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1 平 成 14 年 ( 行 ケ) 第 130 号 特 許 取 消 決 定 取 消 請 求 事 件 平 成 15 年 5 月 22 日 口 頭 弁 論 終 結 判 決 原 告 東 京 応 化 工 業 株 式 会 社 訴 訟 代 理 人 弁 護 士 稲 元 富 保 訴 訟 代 理 人 弁 理 士 小 山 有 被 告 特 許 庁 長 官 太 田 信 一 郎 指 定 代 理 人 西 川 恵 雄 同 氏 原 康 宏 同 高 木 進 同 大 橋 良 三 同 涌 井 幸 一 主 文 特 許 庁 が 異 議 号 事 件 について 平 成 14 年 1 月 28 日 にした 特 許 取 消 決 定 を 取 り 消 す 訴 訟 費 用 は 被 告 の 負 担 とする 事 実 及 び 理 由 第 1 当 事 者 の 求 めた 裁 判 1 原 告 主 文 と 同 旨 2 被 告 原 告 の 請 求 を 棄 却 する 訴 訟 費 用 は 原 告 の 負 担 とする 第 2 当 事 者 間 に 争 いのない 事 実 1 特 許 庁 における 手 続 の 経 緯 原 告 は, 発 明 の 名 称 を 被 膜 形 成 方 法 とする 特 許 第 号 の 特 許 ( 平 成 8 年 8 月 27 日 に, 平 成 元 年 9 月 13 日 出 願 の 平 成 1 年 特 許 願 第 号 の 分 割 出 願 として 特 許 出 願 ( 以 下 本 件 出 願 という ), 平 成 12 年 12 月 1 日 に 特 許 権 設 定 登 録, 以 下 本 件 特 許 という )の 特 許 権 者 である 本 件 特 許 ( 請 求 項 の 数 は1である )について, 特 許 異 議 の 申 立 てがなさ れ, 特 許 庁 は,この 申 立 てを, 異 議 号 として 審 理 し,その 結 果, 平 成 14 年 1 月 28 日 に, 特 許 第 号 の 請 求 項 1に 係 る 特 許 を 取 り 消 す との 決 定 をし, 同 年 2 月 18 日 にその 謄 本 を 原 告 に 送 達 した 2 特 許 請 求 の 範 囲 ( 請 求 項 1) ガラス 板 や 半 導 体 ウェハー 等 の 被 処 理 物 の 搬 送 ラインに 沿 って, 上 流 側 から 下 流 側 に 向 かって, 塗 布 装 置, 減 圧 乾 燥 装 置 及 び 洗 浄 装 置 を 配 置 した 被 膜 形 成 ライ ンによる 被 膜 形 成 方 法 であって,この 被 膜 形 成 方 法 は, 塗 布 装 置 にて 表 面 に 塗 布 液 が 塗 布 された 被 処 理 物 を 減 圧 乾 燥 装 置 に 送 り 込 み,この 減 圧 乾 燥 装 置 において, 被 処 理 物 表 面 に 塗 布 された 塗 布 液 をある 程 度 乾 燥 せしめ, 次 いでこのある 程 度 塗 布 液 が 乾 燥 せしめられた 被 処 理 物 を 洗 浄 装 置 に 送 り 込 み, 被 処 理 物 の 表 面 から 廻 り 込 ん で 付 着 し,ある 程 度 乾 燥 せしめられた 余 分 な 塗 布 液 を 除 去 するようにしたことを 特 徴 とする 被 膜 形 成 方 法 ( 以 下 本 件 発 明 という ) 3 決 定 の 理 由 別 紙 決 定 書 の 写 し 記 載 のとおりである 要 するに, 本 件 発 明 は, 特 開 昭 号 公 報 ( 甲 第 3 号 証 以 下 刊 行 物 1 という ) 記 載 の 発 明 ( 以 下 刊 行 物 1 発 明 という ), 米 国 特 許 第 号 明 細 書 ( 甲 第 4 号 証 以 下 刊 行 物 2 という ) 記 載 の 発 明 ( 以 下 刊 行 物 2 発 明 という ) 及 び 周 知 の 事 項 に 基 づいて, 当 業 者 が 容 易 に 発 明 をすることができたものであって, 特 許 法 29 条 2 項 の 規 定 に 該 当 し, 特 許 を 受 けることができない,というものであ る 決 定 が 上 記 結 論 を 導 くに 当 たり 認 定 した 本 件 発 明 と 刊 行 物 1 発 明 との 一 致 点 相 違 点 は, 次 のとおりである ( 一 致 点 ) ガラス 板 や 半 導 体 ウェハー 等 の 被 処 理 物 の 搬 送 ラインに 沿 って, 上 流 側 か ら 下 流 側 に 向 かって, 塗 布 装 置, 減 圧 乾 燥 装 置 及 び 少 なくとも 一 部 の 洗 浄 装 置 を 配 置 した 被 膜 形 成 ラインによる 被 膜 形 成 方 法 であって,この 被 膜 形 成 方 法 は, 塗 布 装 置 にて 表 面 に 塗 布 液 が 塗 布 された 被 処 理 物 を 乾 燥 装 置 に 送 り 込 み,この 乾 燥 装 置 に おいて, 被 処 理 物 表 面 に 塗 布 された 塗 布 液 を 乾 燥 せしめ, 次 いでこの 塗 布 液 が 乾 燥

2 せしめられた 被 処 理 物 を 洗 浄 装 置 に 送 り 込 み, 被 処 理 物 の 表 面 から 廻 り 込 んで 付 着 し, 乾 燥 せしめられた 余 分 な 塗 布 液 を 除 去 するようにしたことを 特 徴 とする 被 膜 形 成 方 法 である 点 ( 相 違 点 ) 塗 布 ラインに 配 置 される 洗 浄 装 置 が, 前 者 では 洗 浄 装 置 の 全 部 であるのに 対 して, 後 者 では 洗 浄 装 置 の 一 部 である 点 ( 以 下 相 違 点 1 という ) 乾 燥 装 置 が, 前 者 は 減 圧 乾 燥 装 置 であるのに 対 して, 後 者 はプリべーク 部 である 点 ( 以 下 相 違 点 2 という ) 乾 燥 装 置 及 び 洗 浄 装 置 における 塗 布 液 の 乾 燥 の 程 度 が, 前 者 はある 程 度 の 乾 燥 であるのに 対 して, 後 者 は, 乾 燥 の 程 度 が 明 らかではない 点 ( 以 下 相 違 点 3 という ) 第 3 原 告 主 張 の 決 定 取 消 事 由 の 要 点 決 定 は, 本 件 発 明 と 刊 行 物 1 発 明 との 一 致 点 相 違 点 の 認 定 を 誤 り, 相 違 点 2,3についての 判 断 を 誤 ったものであり,これらの 誤 りがそれぞれ 結 論 に 影 響 を 及 ぼすことは 明 らかであるから, 違 法 として 取 り 消 されるべきである 1 本 件 発 明 と 刊 行 物 1 発 明 との 一 致 点 相 違 点 の 認 定 の 誤 り (1) 決 定 は, 後 者 ( 判 決 注 刊 行 物 1 発 明 )の レジスト 周 辺 除 去 装 置 1 1 及 び 現 像 処 理 の 装 置 は, 両 者 で 半 導 体 基 板 4の 周 辺, 側 面 及 び 裏 面 に 付 着 したレジストを 除 去 する 機 能 を 有 するものであるから, 前 者 ( 判 決 注 本 件 発 明 ) の 洗 浄 装 置 に 相 当 し, 後 者 の レジスト 周 辺 除 去 装 置 11 は, 不 要 なレジスト 部 分 を,その 後 の 現 像 処 理 により 除 去 し 得 るように, 半 導 体 基 板 の 周 辺, 側 面 及 び 裏 面 部 分 に, 紫 外 線 等 のレジストを 露 光 する 波 長 の 光 を 含 んだ 光 線 を 照 射 するもので あって,レジスト 周 辺 除 去 装 置 11による 紫 外 線 等 の 照 射 はレジスト 周 辺 除 去 工 程 の 一 部 と 認 められるから, 前 記 レジスト 周 辺 除 去 装 置 11 は, 前 者 の 洗 浄 装 置 の 一 部 というべきものである ( 決 定 書 4 頁 第 29 行 ~37 行 )と 認 定 し 上 で,これを 前 提 として, 本 件 発 明 と 刊 行 物 1 発 明 とは, ガラス 板 や 半 導 体 ウェハ ー 等 の 被 処 理 物 の 搬 送 ラインに 沿 って, 上 流 側 から 下 流 側 に 向 かって, 塗 布 装 置, 減 圧 乾 燥 装 置 及 び 少 なくとも 一 部 の 洗 浄 装 置 を 配 置 した 被 膜 形 成 ラインによる 被 膜 形 成 方 法 であって,この 被 膜 形 成 方 法 は, 塗 布 装 置 にて 表 面 に 塗 布 液 が 塗 布 された 被 処 理 物 を 乾 燥 装 置 に 送 り 込 み,この 乾 燥 装 置 において, 被 処 理 物 表 面 に 塗 布 され た 塗 布 液 を 乾 燥 せしめ, 次 いでこの 塗 布 液 が 乾 燥 せしめられた 被 処 理 物 を 洗 浄 装 置 に 送 り 込 み, 被 処 理 物 の 表 面 から 廻 り 込 んで 付 着 し, 乾 燥 せしめられた 余 分 な 塗 布 液 を 除 去 するようにしたことを 特 徴 とする 被 膜 形 成 方 法 ( 決 定 書 5 頁 4 行 ~1 1 行 )である 点 で 一 致 し, 塗 布 ラインに 配 置 される 洗 浄 装 置 が, 前 者 ( 判 決 注 本 件 発 明 )では 洗 浄 装 置 の 全 部 であるのに 対 して, 後 者 ( 判 決 注 刊 行 物 1 発 明 ) では 洗 浄 装 置 の 一 部 である 点 ( 決 定 書 5 頁 13 行 ~14 行 相 違 点 1)で 相 違 す る,と 認 定 した しかし, 決 定 の 上 記 一 致 点 相 違 点 の 認 定 は, 誤 りである (2) 刊 行 物 1 発 明 の 搬 送 ライン 上 に 存 在 する レジスト 周 辺 除 去 装 置 11 は, 露 光 装 置 のことである 露 光 装 置 が 洗 浄 装 置 でないことは, 技 術 常 識 に 照 らし 明 らかである 刊 行 物 1 発 明 においては, 現 像 の 後 にリンスつまり 洗 浄 工 程 がある ため, 現 像 処 理 も 洗 浄 とは 異 なるものである 現 像 液 によって 不 要 な 部 分 を 除 去 す るという 機 能 面 からみて, 刊 行 物 1 発 明 の 現 像 装 置 が 本 件 発 明 の 洗 浄 装 置 に 相 当 す る,と 解 する 余 地 はあるものの, 露 光 装 置 を, 洗 浄 装 置 そのものであるとか, 洗 浄 装 置 の 一 部 であるとか 解 する 余 地 はない 刊 行 物 1 発 明 における レジスト 周 辺 除 去 装 置 と 現 像 処 理 の 装 置 を 合 わせ たもの は,プリベークが 終 了 したポジ 型 ホトレジストに 光 を 照 射 して, 照 射 した 部 分 をアルカリ 可 溶 化 せしめ,この 後, 現 像 液 (アルカリ 液 )によって 光 を 照 射 し た 部 分 を 除 去 する,というものである 本 件 発 明 の 洗 浄 装 置 は, 基 板 周 辺 部 の 生 乾 き 状 態 の 塗 布 液 に 洗 浄 液 を 吹 き 付 けて 除 去 するというものである 刊 行 物 1 発 明 の レジスト 周 辺 除 去 装 置 と 現 像 処 理 の 装 置 と 本 件 発 明 の 洗 浄 装 置 との 間 には, 上 記 のような 相 違 がある 決 定 は, 上 記 相 違 点 を 看 過 し た 結 果, 誤 って 両 者 が 一 致 すると 認 定 した 相 違 点 1の 認 定 は,この 誤 った 認 定 の 下 になされたものである 2 相 違 点 2についての 判 断 の 誤 り 決 定 は, 相 違 点 2( 乾 燥 装 置 が, 前 者 は 減 圧 乾 燥 装 置 であるのに 対 して, 後 者 はプリべーク 部 である 点 )につき, レジスト 塗 布 後 のプリベークによる 乾 燥 を 減 圧 条 件 下 で 行 うことは, 刊 行 物 3~7( 判 決 注 後 記 甲 第 5ないし 第 9 号 証 刊 行

3 物 )に 示 されているように, 本 件 特 許 出 願 の 出 願 前 において, 斯 界 では 周 知 の 事 項 である してみると, 刊 行 物 1 記 載 の 発 明 のプリベーク 部 による 乾 燥 を, 上 記 周 知 の 事 項 を 適 用 して, 減 圧 条 件 下 で 行 うようにすることは, 当 業 者 が 容 易 に 想 到 し 得 ることと 認 められ,しかも, 周 知 の 事 項 を 適 用 することを 阻 害 する 特 段 の 事 情 も 認 められない したがって, 刊 行 物 1 記 載 の 発 明 に 周 知 の 事 項 を 適 用 して, 相 違 点 1 ( 判 決 注 相 違 点 2 の 誤 記 であると 認 める )に 係 る 構 成 を 本 件 発 明 のように 設 けることは, 当 業 者 が 容 易 になし 得 るといわざるを 得 ない ( 決 定 書 5 頁 28 行 ~37 行 )とした しかし,この 認 定 判 断 は 誤 りである 本 件 発 明 の 減 圧 乾 燥 装 置 は, 本 件 出 願 の 願 書 に 添 付 された 明 細 書 及 び 図 面 ( 以 下, 両 者 を 併 せて 本 件 明 細 書 という 甲 第 2 号 証 はこれに 係 る 特 許 公 報 である ) 全 体 の 記 載, 及 び, 加 熱 する 場 合 には 塗 布 液 の 表 面 が 先 に 乾 燥 してしま い 生 乾 きにすることが 困 難 であるという 技 術 常 識 に 照 らすと, 加 熱 を 併 用 する 減 圧 乾 燥 装 置 を 除 外 するものであることが 明 らかである 刊 行 物 1 発 明 のプリベーク 炉 で 行 われる 塗 布 液 の 加 熱 乾 燥 においては, 表 層 の 固 化 が 優 先 的 に 進 む そのため, 同 炉 において 塗 布 液 を 生 乾 き 状 態 にするために は, 加 熱 温 度 を 細 かく 制 御 する 必 要 がある プリベーク 炉 でこのような 制 御 をする ことは, 極 めて 困 難 である 連 続 して 被 処 理 物 を 処 理 する 場 合 には, 前 の 処 理 によ って 炉 内 が 加 熱 されているので, 最 初 の 数 枚 の 被 処 理 物 と, 処 理 がある 程 度 進 んだ 時 点 の 被 処 理 物 とで, 加 熱 時 間 を 変 えなければならないことになる このようなこ とは 極 めて 困 難 である 刊 行 物 1に 記 載 されたプリベーク 炉 での 加 熱 乾 燥 で, 塗 布 液 を 生 乾 き 状 態 にすることは, 実 質 的 に 不 可 能 である 特 開 昭 号 公 報 ( 甲 第 5 号 証 ), 特 開 昭 号 公 報 ( 甲 第 6 号 証 ), 特 開 昭 号 公 報 ( 甲 第 7 号 証 ), 特 開 昭 号 公 報 ( 甲 第 8 号 証 ), 特 開 平 号 ( 甲 第 9 号 証 )( 以 下,これらを 併 せて 甲 第 5ないし 第 9 号 証 刊 行 物 ということがあ る )に, レジスト 塗 布 後 のプリベークによる 乾 燥 を 減 圧 条 件 下 で 行 うこと が 開 示 されていることは, 決 定 の 述 べるとおりである しかし, 上 記 各 刊 行 物 記 載 の 発 明 はいずれも 加 熱 処 理 を 行 うものであるから,これらの 刊 行 物 の 記 載 をもって, 直 ちに, 刊 行 物 1のプリベーク 部 を, 加 熱 手 段 を 有 さない 本 件 発 明 の 減 圧 乾 燥 装 置 に 置 換 することが 容 易 であるとすることはできない 3 相 違 点 3についての 判 断 の 誤 り (1) 決 定 は, 相 違 点 3( 乾 燥 装 置 及 び 洗 浄 装 置 における 塗 布 液 の 乾 燥 の 程 度 が, 前 者 はある 程 度 の 乾 燥 であるのに 対 して, 後 者 は, 乾 燥 の 程 度 が 明 らかではな い 点 )につき, 本 件 発 明 における ある 程 度 乾 燥 とは, 洗 浄 に 極 めて 長 時 間 を 要 しない 乾 燥 状 態 であり, 完 全 乾 燥 を 除 く 乾 燥 の 程 度 が 進 んだ 状 態 である ( 決 定 書 7 頁 11 行 ~12 行 ),と 認 定 し,これを 前 提 に, 刊 行 物 2には,フォ トレジストのような 塗 布 液 をほとんど 乾 燥 させた 後,ほとんど 乾 燥 せしめられた 余 分 な 塗 布 液 を 除 去 することが 記 載 されており, 刊 行 物 2 記 載 の 発 明 の ほとんど 乾 燥 は, 完 全 乾 燥 ではない 乾 燥 が 進 んだ 状 態 であるから, 本 件 発 明 の ある 程 度 乾 燥 の 範 疇 に 属 する 乾 燥 状 態 であると 認 められる そして, 刊 行 物 2 記 載 の 発 明 は, 刊 行 物 1 記 載 の 発 明 と 同 じく, 半 導 体 ウェハー 等 の 被 処 理 物 に 対 する 被 膜 形 成 方 法 という 技 術 分 野 に 属 するものであるから, 刊 行 物 1 記 載 の 発 明 に 刊 行 物 2 記 載 の 発 明 を 組 み 合 わせ, 相 違 点 3に 係 る 構 成 を 本 件 発 明 のように 設 けることは, 当 業 者 が 容 易 になし 得 るものである ( 決 定 書 7 頁 16 行 ~25 行 )と 認 定 判 断 した しかし, 決 定 の 上 記 認 定 も,これを 前 提 とする 認 定 判 断 も 誤 りである 本 件 発 明 の 特 許 請 求 の 範 囲 にいう ある 程 度 乾 燥 とは, 本 件 明 細 書 中 の 発 明 の 目 的, 作 用 効 果 の 記 載 によれば, 基 材 表 面 に 塗 布 された 塗 布 液 が 搬 送 の 振 動 で 波 打 ったり, 裏 面 に 回 りこんだり, 塗 布 液 を 除 去 した 跡 に 新 たな 塗 布 液 が 流 れ 込 んだりしない 範 囲 で,できるだけ 液 体 に 近 い 状 態 の 乾 燥,すなわち, 生 乾 き 状 態 を 指 すことが 明 確 である すなわち, 本 件 発 明 における ある 程 度 乾 燥 と は, 決 定 のいう 洗 浄 に 極 めて 長 時 間 を 要 しない 乾 燥 状 態 とは 異 なる 状 態 であ る あえて 洗 浄 時 間 を 基 準 として 規 定 するならば, 洗 浄 に 長 時 間 を 要 しない 乾 燥 状 態 である ここに 洗 浄 に 長 時 間 を 要 しない 乾 燥 状 態 とは 完 全 乾 燥 と ほとんど 乾 燥 とを 除 く 乾 燥 の 程 度 が 進 んだ 状 態 のことである (2) 刊 行 物 2 発 明 における ほとんど 乾 燥 は,フォトレジストが 最 終 的 な 厚 さになるまで 基 板 を2000rpmから5000rpmで 高 速 回 転 させた 場 合 の 乾 燥 状 態 であるから, 完 全 乾 燥 に 近 い 状 態, 完 全 ではないが 極 めて 完 全 に 近 い, あるいは 完 全 とみなしてもよい 程 度 の 乾 燥 のことをいい, 本 件 発 明 における ある

4 程 度 乾 燥 とは 異 なる,というべきである 第 4 被 告 の 反 論 の 要 点 決 定 の 認 定 判 断 は 正 当 であり, 決 定 に 取 消 事 由 となるような 誤 りはない 1 本 件 発 明 と 刊 行 物 1 発 明 との 一 致 点 相 違 点 の 認 定 の 誤 り,の 主 張 について 刊 行 物 1には, 次 にレジストを 塗 布 された 半 導 体 基 板 4は レジスト 周 辺 除 去 装 置 11( 第 1 図 )に 搬 送 される このときに 光 源 1より 発 生 する 光 線 例 えば436nmの 波 長 を 含 んだ 光 線 を, 半 導 体 基 板 4の 周 辺, 側 面 及 び 裏 面 部 に 照 射 する 次 に 本 発 明 によるレジスト 周 辺 除 去 装 置 による 処 理 が 終 了 した 後, 半 導 体 基 板 4はアンローダー 部 12に 収 納 され, 後 で 行 われる 現 像 処 理 時 に 半 導 体 基 板 4のレジスト 不 要 部 分 が 完 全 に 除 去 される ( 甲 第 3 号 証 第 2 頁 左 下 欄 20 行 ~ 右 下 欄 20 行 ), 本 発 明 はレジストの 回 転 塗 布 終 了 後 に,レジ ストを 塗 布 された 半 導 体 基 板 の 周 辺, 側 面 及 び 裏 面 部 分 に 被 着 している 不 要 なレジ スト 部 分 のみに, 紫 外 線 等 のレジストを 露 光 する 波 長 の 光 を 含 んだ 光 線 を 照 射 した 後,その 後 の 現 像 処 理 により 不 要 なレジスト 部 分 を 完 全 に 除 去 できる 効 果 があ る ( 同 3 頁 左 上 欄 9 行 ~15 行 )との 記 載 がある 刊 行 物 1のこれらの 記 載 によれば, 刊 行 物 1 発 明 において, 露 光 を 行 う レ ジスト 周 辺 除 去 装 置 11 と 現 像 処 理 の 装 置 とは, 両 者 が 一 体 不 可 分 の 関 係 で, 半 導 体 基 板 4の 周 辺, 側 面 及 び 裏 面 に 付 着 したレジストを 除 去 するという, 作 用 機 能 を 発 揮 しているということができる 本 件 明 細 書 の 特 許 請 求 の 範 囲 には, 被 処 理 物 を 洗 浄 装 置 に 送 り 込 み, 被 処 理 物 の 表 面 から 廻 り 込 んで 付 着 し,ある 程 度 乾 燥 せしめられた 余 分 な 塗 布 液 を 除 去 するようにした ( 甲 第 2 号 証 1 欄 9 行 ~12 行 )との 記 載 があり, 同 記 載 によれ ば, 本 件 発 明 の 洗 浄 装 置 は, 被 処 理 物 周 辺 部 の 塗 布 液 を 除 去 するという, 作 用 機 能 を 発 揮 する 装 置 であるということができる 決 定 は, 刊 行 物 1 発 明 における レジスト 周 辺 除 去 装 置 11 と 現 像 処 理 の 装 置 とを 合 わせたものと, 本 件 発 明 の 洗 浄 装 置 とが, 共 に, 被 処 理 物 周 辺 部 の 塗 布 液 を 除 去 するという, 同 一 の 作 用 機 能 を 発 揮 していることをとらえて, その 同 一 の 作 用 機 能 を 発 揮 している 限 りにおいて 刊 行 物 1 記 載 の 発 明 の レジス ト 周 辺 除 去 装 置 11 及 び 現 像 処 理 の 装 置 が 本 件 発 明 の 洗 浄 装 置 に 相 当 す る,と 認 定 したものである 決 定 の 上 記 認 定 に 誤 りはなく,この 認 定 を 前 提 とする 本 件 発 明 と 刊 行 物 1 発 明 との 一 致 点 相 違 点 の 認 定 にも 誤 りはない 2 相 違 点 2についての 判 断 の 誤 り,の 主 張 について レジスト 塗 布 後 のプリベークによる 乾 燥 を 減 圧 下 で 行 うことは, 甲 第 5ない し 第 9 号 証 刊 行 物 に 示 されているように, 刊 行 物 1 発 明 の 属 する 半 導 体 ウェハー のレジスト 被 膜 形 成 の 技 術 分 野 において 周 知 の 事 項 であり, 刊 行 物 1 発 明 に 上 記 周 知 の 事 項 を 適 用 することを 阻 害 する 特 段 の 事 情 も 認 められない 刊 行 物 1 発 明 の プリベーク 部 による 乾 燥 を 減 圧 条 件 下 で 行 うようにすることは 当 業 者 が 容 易 に 想 到 し 得 るとした, 決 定 の 判 断 に 誤 りはない 原 告 の 主 張 は, 本 件 発 明 の 減 圧 乾 燥 が, 非 加 熱 乾 燥 であることを 前 提 とする ものである しかし,1 本 件 明 細 書 には, 特 許 請 求 の 範 囲 はもちろん 発 明 の 詳 細 な 説 明, 図 面 のいずれにも, 本 件 発 明 の 減 圧 乾 燥 を 非 加 熱 条 件 下 で 行 う,との 記 載 が 全 くないこと,2 甲 第 5ないし 第 9 号 証 刊 行 物 には, 減 圧 乾 燥 として, 加 熱 条 件 下 の 乾 燥 ( 甲 第 5ないし 第 8 号 証 刊 行 物 参 照 )と 非 加 熱 条 件 下 の 乾 燥 ( 甲 第 9 号 証 刊 行 物 第 3 頁 右 上 欄 18 行 ~ 左 下 欄 3 行 参 照 )との 双 方 が 存 在 することが 示 されてい ることからすれば, 原 告 の 主 張 は, 本 件 明 細 書 の 記 載 に 基 づかないものというべき であり, 失 当 である 3 相 違 点 3についての 判 断 の 誤 り,の 主 張 について (1) 本 件 発 明 にいう ある 程 度 乾 燥 の 文 言 も, 刊 行 物 2 記 載 の ほとんど 乾 燥 の 文 言 も,いずれも 乾 燥 の 程 度 を 定 量 的 に 厳 密 に 表 現 するものでないため, 両 者 を 文 言 のみで 対 比 してその 関 係 を 判 断 することはできない 本 件 発 明 にいう あ る 程 度 乾 燥 と 刊 行 物 2 発 明 の ほとんど 乾 燥 の 関 係 は,それぞれの 発 明 の 作 用 効 果 を 含 めた 技 術 的 意 義 に 照 らして 判 断 する 必 要 がある 決 定 は, 本 件 明 細 書 の 発 明 の 詳 細 な 説 明 中 の 発 明 が 解 決 しようとする 課 題 しかしながら, 被 処 理 物 の 裏 面 を 洗 浄 液 によって 裏 面 に 廻 り 込 んだ 塗 布 液 を 除 去 しても,またすぐに 表 面 側 から 塗 布 液 が 廻 り 込 んでしまう 逆 に, 表 面 側 の 塗 布 液 を 完 全 に 乾 燥 させ 塗 布 液 が 廻 り 込 まないようにしてから 洗 浄 すると, 洗 浄 に 極 めて 長 時 間 を 要 することになる ( 甲 第 2 号 証 段 落 0005 ), 課 題 を 解 決 するための 手 段 被 処 理 物 に 塗 布 した 液 体 がある 程 度 乾 燥 した 後 に, 裏

5 面 洗 浄 を 行 なうので, 塗 布 した 液 体 が 再 び 裏 面 に 廻 り 込 むことがない ここで, ある 程 度 乾 燥 せしめる とは 所 謂 生 乾 き 状 態 を 指 し, 完 全 乾 燥 を 含 まないの は, 発 明 の 目 的 から 当 然 である ( 同 号 証 段 落 0006, 発 明 の 効 果 塗 布 装 置 にて 被 処 理 物 に 塗 布 された 塗 布 液 を, 減 圧 乾 燥 装 置 にて 所 謂 生 乾 きの 状 態 にして 洗 浄 装 置 に 送 り 込 むようにしたので, 表 面 に 塗 布 された 塗 布 液 が 搬 送 の 振 動 で 波 打 ったり, 表 面 に 塗 布 した 塗 布 液 が 裏 面 に 過 度 に 廻 り 込 んだり, 更 には 裏 面 に 廻 り 込 んだ 塗 布 液 が 落 下 することを 防 止 でき,しかも 完 全 に 乾 燥 させて いないので, 簡 単 に 溶 媒 ( 洗 浄 液 )に 溶 解 し, 裏 面 洗 浄 の 時 間 を 短 縮 することがで きる ( 同 号 証 段 落 0018 )との 記 載 に 基 づいて, 本 件 発 明 における あ る 程 度 乾 燥 の 語 について, 塗 布 液 が 裏 面 に 廻 り 込 むことがなく,しかも, 洗 浄 に 極 めて 長 時 間 を 要 しない, 乾 燥 状 態 を 意 味 し, 洗 浄 に 極 めて 長 時 間 を 要 しな い 乾 燥 状 態 とは, 完 全 乾 燥 を 除 く 乾 燥 の 程 度 が 進 んだ 状 態 であると 解 したもので あり,その 認 定 判 断 に 誤 りはない (2) 刊 行 物 2 発 明 は, ほとんど 乾 燥 の 状 態 で, 溶 媒 噴 流 によってレジスト 周 辺 部 を 除 去 しているから, 当 該 ほとんど 乾 燥 は, 周 辺 部 の 除 去 を 円 滑 に 行 い 得 る 乾 燥 状 態 というべきであり,また, 乾 燥 状 態 であることから, 当 然 に 塗 布 液 が 裏 面 に 廻 り 込 まない 状 態 である そして, ほとんど 乾 燥 の 状 態 において 周 辺 部 を 除 去 した 後 に,レジストを 完 全 に 乾 燥 させているから, ほとんど 乾 燥 が 完 全 乾 燥 でもないことは 明 らかである (3) 上 に 述 べたところによれば, 決 定 が, 作 用 効 果 を 含 めた 技 術 的 意 義 に 明 確 な 差 異 がないことを 根 拠 に, 刊 行 物 2 記 載 の ほとんど 乾 燥 を 本 件 発 明 の あ る 程 度 乾 燥 の 範 疇 に 属 する,とした 上 で, 刊 行 物 1 発 明 の 乾 燥 装 置 及 び 洗 浄 装 置 に, ウエハ 表 面 に 塗 布 されたフォトレジストをほとんど 乾 燥 させた 後,ほとんど 乾 燥 せしめられたウエハ 周 囲 の 余 分 なフォトレジストを 除 去 すること という, 刊 行 物 2 発 明 を 組 み 合 わせ, 相 違 点 3に 係 る 本 件 発 明 の 構 成 とすることは, 当 業 者 が 容 易 になし 得 ることである,とした 決 定 の 判 断 にも 誤 りはない 第 5 当 裁 判 所 の 判 断 1 本 件 発 明 と 刊 行 物 1 発 明 との 一 致 点 相 違 点 の 認 定 の 誤 り,の 主 張 について (1) 原 告 は, 決 定 が, 刊 行 物 1 発 明 における レジスト 周 辺 除 去 装 置 11 及 び 現 像 処 理 の 装 置 を 合 わせたものが, 本 件 発 明 の 洗 浄 装 置 に 相 当 すると 認 定 した 上 で,この 認 定 に 基 づき, 両 発 明 は, 洗 浄 装 置 を 備 えている 点 において 一 致 する,と 認 定 したことは, 誤 りである,と 主 張 する (2) 刊 行 物 1( 甲 第 3 号 証 )には, 半 導 体 基 板 周 辺 のレジストの 不 用 部 分 の 除 去 方 法 に 関 し, 次 の 記 載 がある ア 産 業 上 の 利 用 分 野 本 発 明 は,マスクを 用 いて 半 導 体 基 板 (ウェハ ー)の 表 面 にパターンの 転 写 を 行 うに 先 だって,ウェハー 周 辺, 側 面 及 び 裏 面 部 に 付 着 したレジストを 除 去 する 装 置 に 関 する (1 頁 左 下 欄 10 行 ~14 行 ), イ 第 2 図 ( 判 決 注 別 紙 図 面 2 参 照 )は 本 発 明 のレジスト 周 辺 除 去 装 置 を 塗 布 機 に 組 み 込 んだ 一 実 施 例 である 7はCRT( 操 作 部 を 含 む),8はローダー 部,9は 塗 布 処 理 部,10 はプリベーク 部,11はレジスト 周 辺 除 去 装 置 ( 第 1 図 )( 判 決 注 別 紙 図 面 2 参 照 ),12はアンローダーである 半 導 体 基 板 4はローダー 部 8より 塗 布 処 理 部 9に 搬 送 され,その 後 レジ ストを 所 望 の 膜 厚 に 回 転 塗 布 をする 次 にレジストを 塗 布 された 半 導 体 基 板 4はプリベーク 部 10において100 ~130 の 範 囲 内 の 任 意 の 温 度 でプリベ ークを 行 い,レジスト 周 辺 除 去 装 置 11( 第 1 図 )に 搬 送 される ここで, 半 導 体 基 板 4はチャック5により 吸 着 固 定 され,モーター6により1000~5000r pmの 範 囲 内 の 任 意 の 回 転 数 で 半 導 体 基 板 4を 回 転 させる このときに 光 源 1によ り 発 生 する 光 線 例 えば436nmの 波 長 を 含 んだ 光 線 を, 光 ファイバー2を 介 して 投 光 器 3から 半 導 体 基 板 4の 周 辺, 側 面 及 び 裏 面 部 に 照 射 する 光 線 を 照 射 す る 時 間 はレジストが 完 全 に 露 光 される 時 間 以 上 照 射 する 必 要 がある 次 に 本 発 明 に よるレジスト 周 辺 除 去 装 置 による 処 理 が 終 了 した 後, 半 導 体 基 板 4はアンローダー 部 12に 収 納 され, 後 で 行 われる 現 像 処 理 時 に 半 導 体 基 板 4のレジスト 不 要 部 分 が 完 全 に 除 去 される (2 頁 左 下 欄 11 行 ~ 右 下 欄 20 行 ) ウ 本 発 明 はレジストの 回 転 塗 布 終 了 後 に,レジストを 塗 布 された 半 導 体 基 板 の 周 辺, 側 面 及 び 裏 面 部 分 に 被 着 している 不 要 なレジスト 部 分 のみに, 紫 外 線 等 のレジストを 露 光 する 波 長 の 光 を 含 んだ 光 線 を 照 射 した 後,その 後 の 現 像 処 理 によ り 不 要 なレジスト 部 分 を 完 全 に 除 去 できる 効 果 がある (3 頁 左 上 欄 9 行 ~15

6 行 ) 上 に 認 定 した 刊 行 物 1の 記 載 及 び 図 面 1,2によれば, 刊 行 物 1 発 明 におけ る レジスト 周 辺 除 去 装 置 11 は, 半 導 体 基 板 の 周 辺, 側 面 及 び 裏 面 部 分 に 被 着 しているレジストの 不 要 部 分 のみに, 紫 外 線 等 のレジストを 露 光 する 波 長 の 光 を 含 んだ 光 線 を 照 射 する 装 置 であり, レジスト 周 辺 除 去 装 置 11 において 可 溶 化 さ れたレジストは,その 後,ライン 上 に 設 置 されていない 現 像 装 置 において 現 像 液 に より 溶 解 除 去 されるものであるということができる すなわち, 刊 行 物 1 発 明 における レジスト 周 辺 除 去 装 置 11 は,レジス トを 塗 布 され,プリベーク 部 10において100 ~130 の 範 囲 内 の 任 意 の 温 度 でプリベークをされた 半 導 体 基 板 周 辺 のレジストの 不 要 部 分 を,その 後 の 現 像 処 理 により 完 全 に 溶 解 除 去 できるように,これを 現 像 液 との 関 係 で 可 溶 化 する( 現 像 液 によって 溶 解 させられる 状 態 にする)ものである 刊 行 物 1 発 明 においては, レジスト 周 辺 除 去 装 置 11 においてレジストを 可 溶 化 して 初 めて, 現 像 装 置 においてレジストの 不 要 部 分 を 除 去 できるものであるから, レジスト 周 辺 除 去 装 置 11 及 び 現 像 装 置 の 両 者 を 合 わせたものが 半 導 体 基 板 周 辺 部 の 不 要 な レジストの 除 去 処 理 装 置 であり, 搬 送 ラインには,このような 除 去 処 理 装 置 のうち の 一 部 の 装 置 が 設 置 されているということができる (3) 本 件 明 細 書 ( 甲 第 2 号 証 はこれに 係 る 特 許 公 報 である )には, 本 件 発 明 の 洗 浄 装 置 に 関 し, 次 の 記 載 がある( 別 紙 図 面 1 参 照 ) ア 従 来 の 技 術 液 晶 基 板 として 用 いるガラス 板 にはガラス 中 のナトリウム が 液 晶 に 悪 影 響 を 及 ぼすのを 防 止 したり,ガラス 板 の 屈 折 率 を 調 整 するため,ガラ ス 板 表 面 に 所 定 の 性 質 を 有 する 被 膜 を 形 成 している 斯 かる 被 膜 を 形 成 するには, 被 処 理 物 の 表 面 に 被 膜 形 成 用 の 塗 布 液 を 滴 下 し,これをスピンナーによって 均 一 に 拡 げ, 次 いで 加 熱 することで 被 膜 とするようにしている 上 述 した 従 来 の 装 置 において,スピンナーによって 被 膜 形 成 用 の 液 体 を 被 処 理 物 表 面 に 塗 布 する 場 合, 被 処 理 物 の 外 端 部 まで 拡 がった 塗 布 液 の 一 部 が 被 処 理 物 の 裏 面 まで 廻 り 込 んでそのまま 固 まってしまう 斯 かる 不 利 を 解 消 するため, 従 来 にあってはスピンナー 装 置 と 同 一 箇 所 に おいて, 被 処 理 物 の 裏 面 に 洗 浄 液 を 吹 き 付 け, 裏 面 まで 廻 り 込 んだ 塗 布 液 を 除 去 す るようにしている ( 段 落 0002 ~ 0004 ) イ 発 明 が 解 決 しようとする 課 題 しかしながら, 被 処 理 物 の 裏 面 を 洗 浄 液 によって 裏 面 に 廻 り 込 んだ 塗 布 液 を 除 去 しても,またすぐに 表 面 側 から 塗 布 液 が 廻 り 込 んでしまう 逆 に, 表 面 側 の 塗 布 液 を 完 全 に 乾 燥 させ 塗 布 液 が 廻 り 込 まないよ うにしてから 洗 浄 すると, 洗 浄 に 極 めて 長 時 間 を 要 することになる ( 段 落 ) ウ 課 題 を 解 決 するための 手 段 上 記 課 題 を 解 決 すべく 本 発 明 に 係 る 被 膜 形 成 方 法 は,ガラス 板 や 半 導 体 ウェーハ 等 の 被 処 理 物 の 搬 送 ラインに 沿 って, 上 流 側 から 下 流 側 に 向 かって, 塗 布 装 置, 減 圧 乾 燥 装 置 及 び 洗 浄 装 置 を 配 置 した 被 膜 形 成 ラインによる 被 膜 形 成 方 法 を 前 提 とし, 前 記 塗 布 装 置 にて 表 面 に 塗 布 液 が 塗 布 され た 被 処 理 物 を 減 圧 乾 燥 装 置 に 送 り 込 み,この 減 圧 乾 燥 装 置 において, 被 処 理 物 表 面 に 塗 布 された 塗 布 液 をある 程 度 まで 乾 燥 せしめ, 次 いでこのある 程 度 塗 布 液 が 乾 燥 せしめられた 被 処 理 物 を 洗 浄 装 置 に 送 り 込 み, 被 処 理 物 表 面 に 既 に 廻 り 込 んでいる 塗 布 液 を 除 去 するようにした このように 本 発 明 によれば, 被 処 理 物 に 塗 布 した 液 体 がある 程 度 乾 燥 した 後 に, 裏 面 洗 浄 を 行 なうので, 塗 布 した 液 体 が 再 び 裏 面 に 廻 り 込 むことがない ここで, ある 程 度 乾 燥 せしめる とは 所 謂 生 乾 き 状 態 を 指 し, 完 全 乾 燥 を 含 まないのは, 発 明 の 目 的 から 当 然 である ( 段 落 ) エ 以 上 において 被 処 理 物 Wの 表 面 に 被 膜 を 形 成 する 方 法 を 以 下 に 述 べる 先 ず 投 入 部 1まで 搬 送 されてきた 被 処 理 物 Wを 搬 送 装 置 6を 用 いて 塗 布 用 スピンナー 2のチャック22 上 に 移 載 する この 場 合, 被 処 理 物 はその 前 後 端 下 面 を 一 対 の 水 平 バー62,62の 支 持 爪 63にて 係 止 された 状 態 で 移 される この 後 ノズル23からチャック22 上 に 保 持 されている 被 処 理 物 2 表 面 の 中 央 に 被 膜 形 成 用 の 塗 布 液 をを 均 一 に 拡 げる この 時, 被 処 理 物 Wの 外 端 部 下 面 に は 被 膜 形 成 用 の 液 体 の 一 部 が 廻 り 込 んでいるがそのまま 減 圧 乾 燥 装 置 3に 搬 送 して ある 程 度 まで 乾 燥 せしめる 次 いで 搬 送 装 置 6によって 被 処 理 物 を 洗 浄 用 スピンナー4のチャック42 上 に 移 載 し,チャック42で 吸 着 した 状 態 で 被 処 理 物 Wを 高 速 回 転 せしめるととも に 仮 面 にノズル43から 洗 浄 液 を 噴 出 し, 下 面 に 廻 り 込 んである 程 度 固 まった 塗 布

7 液 を 洗 い 落 とす ( 段 落 0014 ~ 0016 ) オ 発 明 の 効 果 以 上 に 説 明 したように 本 発 明 によれば, 被 処 理 物 の 搬 送 ラ インの 上 流 側 から 下 流 側 に 向 かって, 塗 布 装 置, 減 圧 乾 燥 装 置 及 び 洗 浄 装 置 を 配 置 した 被 膜 形 成 ラインによって 被 膜 を 形 成 するにあたり, 塗 布 装 置 にて 被 処 理 物 に 塗 布 された 塗 布 液 を, 減 圧 乾 燥 装 置 にて 所 謂 生 乾 きの 状 態 にして 洗 浄 装 置 に 送 り 込 む ようにしたので, 表 面 に 塗 布 された 塗 布 液 が 搬 送 の 振 動 で 波 打 ったり, 表 面 に 塗 布 した 塗 布 液 が 裏 面 に 過 度 に 廻 り 込 んだり, 更 には 裏 面 に 廻 り 込 んだ 塗 布 液 が 落 下 す ることを 防 止 でき,しかも 完 全 に 乾 燥 させていないので, 簡 単 に 溶 媒 ( 洗 浄 液 )に 溶 解 し, 裏 面 洗 浄 の 時 間 を 短 縮 することができる ( 段 落 0018 ) 上 に 認 定 した 本 件 明 細 書 の 記 載 によれば, 本 件 発 明 は, 塗 布 液 を 塗 布 され 減 圧 乾 燥 装 置 である 程 度 乾 燥 された 被 処 理 物 の 洗 浄 を 行 うことにより, 被 処 理 物 の 表 面 から 廻 り 込 んで 裏 面 に 付 着 した 塗 布 液 を 除 去 するものであり, 本 件 発 明 における 洗 浄 装 置 とは, 溶 媒 ( 洗 浄 液 )を 被 処 理 物 表 面 に 吹 き 付 ける 等 して 適 用 し, 被 除 去 対 象 を 被 処 理 物 から 除 去 する 装 置 であるということができる (4) 上 記 (2) 及 び(3)でそれぞれ 認 定 した 刊 行 物 1 及 び 本 件 明 細 書 の 各 記 載 によれ ば, 刊 行 物 1 発 明 における レジスト 周 辺 除 去 装 置 11 及 び 現 像 処 理 の 装 置 と, 本 件 発 明 の 洗 浄 装 置 とは, 被 除 去 対 象 である 被 処 理 物 周 辺 の 不 要 部 分 を 被 処 理 物 から 除 去 するという 機 能 において 一 致 する 決 定 が,このような 機 能 におけ る 一 致 点 に 着 目 して, 刊 行 物 1 発 明 における レジスト 周 辺 除 去 装 置 11 及 び 現 像 処 理 の 装 置 が, 本 件 発 明 の 洗 浄 装 置 に 相 当 する,と 認 定 したこと 自 体 は, 何 ら, 誤 りではない しかしながら, 上 記 認 定 の 本 件 明 細 書 及 び 刊 行 物 1の 各 記 載 によれば, 本 件 発 明 と 刊 行 物 1 発 明 とは, 被 除 去 対 象 である 被 処 理 物 周 辺 の 不 用 部 分 の 具 体 的 な 除 去 方 法 において 異 なることが 明 らかである すなわち, 本 件 発 明 においては, 洗 浄 装 置 により 溶 媒 を 用 いた 洗 浄 処 理 によって 不 要 部 分 の 除 去 を 行 うのに 対 し, 刊 行 物 1 発 明 においては, 搬 送 ラインに 設 けられた 露 光 装 置 及 び 搬 送 ラインに 設 けられていない 現 像 装 置 とから 成 る 装 置 により, 光 の 照 射 及 び 現 像 液 による 溶 解 処 理 を 行 うことによって 不 要 部 分 の 除 去 を 行 うものである 決 定 は, 本 件 発 明 と 刊 行 物 1 発 明 とは, ガラス 板 や 半 導 体 ウェハー 等 の 被 処 理 物 の 搬 送 ラインに 沿 って, 上 流 側 から 下 流 側 に 向 かって, 塗 布 装 置, 減 圧 乾 燥 装 置 及 び 少 なくとも 一 部 の 洗 浄 装 置 を 配 置 した 被 膜 形 成 ラインによる 被 膜 形 成 方 法 であって,この 被 膜 形 成 方 法 は, 塗 布 装 置 にて 表 面 に 塗 布 液 が 塗 布 された 被 処 理 物 をを 洗 浄 装 置 に 送 り 込 み,この 乾 燥 装 置 において, 被 処 理 物 表 面 に 塗 布 された 塗 布 液 を 乾 燥 せしめ, 次 いでこの 塗 布 液 が 乾 燥 せしめられた 被 処 理 物 を 洗 浄 装 置 に 送 り 込 み, 被 処 理 物 の 表 面 から 廻 り 込 んで 付 着 し, 乾 燥 せしめられた 余 分 な 塗 布 液 を 除 去 するようにしたことを 特 徴 とする 被 膜 形 成 方 法 で 一 致 ( 決 定 書 5 頁 4 行 ~ 11 行 )するとし, 洗 浄 装 置 についての 相 違 点 ( 相 違 点 1)として 塗 布 ラインに 配 置 される 洗 浄 装 置 が, 前 者 では 洗 浄 装 置 の 全 部 であるのに 対 して, 後 者 では 洗 浄 装 置 の 一 部 である 点 を 挙 げるのみで, 上 記 被 処 理 物 周 辺 の 不 要 部 分 の 具 体 的 な 除 去 方 法 における 相 違 を 相 違 点 として 認 定 していない 上 記 のとおり, 刊 行 物 1 発 明 において 搬 送 ラインに 設 けられるものは, 洗 浄 機 能 を 有 しない, 溶 解 処 理 装 置 の 一 部 である 露 光 装 置 であって,これを 洗 浄 装 置 の 一 部 ということはできない 決 定 が 少 なくとも 一 部 の 洗 浄 装 置 を 配 置 す る 点 及 び 被 処 理 物 を 洗 浄 装 置 に 送 り 込 む 点 を 両 発 明 の 一 致 点 と 認 定 したのは 誤 りであり, 決 定 は, 被 処 理 物 周 辺 の 不 要 部 分 の 除 去 方 法 が, 本 件 発 明 においては 洗 浄 装 置 によるものであるのに 対 し, 刊 行 物 1 発 明 においては 露 光 装 置 及 び 現 像 装 置 によるものであるという 相 違 点 を 看 過 したものというべきである 決 定 は, 上 記 相 違 点 を 看 過 した 結 果, 刊 行 物 1 発 明 から 同 相 違 点 に 係 る 本 件 発 明 の 構 成 に 想 到 することの 容 易 性, 例 えば, 刊 行 物 1 発 明 の 露 光 装 置 及 び 現 像 装 置 によるものを 洗 浄 装 置 によるものに 置 換 する 点 の 容 易 想 到 性,さらに, 置 換 した 場 合 において, 洗 浄 のために 搬 送 ライン 上 に 乾 燥 のための 減 圧 乾 燥 装 置 を 前 置 する 点 等 の 容 易 想 到 性 については, 何 ら 判 断 をしないままに, 結 論 に 至 っているのであ る 2 以 上 のとおりであるから, 決 定 は, 本 件 発 明 と 刊 行 物 1 発 明 との 一 致 点 相 違 点 の 認 定 を 誤 って 相 違 点 を 看 過 し,その 結 果, 同 相 違 点 に 係 る 本 件 発 明 の 構 成 の 容 易 想 到 性 についての 検 討 を 欠 いたまま 結 論 に 至 ったものであり,この 誤 りが 決 定 の 結 論 に 影 響 を 及 ぼすことは 明 らかである 決 定 は, 取 消 しを 免 れない 第 6 結 論

8 以 上 によれば,その 余 の 原 告 主 張 について 検 討 するまでもなく, 原 告 の 本 訴 請 求 は, 理 由 があることが 明 らかである そこで,これを 認 容 することとし, 訴 訟 費 用 の 負 担 につき 行 政 事 件 訴 訟 法 7 条, 民 事 訴 訟 法 61 条 を 適 用 して, 主 文 のとお り 判 決 する 東 京 高 等 裁 判 所 第 6 民 事 部 裁 判 長 裁 判 官 山 下 和 明 裁 判 官 設 樂 隆 一 裁 判 官 阿 部 正 幸 ( 別 紙 ) 別 紙 図 面 1 別 紙 図 面 2

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