ナノテクを 支 える 極 小 の 基 準 ~ 原 子 1 個 分 の 誤 差 もないものさし~ NEDO 3Dナノメートル 評 価 用 標 準 物 質 創 成 技 術 プロジェクト(ナノ 加 工 計 測 技 術 ) ( 平 成 14 年 度 ~ 平 成 18 年 度 ) 他 技 術 の 詳 細 4

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2 ナノテクを 支 える 極 小 の 基 準 ~ 原 子 1 個 分 の 誤 差 もないものさし~ NEDO 3Dナノメートル 評 価 用 標 準 物 質 創 成 技 術 プロジェクト(ナノ 加 工 計 測 技 術 ) ( 平 成 14 年 度 ~ 平 成 18 年 度 ) 他 技 術 の 詳 細 4 万 分 の1ミリメートル 刻 みの 微 細 な 目 盛 りが 刻 まれたミクロの ものさし の 開 発 ( 世 界 初 ) 目 盛 間 隔 を 原 子 の 大 きさより 小 さい0.04ナノメートル 以 下 の 誤 差 で 計 測 し 保 証 する 技 術 も 開 発 ナノテク 製 品 の 心 臓 部 である 半 導 体 回 路 をより 正 確 に 検 査 でき 将 来 さらに 小 さくなる 半 導 体 製 品 の 欠 陥 品 を 減 らすことができる 4 万 分 の1ミリメートル 刻 みのものさしを 開 発 半 導 体 工 場 などで 使 われる 電 子 顕 微 鏡 2 種 類 の 薄 膜 を 交 互 に 重 ねたくり 返 し 構 造 25ナノメートルも の さ し の 断 面 顕 微 鏡 写 真 25 nm 半 導 体 電 子 回 路 の 超 微 細 配 線 を 寸 法 管 理 ITデバイス 片 方 の 物 質 だけを 酸 で 溶 かして 刻 みを 作 る 酸 化 シリコン 層 ココがすごい!! 2 mm 100 nm 発 想 の 転 換 : 刻 線 と 隙 間 となる2 種 類 の 材 料 を 交 互 に 薄 膜 で 堆 積 さ せ 垂 直 に 立 てて ものさし を 実 現 25ナノメートル 刻 みは 世 界 初 JCSS 供 給 中 の100nm 刻 みスケールは 現 在 の 半 導 体 プロセスの 標 準 次 世 代 半 導 体 プロセスおよびナノテク 産 業 向 けに 供 給 体 制 を 構 築 中 国 内 半 導 体 産 業 市 場 規 模 :2 兆 円 2

3 素 材 エネルギー 産 業 支 える 高 温 の 標 準 ~2500 の 温 度 を0.2 で 再 現 ~ 産 総 研 運 営 交 付 金 次 世 代 高 温 度 標 準 の 開 発 金 属 炭 素 共 晶 点 による 高 温 度 目 盛 の 高 度 化 ( 平 成 11 年 度 ~ 平 成 21 年 度 ) 他 技 術 の 詳 細 1100 を 超 える 高 温 には 今 まで 温 度 計 を 校 正 できる 温 度 の 参 照 点 がなかった ここに 新 たに16 個 の 温 度 参 照 点 ( 温 度 定 点 )を 実 現 提 案 した 炭 素 合 金 をグラファイトるつぼ 中 で 溶 かすことで 物 質 が 激 しく 反 応 する 高 温 でも 再 現 性 の 良 い 融 解 温 度 を 実 現 できるようにした WC-C C (2749 o C) Cr 3 C 2 -C C (1826 o C) Mn 7 C 3 -C C (1331 o C) ココがすごい!! HfC-C C (3185 o C) ZrC-C C (2883 o C) 3000 o C 2500 o C 2000 o C 1500 o C 1000 o C TiC-C C (2761 o C) δ(mo ( Carbide)-C (2583 o C) Re-C C (2474 o C) Ir-C C (2290 o C) Ru-C C (1953 o C) Pt-C C (1738 o C) Rh-C C (1657 o C) Pd-C C (1492 o C) Ni-C C (1329 o C) Co-C C (1324 o C) Fe-C C (1153 o C) Cu ( o C) Au ( o C) Ag ( o C) 百 年 近 く 誰 も 作 れなかった1100 以 上 の 温 度 参 照 点 を 実 用 化 温 度 計 の 校 正 が3000 まで 高 精 度 化 される 素 材 産 業 等 に 向 け 校 正 サービスを 世 界 に 先 駆 け 開 始 2012 年 頃 国 際 温 度 標 準 に 採 択 見 込 み 2800 までの 高 温 定 点 装 置 国 内 素 材 産 業 3

4 2 () 2 ( ) ( ) 4

5 CHRIP( Chemical Risk Information Platform) % CHRIP GHS MSDS NITE20 MSDS 化 学 物 質 管 理 における 総 合 的 な 情 報 提 供 に 貢 献 事 業 者 の 自 主 管 理 を 支 援 産 業 力 向 上 国 民 の 安 全 確 保 5

6 福 祉 用 具 共 通 試 験 方 法 6

7 ( ite Biological Resource Center) NBRC NBRC JIS DOGAN DOGAN (Database of the Genomes Analyzed at NITE) DDBJ/EMBL/GenBank 3,300 () Pyrococcus horikoshii OT3() 7

8 INTERGLAD INTERGLAD Ver.1 Ver.2 Ver.3 Ver.5 Ver.4 Ver.6.1 Ver Ver. 7 8

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