 上 に 作 成 されたバナジルフタロシアニンナノ 結 晶 の 配 向 と 形 態 ( 愛 知 工 大 ) 元 谷 卓 落 合 鎮 康 澤 五 郎 内 田 悦 行 大 橋 朝 夫 小 嶋 憲 三 水 谷 照 吉 電 子 材 料 薄 膜 14:45~15:45 9Ap- 6 シートプラズマ 装 置 の 開 発 およびその 応 用 ( 新 明 和 工 業 ( 株 )) 古 塚 毅 士 村 下 善 朗 岡 田 基 山 川 健 司 笹 川 孝 市 武 内 清 9Ap- 7 ヘリコンプラズマスパッタリング 法 で 作 製 した SDC 電 解 質 薄 膜 を 用 いた 中 温 域 作 動 SOFC の 特 性 評 価 ( 大 阪 工 大 工 ) 岡 村 健 太 郎 佐 々 木 紀 和 木 村 健 志 長 田 昭 義 9Ap- 8 RF スパッタリング 法 を 用 いて 作 製 した 薄 膜 固 体 酸 化 物 型 燃 料 電 池 のスタック 特 性 ( 大 阪 工 大 工 ) 佐 々 木 紀 和 岡 村 健 太 郎 木 村 健 志 長 田 昭 義 9Ap- 9 低 エネルギーイオンビーム 照 射 装 置 を 用 いた 希 ガスイオンによる 金 のスパッタ 率 の 精 密 測 定 ( 阪 大 工 * 1 産 総 研 * 2 ) 日 根 清 裕 * 1 吉 村 智 * 1 木 内 正 人 * 1 * 2 浜 口 智 志 * 1 B 会 場 午 後 の 部 工 13:00~14:30 9Bp- 1 特 別 講 演 電 子 ビーム PVD 法 によるセラミックスコーティングとナノ 構 造 制 御 (JFCC, ファインセラミックスセンター) 松 原 秀 彰 9Bp- 2 金 属 アルミニウム 薄 膜 の 酸 素 プラズマ 照 射 による 酸 化 (キヤノン( 株 )) 伊 藤 哲 蔵 大 谷 実 9Bp- 3 反 応 性 プラズマ 溶 射 法 による 窒 化 アルミニウム 皮 膜 の 作 製 と 特 性 評 価 ( 豊 橋 技 大 * 1 東 ソー( 株 )* 2 ) Lee Chaechul* 1 山 田 基 宏 * 1 安 井 利 明 * 1 福 本 昌 宏 * 1 高 橋 小 弥 太 * 2 9Bp- 4 9Bp- 5 減 圧 プラズマ 溶 射 法 による TiB2 分 散 Fe-Cr 複 合 皮 膜 の 作 製 とその 特 性 評 価 ( 豊 橋 技 大 院 生 * 1 豊 橋 技 大 * 2 ) 濱 田 拓 郎 * 1 山 田 基 宏 * 2 安 井 利 明 * 2 福 本 昌 宏 * 2 反 応 性 プラズマ 溶 射 法 による 窒 化 鉄 皮 膜 の 作 製 と 反 応 過 程 の 調 査 ( 豊 橋 技 大 院 生 * 1 豊 橋 技 大 * 2 ) 神 崎 祥 尚 * 1 山 田 基 宏 * 2 安 井 利 明 * 2 福 本 昌 宏 * 2 ( 14 )

15 お 知 らせとお 願 い 1. ポスター 発 の 方 へ 1 件 あたりの 大 きさは 縦 210cm 横 120cm です(パネル 左 上 に 縦 10cm 横 20cm の 余 白 をとってください. 余 白 に 事 務 局 で 発 番 号 を 貼 ります).ポスター 前 にて 説 明 していただくコアタイムは, 奇 数 発 番 号 の 方 は 15:45~16:45, 偶 数 発 番 号 の 方 は 16:45~17:45 です.ポスター 貼 り 付 けには 押 しピンのみ 使 用 可 能 です. 押 しピンは 会 場 にて 用 意 致 します.ポスター 貼 り 付 けは 発 日 の 9:00~15:45 にお 願 いします. 2. 口 頭 発 の 方 へ 講 演 時 間 は 15 分 ( 討 論 時 間 5 分 を 含 む)です. 講 演 時 に 使 用 可 能 な 機 材 は, 原 則 として 液 晶 プロジェクタ(ノートパソコンは 持 参 下 さい)のみです. 講 演 セッション 開 始 15 分 前 から 接 続 準 備 を 承 っております. 休 憩 時 間 またはセッション 開 始 前 に 接 続 をお 願 い 致 します. 接 続 コネクタは minid-sub15pin です.それ 以 外 については 各 自 変 換 コネクタを 持 参 してください.なお,PC 不 調 等 対 応 については, 原 則 として 各 自 の 責 任 にてお 願 い 致 します. 3. 優 秀 ポスター 投 票 と 発 について ポスターセッション 開 催 中 に, 参 加 票 添 付 の 投 票 用 紙 にて 優 秀 ポスターの 投 票 をお 願 いします. 投 票 箱 は,1F 受 付 に 設 置 して おります. 投 票 締 切 は,ポスターセッション 終 了 時 です. 発 は 最 終 日 14:30 に 1F 受 付 掲 示 板 にて 行 う 予 定 です. 本 会 後 に, 空 誌 においても 掲 載 される 予 定 です. 皆 様 のご 協 力 をお 願 い 致 します. 今 回 は, 懇 親 会 の 日 程 の 都 合 により, 彰 式 はございま せんのでご 了 承 ください. 4. メッセージボードの 設 置 について 3F 企 業 展 示 会 場 商 談 コーナーに メッセージボード を 用 意 しました. 求 人 求 職 その 他 情 報 交 換 等 にご 利 用 ください.ただし, 営 利 目 的 の 掲 示 はご 遠 慮 ください. 最 寄 り 駅 地 図 JR 新 大 阪 駅 より 地 下 鉄 御 堂 筋 線 / 北 大 阪 急 行 で 千 里 中 央 駅 へ, 大 阪 モノレールに 乗 換 え 阪 大 病 院 前 駅 下 車 徒 歩 15 分 地 下 鉄 御 堂 筋 線 / 北 大 阪 急 行 線 ( 北 大 阪 急 行 ) 千 里 中 央 駅 より 阪 急 バス 阪 大 本 部 前 行 き,または 茨 木 美 穂 ヶ 丘 行 き, 約 10~20 分 * 阪 急 電 鉄 京 都 線 茨 木 市 駅 から 近 鉄 バスで 阪 大 本 部 前 行 約 30 分 * JR 東 海 道 本 線 茨 木 駅 から 近 鉄 バスで 阪 大 本 部 前 行 約 20 分 * 大 阪 国 際 空 港 から 阪 急 バスで 阪 大 本 部 前 行 約 45 分 * 阪 急 電 車 千 里 線 北 千 里 駅 ( 終 点 )から 東 へ 徒 歩 約 20 分 * バスはいずれも 阪 大 本 部 前 下 車 後, 徒 歩 約 5~10 分 でコンベンションセンター 着 N 大 阪 モノレール 阪 大 医 部 病 院 前 懇 親 会 場 匠 の 二 階 講 演 会 場 コンベンションセンター ( 15 )

16 第 47 回 空 に 関 する 連 合 講 演 会 座 長 11 月 7 日 ( 火 ) 11 月 8 日 ( 水 ) 11 月 9 日 ( 木 ) 会 議 室 1(1F) 研 修 室 (1F) MOホール 会 議 室 1(1F) 研 修 室 (1F) MOホール 会 議 室 1(1F) 研 修 室 (1F) A 会 場 B 会 場 E 会 場 A 会 場 B 会 場 E 会 場 A 会 場 B 会 場 9:00 空 開 会 式 9:00 彰 式 合 9:15 同 9:15 セ ッ シ ョ 9:30 9:30 ン プ 越 川 孝 範 ラ 比 村 治 彦 薄 中 山 明 間 瀬 一 彦 9:45 ( 大 阪 電 通 大 ) ズ ( 京 都 工 繊 大 ) 膜 (イオン 工 研 ) ( 高 エネ 研 ) マ 9:45 受 賞 記 念 講 演 (1) 10:00 受 賞 記 念 講 演 (2) ( 受 賞 記 念 講 演 (3) 10:00 空 ) 10:15 応 10:15 用 10:30 10:30 10:45 ナ 10:45 合 ノ 同 構 ッ 造 11:00 11:00 空 金 戸 成 安 江 常 夫 ョ ( 大 阪 空 ) ( 大 阪 電 通 大 ) ン ナ 11:15 応 間 瀬 一 彦 ノ 望 月 昭 一 11:15 ナ 用 ( 高 エネ 研 ) 構 ( 産 総 研 ) ノ 鈴 木 康 文 谷 村 純 二 造 構 ( 大 阪 教 育 大 ) ( 三 菱 電 機 ) 11:30 11:30 造 ( 11:45 11:45 ) 12:00 12:00 13:00 13:00 13:15 13:15 13:30 13:30 合 薄 吉 武 道 子 企 合 尾 嶋 正 治 土 佐 正 弘 企 同 膜 ( 物 材 機 構 ) ( 東 大 ) 業 同 ( 物 材 機 構 ) 吉 竹 正 明 業 鈴 木 基 史 シ 展 シ ( 大 阪 府 立 展 工 ( 京 大 ) 13:45 ン 13:45 示 ン 産 技 研 ) 示 ポ ポ 14:00 ス 超 14:00 ピ 高 空 ン 電 福 田 常 男 ト 空 子 ( 大 阪 市 立 大 ) 14:15 ロ 材 14:15 ニ 料 ク 顕 14:30 ス 微 薄 膜 14:30 の 鏡 14:45 の 最 浦 野 俊 夫 空 齋 藤 芳 男 前 ( 神 戸 大 ) 高 柳 邦 夫 ( 高 エネ 研 ) 線 ( 東 工 大 ) 14:45 15:00 15:00 白 藤 立 15:15 ( 京 大 ) 15:15 15:30 15:30 15:45 15:45 16:00 16:00 ポスター7P ポスター8P 奇 数 番 奇 数 番 16:15 コアタイム コアタイム 16:15 16:30 16:30 16:45 16:45 17:00 17:00 ポスター7P ポスター8P 偶 数 番 偶 数 番 17:15 コアタイム コアタイム 17:15 17:30 17:30 17:45 17:45 18:00 18:00 18:15 18:15 合 同 懇 親 会 カフェテリア 匠 2F 講 演 会 会 場 より 徒 歩 1 分 20:15 20:15 ( 16 )