37. 7, 3] 65 縺 縺 縺 ィ

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1 , 3 86 タ 縺 タ ィャ ィ チ チ PACS numbers: z, 73.4.Hm ( , ) (34) ィ (35) (36) チ チ59 5 (37) ィ チ チ59 5 (38) ィ チ チ59 5 (3). 6.. 縺 タ 縺 ィ ィ チ チ n キ3 = n= / n=5/ (38) (38) (39) ィ チ チ59 5 ィャ チ 縺 , ィ , , ィ 3899, , ィ , 395 ィ , , , ィ : ィ " " タ79353 ィ ィ ィ , /3, /5 99 / ィ , , ィ (H. Sto6 rmer). Department of Physics and Department of Applied Physics Columbia University, New York, NY 3, Bell Labs, Lucent Technologies Murray Hill, NJ ィャ , ィ 9535 ィ チ チ ( ) 587ィ , , /5, 4/9 99 /7, / , ィ "8539" , ィ ィ , "87- ィ 9" , ィ ィ 59754, ィ , チ99ィ ィ : チ チ , 4545, , ィ ィ 9 677, ィ 595 ィ , ィ ィ ィ , , ィャ 9585 ィ , ィ ィャ ィ , 5957ィ , ィ 縺 ィ , , ィャ ィ ( ), , ィ ィ ( / 45 / K) , 9759, ィ , 縺 ィ 縺49 ィャ ィ 59 ィ タ チ9899, , # The Nobel Foundation 999 # タ ィャ , "88659 チ "

2 37. 7, 3] 65 縺 縺 縺 ィ (94957 チ58) 9 897, ィ ィ ( ィャ 895, 45779ィ ィャ ) ィャ ィ 縺 ィ , ィ (DES) , 395 ィ ィ 3ィ ィ タ5775 ィャ ィ チ499 DES DES 縺894 Si AlGaAs GaAs AlGaAs GaAs z ィ ィ ィ ィ 5894 ィ () /ィ (GaAs/AlGaAs). DES GaAs 9 AlGaAs ィ ィ AlGaAs ィ (+), AlGaAs () ( ィ Si-3 罍タ ) ィ ィ ィ z, , ィャ タ ィ ( ) ィ ィ z, xy () , 9. 7, 3 y x 3 罍タ ( ), DES (798. ) 罍タ ィ "799" , ィ ィ ィ ィ 59754, ィ ィ ィャ 9, , ィ ィャ ィ 9535 ィ ( ) 4559 ィ 罍タ ィャ ィ ; ィ 3573 ィ ィ : ィ チ 罍タ ィ チ58, , , ィ ィ , ィ ィ , ィ (798. ). タ , , ィ ィ , ィ ィ z ィ , xy 罍タ DES, チ989 DES 罍タ , ィ , ィ チ , ィ , ィ ィ 縺 ィ , ィ " " , ィ , ィ ィ , チ 縺 , ィ ィ, , ィ ィ , , "345", 罍タ /ィ (GaAs/ AlGaAs) ィ 34544ィ

3 [ ィ ィ , ィ ィ , ィ , ィ , ィ , , ィ チ989358ィ "5-" : ィ , 5445 ィ ィ , ィ ィ , 5445, ィ ィ , , , ィ , 45, , ィ , ィ , , ィ (3 タ7) ィ タ , Bell Labs, , ィ , , タ ィ 989 GaAS 9 AlGaAs ィ ( ), ィ ィ ィ ( ィ 59754) " ィ 9" GaAs AlGaAs ( ィ 4493 ィ ィ ィ 5). タ ィ 9 チ チ , , ィ ィ ィ ィ ィャ ィ 95 DES 8ィ GaAs/AlGaAs, タ7, GaAs (798. ). 65 GaAs AlGaAs ,5 33. タ , ィ GaAs AlGaAs ; ィ , Catch- ィャ 89999, ィ "85-". ( タ ) AlGaAs , ィ ィ , タ ィ ィ 59754, ィ ィ ィ ィ ィ GaAs , GaAs 995 ィ ィ , AlGaAs ィ ィ ! タ ( ィ 59754) ィ AlGaAs (798. ) ィ , 罍タ , ィ ィ z, ィ , xy. タ GaAs/ AlGaAs 罍タ (high electron mobility transistors) 54ィ 縺 ィ チ , チ , , , チ54, タ ィ ィャ ィ , , ィ タ , チ , GaAs/AlGaAs ィ 罍タ ! ィ , (798. ) ィ ィ 縺 / , 395 ィ Bell Labs チ59537 チ (798. 3) タ タ , 9 3 タ タ Bell Labs ィ 49, ィ 8584ィ

4 37. 7, 3] 65 縺 縺 縺 タ , 縺65347 GaAs, , K タ , m ィ ィ GaAs/AlGaAs. タ m チ タ m チ 閨7 チ9 " GaAs" GaAs , m タ ィ /5 33 (!), ィ Bell Labs タ チ チ チ57 ( ) ィ 89 ( ), ィ ィ , ィャ , , 98854ィ , (798. 5). タ5755 ィャ V V 4 95 I ィ R ィャ V H , , , ィ, ィ ィ , B ィ , 395 V H I ィ B , V H =I ィ R H, R H / B ィ 959 ィ チ チ59 487ィ 9 ィ チ チ ィ V H ; B I R キ3 V=I V V H ィ Bell Labs, : , 379 閨58874, ィ チ チ チ チ , タ I ィ * R H キ3 B en R H キ3 V H =I 閨 R R H I B. V , V H ィャ , n, 8794 ィ ィャ e ィ 9 ィ , ィ , 5849ィ

5 [ V H 4 95 I R H ィ チ チ ィ ィ , ィ , 縺 ィ ( ), ィ ィ ィ 縺359445, , ィ 989 ィ R H , ィ , R H , 45 ィ : , ィ , ィ o , V H 9, , R H. 縺 R H R H キ3 B ne ; 345 n ィャ ィ ( 83 ) 578, ィ N ( 83 3 ), ; e ィャ 8794 ィ 縺935993, 395 チ ィ 59754, , 388, ィャ 9585 ィ , 395 R H チ , , ィ , チ , タ5858 ィ チ チ , ィ , ィ , , ィ チ チ , R H B (798. 6) チ , ィ ィ ィ チ チ ィ ィ 罍タ ( 4 K) ( T), , , 459 4ィ (798. 7) , 395 R H ィャ ィ (!) 455 ィャ R H キ3 h= ュie 6 9, 345 i ィャ , h ィャ タ4 (R H 5;8... 縺3 679 i キ3 ) ィャィャィャィャィャィャィャィャィャィャィャィャィャィャ ィ " " , 閨7 チ ィ V H, ィャ ィ B ( ) V H 9 B 9, , 3574 R H 9 B ィ , ィ UH/mV UPP/mV p 7 Substrate Source Surface Channel n キ3 n キ3 n キ3 V g /V Hall Probe Drain n 6ヲ Gate Potential Probe U H U PP h=e, ィ チ ィ ィ ィ チ チ59 5 (7 ), ィ R, ィ R H, ィ , 9 55 ィ ィ タ DES ? ィ ? チ9895 ィ RH= ュh=e 6 9 3,,5,,5, R, , : ィ チ チ ィ 罍タ 縺 チ9 8 チ , (V H ) ィ (U PP ). タ (V g ), n. 667: , ィ GaAs/AlGaAs. タ5858 ィ , , , ィ 4ィ R H, R.

6 37. 7, 3] 65 縺 縺 縺 , ィ ィ ィ , 5849ィ ィ ィ ィ E キ3 ュi 7 =6 9heB= ュpm6 9, i キ3 ; ; 3;..., ィ B; m ィャ 388 ィ 59754, h ィャ タ4. (5 ィ ィ チ チ5939, ィ ) ィ ィ , ィ ィ ィ 953 8ィ DES ィ , , ィ ィ ィ タ5ィ ィ ィ , , ィ 9, ィ ィ チ チ ィ ィ DES 3985 ィ , 86549ィ , チ d, ィ 縺 , d キ3 eb=h , 395 ィ , , B ィ , ィ , タ チ ィ 43574ィ ィ n. タ , ィ ィ 5989 ィ , ィ , タ チ5735 d キ3 eb=h. タ79 B キ3 nh=e ィ タ ィ ィ ィ ィ - 59, , ィ 45739ィ heb = ュpm B キ3 nh= ュe6 9 キ3 B = ィ , ィ B i キ3 nh= ュei6 9, ィ ィ 86549ィ , ィ R , R H チ573 R H キ3 B= ュne B i, R H キ3 h= ュie 6 9, i キ3 ; ; 3; ィ , : R H R R H B i ィ , ィ 954, R H, , B R H B 573 B i. タ ィ DES, ィ 989 ィ "45947" 9 "537", チ5939, ィ チ ィ , ィ ィ (59-8ィ 989) 9 587ィ 縺 ィ ィ , ィ ィ , チ , ィ チ9, ィ タ ィ ィ ィ , , 5953ィ , ィ タ79 ィ R H R 589ィ , ィ , ィ , ィ ィ ィ , ィ ィ , ィ チ , , ( ィ - 59 ィ ). タ チ "37989" ィ 949ィ ィ ィ チ , ( ィ 59ィ ィ ) R H キ3 h= ュie 6 9 キ3 ュh=e6 9= ュie f キ3 h=e 8794 ィ e, i ィャ ィ ィ , ィ ィ (

7 [ チ GaAs/AlGaAs ; ( , チ595357) ィャ , DES ィャ 7539, , ィ チ , DES , ィ 953, ィ , 4ィ ィ タ ィャ , ィ チ チ59 5 (67 ) 縺 ィ , ィ 4 ィ タ ィ チ チ ィ (4, ), , R H B 縺 ィ ィ ィ (R H キ3 h= ュie 6 9, i キ3 ; ; 3;...), ィ チ ィ タ (i キ3 ) 679 B キ3 5 T ( ) 679 ィ 7 659, 67574ィ 59 ィ , ィ , ィ 45ィ n タ , , (798. 9, 57) B キ3 5 7: 37 チ , , e. 縺445 ィ , ィ , , ) R H, f e, ィ ィ 59754, e キ3 f = ュiR H ィ , チ ィ , DES ィ チ チ 縺 ィ ( Bell Labs) , GaAs/AlGaAs ィ ィ 97ィ , 閨58874, Bell Labs, , ィ ィ n キ3 ; ィ m キ チ59537 チ ィ , , , , ィ ィ ィャ ィ , (3) ( ). 557: R H , 9, B. 5498: R ィ ;5 83. 縺 ィ ,

8 37. 7, 3] 65 縺 縺 縺 , , , ィ , ィ , R H R, ィ (798. 9, 498). 7, , ィ , B 5 T , ィ R H キ3 h=e キ3 5 縺3. 6ィ "983579" B キ ( 7 83) ィ 99 "54949". 縺 : "79!" , , 59 83ィ ィ チ , , , , q キ3 f = ュ3h=e 6 9 キ3 e=3. 縺359445, , 4985ィ ィ (399ィ , ィ 5) , ィ , / ィ , r xy (h=e ) 4 3 r xx 43 /3 /.38 mm (ko) (ko= ) FILLING FACTOR n mm /3 /4 5 5 MAGNETIC FIELD B (kg).48 K. K.65 K 4.5 K.48 K. K.65 K 4.5 K タ ィ (84588 r xy ) ィ (84588 r xx ) , n 縺 n キ3 ; ; 3; 縺 n キ3 = ィ , ィ ィ , , 閨58874, Phys. Rev. Letts, (798. ), , , タ , ィ チ , 8584ィ ィ ィャ ィ ( ) タ5ィ ィ ィ チ チ , , ィ , ィ , , 縺 ィ , , 75 "597599" 7, ィ R H キ3 h= ュie 6 9, i キ3 ; ; 3; ィ ィャ ィャ ィ タ ィ ィ タ5ィ ィ チ チ5953, 99 ィ チ チ5953 ィ , ィ ィ , ィ ィ , ィ , ィ " ". タ ィ "3589" ィ , ィ , ィ ィ 9 チ , ィ 7994, ィ 5ィ ィ ィ , , ィ チ チ ィ ィ , チ ィ チ チ , , 935ィ ィ 8574ィ , 9, ィ ,

9 [ チ ィ 53494ィ 545ィ チ49ィ, ィ n キ3 =3 ( =q) , ィャ 9793 チ 縺 e=3 ( ィ 59ィ ィ ) ィ ィ ィ 7859 チ , 56987ィ , チ9 ( ), チ , ィ 縺 縺 ィ ィ ィ 縺 ィ ィ (798. ). 縺 ィ , 縺 ィ "783847" 縺 , B B DES 4959 DES ィ f f DES ( ) 4 DES (75845) DES ィ 9 ィ ィャ ィャ f B ィ (ィ 535 ィ 59754) ィ ィ (798. ) , ィ , (798. ) ィ , ィ ( , ), 5445 ィ , , , ィ B " " ィ "3575" ( ), f キ3 h=e ( ). タ , " " ィャ チ ィ ィ : ィ , (65548 B キ3 f ). タ5ィ , , "783847" , 9 ィ ィ 59754, 9 75, 9 978, ィ (798. 4) ィ ィ ィ ィャ : , 9575 ィャ ィ , ィ , , ィ ィ , ィ 9 979, 577ィ ィ , チ ? , ィ ィ ィャ ィ タ9, ィ , ィ タ , ィ , ィ チ チ ( タ )

10 37. 7, 3] 65 縺 縺 縺 ィ タ9 ィャ ィ 59754, (798. ) i キ i キ3 ; 3; 4;..., 589 ィ ィ , タ9 49 ィ , ィ ィャ ィ ィ , 5849ィ タ ィ タ545898ィ タ79496 タ ィ DES ィ , n キ3, 3985 ィ , タ " " 4 ィ ( ィ ) ィ , ィ 5ィ 7 8 i キ3, , 9, , , 353 ィ タ79496 タ ィ ィ ( ), ィ ィ ィ ィ ィ , n キ3 = , 353 ィ タ79496 タ ィ ィ () ィ ィ (545855) () ィ , ィ ィ () ィ (798. 3) ィ ィ ィ ィ , ィ 45739ィ ィ ィ ィ タ9, , , ィ ィ ィャ ィ ィ DES, 縺 ィ ィ ィ ィ , , ィ ィャ ィ ィ , , ィャ ィ , " " ィャ ィ ィ (798. 3, ) ィ , , (). タ ィ , 8595ィ ィ ィ 59 ィ ィ " ", ィ , ィ , ィ ィャ , (ィ ) (ィ ィ ), 9 345, , 3575 ィ " " ィ , , ィ 縺 , ィ ィ チ チ , , チ チ ィ ィャ チ , , ィ , ィ , ィ , , 縺 ィ タ ィ , , チ , ィ ィ

11 [894 縺 ィ , チ ィャ , ( チ ), ィャ ( ), (85 チ ィ ) ィ , ィャ ( "755495" 38997) , チ (ィ ィャ ィ , , ) , ( ) チ (ィ ) ( ), ィ ィ 縺 チ , 縺 , ィ , , チ , ィ , チ ィ 9 784ィ チ ( ) チ , ィ ィ 989 チ ィ ィ , チ , チ ィ (798. 4). 5 ィ , タ ィ ィ チ499, " ", ィ チ49ィ チ , ィ チ (9), チ , ィ (4), チ , , 5849ィ , ィ 縺 ィ , 395 ィ 3ィ ィ , 95 チ , ィ m 7! m 7! チ ィ チ チ m =/3 タ / (n キ3 =3) , ィ タ5ィ 953 ィ , ィ ィ ィ , ィ ィ ィ , ィ 953 (798. 3) ィ , ィ ィ チ チ ィ , ィ , ィ ィ ィ ィ, , 縺 ィ , ィ , ィ 5ィ ィ 59 n キ3 =3, (798. 5). 縺 ィ , 9 ィ チ / ィ タ ィ 8 C C C C 7C C 7C ィ ィ チ49ィ C, ィ C , チ , C ( ), ィ チ (m ィャ ). C

12 37. 7, 3] 65 縺 縺 縺 e= B, n キ3 =3, 縺 ィ ィ /3 ィ ィ ィ ( ィ ) ィャ ィ チ チ , n キ3 =3, ィ ィ e= ィ 縺 /3, 5849ィ , ィ ィ , , ィ ィ , 縺 , 9 7, 98-8 チ ィ ィ ィャ ィ ィ , n キ3 =5, / , 935ィ e=5, e= , , /3, , ィ n キ3 =3, 4/5, 6/ n キ3 6ヲ =3, 6ヲ = ィ , , n キ3 = , 4 / ィ 5939 ィ , , 5953ィ 595 チ n キ3 i =q ( ) 6544ィ ィ m キ3 = n キ3 = n キ3 =3, 5445, ィ 989. タ , チ n キ3 = ィ , 395 ィ ィ , , タ n キ3 = ィ ィ , ィ ィ (798. 6). 縺 ィ , ィ チ , ィ n キ3 = n キ3 = n キ3 = 75 ィ , ィ チ チ ィ 縺 チ ィ ィ ィ ィ , ィ ィ , ィ ィ ィ B キ , , n キ3 = ィ ィ ィ B キ , , ィ ィ ィ ィ 99 "7495" ィ ィ , ィ , , ィ ィ , ィ ィ , ィ 縺 ィ ィ n キ3 = ィ , 9 75, 49 ィ B キ3 (798. 7) n キ3 =3 9 n キ3 = ィ 縺445 ィャ ィ , ィ ィ チ チ ィ , , チ , ィ 9 388, 縺 ィ ィ , 8ィ n キ3 =, ィ , : ィ ? ? 975, 8694 ィ ( ) ? , チ ィ ( タ9), , ィ ィ ィ

13 [ , RH= ュh=e , R R H 4/ /3 4/3 5/3 R 4 3 / 3/5 4/7 /3 /5 4/5 3/7 4/5 / , , ィ , ィ n キ3 i =q. タ79 ィ ィ R H キ3 h=ne R ィ 縺 ィ チ95, , タ ィ 9 85 ィ ? チ ィ /5, 3/7, 4/9, 5/,... 9 /3, 3/5, 4/7, 5/9,... (9.5. n キ3 p= ュp 6 9, p キ3, 3, 4,...), n キ3 =. タ ィ ィ 989 9, ィ , ィ , ィ チ チ タ ィ 989 チ , n キ3 = ィ B キ , B キ3? ィ ィ 縺 ィ ィ 595 ィ , ィ , n キ3 = /5 /5 3/7 4/9 4/7 4/ , DES GaAs/AlGaAs ィ , n キ3 p= ュp 6 9, n キ3 =, / /3 / , ィ n キ3 =, 縺 ィ ィ , ィ , 縺445 ィ ィ , チ n キ3 p= ュp 6 9, ィ , 58997ィ R n キ3 = ィ ィ R 989 B キ3, B キ3 n キ3 =, チ ィ ィ チ チ ( n キ3 =) ィ ィ ィ ィ B キ ィ 989 " " , ィ チ , 777ィ ィ, チ ィ チ チ ィ ィ , ィ , チ ィ , 67 ィ チ ィ n キ3 = ィ タ79 n キ3 = チ , 5849ィ n キ3 =, 49ィ ィ 86549ィ ィ , n キ3 =3 ィ i キ チ , ィ n キ3 =. タ ィ , タ9 49 9, ( ) 8584ィ チ , ィ チ ィ 59754, ( ィ チ573954), , n キ3 = チ ィ , ィ , ィャ ィ , ? , , 67 ィャ ィ ( ) (ィ ) , ( ) ( チ ) ィ チ チ ィャ ィ ,

縺 縺05 [ )

縺 縺05 [ ) 1306050100010708 1997 03. 070503 167, 02 12 0806 タ07 09 090908090107060109 04030801 04 縺040702070506010907 020701000909 タ 090908090107 ィャ 1996 0602050701090501000305080908 02 3 He: 0509010707090905 09

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