行 動 指 針 WIN-WINの 仕 事 で 世 界 NO.1の 製 品 を 創 ろう 東 京 精 密 のコーポレートブランド は Grow Togetherという 意 味 の ACCRETE と TECHNOLOGY の 合 成 語 で 世 界 中 の 優 れた 技 術 知 恵 情 報 を 融 合

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1 日 本 語 COMPANY PROFILE 2016

2 行 動 指 針 WIN-WINの 仕 事 で 世 界 NO.1の 製 品 を 創 ろう 東 京 精 密 のコーポレートブランド は Grow Togetherという 意 味 の ACCRETE と TECHNOLOGY の 合 成 語 で 世 界 中 の 優 れた 技 術 知 恵 情 報 を 融 合 して 世 界 No.1 の 商 品 を 作 り 出 し 皆 様 と 共 に 大 きく 成 長 していく という 当 社 の 企 業 理 念 を 一 語 で 表 したものです シンボルマークの 表 現 している 内 容 高 速 回 転 する 金 色 の 物 体 は 世 界 中 から 集 めたリソース ( 人 物 金 情 報 )を 表 しており この 力 を 凝 縮 し 明 確 なターゲットを 持 って 最 先 端 の 強 力 な 製 品 を 市 場 に 投 入 していく 様 を 物 体 中 央 から 噴 出 している 高 速 ジェット 流 で 表 しています ごあいさつ 私 たち 東 京 精 密 グループは 1949 年 の 創 業 から 今 日 に 至 るまで お 客 様 の 生 産 性 向 上 に 寄 与 できる 製 品 開 発 とカスタマー サポートに 注 力 してまいりました 東 京 精 密 グループのモットーは ステークホルダーとの WIN-WIN RELATIONSHIP です お 客 様 をはじめ お 取 引 先 株 主 従 業 員 などステークホルダーの 皆 様 と 共 に 成 長 する WIN-WIN の 関 係 を 構 築 し 持 続 的 に 発 展 していくことを 目 指 しています 近 年 ものづくりの 分 野 では グローバル 化 環 境 問 題 への 対 応 IT の 進 展 など 速 くて 大 きな 経 営 環 境 の 変 化 が 起 こっています 東 京 精 密 グループは グローバル 企 業 として 自 らも 環 境 の 変 化 に 迅 速 2

3 に 対 応 すると 共 に 培 ってきた 精 密 測 定 技 術 と 精 密 加 工 技 術 を 通 じて お 客 様 のものづくり のイノベーションのお 手 伝 いをしてまいります 東 京 精 密 グループは 健 康 安 全 品 質 環 境 省 エネルギー 全 員 力 を 行 動 指 針 としています これらに 基 づいた 事 業 活 動 により 優 れた 半 導 体 製 造 装 置 と 計 測 機 器 を 開 発 供 給 することを 通 じて お 客 様 にご 満 足 をいただき 社 会 に 貢 献 してまいります 今 後 とも 皆 様 の 温 かいご 理 解 とご 支 援 を 賜 りますよう 宜 しくお 願 い 申 し 上 げます 代 表 取 締 役 社 長 CEO 3

4 東 京 精 密 は これまで 培 って 世 界 No.1 商 品 を 継 続 的 に 市 東 京 精 密 は 精 密 計 測 機 器 と 半 導 体 製 造 装 置 メーカー として 精 密 位 置 決 め 技 術 精 密 測 定 技 術 をバックボー ンにマシンコントロールゲージ 表 面 粗 さ 測 定 機 ウェーハプロービングマシンなどの 装 置 を 市 場 に 提 供 してきました 今 後 東 京 精 密 は これまで 培 ってき たこれらのコア テクノロジーに 基 づき 世 界 No.1 の 新 商 品 を 続 々と 市 場 に 投 入 していきます 確 かな 技 術 でニーズに お 応 えします 計 測 を 基 盤 に さらなる 成 長 を 精 密 測 定 機 器 High Precision Measuring Instrument 計 測 社 は 世 界 の 自 動 車 産 業 工 作 機 械 航 空 機 等 あら ゆる 産 業 界 において 東 京 精 密 が 提 供 する 高 精 度 精 密 測 定 機 器 は 精 密 測 定 室 あるいは 機 械 加 工 ラインで 用 いら れており お 客 様 に 高 い 評 価 を 頂 いております これから も 耐 環 境 性 の 向 上 小 型 化 オペレーションの 自 動 化 など たゆまぬ 製 品 開 発 をおこなってまいります 4

5 きたコアテクノロジーに 基 づき 場 に 投 入 していきます 最 先 端 のものづくりを 支 えます 半 導 体 の 技 術 進 化 と 共 に 成 長 を 続 けます 半 導 体 製 造 装 置 Semiconductor Production Equipment 半 導 体 社 は 従 来 のウェーハ 製 造 分 野 及 び テスト 分 野 後 工 程 分 野 で 世 界 のトップシェアを 確 立 してまいりま した これらに 加 え CMP 装 置 や 薄 片 化 分 野 にも 進 出 し 半 導 体 製 造 工 程 における お 客 様 の 最 適 生 産 システム 構 築 をサポートしております 5

6 事 業 内 容 / 計 測 汎 用 計 測 機 器 三 次 元 座 標 測 定 機 Coordinate Measuring Machines 部 品 の 高 精 度 化 に 対 応 高 スループットを 実 現 するアクティブスキャニング 技 術 簡 単 操 作 を 可 能 にするAI 機 能 高 スループットを 実 現 するアクティブスキャニング 技 術 に 加 え 高 速 スキャニング 精 度 を 飛 躍 的 に 向 上 するNavigator 機 能 を 搭 載 した PRISMO Navigatorシリーズ コストパフォーマンスを 追 求 したザイザックスFUSION NEXシリーズ 簡 単 なオペ レーションを 実 現 するAI 機 能 を 持 ったザイザックスSVA NEX SVF NEXシリーズ など 使 用 目 的 にマッチした 三 次 元 座 標 測 定 機 を 提 供 いたします PRISMO navigator 高 速 スキャニング 精 度 を 飛 躍 的 に 向 上 する Navigator 機 能 を 搭 載 アクティブスキャニングプローブ VAST gold を 採 用 し スキャニング 測 定 ポイント 測 定 のい ずれも 高 速 高 精 度 な 測 定 を 実 現 温 度 の 影 響 を 極 力 避 けた 斬 新 なデザイン ACCURA 大 型 部 品 の 高 精 度 かつ 高 速 測 定 に 対 応 し 各 種 ZEISSスキャニングプローブが 搭 載 可 能 な 新 シリーズ 最 大 移 動 速 度 800mm/s(option)を 実 現 高 精 度 化 対 応 :CAA 補 正 (Computer Aided Accuracy) NEW CONTURA 小 型 スキャニングプローブ VAST XXT と 回 転 プローブヘッドRDSの 組 み 合 わせで 複 雑 形 状 のワークを 高 効 率 高 精 度 で 測 定 することが 可 能 経 済 性 にも 考 慮 した 設 計 で 優 れたコスト パフォーマンス MICURA 最 も 小 さいフットプリントとクラス 最 大 の 測 定 範 囲 を 実 現 医 療 器 具 や 歯 車 等 超 高 精 度 測 定 が 要 求 され る 様 々なアプリケーションに 対 応 6

7 各 種 プローブ 測 定 するワークや 精 度 効 率 など 用 途 に 合 わせてプローブの 選 択 が 可 能 VAST gold VAST XTR gold VAST XT gold RDS VAST XXT PH10T ラインレーザ センサ ザイザックス FUSION NEX シリーズ 東 京 精 密 のハード 技 術 と カールツァイス 社 の 世 界 唯 一 アクティブスキャニングテクノロジーを 融 合 測 定 精 度 (MPEE = L/1000 μ m) スキャニング 精 度 (MPETHP = 2.1 μ m)を 保 証 スキャニング 精 度 は 実 ワークに 即 した 国 内 初 のスタイラス 長 さ 300 mm でも 保 証 回 転 式 プローブ PH10T へ 交 換 可 能 NEW ザイザックス SVA NEX シリーズ SVAシリーズのデザインを 一 新 カールツァイス 社 の 優 れた 制 御 技 術 と 東 京 精 密 の 高 剛 性 設 計 技 術 を 融 合 した 高 精 度 タイプ NEW ザイザックス mju NEX シリーズ Hybrid Guideway Technologyを 搭 載 し 安 定 した 測 定 精 度 と 省 エネ 化 を 実 現 NEW ザイザックス SVF NEX シリーズ RVFシリーズのデザインを 一 新 新 しく 生 まれ 変 わったエントリーモデルの マニュアル 三 次 元 座 標 測 定 機 7

8 事 業 内 容 / 計 測 汎 用 計 測 機 器 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 測 定 機 Surface Texture and Contour Measuring Instruments 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 測 定 機 サーフコムCRESTは 高 速 高 精 度 低 振 動 という 相 反 する 要 求 を 当 社 の 独 自 技 術 で 実 現 した 高 精 度 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 統 合 測 定 機 です また 好 評 のリニアモータ 駆 動 部 により 高 速 低 振 動 を 実 現 し 新 開 発 の 高 分 解 能 検 出 器 により 高 精 度 を 実 現 した 世 界 No.1の 性 能 を 持 っ た 測 定 機 です 1 回 の 測 定 で 表 面 粗 さと 輪 郭 形 状 の 両 方 の 評 価 解 析 が 可 能 となるため 検 出 器 の 付 け 替 え 時 間 が 節 約 されるとともに 測 定 部 の 高 速 化 (200 mm/s)による 高 スループットの 向 上 を 実 現 しました また 新 製 品 のサーフコムNEXシリーズや 現 行 のリニアモータ 搭 載 の 普 及 機 サーフコム1500DX3 コンターレコード1700DX3 等 も これまでの 概 念 を 超 えた 低 振 動 で 高 倍 率 測 定 が 可 能 です NEW 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 統 合 測 定 機 サーフコム CREST 最 新 技 術 リニアモータを 採 用 高 精 度 高 速 測 定 を 実 現 世 界 No.1 の 高 精 度 高 性 能 粗 さ 輪 郭 統 合 測 定 機 高 安 定 倍 光 路 型 レーザ 干 渉 センサを 採 用 高 分 解 能 ( 分 解 能 0.31 nm 測 定 レンジ13 mm)を 実 現 1 回 の 測 定 で 粗 さと 輪 郭 の 評 価 解 析 が 高 効 率 で 可 能 データ 処 理 システム ACCTee 粗 さ 輪 郭 ACCTee All in One Document! ACCTee は 新 コンセプトの 測 定 スタイルを 提 唱 すべく 開 発 ドキュメントベースで 測 定 や 解 析 が 行 え 抜 群 の 操 作 性 を 実 現 粗 さ 測 定 AI 機 能 は 規 格 や 評 価 目 的 に 最 適 なパラメータや 解 析 条 件 を 自 動 選 定 が 可 能 輪 郭 解 析 AI 機 能 は 幾 何 要 素 を 自 動 的 に 抽 出 することが 可 能 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 統 合 測 定 機 サーフコム NEX100 ピッチ 計 算 計 算 結 果 クラス 最 高 精 度 を 実 現 した 統 合 測 定 機 新 開 発 デュアルセンサを 搭 載 し 粗 さと 輪 郭 を 一 度 に 測 定 レトロフィット 対 応 による 既 存 機 の 価 値 向 上 (リニアシリーズ) 8

9 NEW 非 接 触 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 測 定 機 サーフコム CREST Lp オートフォーカス 方 式 を 採 用 NEW 輪 郭 形 状 測 定 機 サーフコム NEX 030/040 リニアモータ 駆 動 部 を 採 用 高 精 度 スケールを 搭 載 表 面 粗 さ 測 定 機 サーフコム 480B 広 視 野 で 鮮 明 なカラー 液 晶 タッチパネルで スムーズな 操 作 性 を 実 現 オペレータにやさしいガイダンス 機 能 カスタマイズ 機 能 等 を 搭 載 した 現 場 向 け 測 定 機 表 面 粗 さ 測 定 機 サーフコム FLEX-50A コンパクト 設 計 により 持 ち 運 び 可 能 現 場 でも 確 認 しやすい 大 きなカラー 画 面 を 搭 載 ワークに 合 わせて 駆 動 部 の 付 け 替 えが 可 能 表 面 粗 さ 測 定 機 ハンディサーフ E-35B, -40A, -45A JIS 2001 その 他 各 国 規 格 の 測 定 パラメータ 装 備 差 し 替 え 可 能 な 変 位 形 ピックアップ 搭 載 あらゆる 姿 勢 で 測 れる 全 姿 勢 タイプ 採 用 汎 用 計 測 機 器 光 学 測 定 機 器 Optical Measuring Instruments NEW 非 接 触 三 次 元 表 面 粗 さ 形 状 測 定 機 Opt-scope 機 械 加 工 部 品 の 表 面 粗 さ 形 状 を 非 接 触 で 短 時 間 に 測 定 NEW 非 接 触 干 渉 変 位 センサー Opt-measure 白 色 干 渉 法 を 原 理 とした 測 長 システム 高 精 度 高 感 度 な 測 定 が 可 能 環 境 温 度 の 変 化 に 強 い 9

10 事 業 内 容 / 計 測 汎 用 計 測 機 器 真 円 度 円 筒 形 状 測 定 機 Cylindrical Form Measuring Instruments 測 定 室 からラインサイドへの 展 開 ロンコム 65B NEW 世 界 トップクラスの 回 転 精 度 を 実 現 した テーブル 回 転 型 のフラッグシップモデル ベースや 各 軸 にはんれい 岩 を 採 用 世 界 最 高 の 回 転 精 度 を 誇 るロンコム 65B オートセンタリング チルチング 機 能 でハイスループットを 実 現 CNC 検 出 器 でフル オートメーションを 可 能 にしました ロンコム 60A Z 軸 R 軸 にエアベアリングを 採 用 回 転 精 度 0.02 µmを 保 証 オートセンタリング チルチング 時 間 60 秒 以 内 を 実 現 NEW ロンコム NEX Rs DX 真 円 度 と 表 面 粗 さの 高 精 度 測 定 を 実 現 オールインワンの 省 スペース 化 を 実 現 NEW ロンコム NEX SD クラストップの 回 転 精 度 を 実 現 オフセット 型 CNC 検 出 器 ホルダを 採 用 ロンコム 43C 自 動 測 定 機 能 により 生 産 現 場 における 量 産 繰 り 返 し 測 定 に 最 適 なマシン 真 直 度 保 証 付 きコラムを 装 備 円 筒 解 析 が 行 える エコノミータイプ ロンコム TOUCH 入 門 機 に 最 適 なエントリークラスの 手 動 真 円 度 測 定 機 コラム 移 動 型 の 独 創 的 デザイン 設 置 面 積 を 従 来 比 50% 以 下 に 削 減 Windowsタブレットを 採 用 タッチスクリーンにより 誰 で も 使 える 高 操 作 性 を 実 現 10

11 データ 処 理 システム ACCTee 真 円 度 ACCTee オフ セット 型 CNC 検 出 器 ホルダ All in One Document! ACCTee は 新 コンセプトの 測 定 スタイルを 提 唱 すべく 開 発 ドキュメントベースで 測 定 や 解 析 が 行 え 抜 群 の 操 作 性 を 実 現 Easy モードとExpert モードで 初 心 者 から 高 度 なCNCプログ ラミングまで 柔 軟 に 対 応 ドキュメント 画 面 ロンコム 73A クラス 最 高 精 度 を 実 現 シリンダブロックやクランクシャフト 等 の 測 定 に 最 適 安 全 機 構 や CNC 機 能 が 標 準 搭 載 ロンコム 76A 高 速 駆 動 により 測 定 のハイスループット 化 を 実 現 測 定 箇 所 の 位 置 決 めから 測 定 データの 作 成 まで 完 全 無 人 化 を 実 現 実 績 のあるエアベアリングを 搭 載 7 軸 CNC 制 御 の 最 高 級 機 世 界 最 高 水 準 の 精 度 を 実 現 最 大 積 載 質 量 1トンまで 対 応 可 能 (オプション) シリンダブロックやクランクシャフトの 測 定 例 11

12 事 業 内 容 / 計 測 汎 用 計 測 機 器 ショップフロア( 生 産 現 場 ) 対 応 測 定 機 Measuring Instruments for Shop Floor 東 京 精 密 がショップフロア( 生 産 現 場 )の ライン 計 測 に 最 新 テクノロジを 提 案 測 定 効 率 の 向 上 コスト 削 減 および 品 質 向 上 を 目 指 し ショップフロア( 生 産 現 場 ) での 測 定 要 求 が 高 まっています この 要 望 に 応 え 東 京 精 密 では 測 定 の 自 動 化 に 対 応 し 耐 環 境 性 に 優 れたショップフロア 向 けの 測 定 機 を 提 供 します CNC 表 面 粗 さ 測 定 機 サーフコムC5 は CNC 5 軸 制 御 により 表 面 粗 さの 自 動 測 定 が 可 能 です また 三 次 元 座 標 測 定 機 CenterMax GageMax は 耐 環 境 性 が 飛 躍 的 に 向 上 し 厳 しい 生 産 現 場 計 測 に 貢 献 します DuraMax コンパクトなボディにZeissテクノロジーを 凝 縮 電 源 1 本 で 測 定 準 備 OK プラグ&プレイを 実 現 スリムで 省 設 置 スペースのデスクトップタイプ スキャニング 技 術 で 信 頼 性 の 高 い 真 円 度 & 評 価 業 界 初 省 エネ 志 向 の 三 次 元 座 標 測 定 機 CNC 表 面 粗 さ 形 状 測 定 機 サーフコム C5 シリンダボア 内 面 の 真 円 度 測 定 に 特 化 可 搬 式 内 径 真 円 度 測 定 機 ピックアップ 駆 動 部 コラムをCNC 5 軸 制 御 生 産 現 場 での 表 面 粗 さの 自 動 化 が 可 能 横 トレース 測 定 機 能 を 搭 載 し 多 種 多 様 なワークの 測 定 が 可 能 ロンコム ZERO1 現 場 のラインサイドへ 持 ち 運 び 可 能 な 軽 量 コンパクト 設 計 シリンダボアの 測 定 部 でのワンタッチセンタリングが 可 能 測 定 子 交 換 方 式 により 35mm 径 差 に 対 応 エア 源 不 要 高 精 度 CNC 三 次 元 座 標 測 定 機 CenterMax navigator 環 境 温 度 15 ~ 35 で 測 定 精 度 を 保 証 温 度 変 化 に 対 して 伸 縮 しない 特 殊 スタイラス ( サ ー モ フィット )を 開 発 ZEISS VASTアクティブスキャニングプローブ を 搭 載 GageMax navigator 耐 環 境 性 を 重 視 した 構 造 設 計 生 産 ライン 計 測 での 高 精 度 測 定 を 実 現 環 境 温 度 15 ~ 40 で 測 定 精 度 を 保 証 ZEISS VAST-XT gold アクティブスキャニングプローブを 搭 載 12

13 汎 用 計 測 機 器 超 大 型 測 定 機 Measuring Instruments for Large Works 航 空 機 エネルギー 自 動 車 工 作 機 械 印 刷 機 などの 大 型 で 高 精 度 な 部 品 の 測 定 に 最 適 な 測 定 機 超 大 型 三 次 元 座 標 測 定 機 MMZ-G シリーズ(フロア 設 置 型 ) フロアそのものを 測 定 テーブルとし 大 型 重 量 物 の 測 定 ワークの 搬 送 等 が 容 易 大 型 の 三 次 元 座 標 測 定 機 では 最 高 の 測 定 精 度 を 提 供 大 型 三 次 元 座 標 測 定 機 MMZ-T シリーズ( 測 定 テーブル 型 ) 大 型 ギア 等 の 測 定 に 理 想 的 な 精 度 と 測 定 範 囲 大 型 真 円 度 表 面 粗 さ 輪 郭 統 合 測 定 機 ロンコム GRANDE DUO 新 開 発 の 高 精 度 エアベアリング 等 を 採 用 耐 久 性 に 優 れた 風 力 発 電 機 部 品 大 型 ベアリング 等 の 真 円 度 と 形 状 の 同 時 評 価 に 対 応 フレキシブル R 軸 の 採 用 小 径 ~ 大 径 まで 幅 広 い 測 定 径 に 対 応 13

14 事 業 内 容 / 計 測 自 動 計 測 機 器 In-Line Measuring Systems 100% のアップタイム 100% の 良 品 作 りを 目 指 すユーザーの 信 頼 に 東 京 精 密 は 応 えてまいりました 東 京 精 密 は 1960 年 代 の 日 本 の 自 動 車 産 業 の 勃 興 と 共 に インラインの 計 測 機 器 メーカーとし ての 歩 みを 始 めました それ 以 降 製 造 ラインに 求 められたものは 何 か? それは 1 日 24 時 間 週 7 日 1 年 365 日 のフル 稼 働 100% の 良 品 そして 100% のアッ プタイムです 東 京 精 密 は インプロセスゲージによるリアルタイム 制 御 ポストプロセスゲージ によるフィードバック 制 御 そしてそれらを 統 合 したフィードフォワードシステムにより 計 測 機 器 メーカーとしてお 客 様 のニーズにお 応 えしてきました そして 短 納 期 アプリケーションへの 対 応 能 力 高 い 信 頼 研 削 盤 用 オートバランサ 性 など トータルのサポート 能 力 で 高 い 評 価 を 克 ち 取 りまし た またサイト 毎 の 強 力 なサービス 体 制 も 東 京 精 密 の 大 きな 特 長 です インライン 計 測 システム 作 りでの 経 験 実 績 こそ 現 在 の 半 導 体 製 造 装 置 をも 含 むインラインの 総 合 精 密 測 定 機 器 メーカーとしての 東 京 精 密 のバックグラウンドなのです 研 削 盤 用 測 定 システム リヤ フロント 仕 上 げ 研 削 ジャーナル 中 仕 上 げ 研 削 外 径 測 定 外 径 測 定 クランクシャフト 加 工 ライン 外 径 測 定 前 後 面 切 削 穴 アケ 加 工 基 準 面 切 削 加 工 シリンダブロック 加 工 ライン 品 質 確 認 用 検 査 装 置 14

15 クランクシャフト J.P 径 測 定 刻 印 機 ジャーナル 径 ピン 径 を 専 用 3 連 ヘッドで 測 定 し 所 定 のマーキングを 行 います 加 工 監 視 システム 完 成 品 総 合 自 動 検 査 機 ピン ジャーナル 仕 上 げ 研 削 完 成 品 外 径 マルチ 測 定 + 真 円 度 測 定 シリンダブロック 測 定 刻 印 機 ボア 径 クランク 穴 径 クランク 穴 同 軸 度 等 を 測 定 し 所 定 のマーキングを 行 う 自 動 機 です ライナー 圧 入 穴 中 ぐり 加 工 内 径 測 定 パルコム BG( 内 径 ポストプロセス 測 定 ) 旋 盤 用 測 定 システム 切 粉 マシニングセンタ 用 測 定 システム 15

16 事 業 内 容 / 計 測 自 動 計 測 機 器 マシンコントロールゲージ Machine Control Gages インラインでの 高 精 度 測 定 機 器 制 御 を リアルタイムに 行 う 強 力 なラインナップ 各 種 測 定 ヘッド マシンコントロールゲージ パルコムは 加 工 中 あるいは 加 工 前 後 に 測 定 したデータをもとに 工 作 機 械 をリアルタイムに 制 御 する 装 置 です 東 京 精 密 のマシンコントロールゲージの 最 大 の 特 長 は 他 を 凌 駕 するその 高 精 度 にあります 従 来 製 品 の 精 度 を 大 幅 に 上 回 る 0.1 μ m という 高 精 度 測 定 システムを 開 発 し ますます 高 精 度 化 する 加 工 技 術 を 強 力 にバックアップ 幅 広 い 環 境 に 設 置 可 能 な 完 全 防 水 構 造 なので さまざまなラインに 対 応 し インラインでの 高 速 測 定 機 器 制 御 を 実 現 します また 各 種 の 自 動 測 定 刻 印 選 別 機 もカスタムメイドで 供 給 しており パルコムとともに 国 内 ではもとより 海 外 でも 広 く 採 用 され 高 い 信 頼 を 得 ています 安 定 性 向 上 ( 温 度 特 性 に 優 れた 測 定 ヘッド) 小 型 省 スペース マシンコントロールゲージ 管 制 部 パルコム V10A + V11 真 円 度 測 定 SPC 制 御 などの 豊 富 な 機 能 パルコム V9 高 い 拡 張 性 タッチパネル&アイコン 表 現 に よる 直 感 的 な 操 作 が 可 能 パルコム V2 単 純 形 状 ワークのインプロセスラインに 最 適 ミニコム X 手 作 業 工 程 半 自 動 機 等 小 規 模 な 検 査 工 程 に 最 適 加 工 監 視 システム 砥 石 オートバランサ アルミ 高 速 切 削 加 工 監 視 装 置 16 パルコム GE-20 小 型 ローコストタイプ どんな 場 所 にも 手 軽 に 設 置 できます パルコム AB-10 砥 石 交 換 時 間 半 分 以 下 誰 でも 安 全 自 動 理 想 的 な 動 バランス 状 態 に びびり 防 止 による 加 工 品 質 の 向 上 ATC 振 れ 測 定 システム 振 れを 検 出 して 加 工 不 良 を 防 止 するシステム

17 自 動 計 測 機 器 センサおよび 解 析 表 示 部 Sensors, Analyzers and Display Units コンパクトで 高 精 度 そしてラインで 鍛 え 抜 かれた 信 頼 性 東 京 精 密 は 様 々な 測 定 原 理 に 基 づく 豊 富 なセンサを 揃 え ライン 計 測 のあらゆるニーズに 応 えます 長 い 実 績 を 持 ち 高 く 評 価 されているこれらのセンサ 類 は ラインの 中 の 測 定 に 求 められる 扱 いやすさ や 視 認 性 機 器 組 み 込 み に 必 要 な 高 速 応 答 性 検 査 室 用 途 に 求 められる 高 精 度 をすべて 兼 ね 備 えています さらにお 客 様 のニーズをい ち 早 くとらえて 各 種 の 非 接 触 センサなどの 製 品 開 発 を 積 極 的 に 行 っています 空 気 マイクロメータ 高 精 度 デジタル 測 長 器 PHA シリーズ デルテア 22H PC 接 続 型 検 査 装 置 USB 接 続 PC にて 測 定 USB バスパワーにて 動 作 マルチゲージ システム 多 彩 なラインナップ LVDT-USB : コンパクトな 測 定 ヘッド 電 気 マイクロメータ PHA-USB : 高 精 度 広 測 定 範 囲 光 学 スケールゲージ Air micro USB : エアノズルにより 検 出 した 微 小 寸 法 変 化 を 電 気 量 に 変 換 接 触 式 ウェーハ 厚 さ 測 定 機 WT- 425シリーズ 光 ファイバ 結 合 レーザ 干 渉 測 長 器 ディスタックス 300A 小 型 角 度 割 出 測 定 ヘッド 薄 型 3 軸 測 定 ヘッド 17

18 事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 ウェーハプロービングマシン Wafer Probing Machines 世 界 No.1 サプライヤーが 提 供 する 最 上 位 300mm ウェーハ 機 新 アルゴリズムによる 高 速 ウェーハハンドリングとプローバ 用 に 新 開 発 した 専 用 駆 動 ユニットによる 高 速 高 静 粛 XY ステー ジの 相 乗 効 果 により 驚 異 的 なスループットを 実 現 更 に Z 軸 は 世 界 最 高 水 準 の 耐 荷 重 と 高 精 度 を 確 保 し ポジションによる 平 面 度 変 化 を 徹 底 的 に 排 除 するトポロジー 最 適 化 構 造 設 計 により 最 高 のコンタクトを 提 供 します UF3000EX で は OTS 最 新 位 置 決 め 技 術 を 更 に 進 化 させ ウェーハアラ イメント 画 像 のカラー 処 理 化 や 超 高 倍 率 機 能 の 搭 載 により 精 度 や 操 作 性 も 飛 躍 的 に 向 上 しています 高 精 度 300mm ウェーハ 機 独 創 的 な OTS QPU TTG など 最 先 端 の 技 術 を 融 合 した 超 高 性 能 システムにて 次 世 代 デバイスの 微 細 化 多 様 なテスト 環 境 に 対 し お 客 様 のニーズに 合 ったテス トシステムをご 提 供 いたします ダイシング 用 フレームにマウントされた 薄 いウェーハ ダイシング 済 みウェーハ CSP 基 板 をフレームごと 自 動 搬 送 しプロービングテストします 18

19 最 小 フットプリント ハイスループットを 実 現 した 高 精 度 な XXZ 制 御 システム 機 です カラー 液 晶 タッ チパネルにより 優 れた 操 作 性 と 光 デバイス 高 輝 度 LED 測 定 に 対 応 しています MINIMUM フットプリント ハイスループットを 実 現 した 高 精 度 な XYZ 制 御 システム 機 です マニュアル~セミオート~フルオートまでシステム 構 成 が 自 在 です 2 ステーション 同 時 測 定 高 信 頼 性 高 速 測 定 が 可 能 です 多 種 デバイス(パワーデバイス) ピンデバイ ス 対 応 可 能 です 19

20 事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 ウェーハプロービングマシン Wafer Probing Machines お 客 様 のプローバ 工 程 品 質 とデータの 管 理 テスト 結 果 解 析 自 動 化 に 役 立 つ ACCRETECH ネットワーク System Integration ACCRETECH のプローバは SEMI の GEM(E30) CMS(E87) PJ (E40) CJ(E94)などの 規 格 の 他 オリジナルネットワー クである Vega-Net Light-Veganet 及 び Vega-Planet を 組 み 合 わせることにより ファクトリ オートメーションをリード 致 します UF シリーズでは 次 世 代 リモートターミナル 機 能 を 搭 載 し e-maintenance / e-diagnostic を 提 供 致 します システム 構 成 20

21 多 様 なデバイス 要 求 に 応 える プローバ バリエーション UF シリーズ 次 代 が 要 請 するデバイス 進 化 に 対 応 最 先 端 のインテリジェント 機 能 を 搭 載 したフルオート プローバ 東 京 精 密 は ウェーハ 製 造 デバイス 検 査 装 置 のトップメーカーとして 常 に 積 極 的 な 技 術 開 発 を 推 し 進 めてきました この 永 年 に 及 ぶ 高 度 なノウハウと 最 新 の 技 術 を 結 集 して 開 発 されたのが 最 新 型 プローバ UF シリーズです 高 精 度 高 性 能 高 機 能 であることはもちろん さらに 完 全 自 動 化 自 己 診 断 機 能 GUI 採 用 など 高 い 操 作 性 と 安 定 性 も 実 現 まさに デバイス 進 化 を 先 取 りした 最 先 端 のプローバです UF2000 高 精 度 200mm ウェーハ 機 FP2000 CSP/WCSP 向 けフレーム 搬 送 対 応 マシン ± 1.5 μ m 精 度 高 剛 性 高 いスループットを 実 現 した 最 新 鋭 機 です 新 プロセッサの 採 用 と 新 しいローダの 性 能 でウェーハ 処 理 に 威 力 を 発 揮 します UF200R メモリ 向 け 超 高 剛 性 マシン UF190R バイポーラ 向 け 高 速 マシン 21

22 事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 フルオートマチックダイシングマシン Full-automatic Dicing Machine 最 先 端 テクノロジーのコラボレーションとサポート 体 制 が 顧 客 満 足 度 を 向 上 させた 東 京 精 密 のフルオートマチックダイシングマシンは コア 技 術 を 駆 使 した 世 界 最 小 フッ トプリント 高 スループットと 高 加 工 品 質 により 優 れた CoO(Cost of Ownerships) を 実 現 します 独 自 開 発 の 対 向 式 Twin スピンドル 軸 配 置 最 適 化 を 追 求 した 斜 めレイ アウトでのメンテナンス 性 向 上 など トータルバランスに 優 れた 装 置 を 提 供 します さ らに 10BEST 連 続 受 賞 につながったグローバルなユーザーサポート 体 制 もあわせ 東 京 精 密 はフルオートマチックダイシングマシンの 新 たな 世 界 を 拓 きます AD2000T AD3000Tは 従 来 機 と 比 較 して 小 型 化 に 成 功 しました 従 来 機 4 台 必 要 最 小 限 の X 軸 移 動 AD2000T AD3000T 5 台 対 向 型 TWIN スピンドル 従 来 機 AD3000T フルオートマチックダイシングマシン AD3000T/S 対 向 式 Twin スピンドル/ Single スピンドル 搭 載 の 300mm ワーク 対 応 フルオートダイサー 高 出 力 スピンドル 標 準 装 備 フルオートマチックダイシングマシン AD2000T/S 対 向 式 Twin スピンドル/ Single スピンドル 搭 載 の 200mm ワーク 対 応 フルオートダイサー 高 出 力 スピンドル 標 準 装 備 22

23 半 導 体 製 造 装 置 セミオートマチックダイシングマシン Semi-automatic Dicing Machine ユーザーフレンドリーな 操 作 で 高 加 工 品 質 を 実 現 東 京 精 密 は 長 年 培 ってきた 切 断 ノウハウを 定 量 化 することによって 切 断 条 件 を 総 合 的 に 判 断 し お 客 様 が 加 工 するそれぞれのウェーハに 最 適 な 加 工 条 件 を 実 現 し 常 に 高 品 質 加 工 を 維 持 します また 消 費 電 力 消 費 エアも 大 幅 に 削 減 したハイコストパフォーマンスマシン です 又 自 動 アライメント 機 能 を 搭 載 しているため オペレータの 負 担 が 少 なく ユーザー フレンドリーな 操 作 性 が 特 長 です 世 界 最 世 小 界 最 のフットプリントを 小 の 実 現! フットプリントを 実 現 フットプリント ダウン 従 来 製 品 AD20T/S SS30 SS20 SS10 当 社 コア 技 術 を 駆 使 した 世 界 最 小 セミオートダイサ SS シリーズ 当 社 従 来 比 で 40%の 省 フットプリント 化 を 達 成 高 出 力 スピンドル 標 準 搭 載 ハイパワー Twin スピンドル 搭 載 モデルと Single スピンドルモデルを 選 択 可 能 高 剛 性 低 振 動 設 計 により 優 れた 切 削 環 境 を 実 現 一 新 した GUI(Graphical User Interface) 17 インチ LCD タッチパネ ルを 搭 載 らくらくオペレーション 200mm ウェーハ 対 応 半 導 体 製 造 装 置 17 インチ LCD タッチパネル 搭 載 による 操 作 性 の 向 上 自 動 アライメント 機 能 標 準 搭 載 各 装 置 世 界 最 小 フットプリント パッケージシンギュレーションマシン Package Singulation Machine シンギュレーション 対 応 機 で 国 内 外 主 要 メーカのピック アンド プレースユニットとの 接 続 が 可 能 独 立 型 2 ステージの 開 発 により 切 削 位 置 決 めの 並 列 処 理 を 可 能 にし 最 大 2 倍 の 高 速 ダイシングを 実 現 しました 接 続 するハンドラーとの 連 携 時 間 短 縮 により システム 全 体 の 作 業 効 率 向 上 と 処 理 時 間 を 大 幅 に 高 速 化 しました Scrap Box ハンドラー PS 280 Cassette Handler Arm 独 立 型 2ステージダイシング 装 置 PS 280 ハンドラーとの 接 続 例 23

24 事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 精 密 切 断 ブレード Precision ACCRETECH Blade 東 京 精 密 の 精 密 切 断 ブレードは 独 創 的 開 発 技 術 とアプリケーション 技 術 の 融 合 により あらゆる 被 削 材 や 加 工 用 途 に 対 応 できる 製 品 をラインナップし 時 代 が 求 める 高 品 位 低 コスト のニーズにお 応 えします <ニッケルブレード> 電 鋳 法 を 利 用 したニッケル 金 属 ベースのブレードです 世 界 に 認 められたその 性 能 は 抜 群 の 安 定 性 をお 約 束 しま す ニッケルブレードの 持 つ 剛 性 耐 摩 耗 性 を 生 かしつ つあらゆる 分 野 での 可 能 性 を 追 求 し 続 けます <メタルブレード> 金 属 パウダーベースのブレードです 優 れた 材 料 技 術 を 基 に 幅 広 いラインナップを 取 り 揃 えております ガラス 用 には GM シリーズ セラミック 用 には YM シリーズ 等 用 途 に 合 わせてお 選 び 下 さい <ハブタイプブレード> より 速 く より 長 く このシンプルな 要 求 に 高 い 次 元 で 応 えるハブタイプブレード この 切 断 性 能 は 実 際 にお 使 いいただければ 必 ず 実 感 していただけます <レジンブレード> 樹 脂 パウダーベースのブレードです 高 い 切 れ 味 を 維 持 し ハイスピード 長 寿 命 化 を 目 指 しています < 超 硬 メタルソー> さまざまな 金 属 基 盤 を 切 削 切 断 し バリを 発 生 させない 超 硬 メタルソー 切 断 のトータルソリューションで 新 しい 需 要 にお 応 えします <ドレッシングプレート> 品 質 の 安 定 とブレードの 切 れ 味 を 保 つドレッシングプ レート 最 適 な 条 件 下 でのドレスにより ブレードの 性 能 を 最 大 限 に 引 き 出 します 24

25 半 導 体 製 造 装 置 マホーダイシングマシン MAHOHDICING MACHINE 平 成 18 年 度 優 秀 省 エネルギー 機 器 表 彰 で 日 本 機 械 工 業 連 合 会 会 長 賞 を 受 賞 世 界 初 薄 型 シリコンウェーハを 表 面 に 損 傷 を 与 えず 非 接 触 で 切 断 このレーザダイサは Si ウェーハの 内 部 にレーザを 照 射 して 選 択 的 に 改 質 層 を 形 成 させながら その 改 質 層 を 垂 直 に 成 長 させてチップ 分 割 のためのダイシングラ インを 形 成 します (ステルスダイシング) 脆 く 欠 けやすい 薄 型 単 結 晶 Si ウェーハでも 物 理 的 ストレスを 与 えずにダイシングができます ML200PLUS/ML300PLUS は I ラインを 加 工 するスキャン 数 を 大 幅 に 削 減 することで 2 倍 以 上 のスループット 向 上 が 可 能 となります 完 全 ドライプロセスのため 洗 浄 を 必 要 として いません レーザダイシングマシン ML300PLUS WH レーザ 光 源 集 光 レンズ 改 質 層 Si ウェーハ レーザダイシングマシン ML200PLUS Polish Grinder との 接 続 例 PG3000 ML300 Mosaic cut 例 レーザー 出 力 を ON/OFF 制 御 する 事 により 多 彩 なレーザー 加 工 に 対 応 可 能 です *-** *-** RM 加 工 サンプル :ミラーウェーハ 機 種 名 :ML200 Plus ウェーハサイズ :200mm ウェーハ 厚 さ :300um チップサイズ : 八 角 形 - 10mm

26 事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 ポリッシュ グラインダ Polish Grinders 東 京 精 密 独 自 の 発 想 から 生 まれたポリッシュ グラインダはシステム イン パッケージ(SiP) や 三 次 元 実 装 技 術 に 要 求 されるウェーハの 薄 片 化 とダメージ 除 去 を1 台 の 装 置 で 実 現 することに より 搬 送 によるウェーハの 割 れ 欠 け 問 題 を 解 決 RM モジュール(オプション) ロードポート 連 続 したウェーハ 投 入 を 可 能 にする 2 ロー ドポート ロードポート 毎 又 はウェーハ 毎 の レシピセッティングを 実 現 しています アンロードポート 連 続 したダイシングフレーム 収 納 を 可 能 にする 2 アンロードポートを 採 用 し また 自 動 搬 送 装 置 AGV/OHT/PGV に 対 応 PG200/3000 の 工 程 に 加 えて 薄 板 化 されたウェーハに 貼 り 付 けられた 表 面 保 護 テープの 剥 離 工 程 からダイシングフレームに ウェーハを 貼 り 付 けるまでの 工 程 を 1 台 の 装 置 内 で 実 現 した RM モジュール RM200/3000 です 特 長 工 程 の 集 積 : 粗 研 削 仕 上 研 削 ポリッシング 工 程 仕 上 げ 研 削 部 粗 研 削 部 ウェーハの 両 面 洗 浄 を 1 台 の 装 置 で 実 現 ポリッシュ 部 BGテープクリーニング/ ハンドクリーニング 部 BGテープ 剥 離 部 安 定 した 搬 送 : 研 削 されたウェーハは 着 脱 されること なく 薄 板 化 の 工 程 を 完 了 させて 次 工 程 へ 搬 送 世 界 最 小 のフロアスペース パッドコンディショニング 部 4 3 DCテープ 貼 付 部 環 境 に 配 慮 : 薬 液 を 用 いずにダメージ 層 除 去 1 2 安 全 対 策 : ウェット 工 程 のため 発 塵 無 し 通 信 機 能 : 薄 いウェーハの 受 け 渡 しを 最 小 回 数 に 抑 え *- ** *- ** るための 搬 送 機 構 とインライン 接 続 する RM モジュー ルをも 含 むデータ 管 理 と 通 信 26 スピニング 部 UV 照 射 部 品 質 管 理 : ポストプロセスゲージを 用 いたデータ 管 理 と 通 信

27 半 導 体 製 造 装 置 高 剛 性 研 削 盤 High Rigid Grinder 短 時 間 でダメージのない 加 工 を 実 現 東 京 精 密 の 高 剛 性 研 削 盤 は 難 削 材 料 として 知 られているサファイア 基 板 やSiC 基 板 などの 硬 脆 性 材 料 を 研 削 する 装 置 です HRG300 は 大 口 径 ワーク(300mm)の 枚 葉 研 削 加 工 や 支 持 基 板 に 取 り 付 けた 小 径 ワークのバッチ 研 削 加 工 が 可 能 です 特 長 高 剛 性 高 加 工 能 率 低 加 工 コスト バッチ 処 理 対 応 IPG 搭 載 常 時 ドレス 機 構 (オプション) 高 剛 性 研 削 盤 HRG300 SiC の 加 工 事 例 研 削 だけで 鏡 面 加 工 が 可 能 になります 自 動 ローダーユニット(オプション) 対 象 材 料 サファイヤ SiC GaN ALN LT 等 の 難 削 材 Ra: 0.247nm PV: 1.829nm 砥 石 :HW8000V 仕 上 げ 対 象 ワーク サ イ ズ : φ2~φ12インチ 最 大 厚 さ : 20mm( 支 持 基 盤 の 厚 さを 含 む) 27

28 事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 CMP 装 置 Chemical Mechanical Planarizers 多 様 なプロセス 要 求 に 応 える 最 新 鋭 の CMP 装 置 hemical ighly ccurate echanical lanarizer 東 京 精 密 は これまで 培 ってきた 精 密 計 測 機 器 及 び 半 導 体 製 造 装 置 の 技 術 を 融 合 し さまざまな 要 求 されるプロセス 性 能 に 十 分 に 応 えると 共 に 最 先 端 量 産 工 場 における 要 求 にも 応 えた CMP 装 置 ChaMP シリーズを ご 提 供 します ( 対 応 ウェーハサイズ:300mm 200mm 150mm 100mm) 標 準 モデル 200mm/150mm/100mm ウェーハ 対 応 300mm ウェーハ 対 応 3 プラテン 2 ヘッド 構 成 により あらゆるアプリケーションに 対 応 しています 300mm/200mm/150mm/100mm ウェーハ 対 応 機 は 全 て 同 一 コンセプトの 研 磨 ヘッドと EPD システムを 搭 載 しています 28

29 低 圧 かつ 高 平 坦 化 高 スループット 研 磨 を 実 現 したエアフロート 式 ヘッド Sylphide Sylphide エアフィルム 形 成 によるウェーハ 面 内 で 非 常 に 均 一 な 加 圧 エアフィルムと 独 立 したエアバッグを 持 つことで 低 圧 での 安 定 性 を 実 現 独 立 したリテーナ 加 圧 エアバッグにより 良 好 なエッジプロ ファイル 制 御 を 実 現 リテーナ メンブレンのワンタッチ 交 換 による ダウンタイムの 低 減 ( 下 記 参 照 ) ゾーンコントロール 機 能 の 追 加 可 能 (オプション) 弊 社 の CMP 装 置 のヘッド 性 能 の 高 さはプロセス 性 能 の 向 上 だ けでなく 生 産 性 の 向 上 やコストの 低 減 につながります 例 え ば 平 坦 性 の 高 い 硬 質 パッドが 適 用 できることにより 研 磨 時 間 の 短 縮 とそれに 伴 う 消 耗 材 コストの 低 減 ウェーハ 有 効 面 積 の 拡 大 が 実 現 できます ウェーハ 加 圧 の 制 御 性 と 再 現 性 エッジ1mmまで 均 一 に!! メンテナンスが 簡 単 な 研 磨 ヘッド: 研 磨 ヘッドの 交 換 は 不 要 1 分 でメンテナンス 完 了 簡 単 なリテーナ メンブレンの 交 換 作 業 は 装 置 の 停 止 時 間 を 大 幅 に 低 減 します 両 手 でスナップリングカバーを 上 にずらす スナップリングを 親 指 で 広 げる リテーナは 落 ちる リテーナが 外 れたところ 29

30 事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 ウェーハマニュファクチャリングシステム Wafer Manufacturing Systems シリコンウェーハ 製 造 機 器 のトップメーカーとして 蓄 積 してきた 技 術 による ウェーハ 製 造 プロセスのシステム 化 半 導 体 デバイスの 微 細 化 が 進 むのに 伴 い シリコンウェーハに 対 する 更 に 精 密 な 加 工 技 術 が 求 められています 東 京 精 密 では ウェー ハ 製 造 工 程 におけるインゴットスライス 後 のウェーハ 剥 離 洗 浄 面 取 り 工 程 等 品 質 と 生 産 性 の 向 上 を 図 るウェーハ 製 造 ラインで の 装 置 を 提 供 し その 自 動 化 及 びプロセス 管 理 に 最 適 なシステムの 提 案 ならびにサポートを 行 っています 主 力 製 品 の 大 口 径 300mm ウェーハ 対 応 の 面 取 り 機 及 び 剥 離 洗 浄 機 はお 客 様 の 高 い 評 価 を 受 け 世 界 販 売 シェア No.1 の 地 位 を 確 保 しています ウェーハエッジグラインディングマシン W-GM シリーズ 新 開 発 研 削 部 によりスピンドル 回 転 精 度 が 向 上 し 加 工 面 粗 さを 改 善 アライメントを 非 接 触 化 し 安 定 したアライメントを 実 現 加 工 前 のウェーハ 厚 さ 多 点 測 定 加 工 後 のウェーハ 直 径 ノッチ 深 さ を 非 接 触 測 定 モジュラーコンセプトにより 最 適 な 加 工 ラインが 構 成 可 能 加 工 ダメージを 軽 減 させる 低 歪 み 研 削 (オプション) 等 が 可 能 W-GM-6200 ウェーハサイズΦ 450mm コンパクトな 設 計 でスペース 効 率 アップ 新 X 軸 Y 軸 θ 軸 の 同 期 補 完 制 御 による 高 精 度 な 研 削 タッチパネルによる 簡 単 操 作 30

31 W-GM mm(φ 12 ) 及 び 200mm(φ 8 )のウェーハ 対 応 機 高 精 度 高 品 質 な 300mm ウェーハ 加 工 を 実 現 新 開 発 のビルトイン インスペクション システム(オプション)により 研 削 後 のウェーハの 品 質 管 理 を 装 置 内 においてリアルタイムでモニタ 可 W-GM mm(φ 2 )~ 200mm(φ 8 )ウェーハ 対 応 機 新 開 発 研 削 部 によりスピンドル 回 転 精 度 が 向 上 し 加 工 粗 さを 改 善 加 工 前 のウェーハ 厚 や 直 径 ノッチの 深 さを 非 接 触 測 定 剥 離 洗 浄 機 C-RW-200/300 ワイヤソーで 切 断 したウェーハをスライスベースから 剥 離 洗 浄 し カセットに 収 納 するまでを 全 自 動 で 行 います 31

32 環 境 活 動 環 境 配 慮 型 製 品 への 取 り 組 み Enviromental Philosophy 東 京 精 密 グループでは 環 境 に 配 慮 したモノづくり をキーワードに 新 たに 開 発 する 全 ての 製 品 には 一 定 水 準 以 上 の 環 境 対 応 を 義 務 付 け 半 導 体 製 品 計 測 製 品 や 部 品 まで 全 ての 製 品 を 環 境 配 慮 型 製 品 にすることを 目 標 に 製 品 づくりを 推 進 しています 具 体 的 には 東 京 精 密 技 術 標 準 Tokyo Seimitsu Engineering Standard(TES) のもと 消 費 電 力 の 低 減 水 や 燃 料 の 使 用 低 減 を 図 っています また 環 境 影 響 が 大 きい 化 学 部 物 質 の 使 用 禁 止 や 使 用 削 減 を 行 っています 環 境 マネジメント 消 費 量 排 出 量 エ ネ ル ギ ー 水 電 気 20,483 MWh ガス(LPG) 5,181 m 3 燃 料 ( 重 油 軽 油 灯 油 ガソリン) 81,821 l 市 水 17,147 m 3 井 水 90,597 m 3 開 発 設 計 CAD 運 用 による 作 成 図 面 のペーパーレス 化 部 品 の 一 体 化 および 集 積 化 による 点 数 の 削 減 環 境 配 慮 型 製 品 の 開 発 サービス メンテナンス サービスステーションの 新 設 移 設 で 顧 客 への アクセススピードアップ 燃 料 節 約 輸 送 アイドリングストップ グリーン 経 営 認 定 業 者 の 使 用 計 画 的 運 行 で 輸 送 回 数 を 削 減 リサイクル 率 84.3% 資 材 調 達 グリーン 調 達 グリーン 購 入 による 環 境 負 荷 の 低 減 納 品 梱 包 資 材 の 削 減 通 い 箱 の 運 用 加 工 組 立 検 査 動 線 改 善 による 作 業 効 率 化 検 査 自 動 化 による 作 業 効 率 アップ 工 場 設 備 の 改 善 による 省 電 力 化 梱 包 回 収 梱 包 廃 材 の 廃 棄 物 リサイクル 化 環 境 にやさしいトウモロコシ 原 料 の 緩 衝 材 を 使 用 温 暖 化 ガ ス 水 廃 棄 物 CO 2 排 出 量 9,623 t 電 気 9,422 t 軽 油 4 t ガス(LPG) 8 t 灯 油 0 t 重 油 0 t ガソリン 190 t 工 場 排 水 61,069 m 3 廃 棄 物 ( 推 計 量 ) 590 t 最 終 処 分 量 92 t 対 象 範 囲 / 東 京 精 密 八 王 子 工 場 土 浦 工 場 電 力 の CO2 排 出 係 数 0.46にて 算 出 エコファクトリー 社 会 的 責 任 電 力 量 環 境 実 績 値 電 力 ( 電 力 MWh) 原 単 位 ( 原 単 位 kwh/ 百 万 ) 25, ,000 19,419 19,611 20, ,739 17, , , , , ステークホルダーと WIN-WIN の 関 係 ステークホルダーとのWIN-WINの 関 係 株 主 お 客 様 社 員 代 理 店 ( 年 度 ) 地 域 社 会 協 力 会 社 対 象 範 囲 / 東 京 精 密 八 王 子 工 場 土 浦 工 場 32

33 エコプロダクツ 環 境 配 慮 型 製 品 半 導 体 製 造 装 置 :レーザダイシングマシン MAHOHDICING MACHINE 東 京 精 密 は 優 れた 環 境 配 慮 型 製 品 によって 環 境 保 全 に 努 めることが 当 社 の 使 命 と 考 え ています その 東 京 精 密 がシリコンウェーハの 内 部 にレーザを 照 射 し 形 成 した 改 質 層 を 垂 直 に 成 長 させてチップ 分 割 を 行 う 世 界 初 のレーザダイシングマシンを 開 発 しました 特 徴 を 最 大 限 に 生 かす 設 計 により 100 μ m 以 下 の 極 薄 ウェーハの 高 速 切 断 を 可 能 にした この 新 しいレーザダイシングマシン MAHOHDICING MACHINE の 特 徴 をご 紹 介 します ブレードダイシング AWD-200T/300T レーザダイシングマシン ML200/300 スループットを 考 慮 した 消 費 電 力 削 減 率 消 費 電 力 (200Vの 場 合 ) 超 純 水 消 費 量 3.2kWh 12 リットル 1.92kWh 0.48kWh % 100% 新 しいレーザダイシングマシンは 超 純 水 は 不 要 で 消 費 電 力 も 1.92kWh と 低 く また スループットもブレードダイシングと 比 較 し 四 分 の 一 程 度 の 時 間 で 加 工 が 可 能 従 って ブレードダイシングと 同 等 のウェーハ 処 理 量 で 考 えると 実 質 的 に 消 費 電 力 は 85% の 消 費 電 力 量 削 減 を 実 現 しています また 超 純 水 製 造 の 電 力 を 加 味 す ると 合 計 で 90% の 電 力 量 削 減 となります 更 には 切 削 廃 液 処 理 のエネルギー コスト 削 減 にも 貢 献 します 電 力 換 算 ( 参 考 値 ) 0.028kw/ 分 Total 比 較 (1 時 間 当 り) 4.87kWh 1.92kWh 0.48kWh 90% フルオートマチックウェーハ レーザダイシング 装 置 (MAHOHDICING MACHINE)が 平 成 18 年 度 優 秀 省 エネルギー 機 器 表 彰 で 日 本 機 械 工 業 連 合 会 会 長 賞 を 受 賞 社 団 法 人 日 本 機 械 工 業 連 合 会 が 主 催 する 平 成 18 年 度 ( 第 27 回 ) 優 秀 省 エネルギー 機 器 表 彰 において 当 社 の フルオート マチック ウェーハ レーザダイシング 装 置 (MAHOHDICING MACHINE) に 対 して 日 本 機 械 工 業 連 合 会 会 長 賞 を 受 賞 し ました ウェーハから 各 デバイスを 切 り 出 すダイシング 工 程 では 高 速 回 転 のダイヤモンド 砥 石 が 用 いられ 砥 石 自 体 と 加 工 対 象 が 摩 擦 により 発 熱 するため 冷 却 と 切 削 屑 の 排 出 に 多 量 の 超 純 水 を 消 費 していましたが 当 社 の フルオートマチック ウェーハ レーザダイシング 装 置 (MAHOHDICING MACHINE) では 半 導 体 シリコン 素 材 での 吸 収 効 率 の 良 いレーザ 光 を 用 い 最 適 な 照 射 条 件 による 加 工 によって 高 速 回 転 スピンドル 自 体 が 不 要 になると 共 に 切 削 屑 の 排 出 砥 石 の 冷 却 加 工 後 の 洗 浄 等 に 必 要 とされた 超 純 水 が 一 切 不 要 となったため 電 力 超 純 水 の 消 費 量 を 大 幅 に 削 減 できます 今 回 の 受 賞 では 当 該 装 置 の 省 エネルギー 効 果 環 境 への 配 慮 経 済 性 が 高 く 評 価 されました 当 社 は 今 後 とも 環 境 へ 十 分 配 慮 した 省 エネルギー 機 器 の 開 発 に 努 めてまいります フルオートマチック ウェーハ レーザダイシング 装 置 (MAHOHDICING MACHINE) 33

34 会 社 概 要 会 社 商 号 株 式 会 社 東 京 精 密 TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 事 業 目 的 1. 各 種 測 定 機 器 試 験 機 ならびに 装 置 の 製 造 修 理 および 販 売 2. 精 密 機 械 工 作 機 械 ならびに 各 種 専 用 機 の 製 造 修 理 および 販 売 3. 各 種 精 密 部 品 工 具 治 具 ゲージの 製 造 販 売 4. 電 気 機 器 自 動 制 御 機 器 の 製 造 修 理 および 販 売 5. 材 料 物 性 分 析 用 小 型 加 速 器 の 製 造 販 売 6. 自 動 販 売 機 の 製 造 販 売 7. 不 動 産 の 売 買 賃 貸 仲 介 管 理 および 倉 庫 業 8. 動 産 不 動 産 のリース 業 9. 損 害 保 険 代 理 業 および 生 命 保 険 の 募 集 業 務 10. 古 物 の 売 買 リース 交 換 又 は 委 託 による 同 業 務 11. 上 記 各 号 に 関 連 する 一 切 の 業 務 設 立 年 月 日 昭 和 24 年 ( 1949 年 )3 月 28 日 資 本 金 10,373 百 万 円 ( 現 在 ) 株 式 東 京 証 券 取 引 所 市 場 第 一 部 に 上 場 従 業 員 数 674 名 ( 単 体 ) 1,552 名 ( 連 結 ) ( 現 在 ) 取 締 役 監 査 役 代 表 取 締 役 会 長 太 田 邦 正 代 表 取 締 役 社 長 CEO 吉 田 均 代 表 取 締 役 副 社 長 COO 木 村 龍 一 代 表 取 締 役 CFO 川 村 浩 一 取 締 役 遠 藤 章 宏 取 締 役 友 枝 雅 洋 取 締 役 伯 耆 田 貴 浩 取 締 役 梅 中 茂 取 締 役 ウォルフガング ボナッツ 取 締 役 ( 社 外 ) 松 本 弘 一 取 締 役 ( 社 外 ) 齋 藤 昇 三 監 査 役 澤 田 栄 夫 監 査 役 ( 社 外 ) 菊 池 克 治 監 査 役 ( 社 外 ) 井 上 直 美 監 査 役 ( 社 外 ) 林 芳 郎 ( 現 在 ) 主 要 取 引 銀 行 みずほ 銀 行 大 手 町 営 業 部 三 井 住 友 銀 行 本 店 営 業 部 みずほ 信 託 銀 行 本 店 営 業 部 三 菱 東 京 U F J 銀 行 新 宿 中 央 支 社 商 工 組 合 中 央 金 庫 東 京 支 店 常 陽 銀 行 土 浦 支 店 筑 波 銀 行 本 店 八 千 代 銀 行 本 店 関 係 会 社 ( 株 ) 東 精 エンジニアリング ( 株 )トーセーシステムズ ( 株 )アクレーテク クリエイト ( 株 ) 東 精 ボックス ( 株 )アクレーテク ファイナンス Accretech America Inc. Accretech (Europe)GmbH 東 精 精 密 設 備 ( 上 海 ) 有 限 公 司 Accretech Korea Co., Ltd. Accretech (Malaysia)Sdn. Bhd. Accretech (Singapore)Pte. Ltd. Accretech Taiwan Co., Ltd. Accretech (Thailand) Co., Ltd. Accretech Vietnam Co., Ltd. PT Accretech Indonesia Accretech do Brasil Ltda. 東 精 計 量 儀 ( 平 湖 ) 有 限 公 司 TOSEI (Thailand)Co., Ltd. TOSEI Korea Co., Ltd. TOSEI America, Inc. TOSEI Engineering Pvt. Ltd. PT TOSEI Indonesia. TOSEI Taiwan Co., Ltd. TOSEI Mexico, S.A. de C.V. TOSEI Engineering Malaysia Sdn. Bhd. TOSEI BRAZIL ENGENHARIA E REPRESENTACAO COMERCIAL LTDA. TOSEI Philippines Corp. Accretech-Tosei Hungary Kft. Tosei Canada Measuring Inc. カンパニー 制 及 び 執 行 役 員 体 制 半 導 体 社 計 測 社 業 務 会 社 管 掌 取 締 役 木 村 龍 一 管 掌 取 締 役 吉 田 均 管 掌 取 締 役 川 村 浩 一 執 行 役 員 専 務 遠 藤 章 宏 執 行 役 員 専 務 友 枝 雅 洋 執 行 役 員 秋 本 伸 治 執 行 役 員 常 務 伯 耆 田 貴 浩 執 行 役 員 常 務 神 崎 努 執 行 役 員 臼 田 真 也 執 行 役 員 三 橋 明 生 執 行 役 員 矢 向 秀 一 執 行 役 員 小 泉 公 人 執 行 役 員 藤 田 太 一 執 行 役 員 飯 田 昭 彦 執 行 役 員 ティー ケン ホイ 執 行 役 員 陳 浩 執 行 役 員 ロミ プラダン 執 行 役 員 塚 田 修 一 執 行 役 員 酒 井 広 幸 執 行 役 員 峰 尾 正 人 34

35 沿 革 東 京 精 密 工 具 設 立 メカニカルゲージを 応 用 した 各 種 測 定 機 の 製 作 販 売 開 始 1995 計 量 法 トレーサビリティ 制 度 に 基 づく 端 度 器 (ブロックゲージ)の 校 正 認 定 事 業 者 として 土 浦 工 場 が 認 定 取 得 高 圧 流 量 式 空 気 マイクロメータのわが 国 初 の 工 業 化 に 成 功 差 動 変 圧 器 式 電 気 マイクロメータのわが 国 初 の 工 業 化 に 成 功 米 国 に 現 地 法 人 ACCRETECH America, Inc. およびACCRETECH Manufacturing Company 設 立 第 一 精 機 設 立 カールツァイス 社 ( 独 )と 精 密 測 定 機 器 分 野 で 全 面 提 携 ゲルマニウムペレット 厚 さ 自 動 選 別 機 の 開 発 株 式 会 社 東 京 精 密 に 社 名 変 更 東 京 証 券 取 引 所 市 場 第 二 部 に 株 式 上 場 表 面 粗 さ 測 定 機 の 開 発 内 周 刀 式 ウェーハスライシングマシンのわが 国 初 の 開 発 に 成 功 半 導 体 製 造 装 置 サプライヤー 顧 客 満 足 度 調 査 (VLSIリサーチ 社 調 べ)で10BEST 賞 を 受 賞 台 湾 新 竹 市 にテクニカルセンター 開 設 Tokyo Seimitsu (Singapore) Pte. Ltd. 設 立 八 王 子 土 浦 工 場 一 括 でISO 14001の 認 証 取 得 アクレーテク ファイナンス 設 立 1964 ウェーハプロービングマシンの 開 発 2001 コーポレートブランド ACCRETECH(アクレーテク) を 導 入 1967 真 円 度 測 定 機 の 開 発 東 精 ボックス 設 立 東 精 エンジニアリング 設 立 三 次 元 座 標 測 定 機 のわが 国 初 の 開 発 ウェーハダイシングマシンの 開 発 ソフトウェア 開 発 専 門 会 社 トーセーシステムズ を シーイーシーと 共 同 で 設 立 東 京 証 券 取 引 所 市 場 第 一 部 に 株 式 上 場 技 術 研 究 所 設 立 ドイツに 現 地 法 人 Tokyo Seimitsu Europe GmbH 設 立 部 門 にておいて10BEST 賞 を 受 賞 Test & Material Handling Equipment 部 門 で は7 年 連 続 受 賞 Assembly Equipment 部 門 では 初 受 賞 中 国 に 現 地 法 人 東 精 精 密 設 備 ( 上 海 ) 有 限 公 司 の 設 立 と 営 業 開 始 浜 松 ホトニクスと 半 導 体 製 造 装 置 分 野 で 業 務 提 携 新 型 レーザダイシング 装 置 M AHOH DICING MACHINE を 共 同 開 発 カールツァイス 社 ( 独 )との 提 携 を5 年 更 新 ACCRETECH Korea, Co., Ltd. 設 立 米 国 に 現 地 法 人 Tokyo Seimitsu America, Inc. 設 立 MAHOH DICING MACHINEが 第 27 回 優 秀 省 エネル ギー 機 器 表 彰 で 日 本 機 械 工 業 連 合 会 会 長 賞 を 受 賞 1992 韓 国 に 現 地 法 人 ACCRETECHサービスセンター 開 設 第 一 精 機 を マイクロテクノロジに 社 名 変 更 計 量 法 トレーサビリティ 制 度 に 基 づく 長 さ 測 定 用 レーザの 校 正 および 三 次 元 座 標 測 定 機 の 定 置 校 正 認 定 事 業 者 として 土 浦 工 場 が 認 定 取 得 1994 八 王 子 土 浦 両 工 場 一 括 でISO 9001の 認 証 取 得 計 量 法 トレーサビリティ 制 度 に 基 づく 長 さ 測 定 用 レーザの 校 正 認 定 事 業 者 として 八 王 子 工 場 が 認 定 取 得 北 京 駐 在 事 務 所 開 設 マレーシアに 現 地 法 人 Tokyo Seimitsu(Malaysia) Sdn. Bhd. 設 立 部 門 において10BEST 賞 受 賞 Test&Material Handling Equipment 部 門 では 13 年 連 続 受 賞 Assembly Equipment 部 門 では7 年 連 続 受 賞 非 接 触 センサで 三 鷹 光 器 と 技 術 提 携 東 京 精 密 USA 支 店 設 立 本 社 を 八 王 子 に 移 転 35

36 ネットワーク 本 社 工 場 本 社 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 TEL(042) FAX(042) 八 王 子 工 場 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 TEL(042) FAX(042) 中 央 自 動 車 道 八 王 子 IC より 約 10 分 ( 約 3km) JR 八 高 線 北 八 王 子 駅 下 車 徒 歩 3 分 JR 中 央 線 日 野 駅 下 車 京 王 バス 八 王 子 北 口 行 乗 車 コニカミノルタ 前 下 車 徒 歩 10 分 JR 中 央 線 豊 田 駅 下 車 タクシー 約 10 分 ( 約 3km) 国 内 営 業 サービスネットワーク 半 導 体 製 造 機 器 取 扱 営 業 所 東 京 営 業 所 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 ( 東 京 精 密 八 王 子 工 場 内 ) TEL(042) FAX(042) 大 阪 営 業 所 大 阪 府 吹 田 市 江 坂 町 TEL(06) FAX(06) 九 州 営 業 所 大 分 県 大 分 市 城 崎 町 ( 富 士 火 災 大 分 ビル1F) TEL(097) FAX(097) サービスステーション 仙 台 出 張 所 宮 城 県 仙 台 市 若 林 区 河 原 町 (ロイヤルヒルズ 河 原 町 ) TEL(022) FAX(022) 山 形 出 張 所 山 形 県 山 形 市 錦 町 3-20 ( 須 藤 ビル) TEL(023) FAX(023) 鶴 岡 出 張 所 山 形 県 鶴 岡 市 末 広 町 TEL(0235) FAX(0235) 東 京 CE 課 / 土 浦 出 張 所 茨 城 県 土 浦 市 東 中 貫 町 4 ( 東 京 精 密 土 浦 工 場 内 ) TEL(029) FAX(029) 東 京 CE 課 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 ( 東 京 精 密 八 王 子 工 場 内 ) TEL(042) FAX(042) 北 陸 出 張 所 富 山 県 富 山 市 中 川 原 31-1 ウインドスクエア101 TEL(076) FAX(076) 四 日 市 出 張 所 三 重 県 三 重 郡 川 越 町 豊 田 (クリエイトB 1 階 ) TEL(0593) FAX(0593) 大 阪 CE 課 大 阪 府 吹 田 市 江 坂 町 TEL(06) FAX(06) 東 広 島 出 張 所 広 島 県 東 広 島 市 西 条 中 央 (アークヒルズ 渡 辺 号 室 ) TEL(082) FAX(082) 熊 本 出 張 所 熊 本 県 熊 本 市 中 央 区 水 前 寺 ( 増 永 ビル105) TEL(096) FAX(096) 九 州 CE 課 大 分 県 大 分 市 城 崎 町 ( 富 士 火 災 大 分 ビル1F) TEL(097) FAX(097) 国 分 出 張 所 鹿 児 島 県 霧 島 市 隼 人 町 見 次 515 ( 秀 保 ビル101 号 ) TEL(0995) FAX(0995) 八 王 子 パーツセンター 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 ( 東 京 精 密 八 王 子 工 場 内 ) TEL(042) FAX(042) 株 式 会 社 東 精 エンジニアリング (ウェーハマニュファクチャリングシステム) 土 浦 半 導 体 工 場 茨 城 県 土 浦 市 北 神 立 町 2-14 TEL(029) FAX(029) 土 浦 半 導 体 工 場 /パーツセンター 茨 城 県 土 浦 市 北 神 立 町 2-14 TEL(029) FAX(029) 計 測 機 器 取 扱 営 業 所 東 北 営 業 所 宮 城 県 仙 台 市 若 林 区 河 原 町 (ロイヤルヒルズ 河 原 町 ) TEL(022) FAX(022) 北 関 東 営 業 所 茨 城 県 土 浦 市 東 中 貫 町 4 ( 東 京 精 密 土 浦 工 場 内 ) TEL(029) FAX(029) 埼 玉 営 業 所 埼 玉 県 さいたま 市 北 区 東 大 成 町 MJ 赤 柴 ビル8 階 TEL(048) FAX(048) 東 京 営 業 所 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 ( 東 京 精 密 八 王 子 工 場 内 ) TEL(042) FAX(042) 厚 木 営 業 所 神 奈 川 県 厚 木 市 旭 町 (ジェントビル) TEL(046) FAX(046)

37 Tokyo Seimitsu Supports Customers Production Lines 24 Hours a Day, 365 Days a Year. 土 浦 工 場 茨 城 県 土 浦 市 東 中 貫 町 4 TEL(029) FAX(029) ( 株 ) 東 精 エンジニアリング 本 社 工 場 茨 城 県 土 浦 市 東 中 貫 町 4-6 ( 東 京 精 密 土 浦 工 場 隣 ) TEL(029) FAX(029) ( 株 ) 東 精 エンジニアリング 土 浦 神 立 工 場 茨 城 県 土 浦 市 北 神 立 町 2-14 TEL(029) FAX(029) ( 株 ) 東 精 エンジニアリング 名 古 屋 事 業 所 愛 知 県 みよし 市 打 越 町 新 池 浦 96 TEL(0561) FAX(0561) 常 磐 自 動 車 道 土 浦 北 IC より 約 10 分 ( 約 4km) JR 常 磐 線 神 立 駅 下 車 タクシー 約 10 分 ( 約 3km) JR 常 磐 線 土 浦 駅 下 車 タクシー 約 20 分 ( 約 6km) JR 常 磐 線 土 浦 駅 下 車 関 東 鉄 道 バス 石 岡 行 き 乗 車 清 水 南 下 車 徒 歩 3 分 長 野 営 業 所 長 野 県 松 本 市 深 志 OTKビル1F TEL(0263) FAX(0263) 新 潟 営 業 所 新 潟 県 燕 市 分 水 あけぼの TEL(0256) FAX(0256) 浜 松 営 業 所 静 岡 県 浜 松 市 中 区 細 島 町 7-5 ( 東 山 第 6 ビル) TEL(053) FAX(053) 名 古 屋 営 業 所 愛 知 県 みよし 市 打 越 町 新 池 浦 96 TEL(0561) FAX(0561) 北 陸 営 業 所 富 山 県 富 山 市 中 川 原 31-1 ウインドスクエア101 TEL(076) FAX(076) 大 阪 営 業 所 大 阪 府 吹 田 市 江 坂 町 TEL(06) FAX(06) 姫 路 営 業 所 兵 庫 県 姫 路 市 北 条 宮 の 町 385 ( 永 井 ビル201) TEL(079) FAX(079) 広 島 営 業 所 広 島 県 広 島 市 西 区 横 川 町 (シャルマン 辻 ) TEL(082) FAX(082) 九 州 営 業 所 福 岡 県 福 岡 市 中 央 区 薬 院 ( 九 電 不 動 産 ビル5F) TEL(092) FAX(092) サービスステーション 株 式 会 社 東 精 エンジニアリング 本 社 茨 城 県 土 浦 市 東 中 貫 町 4-6 ( 東 京 精 密 土 浦 工 場 隣 ) TEL(029) FAX(029) 東 北 出 張 所 山 形 県 山 形 市 錦 町 3-20 ( 須 藤 ビル) TEL(023) FAX(029) 太 田 営 業 所 群 馬 県 太 田 市 小 舞 木 町 TEL(0276) FAX(029) さいたま 営 業 所 埼 玉 県 さいたま 市 北 区 東 大 成 町 1-497(MJ 赤 柴 ビル8 階 ) TEL(048) FAX(029) 東 京 営 業 所 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 ( 東 京 精 密 八 王 子 工 場 内 ) TEL(042) FAX(029) 厚 木 出 張 所 神 奈 川 県 厚 木 市 旭 町 (ジェントビル) TEL(046) FAX(029) 長 野 出 張 所 長 野 県 松 本 市 深 志 OTKビル1F TEL(0263) FAX(029) 浜 松 営 業 所 静 岡 県 浜 松 市 中 区 細 島 町 7-5 ( 東 山 第 6 ビル) TEL(053) FAX(029) 名 古 屋 営 業 所 愛 知 県 みよし 市 打 越 町 新 池 浦 96 TEL(0561) FAX(029) 北 陸 出 張 所 富 山 県 富 山 市 中 川 原 31-1 (ウインドスクエア101) TEL(076) FAX(029) 大 阪 営 業 所 大 阪 府 吹 田 市 江 坂 町 TEL(06) FAX(029) 広 島 営 業 所 広 島 県 広 島 市 西 区 横 川 町 (シャルマン 辻 ) TEL(082) FAX(029) 福 岡 駐 在 所 福 岡 県 福 岡 市 中 央 区 薬 院 ( 九 電 不 動 産 ビル5F) TEL(092) FAX(029) 九 州 出 張 所 熊 本 県 熊 本 市 中 央 区 水 前 寺 ( 増 永 ビル105) TEL(096) FAX(029) パーツセンター FAX(0120) partcall@toseieng.co.jp コールセンター TEL(0120) sgijutsu@toseieng.co.jp お 客 様 の 御 要 望 受 付 ( 社 長 付 ) kanri5@toseieng.co.jp 37

38 ネットワーク 世 界 に 広 がるセールス サービス ネットワーク Accretech Korea Co., Ltd. Accretech (Europe) GmbH Accretech (China) Co., Ltd. Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Accretech Taiwan Co., Ltd. Accretech (Thailand) Co., Ltd. Accretech Vietnam Co., Ltd. Accretech (Malaysia) Sdn. Bhd. Accretech (Singapore) Pte. Ltd. PT Accretech Indonesia Accretech America Inc. Accretech do Brasil Ltda. 38 海 外 営 業 部 海 外 拠 点 海 外 営 業 部 ( 半 導 体 社 ) 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 TEL:(042) FAX:(042) ( 計 測 社 ) 茨 城 県 土 浦 市 東 中 貫 町 4 TEL:(029) FAX:(029) North America USA Accretech America Inc. (Head Office) 1778 N. Plano Road, Suite 212 Richardson, TX 75081, U.S.A. Tel: Fax: (Fremont Office) Fremont Blvd, Fremont, CA , U.S.A. Tel: Fax: (Boise Office) 8620 W. Emerald St., Suite 130 Boise, ID 83704, U.S.A. Tel: Fax: South America Brazil Accretech do Brasil Ltda. (Sao paulo Office) 77 Room, 7th Floor, Rua Nove de Julho 72 Santo Amaro, Sao Paulo , Brazil Tel: +55(0) Fax: +55(0) Europe Germany Accretech (Europe) GmbH (Head Office) Landsberger Str. 396, D Munich, Germany Tel: +49(0) Fax: +49(0) (Dresden Office) Hugo-Junkers-Ring 9, D Dresden, Germany Tel: +49(0) Fax: +49(0) France Accretech (Europe) GmbH (French Office) 223 rue des Bécasses Cidex 112F Crolles, France Tel: +33(0) Fax: +33(0) Italy Accretech (Europe) GmbH (Italian Office) Via Giotto Cormano(MI), Italy Tel: Fax: Asia China Accretech (China) Co., Ltd. (Head Office / Shanghai) Room 2101C, No.1077, ZuChongZhi Road, Zhang Jiang Hi-Tech Park, Pudong New Area, Shanghai, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Shanghai Office) Ground floor, No.118 Fu Te Bei Road, Pudong New Area, Shanghai,China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Beijing Office) Room 404, Building 1#,China Supply And Marketing Foreign Trade Building, No.1 Shui An South Street. Chaoyang District, Beijing, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Tianjin Office) Room 606, Brilliant Crystal Tower, 53-1 Weidi Road, Hexi District, Tianjin, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Changchun Office) Room 1905, Unit 1, No.1, Huayihongfu, Hong Qi Street, Changchun, Jilin Province, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Dalian Office) Room 715,Building 3#, Yifeng Modern City,Jin Ma Road,Development Zone,DaLian City,Liaoning Province, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Shenzhen Office) Room 1507, Tianliao Tower, No.A Tianliao Industrial Park, Shenzhen, Guangdong Province, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0)

39 Accretech America Inc. Accretech (Europe) GmbH Accretech Korea Co., Ltd. Accretech (China) Co., Ltd. Accretech (Malaysia) Sdn. Bhd. Accretech (Singapore) Pte. Ltd. (Guangzhou Office) Room 1903, Building 1, Jin Xiu Hua Ting, No.12 Guang Ming Bei Road, Panyu District, Guangzhou, Guangdong Provincee, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Chongqing Office) Room 1804, Building 42, Area 3, Hengda City, No.9 Banan Avenue, Banan District, Chongqing, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Chengdu Office) Qingjiangyaju, No.122 East Qingjiang Road Qingyang District, Chengdu, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Suzhou Office) Room302, NO. 72 Youngor Future Garden, No. 588 Shenhu Street,Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Wuxi Office) Room 7-407, No12, Changjiang Road, Wuxi, Jiangsu Province, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Nanjing Office) Room 602,Buiding 4, Tongxi International Plaza, No.1222, Shuanglong Avenue Jiangning Area, Nanjing, Jiangsu Province, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Ningbo Office) Room 902,No.151,Cangsong Road,Haishu District, Zhejiang Province, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Jinan Office) Room 3024, North Tower Shangri-La Plaza, No.88 Exhibition West Road Hi-Tech Zone, Jinan City, Shandong Province, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Wuhan Office) No.1202, Unit1, Building 3, Hailunchuntian Residential Quater, No.19 Fangcao Road 1st, Hanyang District, Wuhan, Hubei Province, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) (Xi'an Office) Room 11705, Unit 1, Building 1, Wei Lan Ling Yu Community, NO.11, Da Qing Road, Lian Hu District, Xi'an, Shaanxi Province, China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) Accretech (PINGHU) Co., Ltd. Building 2#, No 1389, Xinqun Road, Pinghu Economic Development Zone, Pinghu City, Zhejiang, PRC. China, Tel: +86(0) Fax: +86(0) Korea Accretech Korea Co., Ltd. (Head Office / Seongnam) (3F, Fine Venture Bldg., Yatap-dong) 41, Seongnam-daero 925 beon-gil, Bundang-gu, Seongnam-si, Gyeonggi-do, , Korea Tel: +82(0) Fax: +82(0) (Ulsan Office) (1F 841-8, Myeongchon-dong) 30, Myeongchon 7-gil, Buk-gu, Ulsan, , Korea Tel: +82(0) Fax: +82(0) Taiwan Accretech Taiwan Co., Ltd. 2F, No.199, Zhonghe St., Zhubei City, Hsinchu County 30267, Taiwan(R.O.C) Tel: +886(0) Fax: +886(0) Singapore Accretech (Singapore) Pte. Ltd. 140 Paya Lebar Road, #06-07 AZ@Paya Lebar, Singapore Tel: Fax: Thailand Accretech (Thailand) Co., Ltd. (HQ & Metrology) 2/3 Moo 14, Bangna Tower A, 16th Fl., Bangna-Trad Road. K.M. 6.5, Bangkaew, Bangplee, Samutprakarn Thailand Tel: +66(2) , 9574 Fax: +66(2) (Semiconductor) 21 TST Tower 12th Fl., Soi Choei Phuang, Vibhavadi-rangsit Rd., Jompol, Chatuchak, Bangkok Thailand Tel: +66(2) , 9498 Fax: +66(2) Malaysia Accretech (Malaysia) Sdn. Bhd. (Head Office) NO.39, Jalan PJS 11/2, Subang Indah, Petaling Jaya, Selangor, Malaysia Tel: +60(3) Fax: +60(3) (Kulim Office) 464, Lorong Keranji 9/3, Taman Keranji Bukit Kulim, Kulim, Kedah, Malaysia Tel: +60(4) Fax: +60(4) Vietnam Accretech Vietnam CO., LTD. (Representative Office / Hanoi) 356 room, 6thFloor, Office Building, 85 Nguyen Du St, Hai Ba Trrung Dist, Hanoi, Vietnam Tel: +84(4) Fax: +84(4) (Ho Chi Minh Office) Room , 11th Floor, Broadcast Office building,343 Dien Bien Phu Street, Ward,15, Binh Thanh District, Ho Chi Minh City, Vietnam Tel: +84(8) Fax: +84(4) Indonesia PT Accretech Indonesia Komplek Rukan Cikarang Square Block D No.68 JL. Raya Cikarang-Cibarusah KM 40 No.1 Cikarang Bekasi 17530, Indonesia Tel: +62(0) Fax: +62(0)

40 八 王 子 土 浦 工 場 一 括 でISO9001 ISO14001を 取 得 A-001-J-1604