2.高 精 度 測 定 技 術 2.1ア ッ ベ の 誤 差 低 減10) 試 料 上 に 設 け られ たCCDカ メ ラ は ボ ー ル ネ ジ に よ り移 動 し,そ のY軸 移 動 量 は,リ ニ ア ス ケ ー ル に よ り測 長 され る 図7に 示 す構 成 例'1}で,ボ ー ル

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1 Advanced Metrology for Printed Board Assembly Mitsuyoshi KOIZUMI* *R&D Dept., Engineering Div., Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. (300 Guzo, Nakai-machi, Ashigara-Kami-gun, Kanagawa )

2 2.高 精 度 測 定 技 術 2.1ア ッ ベ の 誤 差 低 減10) 試 料 上 に 設 け られ たCCDカ メ ラ は ボ ー ル ネ ジ に よ り移 動 し,そ のY軸 移 動 量 は,リ ニ ア ス ケ ー ル に よ り測 長 され る 図7に 示 す構 成 例'1}で,ボ ー ル ネ ジ と リニ ア ス ケ ー ル を 測 定 テ ー ブ ル の 中 心 に 配 置 した セ ン タ ドラ イ ブ構 造 図4.先 端25μm径 を 用 い て,CCDカ の タ ッ チ プ ロ ー プ4) メ ラのX方 向 移 動 時 の ヨ ー イ ン グ に よ る Y方 向 測 定 誤 差(E=Lsinθ)を 極 力 低 減 し て い る さ ら に Y軸 移 動 用 リニ ア ガ イ ドと試 料 測 定 面 を 同 一 高 さ に配 置 し て,CCDカ メ ラ の 移 動 時 の ロ ー リ ン グ 運 動 に よ る ア ッ ベ の 誤 差 の低 減 も図 っ て い る(ア ッベ の誤 差 と は,測 長 対 象 と尺 度 と して 用 い る 基 準 ス ケ ー ル が,測 図5.画 像 処理 に よ り歪補 正5) 定方 向に同一 直 線 上 に な い 場 合 に 生 じ る誤 差) 上 記 構 成 に よ り,最 大 測 長 範 囲( mm)で μm(lは 測 長 寸 法),最 は 長 寸 法 精 度(3+L/230) 小 分 解 能0.1μm,再 現 性0.3μm(σ) が 報 告 さ れ て い る 図8は,共 焦 点 検 出 法 に よ る 一種 の 自動 焦 点 を用 い て 試 料 の プ ロ フ ァ イ ル を 測 定 す る顕 微 鏡 の 例 で あ る12) 対 物 レ ン ズ を 通 して 試 料 の 一 部 に微 小 レー ザ ス ポ ッ トを照 射 し, 試 料 か らの戻 り光 を検 出 し て,常 に この 径 を最 小 とす る よ う に対 物 レ ン ズ合 焦 の た め の 微 小Z移 動(D)量 を測長 し な が ら試 料 を 平 面 内移 動 す る と,試 料 の プ ロ フ ァ イル が 測 図6.テ 合,測 レ セ ン ト リ ッ ク 検 出7) 定 で きる 対 物 レ ンズ は ホ ル ダ(レ 定 誤 差 が 発 生 す る この 歪 を 画 像 処 理 で補 正5)る 方 式 で は,あ ボ ル バ)と 共 にZ移 動 して お り,リ ボ ル バ 内 に は2個 の ミラ ー が 配 置 され て い る らか じめ 方 眼 紙 上 の グ リ ッ トの位 置 を認 識 し て,測 定 中 の検 出 視 野 内 の 歪(座 標)を 画像処 理で補正 を 行 う(図5) 検 出 光 学 系 の 歪 自体 を 除 去 す る 方 式 は, デ ィ ス トー シ ョ ン防 止 テ レ セ ン トリ ッ ク光 学 系 と して 各 社2) 4),6)の 測定 機 に 搭 載 され て い る(図6)7) テ レ セ ン トリ ック 検 出 は 試 料 の 焦 点 位 置 が 多 少 変 動 し て も(像 ぼ け は 多 少 発 生 す る が),倍 率 変 動 が な く,高 精 度 測 定 が 要 求 さ れ る用 途(特 に 凹 凸 部 品,加 工 穴 付 の 試 料 測 定 な ど)に は 最 適 で あ り, 従 来 よ り投 影 式 測 定 機8)によ る 輪 郭 形 状 測 定 に採 用 され て い る 最 近 の 製 品31では 無 限 遠 補 正 結 像 系 9)も 用 い られ て お り,さ らな る結 像 性 能 の 向上 を 図 っ て い る 図8.3次 図7.CCD移 元 計 測 用 顕 微12) 動機 構11) エ レ ク トロ ニ ク ス 実 装 学 会 誌Vol.5No.4(2002) 337

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5 4) gopto-takiler Taster h, Quality Engineering, pp.10-12, /8

6 22) M.Stiteler and C.Ume: gsystem for Real-Time Measurements of Thermally Induced Warpage in a Simulated Infrared Soldering Environment h, ASME Journal of Electronic Packaging. Vol.119, pp.1-7, ) M.Stiteler, C.Ume and B.Leutz: gin-process Board Warpage Measurement in a Lab Scale Wave Soldering Oven h, IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology, PartA, Vol.19, p , 1996

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