X線総合カタログ_1709

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1 X 線 /CT 検査装置総合カタログ X 線 /CT 検査装置 総合カタログ NIKON METROLOGY I VISION BEYOND PRECISION

2 X線によって複雑な工業用部品の内部の画像を取得 広範な検査用途に柔軟に対応 CT機能を使用して スムーズかつ非破壊的プロセスで Nikon Metrologyは 独自のマイクロフォーカスを搭載した高精度の X 線 /CT 装置を各種ラインナップ あらゆる内寸 外寸を適正に定量化します 自動車や航空宇宙 エネルギー 材料研究 電子部品など さまざまな業界での品質管理 故障解析 材料研究に最適なソリューションをお届けします X線/CT コンピュータ断層撮影 技術を用いれば 物体の内部構造を可視化し 実装基板 プラスチック成形部品 鋳物 新開発の材質 医療用部品 消費財 さらには考古学的な遺物 に至るまで 内部の欠陥や構造を非破壊で見ることが可能で さまざまな分野に対応でき ます また これまでの接触式計測やスキャナーなどのデジタイザーでは表面形状しか計 測できませんでしたが X線CT画像から計測を行えば これまで測定できなかった内部構 透過像 任意断面観察 内部欠陥検査 内部 外部寸法計測 CAD 対部品の形状比較 高度材料研究 透過像 BGA 造を 非破壊のままで計測が可能です 3D 画像 アルミダイカスト 設計値 実測値比較 アルミダイカスト 透過像 Bonding Wire 欠陥解析 アルミダイカスト 3D 像 Lead Frame 内部寸法計測 金属積層造形品 Taiwan Matsui Co., Ltd. 様 ご提供サンプル Nikon Metrology製マイクロフォーカスX線源 Nikon Metrologyは を1987年から自社において設計 製造し 約30年の歴史を誇ります お客様のアプリケーションのご要望に対して 革新 的なソリューションのご提供が可能です すべての線源で開放管を採用することで 低ランニングコストを実現するとともに 160kVから450kVまで 幅広いマイクロフォーカス線源の製品を取り揃えています 産業用マイクロフォーカスX線/CTとは X 線発生原理 X 線管内で発生させた電子ビーム が重金属のターゲットに衝突する ことによって X 線が発生します 225kV 225W マイクロフォーカス フィラメント 電磁レンズ 熱電子 X線 マイクロフォーカスは X 線発生源の大きさが数μ m で 拡大しても詳細 応用範囲 の 広 い225kV システム の 中核 な画像を得ることができます Nikon Metrology 製品は すべての機種に です マイクロフォー カスを搭載して いるので 鮮明か つ綺麗な画像の ターゲット X 線撮影技術 X 線撮影 レントゲン写真 は 基本的には 簡単 です とディテク タの 間 の 回転ステージに物体を置きます 高精度マイクロフォーカス 源 が 発生させ た X 線 が 試料を透過 すると デジタ ルフラットパネ ルデ ィテクタが X 線 の パタ ー ンを2D 画像として 取り込 み 試料 の 材質 や 形状に応じて 異 なるグレーレベ ル で 表示 厚 い 物質 や 高密度 の 物質 鉄 銅 鉛など は濃いグレーに プラスチックや紙 空気などの薄いものや 軽いものは明るめのグレーになります 取得が可能です 一般的な ミニフォーカス 1mm マイクロ フォーカス源 5μm 225kV 450W マイクロフォーカス反射型 回転ターゲット 世界唯一 の225kV の 回転ターゲット 効率的な冷却によって高出力を実現し サンプルの高速撮像や高密度サンプルの 撮像に最適です サンプル 断層撮影 CT ボケたイメージ シャープなイメージ 三次元 CT 画像撮影では まず物体を360 回転させながら2D の X 線画像 を連続して撮影します この連続画像を三次元再構築ソフトウェアで処理し て 外表面に加えて部品内部の形状 さらに密度の情報までを持つ完全な 内部構造画像を構築 まるで試料の内部を歩き回るかのように三次元 CT 画像の内部を探査できるため 他の方法では見ることができない組立エラ ーや構造の欠陥も発見が容易です 180kV 20W マイクロフォーカス透過型ターゲット 320kV 320W 小スポットサイズで 高解像度 CT 撮像に 小さなスポットを維持しながら 225kV 最適です では透過できない大きく高密度なサンプ ルの測定に最適です 450kV 450W 160kV 20W マイクロフォーカス透過型ターゲット 450kV 450W マイクロフォーカス反射型 High Brilliance Source 小スポットサイズで 高解像度が必要な 電子部品の検査に最適です 450kV の強力なマイクロフォーカスで 大きく高密度なサンプルの微細な欠陥検 出に最適です 試料をに近付けると画像の倍率が上がります 2 部品を回転軸上で回転させながらX 線画像を撮影し 正確な三次元 CT 画像を作成 3

3 CT 検査 産業用CTスキャナー XT H 320 / H 450 計測用CTシステム MCT225 大型 高密度試料の検査用 絶対精度での内部構造計測を実現 Nikon Metrology が誇る 強力なマイクロフォーカス 搭載システムです 最新の産業標準に準拠した さまざまなサイズや材質のサンプルに対応可能な計測用 CTシステムです 参照測定が不要で 内部 外部寸法を非破 高エネルギーのマイクロフォーカス が 大型鋳物や単結晶合金タービン 壊で効率よく計測できます 50年の CMM 技術と25年の X 線技術を結集した 高品質で信頼性が高い計測用 CTシステムとして 他の追随を許し ブレードといった高密度産業用部品の高精度検査に威力を発揮します ません 世界初の450kV マイクロフォーカス源 1 9+L/50μm 測定精度 μm VDI / VDE 2630 より高解像度 高精度での検査が可能です タービンブレードの肉厚計測 XT H 450 エンペラの肉厚計測 XT H 320 2,414mm 1,275mm 2,202mm 4,200kg XT H 320 XT H 450 3D XT H 450 2D 320kV 320W 450kV 450W 450kV 450W 225kV 450W マイクロフォーカス反射型回転ターゲット 450kV 450W マイクロフォーカス 反射型 High Brilliance Source 450kV 450W マイクロフォーカス 反射型 High Brilliance Source 2,695mm 1,828mm 2,249mm 3,613mm 1,828mm 2,249mm 3,613mm 1,828mm 2,249mm 8,500kg 14,000kg 14,000kg サンプル質量 最大 ミニフォーカスよりも桁違いに小さいため 測定できる部品の種類が広く 供しています Nikon Metrology の320kV/450kV 線源のスポットサイズは Nikon Metrology は世界で唯一 450kV のマイクロフォーカスを提 1 最大外径250mm 高さ250mm 単一素材サンプル測定時 精度検証にはVGStudio MAXを使用しています CT 計測プロセス F1カーの油圧マニホールド CT 画像の再構築 CAD モデルとの直接比較 内部幾何形状断面図を作成 GD&T 寸法レポート 産業用CTスキャナー XT H 160 / H 225 VGStudio MAX 3.0 万能型の X 線 /CT 検査装置 内部部品や組立部品形状の詳細な取り込みや測定は 品質管理 故障解析 ボリュームデータの解析用途に 材料研究などに欠かせません 入門機の XT H 160および万能タイプの XT H 225は マイクロフォーカス カメラ成型品 テストサンプル 大型部品検査 高解像度画像を提供し 超高速 CT 画像構築が可能で 座標計測 設計値 実測値比較 肉厚解析 欠陥 介在物解析 繊維配向 移動現象 多孔質構造解析などが可能です す どちらも 小型鋳物 プラスチック部品 複雑なメカニズムの検査 材料や 自然試料の研究などの幅広い用途に対応しています 設計 実測値比較 欠陥解析 XT H 160 XT H 225 XT H 225 ST 160kV 60W 225kV 225W 反射型ターゲット 180kV 20W 透過型ターゲット 225kV 450W マイクロフォーカス反射型回転ターゲット 180kV 20W マイクロフォーカス透過型ターゲット PolyWorks ハイエンド3D 計測ソフト kg PolyWorks は 豊富で高度な機能と使いやす 1,830mm 875mm 1,987mm 1,830mm 875mm 1,987mm 2,414mm 1,275mm 2,202mm さを併せ持ち データ位置合わせ 誤差カラー 2,400kg 2,400kg 4,200kg マップ 断面検査 穴 寸法検査 幾何公差 自動検査レポート作成など 工業製品の寸法 形状検査のあらゆるニーズに対応します 4 カメラ成型品 テストサンプル 5

4 X 線検査 電子部品向けX線検査装置 XT V 160 / XT V 130C 小型電子部品用のトップクラスの検査システム 自動検査 製造部門や故障解析部門など マイクロ BGA 多層基板 はんだ接合部など さまざまな電子部品の検査に最適です マクロ機能により単純な繰り返し作業を自動化 オペレーターはリアルタイムの X 線画像を見ながら不具合や欠陥を迅速に発見することができます 自動検査モード 自 動検査およびすべての基板または複数の部品の解析の では最高の処理スピードで試料を検査することができます ための検査プログラム 特別なプログラム技能が不要な自動検査プログラム グラ フィカルインターフェイスやティーチアンドラーンを利用 XT V 160 高品質 X 線検査システム XT V 160は 特に製造ラインや故障解析部門向けに開発されたシステムで お客様の必要性に 合った性能に最適化するため 高品質システム部品を選択して構成することができます 手動で リアルタイムに検査できるだけでなく 検査プロセスを完全に自動化することで生産性を向上させ ることもできます ジェントプログラムコントロール IPC X 線システムを最大限有効に活用するためのオフライン 検証ステーション マクロベースの記録により ユーザーの手で反復検査 やバッチ解析をプログラム可能 完全カスタマイズ可能なシステム制御のためのインテリ 直感的なアイコンにより ユーザーの手で自動検査 ルーチンを対話的に作成可能 HTMLレポート作成機能 特別なソフトウェアがなくてもパソコンで読み込み可能 透過像 2D 撮像とCT 像 3D 取得モードを同じソフトウェアで切り替え可能 自 動検査ルーチンの際の目視チェックにより 対話的な検査が可能 X. Tract XT V 130C - コストパフォーマンスに優れた X 線検査 XT V 130C は コストパフォーマンスに優れた 非常に柔軟な電子部品 / 半導体検査システム です このシステムは Nikon Metrology 社製高圧電源一体型の開放管130kV/10Wと 複雑な多層構造を持つ電子装置のバーチャルな断面画像を 装置その ものを破壊することなく 任意の切断位置や方向を指定して まるで CT のように取得できます PoP や両面基板など 二次元の X 線画像検査 高解像度イメージチェーンを搭載しています エンドユーザーは 工場またはフィ ールドアップグレードによって 独自のシステムを構成することができます 回転する試料トレイ フラットパネル 自動検査ソフトウェア 将来性のある CT テクノロジー機能を追加するオプ では特定が難しい欠陥も 軽快かつ分かりやすい操作で鮮明に映し出す ことができ 欠陥率の低減や生産性の向上に貢献します XT V 160 XT V 130C 160kV 20W 透過型ターゲット 130kV 10W 透過型ターゲット 2.5x x 2.5x x イメージインテンシファイア (X, Y, Z, T) 0-75度 0-75度 標準 mm mm キャビネットサイズ (B W H) 1,200 1,786 1,916mm 1,200 1,786 1,916mm 1,93 1,93 標準 CT 対応 X. Tract 幾何倍率 ションなど さまざまなを搭載できるようになっています 生産性を重視 迅速な解析とレポート機能を搭載した高速自動部品検査 迅速かつ簡単な試料配置 / 取り出しが可能な配置ポジション 自動 X 線オフインターロックを搭載した大型ドアにより 検査領域へのアクセスが可能 複数の基板を配置できる大型トレイ 試料のシリアルナンバーを自動認識できるバーコード読み取り 傾斜角度 回転軸 検査可能領域 スマートフォンの2D X 線画像 X.Tractによるレイヤー詳細画像 低コストで導入 維持 交換可能な低コストのフィラメントを搭載した開放型 で長寿命 点検可能な部品に容易にアクセス可能 高圧電源一体型設計により高圧ケーブルが不要 特別な床工事が不要 自動検査機能 BGA の高倍率3D 画像 破損したワイヤボンディング 主な用途 CT 検査に対応 安全性を設計基準に 完全防護されたキャビネットを使用しているため 特別なフィルムバッジや防護服が不要 鉛で遮蔽したキャビネットは DIN 54113および CE 基準の放射線安全規格に完全準拠 画像解析および画像処理 工場またはフィールドアップグレードによりCT 画像を取得 ユーザーガイドが付いた容易な CT データ収集 高速再スキャン わずか2ステップの再スキャン 世界最速の再構成時間 および解析 迅速かつ正確な決定を行うには 明瞭でシャープな画像が必要になります 電子部品のリアルタイム / 自動検査 BGA μbga フリップチップ 実装プリント基板 XT Vシステムからストリームさ れた CT データの自動再構成 C. Clear のリアルタイム画像エンジンにより 時間のかかる画像処理を行う ことなく ユーザーは自信をもって欠陥を特定することができます 選択したソフトウェアによる強力 な CT 解析 C. Clearは X 線条件の変化や試料の位置に合わせて 画像制御やコントラスト 明るさを自動的に調整 欠陥の認識に適した明瞭でシャープな画像を提供します C. Clear は画質を向上させ リアル C. Clear なしのリアルタイム画像 タイムでの欠陥認識を容易にします 6 BGA のボイド CT 画像 7

5 設置にあたり 所轄の労働基準監督署へ設置 30 日前までに届出が必要です 安全に関するご注意 ご使用の前に 使用説明書 をよくお読みの上 正しくお使いください Microsoft Windows は 米国 MicrosoftCorporation の米国およびその他の国における登録商標です 本カタログに記載されている会社名および商品名は 各社の商標または登録商標です 本カタログは 2017 年 9 月現在のものです と製品は 製造者 / 販売者側がなんら債務を被ることなく予告なしに変更されます 2017 NIKON CORPORATION 注意 : 本カタログに記載した製品および製品の技術 ( ソフトウェアを含む ) は 外国為替及び外国貿易法 等に定める規制貨物等 ( 技術を含む ) に該当します 輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください 東京都港区港南 ( 品川インターシティ C 棟 ) 本社 東京都港区港南 ( 品川インターシティ C 棟 ) 電話 ( 03) 海外営業部電話 ( 03) 札幌営業所 札幌市中央区南 1 条東 2-8-2(SR ビル ) 電話 ( 011) 名古屋営業所 名古屋市名東区一社 3-86( クレストビル 2F) 電話 ( 052) 関西支店 大阪市淀川区宮原 ( 上村ニッセイビル ) 電話 ( 06) 京都営業所 金沢営業所 岡山営業所 九州支店 福岡市東区多の津 電話 ( 092) 長崎営業所 大分営業所 熊本営業所 鹿児島営業所 Printed in Japan 2CJ-IGYH-6( )T

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