TOTAL SOLUTION COMPANY FCS サプライヤーから ガス供給系の トータルソリューションカンパニーへ 韓国サービスセンター 万博記念 つくば先端事業所 上海チャイナサービスセンター Global Support and Services 台湾サービスセンター アメリカサービスセン

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1 Mass Flow Controller FCS Flow Control System Thermal Series あらゆる部分にお客様からのご提案を取り入れさせていただいております

2 TOTAL SOLUTION COMPANY FCS サプライヤーから ガス供給系の トータルソリューションカンパニーへ 韓国サービスセンター 万博記念 つくば先端事業所 上海チャイナサービスセンター Global Support and Services 台湾サービスセンター アメリカサービスセンター の Flow Control System シリー ズ は FCS な が れ 流 体 制 御 技 術を 常 にリードします 1

3 FCS Flow Control System シ リ ー ズ のFCS シリーズは あらゆる産業でご利用いただける ガスの流量制御機器 です FCS シリーズでは FCS Pressure 圧力制御方式 シリーズと FCS Thermal 熱式流量センサ制御方式 シリーズの制御方法の異なる 2種類の製品ラインアップを取り揃えております と呼ばれていますFCS Thermal シリーズについてご紹介します 本カタログでは 一般にマスフローコントローラ MFC マスフローコントローラとは マスフローコントローラは質量流量 Mass Flow 制御機器です 従来より 流体の流量計測 制御では 体積流量計 が用いられてきました しかし 体積流量は温度 圧力の影響を受けるため より精度良く流量計測 制御を行なう必要がある場合には 温度 圧力の影響を受けにくい 質量流量計 Mass おります Flow が用いられています では お客様のニーズに合わせた 質量流量計 Mass Flow を 各種FCS Thermal シリーズの中からご提案をさせていただいて 動作原理 熱 式 流 量 セ ン サ サーマルセンサ マスフローコントローラは 外部からの設定入力信号と 熱式流量セン 流体を流した時 熱式流量センサの上流側 A と下流側 B の発熱抵 サから得られた流量出力信号を比較制御回路に取り込み 常にそれら が一致 設定 出力 するよう流量制御バルブを駆動させます フジキンのFCS Thermal シリーズは 05VDC 420mA 製品に加えて 各種 RS485 DeviceNetTM EtherCAT 等製品もラインアップしております 駆動電源 抗体で温度差 抵抗値の変化 が発生します 導入されるガス種に よって 発熱抵抗体の冷却される割合が異なり その割合が質量流量 に関係する事を利用した原理を用いて質量流量を計測します 流量出力 流量設定 入出力コネクタ DSub9ピン ガスが流れている場合 熱式流量センサの温度一定 熱式流量センサの温度が変化 ブリッジ回路 ブリッジ回路 TA = TB 流量制御バルブ 増幅回路 ガスが流れていない場合 比較制御 回路 RS485通信 ポート アナログモデルを除く ブリッジ回路 TA TB ガス種により選択 熱式流量センサ A A B B バイパス 一般的なマスフロー製品のは±1 最大流量に対して±1 以内 となっております ではさらなる高精度化のご要求に対して ±1 設定値に対して±1 以内 を保証する高精度製品もラインアップしております ±1 S. P. 以 内 ±1 F. S. 以 内 1 精度 1 精度 設定値 設定値

4 信方式接続継手FCS Thermal シリーズ 製品ラインアップ シリーズ 流量制御機器 モデル デジタルスタンダードモデル 大流量モデル 高温用モデル 特長 圧力センサ内蔵 急激な圧力変動による影響を極限まで軽減 (Pressure Insensitive) 機能 耐食ハステロイセンサ搭載 :±1% シリーズ名 部材質 応答性 1sec 機能 ±15V 駆動 ( 0 5VDC) ±15V 駆動 05VDC +24V 駆動 ( 0 5VDC) +24V 駆動 ( 4 20mA) 機能搭載モデル通 機能デジタル ( ガス種 フルスケール流量の 変更可能 ) 機能 耐食ハステロイセンサ搭載 :±1% 全流量域 : 応答性 1sec 以内 24V 駆動モデル 最大流量 500SLM :±1% 応答速度 :3sec 以内 50~80 (80 を超える温度で ご使用の場合は お問い合わせ下さい ) :±1% 下記にも対応 CCLink 特殊仕様対応 FCST1000MP FCST1000Z FCST1000F FCST1200F FCST1500F FCST1000M(Z)FHT FCST1200MFHT 流量レンジ ( N 2 換算 ) 10SCCM 50SLM 10SCCM 50SLM 10SCCM 50SLM SLM 10SCCM 150SLM ±1% (25100%) ±0.25% (225%) ±1% (25100%) ±0.25% (225%) ±1% ±1% (T1200) ±2% (T1500) ±1% (25100%) (T1000MZF) ±0.25% (225%) (T1000MZF) ±1% (2100%) ( T1000MF T1200MF) 1sec 1sec 3sec 1sec(10SCCM 50SLM) 3sec(51 150SLM) ア MR MG 1 ナ±15V 駆動 05VDC ±15V 駆動 05VDC ±15V 駆動 05VDC ±15V 駆動 05VDC ログ 2 RS485 EtherCAT RS485 EtherCAT RS485 EtherCAT のみ RS485 EtherCAT RS485 EtherCAT のみ のみ T1000のみ RS485 EtherCAT T1000 のみ T1000MF のみ 3 CC Link CCLink ユニオンガスケット式 ( UJR Type) 2 圧縮リング方式 (F900 Type) 1/4 UJR 1/4 UJR 1/4 F900 1/4 UJR 1/4 F900 3/8 UJR(T1200) 1/2 UJR(T1500) 3/8 F900(T1200) 1/2 F900(T1500) 1/4 UJR(T1000M) 3/8 UJR(T1200MF) 1/4 F900(T1000M) 3/8 F900(T1200MF) 集積タイプ ( IGS Type) 1.5 Wseal Wseal Cseal 1.5 Wseal Wseal Cseal 1.5 Wseal Wseal Cseal 1.5 Wseal Wseal Cseal 表面処理 オプション のみオプション のみオプション のみオプション オプション RoHS 対応 マスフロー ページ RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS マスフロー マスフロー マスフロー マスフロー P.5~6 P.7~8 P.9~10 P.11 P.12 T1000 のみ 1:MR 仕様 : ご指定のフルスケール流量の 1/3 までの流量変更が可能 MG 仕様 :4 種類までのガステーブル ( ガス種 : 流量 ) の登録が可能 2: アナログインターフェース : Dsub9 ピン ただし TM39 は HRS 製 HR10A7R6P UPC,UPCUS は ハーフピッチ 20P 3: デジタルインターフェース :RS485 通信の場合 FCST1000 シリーズは RJ11 コネクタ ただし FCST2000 シリーズは RJ45 コネクタ 3

5 流量制御機器 流量計測機器 圧力制御機器 分配比率制御機器 高速応答 アナログエコノミーモデル アナログエコノミーモデル 高精度 ピエゾアクチュエータ搭載モデル 表示器一体型マスフロー 自動圧力制御コントローラ 自動圧力制御コントローラ ガス分配比率制御モデル 05V 制御専用 05V 制御専用 :±1% 外部出力可能 外部圧力センサからの 内部に搭載された 耐食ハステロイセンサ搭載 エコノミーモデル :±1% エコノミーモデル ガス種限定 低温度熱式流量センサ 微小流量対応 ニードルバルブ一体型 ( オプション ) 信号による 上流側又は下流側の圧力制御 圧力センサによる 上流側又は下流側の圧力制御 応答性 :1sec 以内 制御電源一体型モデルも対応 SDS 対応 流量積算上下限警報出力 流量出力 高温仕様 エコノミーモデル マスフロー付 ( オプション ) FCST1000L FCSG200 FCST2000 FCSTM39 PCST1000F UPC UPCUS FRCT1000MF 10SCCM 50SLM 10SCCM 5SLM 5SCCM 150SLM 10SCCM 100SLM 10SCCM 50SLM 10SCCM 50SLM ±1% (10SCCM30SLM) ±2% (31SLM50SLM) ±2% ±1% (25100%) ±0.25% (225%) ±2% (10SCCM20SLM) ±3% (21100SLM) ±1% 1sec(10SCCM 30SLM) 2sec(31 50SLM) 6sec( 代表値 ) 1sec( 代表値 ) 4sec ±15V 駆動 05VDC ±15V 駆動 05VDC ±15V 駆動 05VDC ±15V 駆動 010VDC ±15V 駆動 05VDC ±15V 駆動 05VDC +24V 駆動 15VDC +24V 駆動 010VDC RS485 RS485 RS485 1/4 UJR 1/4 UJR 1/4 UJR(T2000) 3/8 UJR(T2150) 1/4 UJR 3/8 UJR 1/4 UJR 1/4 UJR 1/4 UJR 1/4 F900 1/4 F900 1/4 F900 3/8 F900 1/4 F Wseal Wseal Cseal 1.5 Wseal Wseal 1.5 Wseal Wseal Cseal 1.5 Wseal Wseal のみオプション のみオプション オプション RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS マスフロー マスフロー マスフロー P.13 P.14 P.15~16 P.14 P.17 P.18 P.19 注 1: 外部リーク : : Pa m 3 /Sec He : Pa m 3 /Sec He 注 2: その他条件でご使用の場合 別途お問い合わせください 注 3: は Open DeviceNet Vendor Association,Inc. の登録商品です 注 4:は プロフィバス協会の登録商標です 注 5:EtherCAT は ドイツ Beckhoff Automation GmbHによりライセンスされた特許取得済み技術であり登録商品です 4

6 流量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器5 機能搭載モデル FCST1000MPシリーズ (Pressure Insensitive) 機能搭載 型式 FCST1005MPF(C) FCST1030MPF(C) FCST1050MPF(C) 流量レンジ (N2 換算流量 ) バルブタイプ 流量制御範囲 再現性 応答時間 必要差圧 最大動作圧力 Bin1: 10 30SCCM Bin2: SCCM Bin3: SCCM Bin4: 301 1,000SCCM Bin5: 1,001 3,000SCCM kPa (Ar: kPa) : 応答性で示す時間は 最小制御流量値から目標流量値の ±2% に到達する時間です 注 1: Bin6: 3,001 10,000SCCM Bin7: 10,001 30,000SCCM N/O kPa (Bin6) kPa (Bin7) N/C kPa (Bin6 7) (Ar: kPa) 本体に圧力センサを内蔵し 独自の制御アルゴリズムにより Actual Flow に対する急激な 1 次圧変動の影響を除去 ( マルチガス マルチレンジ ) 機能 ガス種とフルスケール流量をお客様にて任意に変更可能 10SCCM から 50SLM まで 8 種類の流量レンジ品で対応 耐食ハステロイセンサ搭載 ハロゲン系腐食性ガスに対する耐食性向上 高 N/O: ノーマルオープン N/C: ノーマルクローズ 2 100% ±1% (25 100% ) ±0.25% (2 25%)( 精度保証範囲 :15 35 ) ±0.2% 1sec 400kPaG (Ar:500kPaG) 5 50 アナログ :0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) デジタル : RS485 ±1% (25 100%) ±15V 駆動 05VDC RS485 Bin8:30,001 50,000SCCM kPa (Ar: kPa) ( オプション )

7 量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器 (Pressure Insensitive) 機能搭載 機能を搭載した MFC(FCST1005MPFC) と 機能を搭載していない MFC を並列に接続して クロストークを再現 機能を搭載した MFC は 急激な 1 次圧変動の影響を除去することで安定した流量制御を実現 N2 ダウンサイジング & コストダウン ガスシステムから圧力系機器を省くことで ガスシステムの 小型化とコストダウンを同時に達成可能 レギュレータ手動弁RG 代表品番 圧力センサFCST 1005 MP F C 4J2 F10 N2 R1 U *** 1FCS Thermal FCST: マスフローコントローラ 2 流量レンジ 1005:10 3,000SCCM 1030:3,001 30,000SCCM 1050:30,001 50,000SCCM 3 機能 ィルターP1 P1 / FlowOut / D.P MFC 300SCCM MFC 50SLM D.P 手フ2 方3 方2 方動ィ2 方弁弁弁弁ル MP: タイプ フ3 方2 方MFC 弁弁 MFC 弁4 制御方式 F: アナログ / デジタル D: E:EtherCAT 5 バルブモード なし : ノーマルオープン C: ノーマルクローズ 6 接続方法 ( 面間 ) 4J2:1/4 UJR(124mm) 4WS2:1.5 Wseal (92mm) ターVent to Atm. PG: レギュレータ P1: 圧力センサ DP: 差圧流量計 4CW2:1.125 Wseal (92mm) 4CL2:1.125 Cseal(92mm) 流量[% ]P1 ( % Control Cross talk 150kPaG) ディスプレイ搭載 温度 ( C F K) 7 フルスケール 8 ガス種 9 F10:10SCCM F10L:10SLM 例 : N2 なし : シングルガス シングルレンジ R1~R8: マルチガス マルチレンジ 10Dsub9 ピンコネクタねじ なし : M3 U: インチ 11 お客様ご指定事項 12 表面処理 時間 [sec] 圧力 (kpaa psia) MFC Flow Out Flow Out Actual Flow MFC(0 60%) 例 : atm 流量単位 :CCM, LM なし : 機械加工仕上げ : 処理 流量 ( 設定出力 (%) 流量出力 (%)) 一次MFC Actual Flow 側圧力[kPaG ]6 流

8 流量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器7 モデル FCST1000Zシリーズ 型式 FCST1005(M)ZF(C) FCST1030(M)ZF(C) FCST1050(M)ZF(C) 流量レンジ (N2 換算流量 ) バルブタイプ 流量制御範囲 再現性 応答時間 必要差圧 最大動作圧力 Bin1: 10 30SCCM Bin2: SCCM Bin3: SCCM Bin4: 301 1,000SCCM Bin5: 1,001 3,000SCCM kPa (Ar: kPa) : 応答性で示す時間は 最小制御流量値から目標流量値の ±2% に到達する時間です 注 1: マスフローコントローラのみの仕様となります マスフローの仕様については 注 2: ( マルチガス マルチレンジ ) 機能 Bin6: 3,001 10,000SCCM Bin7: 10,001 30,000SCCM N/O kPa (Bin6) kPa (Bin7) N/C kPa (Bin6 7) (Ar: kPa) ガス種とフルスケール流量をお客様にて任意に変更可能 10SCCM から 50SLM まで 8 種類の流量レンジ品で対応 耐食ハステロイセンサ搭載 ハロゲン系腐食性ガスに対する耐食性向上 高 400kPaG (Ar:500kPaG) 5 50 ±1% (25 100%) N/O: ノーマルオープン N/C: ノーマルクローズ 2 100% ±1% (25 100% ) ±0.25% (2 25%)( 精度保証範囲 :15 35 ) ±0.2% 1sec Bin8:30,001 50,000SCCM kPa (Ar: kPa) アナログ : 0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) 0 5VDC( 供給電源電圧 :+24VDC) 4 20mA( 供給電源電圧 :+24VDC) デジタル : RS485 ( のみ ) にお問い合わせください ±15V 駆動 05VDC RS485 のみ ( オプション )

9 量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器( マルチガス マルチレンジ ) 機能 ご指定された Bin 番号に対応する流量レンジ内で ガス種とフルスケール流量を任意に変更可能 8 種類の Bin 番号の中から ご使用流量レンジに合うものを選択してください 代表品番 1FCS Thermal FCST: マスフローコントローラ FCSTM: マスフロー 2 流量レンジ 1005:10 3,000SCCM 1030:3,001 30,000SCCM 1050:30,001 50,000SCCM 3 材質 なし : M: 4 制御方式 ZF: アナログ / デジタル ZD: ( 横出し ) ZDT: ( 上出し ) ZE:EtherCAT 5 バルブモード なし : ノーマルオープン C: ノーマルクローズ 6 接続方法 ( 面間 ) 4J2:1/4 UJR(124mm) 4J1:1/4 UJR(106mm) 4F2:1/4 F900(127mm) 4CW1:1.125 Wseal (79.8mm) 4CW2:1.125 Wseal (92mm) 4WS1:1.5 Wseal (79.8mm) 4WS2:1.5 Wseal (92mm) N2 400SCCM SiH4 300SCCM ガス種 フルスケール流量を変更 仕様変更ソフト H2 800SCCM CH4 500SCCM Cl2 500SCCM SF6 200SCCM ( 例 )Bin 番号 : R4 4CL2:1.125 Cseal(92mm) Bin 番号表 緊急対応と予備在庫の低減! 仕様変更ソフト (Configuration Software) で ガス種とフルスケール流量を任意に変更可能 PC All in One RS485 変換器 FCST1000Z シリーズ FCST1000MP シリーズ RS485 供給電源電圧 FCST1005(M)Z FCST 1005 M ZF C 4J2 F10 N2 R1 CR U *** フルスケール 8 ガス種 型式 Bin 番号流量レンジ ( N 2 換算 ) FCST1030(M)Z FCST1050(M)Z 9 10O リング材質 F10:10SCCM F10L:10SLM 例 : N2 なし : シングルガス シングルレンジ R1~R8: マルチガス マルチレンジ なし : FKM CR: クロロプレンゴム 11Dsub9 ピンコネクタねじ なし : M3 U: インチ 12 お客様ご指定事項 R1 R2 R3 R4 R5 R6 R7 R8 Bin 番号 : R4 接続画面 10 30SCCM SCCM SCCM 301 1,000SCCM 1,001 3,000SCCM 3,001 10,000SCCM 10,001 30,000SCCM 30,001 50,000SCCM コストダウン 例 : atm 流量単位 :CCM, LM 13 表面処理 なし : 機械加工仕上げ : 処理 : は のみ対応 8 流

10 流量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器9 デジタルスタンダードモデル FCST1000Fシリーズ 型式 FCST1005(M)F(C) FCST1030(M)F(C) FCST1050(M)F(C) 流量レンジ (N2 換算流量 ) バルブタイプ 流量制御範囲 再現性 応答時間 必要差圧 最大動作圧力 10SCCM 5SLM kPa : 応答性で示す時間は 最小制御流量値から目標流量値の ±2% に到達する時間です 注 1: マスフローコントローラのみの仕様となります マスフローの仕様については 注 2: 6 30SLM N/O: ノーマルオープン N/C: ノーマルクローズ 2 100% ±1% ( 精度保証範囲 :15 35 ) ±0.2% 1sec N/O kPa ( 6 10SLM) kPa ( 11 30SLM) N/C kPa ( 6 30SLM) 400kPaG 31 50SLM kPa アナログ : 0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) 0 5VDC( 供給電源電圧 :+24VDC) 4 20mA( 供給電源電圧 :+24VDC) デジタル : RS485 CC Link にお問い合わせください 高速応答 ±15V 駆動 05VDC RS485 応答時間 : 1sec 以内 ( 全流量域 ) 多種に対応 流量制御 モニタリングソフト 特殊仕様対応 5 50 PC との接続により最大 9 台までのを 可能とするアプリケーションを準備 CCLink ( 例 ) 高圧仕様 低差圧仕様 高差圧仕様 etc. のみ ( オプション )

11 量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器高速応答 応答速度 :1sec 以内 ( 全流量域 ) Progressive D 技術 多種に対応 05VDC (420mA) シングル仕様 MR 仕様 MG 仕様対応 代表品番 デジタル / アナログモデル シングル仕様 MR 仕様 MG 仕様 アプリケーション RS485 EtherCAT CCLink 制御仕様内容 1FCS Thermal FCST: マスフローコントローラ FCSTM: マスフロー 2 流量レンジ N2 1SLM 応答性 (MFC SET: %) 流量[%]MFC SET MFC Flow Out 時間 [sec] 1sec 1005:10SCCM5SLM 1030:6SLM30SLM 1050:31SLM50SLM 3 材質 なし : M: 4 制御方式 F: アナログ / デジタル FD: ( 横出し ) FDT: ( 上出し ) E:EtherCAT PB: 5 バルブモード なし : ノーマルオープン C: ノーマルクローズ 6 接続方法 ( 面間 ) 4J2:1/4 UJR(124mm) 4J1:1/4 UJR(106mm) 4F2:1/4 F900(127mm) 4CW2:1.125 Wseal (92mm) 4WS2:1.5 Wseal (92mm) 4CW1:1.125 Wseal (79.8mm) 4WS1:1.5 Wseal (79.8mm) 4CL2:1.125 Cseal(92mm) 1ch モニターソフト 用 9ch モニターソフト波形グラフ ご指定のガス種 流量で校正 ( 固定 ) ご指定のフルスケール流量の 1/3 までの流量変更が可能 4 種類までのガステーブル ( ガス種 流量 ) の登録が可能 PLC( プログラマブルロジックコントローラ ) FCST 1005 M F C 4J2 F10 N2 CR U *** フルスケール 8 ガス種 9O リング材質 F10:10SCCM F10L:10SLM 例 : N2 10Dsub9 ピンコネクタねじ なし : M3 11 お客様ご指定事項 12 表面処理 なし : FKM CR: クロロプレンゴム U: インチ 例 : atm 流量単位 :CCM, LM なし : 機械加工仕上げ : 処理 : は のみ対応 10 流

12 流量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器11 大流量モデル FCST1200F FCST1500F シリーズ 型式 FCST1200MF(C) FCST1200F(C) FCST1500FC 流量レンジ (N2 換算流量 ) バルブタイプ 流量制御範囲 再現性 応答時間 必要差圧 最大動作圧力 SLM SLM SLM アナログ : 0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) デジタル : RS485 : 応答性で示す時間は 最小制御流量値から目標流量値の ±2% に到達する時間です 注 1: マスフローコントローラのみの仕様となります マスフローの仕様については 注 2: 代表品番 N/O: ノーマルオープン N/C: ノーマルクローズ 大流量モデル 2 100% ±0.2% 3sec 700kPaG 最大流量 500SLM(N 2 換算 ) まで対応 ±1% ( 200SLM 以下 ) 応答速度 3sec 以内 N/C: ノーマルクローズ ±1% ( 精度保証範囲 :15 35 ) ±2% ( 精度保証範囲 :15 35 ) kPa (T1200MF SLM: kPa ) kPa アナログ : 0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) 0 5VDC( 供給電源電圧 :+24VDC) 4 20mA( 供給電源電圧 :+24VDC) デジタル : RS485 FCST 1200M F C 6J3 F100L N2 CR U *** FCS Thermal FCST: マスフローコントローラ FCSTM: マスフロー 2 流量レンジ 1200M:51SLM 150SLM 1200:51SLM 200SLM 1500:201SLM 500SLM 3 制御方式 F: アナログ / デジタル FD: ( 横出し ) FDT: ( 上出し ) E:EtherCAT 4 バルブモード なし : ノーマルオープン C: ノーマルクローズ 5 接続方法 ( 面間 ) 6J3:3/8 UJR(192.4mm) 6F3:3/8 F900(192.5mm) 8J3:1/2 UJR(199mm) 8F3:1/2 F900(204.6mm) にお問い合わせください フルスケール 7 ガス種例 :N2 8O リング材料 ±15V 駆動 05VDC RS485 F100L:100SLM F500L:500SLM なし :FKM CR: クロロプレンゴム 9Dsub9 ピンコネクタねじ なし :M3 U: インチ 10 お客様ご指定事項例 : atm 流量単位 :CCM, LM 11 表面処理 なし : 機械加工仕上げ : 処理 のみ ( オプション ) : は のみ対応

13 量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器高温用モデル FCST1000M(Z)FHT FCST1200MFHTシリーズ 型式 流量レンジ (N2 換算流量 ) バルブタイプ 流量制御範囲 再現性 応答時間 1 必要差圧 2 最大動作圧力 FCST1005MZF(C) HT FCST1030MZF(C) HT FCST1050MZF(C) HT 10 3,000SCCM 3,001 30,000SCCM 30,001 50,000SCCM ±1% (25 100%) ±0.25% (2 25%) デジタルマルチガスモデル FCS T1000MZF シリーズに準拠 1sec 高温対応 ( ご指定温度で校正します ) アナログ : 0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) 0 5VDC( 供給電源電圧 :+24VDC) 4 20mA( 供給電源電圧 :+24VDC) デジタル : RS485 (T1000MF のみ ) 1: 応答性で示す時間は 最小制御流量値から目標流量値の ±2% に到達する時間です 2: 液体材料等の蒸気圧力が低いガスの制御は にお問い合わせください 注 1: マスフローコントローラのみの仕様となります マスフローの仕様については 注 2: 代表品番 温度範囲 (80 を超える温度でご使用の場合は お問い合わせください ) 高温環境での 使用イメージ FCST1005MF(C) HT FCST1030MF(C) HT FCST1050MF(C) HT 10 SCCM 5SLM 6 30SLM 31 50SLM 2 100% ±0.2% 制御基板 N/O: ノーマルオープン N/C: ノーマルクローズ デジタルスタンダードモデル FCS T1000MF シリーズに準拠 常温環境 ±1% 3sec 高温環境 FCST1200MF(C) HT SLM デジタル大流量モデル FCS T1200MF シリーズに準拠 400kPaG (Ar:500kPaG) 400kPaG 700kPaG 制御機器 アナログ : 0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) デジタル : RS485 FCST 1005 MF C 4J2 F10 N2 U *** HT FCS Thermal FCST: マスフローコントローラ FCSTM: マスフロー 2 流量レンジ 3 材質 制御方式 各モデルに準拠 MF: アナログ / デジタル MZ: アナログ / デジタル MFD: ( 横出し ) 4 バルブモード なし : ノーマルオープン C: ノーマルクローズ 5 接続方式 ( 面間 ) 各モデルに準拠 にお問い合わせください 6 フルスケール 7 ガス種例 :N2 ±15V 駆動 05VDC RS485 F10:10SCCM F10L:10SLM 8Dsub9 ピンコネクタねじ なし :M3 U: インチ 9 お客様指定事項例 : atm 流量単位 :CCM, LM 10 高温仕様 HT 使用温度条件 : 表面処理 なし : 機械加工仕上げ : 処理 ( オプション ) 12 流

14 流量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器13 高速応答 アナログエコノミーモデル FCST1000Lシリーズ 型式 FCST1005(M)L(C) FCST1030(M)L(C) FCST1050(M)L(C) 流量レンジ (N2 換算流量 ) バルブタイプ 流量制御範囲 再現性 応答時間 必要差圧 最大動作圧力 10SCCM 5SLM 6 30SLM 31 50SLM kPa : 応答性で示す時間は 最小制御流量値から目標流量値の ±2% に到達する時間です 注 1: マスフローコントローラのみの仕様となります マスフローの仕様については 注 2: 2 100% ±0.2% 400kPaG ±1% ( 30SLM 以下 ) 入出力 アナログ (0 5VDC) 高速応答 N/O: ノーマルオープン N/C: ノーマルクローズ 1sec 以内 ( 30SLM 以下 ) アナログ : 0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC +24VDC) 4 20mA( 供給電源電圧 :+24VDC) 2sec のみ ( オプション ) ±1% ( 精度保証範囲 :15 35 ) ±2% ( 精度保証範囲 :15 35 ) N/O kPa ( 6 10SLM) kPa ( 11 30SLM) N/C kPa ( 6 30SLM) kPa FCST 1005 M L C 4J2 F10 N2 CR U *** FCS Thermal FCST: マスフローコントローラ FCSTM: マスフロー 2 流量レンジ 1005:10SCCM 5SLM 1030:6 30SLM 1050:31 50SLM 3 材質 なし : M: 4 制御方式 L: アナログ 5 バルブモード なし : ノーマルオープン C: ノーマルクローズ 6 接続方法 ( 面間 ) 4J2:1/4 UJR(124mm) 4F2:1/4 F900(127mm) 4CW1:1.125 Wseal (79.8mm) 4WS1:1.5 Wseal (79.8mm) 4CL2:1.125 Cseal(92mm) 1sec 注 3:20(25) 101.3kPa(1atm) に換算して校正する場合は 別途お問い合わせください 代表品番 4CW2:1.125 Wseal (92mm) 4WS2:1.5 Wseal (92mm) にお問い合わせください フルスケール 8 ガス種例 :N2 9O リング材質 ±15V 駆動 05VDC RS485 F10:10SCCM F10L:10SLM なし :FKM CR: クロロプレンゴム 10Dsub9 ピンコネクタねじ なし :M3 U: インチ 11 お客様ご指定事項例 : atm 流量単位 :CCM,LM 12 表面処理 なし : 機械加工仕上げ : 処理 : は のみ対応

15 量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器アナログエコノミーモデル FCSG200シリーズ 型式 対応ガス種 流量レンジ (N2 換算流量 ) バルブタイプ 流量制御範囲 N2 Ar He Air O2 SF6 H2 10SCCM 5SLM N/O: ノーマルオープン 5 100% ( 精度保証範囲 :15 35 ) ±2% : 記載されていないガスのご使用については にお問い合わせください 注 1: 型式 流量レンジ (N2 換算流量 ) 使用圧力 その他 表示器一体型マスフロー FCSTM39シリーズ 10SCCM 20SLM ±2% ( 精度保証範囲 :15 35 ) アナログ信号による流量計測と制御機能に特化 制御電源一体型ユニットも対応 FCSG205 再現性 応答時間 最大動作圧力 ±0.2% 6sec ( 代表値 ) kPa (5SLM) 300kPaG 5 50 アナログ :0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) 表示器一体型モデル 外部流量出力 ニードルバルブ一体型モデルも対応 流量積算 上下限警報出力 TM39(V) MPa(G) 0~ SLM ±3% ( 精度保証範囲 :15 35 ) アナログ : 1 5VDC( 供給電源電圧 :+24VDC) 4 20mA( 供給電源電圧 :+24VDC) ニードルバルブ一体型 ( オプション ) 接続継手 1/4 Rc 対応 AC アダプタ接続ケーブル ( 別売 ) : 使用圧力の最小値は 10SCCM の場合 10SCCM の流量が流れる圧力です フルスケール流量によって最小値は異なります 注 1: 必要差圧 ±15V 駆動 05VDC RS485 ±15V 駆動 05VDC RS V 駆動 15VDC 14 流

16 流量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器15 高精度 ピエゾアクチュエータ搭載モデル FCST2000シリーズ 型式 FCST2005(C) FCST2020(C) FCST2050(C) FCST2150(C) 流量レンジ (N2 換算流量 ) バルブタイプ 流量制御範囲 再現性 応答時間 必要差圧 最大動作圧力 5SCCM 5SLM kPa 注 1: マスフローコントローラのみの仕様となります マスフローの仕様については 注 2: 代表品番 6 20SLM 21 50SLM SLM N/O: ノーマルオープン N/C: ノーマルクローズ ±1% (25 100%) ±0.25% (2 25%) 1FCS Thermal FCST: マスフローコントローラ FCSTM: マスフロー 2 流量レンジ 2 100% N/O kPa( 6 10SLM) kPa(11 20SLM) kPa(21 30SLM) N/C kPa( 6 10SLM) kPa(31 50SLM) kPa(11 20SLM) ピエゾアクチュエータ搭載 低温度熱式流量センサ 5 50 反応性の高いガスや安定性の低いガスに有利 (O 3 等 ) 微小流量対応 特殊モデル : 1 2 3SCCM N/O: ノーマルオープン N/C: ノーマルクローズ ( ソレノイドアクチュエータ ) 300kPaG 350kPaG 400kPaG にお問い合わせください 2005:5SCCM 5SLM 2020:6 30SLM 2050:31 50SLM 2150:51 150SLM 3 制御方式 なし : アナログ / デジタル D: ( 横出し ) DT: ( 上出し ) 4 バルブモード なし : ノーマルオープン C: ノーマルクローズ 5 接続方式 ( 面間 ) 4J2:1/4 UJR(124mm) 4J1:1/4 UJR(106mm) 4CW1:1.125 Wseal (79.8mm) 4CW2:1.125 Wseal (92mm) 4WS1:1.5 Wseal (79.8mm) 6J2:3/8 UJR(163.4mm)( 51~150SLM のみ ) ±0.2% 1sec( 代表値 ) アナログ :0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) デジタル : RS485 ±15V 駆動 05VDC RS485 FCST 2005 D C 4J2 F10 N2 U *** フルスケール 7 ガス種 F10:10SCCM F10L:10SLM 例 : N2 8Dsub9 ピンコネクタねじ なし : M3 U: インチ 9 お客様ご指定事項 kPa ±2% kPa ( SLM) kPa ( SLM) アナログ :0 5VDC ( 供給電源電圧 :±15VDC)

17 量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器SDS TM (Safe Delivery Source) モデル FCSDST2000シリーズ 注 1: ピエゾアクチュエータ搭載エコノミーモデル FCSG300シリーズ 対応ガス : AsH3 BF3 PH3 SiF4 PF3 マルチガスモデルも対応 : ロータリースイッチによるガス種切替仕様 ±1% ピエゾアクチュエータ搭載 型式 FCSG305(C) FCSG320(C) FCSG350(C) 流量レンジ (N2 換算流量 ) 注 1: 型式 対応ガス種 流量レンジ (N2 換算流量 ) バルブタイプ 流量制御範囲 バルブタイプ 流量制御範囲 再現性 応答時間 必要差圧 最大動作圧力 AsH3 BF3 PH3 SiF4 PF3 2 30SCCM N/O: ノーマルオープン N/C: ノーマルクローズ 2 100% ( 精度保証範囲 :15 35 ) ±1% 注 2: 保証可能流量 :1SCCM 以上となります 注 3: 取付姿勢は ご注文時にご指定ください 10SCCM 5SLM 6 20SLM 21 50SLM N/O: ノーマルオープン N/C: ノーマルクローズ 2 100% ±1% ( 精度保証範囲 :15 35 ) ±0.2% 1sec( 代表値 ) kPa kPa kPa 300kPaG 5 50 FCSDST2050 再現性 応答時間 必要差圧 最大動作圧力 アナログ :0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) ±15V 駆動 05VDC RS485 デジタル :RS485 ±15V 駆動 05VDC RS485 ±0.2% 2sec ( 代表値 ) 1.33kPa (10Torr) 133.3kPa(1000Torr) 133.3kPa(1000Torr) 5 50 アナログ :0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) デジタル : RS 流

18 流量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器17 自動圧力制御コントローラ ( 外部圧力信号制御 ) PCST1000Fシリーズ 圧力信号入力レベル 外部圧力センサからの信号による上流側又は下流側の圧力制御 流量出力 0~5VDC 型式 PCST1005(M)F(C) PCST1030(M)F(C) PCST1050(M)F(C) 流量レンジ (N2 換算流量 ) バルブタイプ 圧力制御範囲 圧力精度 1 流量出力信号 10SCCM 5SLM 6 30SLM 31 50SLM N/C: ノーマルクローズ 0 10VDC 2 100% ±1% ( 精度保証範囲 :15 35 ) 応答時間 2 最大動作圧力 1: 圧力値の精度はご使用になる圧力センサ精度に依ります 用途事例 プラズマ装置のウェハ吸着用 He ガスバックプレッシャーコントロールなど ±1% ( 精度保証範囲 :15 35 ) 0 5VDC 3sec 400kPaG 5 50 アナログ :0 10VDC( 供給電源電圧 ±15VDC +24VDC) 0 5VDC( オプション ) デジタル : RS485 2: 応答性で示す時間は 上流側圧力制御の場合は最大制御圧力値から目標圧力値の ±2% に到達する時間です 下流側圧力制御の場合は最小制御圧力値から目標圧力値の ±2% に到達する時間です 配管容積等の条件に合わせた応答調整が必要な場合があります 注 1: 流量出力 05VDC PCS 代表品番 PCST 1005 M F C 4J2 F10 N2 CR U *** 1PCSThermal PCST: プレッシャーコントローラ 2 流量レンジ 1005:10SCCM5SLM 1030:6SLM30SLM 1050:31SLM50SLM 3 材質 なし : M: 4 制御方式 5 バルブモード 圧力設定 010VDC 下流側制御 F: アナログ / デジタル C: ノーマルクローズ 外部制御機器 PCST コントロールユニット 010VDC 6 接続方法 ( 面間 ) 4J2:1/4 UJR(124mm) 4J1:1/4 UJR(106mm) 4F2:1/4 F900(127mm) 圧力計測 4CW1:1.125 Wseal (79.8mm) 4CW2:1.125 Wseal (92mm) 4WS1:1.5 Wseal (79.8mm) 4WS2:1.5 Wseal (92mm) 圧力センサ チャンバー 圧力設定信号 :010VDC 圧力計測信号 :010VDC 流量出力信号 :05VDC 4CL2:1.125 Cseal(92mm) 7 フルスケール 8 ガス種 9O リング材質 圧力設定信号 :010VDC 圧力計測信号 :010VDC 流量出力信号 :05VDC チャンバー ±15V 駆動 010VDC RS V 駆動 010VDC 外部制御機器 PCST コントロールユニット 圧力計測 F10:10SCCM F10L:10SLM 例 : N2 010VDC 圧力センサ なし : FKM CR: クロロプレンゴム 10Dsub9 ピンコネクタねじ なし :M3 U: インチ 流量出力 05VDC 上流側制御 11 お客様ご指定事項例 : atm 流量単位 :CCM,LM 12 表面処理 なし : 機械加工仕上げ : 処理 のみオプション ( ) PCS 圧力設定 010VDC : は のみ対応

19 量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器自動圧力制御コントローラ ( 圧力センサ内蔵 ) UPC UPCUSシリーズ 13.3kPa abs (100Torr) 1 100% 1 40%:±0.2% %:±0.5% 200kPaG 圧力センサ内蔵による上流側又は下流側の圧力制御 高温仕様にも対応 マスフロー付 UPC (UPCM シリーズ ) 型式 UPC (Downstream pressure controller) UPCUS (Upstream pressure controller) 圧力レンジ 制御圧力範囲 コントロールバルブ Cv 値 調圧精度 ( オートゼロ実施後 ) 最大圧力 使用可能周囲温度 0~50 ( 精度保証温度範囲 :15 35 ) 2 圧力設定 / 出力信号 用途事例 アナログ :0.110VDC/010VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) デジタル : 1: 制御範囲 :UPCUS の制御範囲は条件により変わります にお問い合わせください 2: オプションにより 50 仕様も対応可能です 別途お問い合わせください 代表品番 1UPC シリーズ 2 制御方式 UPC MFC UPC 下流側制御 分流されたガス供給系ラインの圧力制御 150/300/500 kpa abs 1 100% 1 L type: / M Type:0.011 / H Type: kPa abs. 1 40%:±0.2% %:±0.5% 300/500kPa abs. 1 20%:±0.1% %:±0.5% アナログ :0.05 5VDC/0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) デジタル : UPCUS 上流側制御 液体ソースタンクの内圧を一定に保ち 気化量の安定性を向上 UPC D HT50 4J2C C150 L UPC: 下流側圧力制御 UPCUS: 上流側圧力制御 なし : アナログ D: 3 精度保証温度範囲 なし : 1535 HT50:1550 圧力レンジ 13.3kPa abs(100 Torr) の場合は 別途お問い合わせください 1MPaG MFC ±15V 駆動 05VDC RS485 4 接続方式 ( 面間 ) 4J2C:1/4 UJR(124mm) 4J1C:1/4 UJR(106mm) 4WS1:1.5 Wseal (79.8mm) 4CW2:1.125 Wseal (92mm) 5 フルスケール圧力レンジ C150:150kPa abs C300:300kPa abs C500:500kPa abs 6 コントロールバルブ Cv 値 L: M:0.011 H:0.03 UPCUS 18 流

20 流量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器19 ガス分配比率制御モデル FRCT1000MFシリーズ : 応答性で示す時間は 最小制御流量値から目標流量値の ±2% に到達する時間です 注 1: 注 2: 上記は FRC を構成する UNIT 一台あたりの仕様となります 注 3:FRC の 1 次側には必ずマスフローコントローラが必要になります 正確な分配性能 導入ガスを正確な流量分配比率で制御が可能 耐食ハステロイセンサ搭載 ハロゲン系腐食性ガスへの耐食性向上 2 分岐から 6 分岐まで対応 型式 FRCT1005MF FRCT1030MF FRCT1050MF 流量レンジ (N2 換算流量 ) バルブタイプ 分流比 再現性 応答時間 動作最大一次圧 代表品番 (2 分岐の場合 ) 1FRCThermal 2 流量レンジ 3 機能 4 制御方式 5 接続方法 ( 面間 ) FRCT: フローレシオコントローラ 10 3,000SCCM 3,001 30,000SCCM 30,001 50,000SCCM 1005:103,000SCCM 1030:3,00130,000SCCM 1050:30,00150,000SCCM M: F: アナログ / デジタル FD: 4J2:1/4 UJR(124mm) N/O: ノーマルオープン 5 95% ( 分岐数と導入ガス量により設定範囲は異なります ) ±0.2% 4sec kPaG アナログ :0 5VDC( 供給電源電圧 :±15VDC) デジタル : RS485 ガスパネル N2 Ar H2 He MFC1 1SLM MFC2 1SLM MFC3 1SLM MFC4 1SLM FRC Slave+Master=100% FRCT 1030 M F 4J2 F4L/F4L N2 M チャンバー フルスケール流量 Master 7 フルスケール流量 Slave 8 ガス種 ±15V 駆動 05VDC RS485 ( オプション ) 装置 Master: 5~95% 比率設定 フローレシオコントローラは 上流のマスフローコントローラで決められた絶対流量を所定の比率に分配する機器です 分配は 2 分岐から 6 分岐に対応可能です F10:10SCCM F4L:4SLM F10:10SCCM F4L:4SLM ガス種によらず品番は N2 になります 9UNIT M:Master S0*:Slave 10 表面処理 なし : 機械加工仕上げ : 処理

21 I 量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器外観寸法 接続継手 UJR/F900 Type 接続継手 IGS Type 接続継手 UJR/F900 Type FCST1000MP FCST1000Z/F/L FCST1000MZ/MF/ML/ M(Z)FHT FCST1200F FCST1200MF FCST1500F FCSG200 FCSTM39 FCST2000/G300 E 1: 接続継手が短面間の UJR Type( 面間 106mm) の場合 別途お問い合わせください マスフローの外観寸法は 別途お問い合わせください 1:FCST1000 シリーズの信号コネクタになります 2:Pin7 Pin8 は FCS 内部で接続されています 3:Pin9 は特殊仕様で Valve Test PT にすることも可能です 4:+24VDC 駆動製品の Dsub 9 ピンコネクタピン配列は別途お問い合わせください 5: その他デジタル通信コネクタ仕様は別途お問い合わせください D A L K M H C J 取付け M4 ねじ穴 型式 A UJR F900 C D E H I J K L M ( 1) (30.8) ( 1) / FCST PCST1000F PCST1000MF 124( 1) UPC / UPCUS 124( 1) 接続継手 IGS Type 型式 A B C D E G 六角穴付ボルト F 1.5Wseal 1.125Wseal 1.5Wseal 1.125Wseal 1.5Wseal 1.125Wseal FCST1000MP FCST1000Z/F/L FCST1000MZ/MF/ML/ M(Z)FHT 92( 2) FCST ( 2) PCST1000F PCST1000MF 92( 2) UPC / UPCUS 92( 2) : 接続継手が短面間の IGS Type( 面間 79.8mm) の場合 別途お問い合わせください 注 1:RS485 以外のデジタル通信モデルの外観寸法は 別途お問い合わせください 注 2: 流量制御機器 圧力制御機器 1 台につき 4 本の六角穴付ボルトで固定します 1CBM5 30 2CBM4 29 3CBM5 40 4CBM4 10 マスフローコントローラ信号コネクタ Pin 番号 Dsub9 ピンオスコネクタ 信号名 バルブ開閉入力流量出力電圧 0~5VDC 電源 :+15VDC 電源 : 0VDC 電源 :15VDC 流量設定電圧 0~5VDC 流量出力電圧 COMMON 流量設定電圧 COMMON N.C 内容 +15VDC: 全開 15VDC: 全閉流量出力電圧プラス側 0~5VDC 正電源供給ライン :50mA ±15VDC のコモンライン負電源供給ライン :200mA 流量設定入力プラス側 0~5VDC 流量出力電圧のコモンライン 流量設定電圧のコモンライン 未使用端子 ( 接続しないで下さい ) Pin 番号 Pin 番号 RJ11 デジタル通信コネクタ 信号名 N.C. N.C. Signal[Txd/Rxd] Signal[+Txd/Rxd] N.C. N.C. RJ45 デジタル通信コネクタ FCST2000 シリーズのみ 信号名 Signal COM Signal COM N.C. Signal[Txd/Rxd] Signal[+Txd/Rxd] N.C. N.C. N.C. D B A F G C E 内容 未使用端子 ( 接続しないで下さい ) 未使用端子 ( 接続しないで下さい ) RS485 2 線式送受信マイナス RS485 2 線式送受信プラス未使用端子 ( 接続しないで下さい ) 未使用端子 ( 接続しないで下さい ) 内容 RS485 信号コモン RS485 信号コモン未使用端子 ( 接続しないで下さい ) RS485 2 線式送受信マイナス RS485 2 線式送受信プラス未使用端子 ( 接続しないで下さい ) 7 未使用端子 ( 接続しないで下さい ) 8 未使用端子 ( 接続しないで下さい ) 流

22 流量制御機器流量計測機器圧力制御機器分配比率制御機器外観寸法アクセサリ その他関連機器21 FCS Thermal シリーズアクセサリ 接続例 電源表示設定器 ケーブル FCPT1200 ー DS9 ー DS15*M ー 0.3SQ PC MFC RS485 変換器 電源 (FCS 6 台接続用 ) 品番 FCST1000PS 3/6/9 品番 FCSPM1000ASP の場合 電源表示設定器 FCSPM1000ASP AC 電源ケーブル FCPT1200 ー AC ー 2M の場合 ケーブル FCPT1200 ー DS9 ー DS15*M ー 0.3SQ MFC 使用機器 電源表示設定器 FCSPM1000ASP AC 電源ケーブル FCPT1200 ー AC ー 2M 電源表示設定器 ケーブル AC 電源ケーブル 使用機器 電源表示設定器 ケーブル RS485 変換器 AC 電源ケーブル 流量表示器 品番 FCSDPM05L100 ケーブル FCPT1000 ー DS9 ー DS9*M ー 0.3SQ コネクタ変換ケーブル 各種接続コネクタに対応 電源 FCS ー T1000 ー PS3 制御電源一体型ユニット Flow Module 流量設定器 複数台の場合 FCST1000 ケーブル FCPT1000 ー DS25 ー 3X3 ー 4X3 ー *M 品番 FCSSET02L100 改良のため 予告なしに仕様を変更する場合があります 使用機器 電源 流量表示器 流量設定器 ケーブル 流量設定器 FCS ー SET ー 02 ー L100 流量表示器 FCS ー DPM ー 05 ー L100

23 その他関連機器 流量制御機器 フ ロ ー コ ン ト ロ ー ル シ ス テ ム F C S Pressureシリーズ 流量計測機器 FCS P 7000 シリーズ 第4回 07 モノづくり部品大賞 奨励賞 高温 250 対応 FCS 本体 第7回 10 モノづくり部品大賞 機械部品賞 FALVS Advance Liquid Vaporize System 液 体 材 料 ガ ス コ ン ト ロ ー ル シ ス テ ム 第12回 15 モノづくり部品大賞 奨励賞 圧力制御機器 集 積 化 ガ ス シ ス テ ム I G S Integrated Gas System 従来方式 分配比率制御機器 小型化 IGS 方式 従来ガスパネルの約 1 / 3 でレイアウト可能 フィルター ボールバルブシリーズ ア ク セ サ リ そ の 他 関 連 機 器 ストップバルブ ダイヤフラムバルブ 構成パーツ完全上部着脱方式 全ての 上 部コンポーネンツを 上 部 一 方 向に着 脱 可 能 2005年 内閣総理大臣賞 優秀賞 第1回 モノづくり日本大賞 NEW MEGA シリーズ 外観寸法 IGS FUFL シリーズ 接 ガス部 完 全 禁 油 処 理 品 エレメントサイズ は 0. 1, 0. 5, 2, 5, 1 0μm が 対応可能 22

24 CAT: No.75101P