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3 宇都宮大学オプティクス教育研究センター はじめに アイルランドのダブリンにあるアイランド国立大学ダブリン校 (University College Dublin) において 約 2 ヶ月間の短期研究留学を行った O Sullivan 教授と Dunne 准教授の研究室に滞 在し 極端紫外光 (XUV) に関する研究に従事させて頂き 英語でのコミュニケーションや極端紫 外光に関する知識 加えて実験 理論計算の手法を学んだ 留学先であるアイルランド国立大学ダブリン校 (University College Dublin) の 分光グループ (SpecLab.) は世界的にも有名であり 近年注目されている極端紫外リソグラフィ技術に用いる 13.5 nm の光に関してスズ (Sn) を用いるべきと最初に提唱したグループでもある 留学時にお ける研究室の学生数は博士課程の学生が 6 名であった 日本と異なり修士課程はないため 学部 卒業後に就職もしくは 5 年制の博士課程への進学を選択する 学生はすべて博士課程の 1 年制で あり同年代であった 図 1 アイルランド国立大学ダブリン校正門 (University College Dublin) 海外短期研究留学 報告書 1

4 宇都宮大学オプティクス教育研究センター 研修内容 レーザー生成カリウムプラズマからの極端紫外光の観測 宇都宮大学湯上 東口研究室では放電生成カリウムプラズマからの極端紫外 (XUV) 光の観測 に成功している [1] 研究留学に際してカリウムプラズマから放射される XUV 光の詳細な分光を 目的とした ダブリン大学においては放電装置がないため 励起方法はレーザー生成方式を用い た 図 2 は実験装置の写真 図 3 は実験配置図である 図 2 実験装置の写真 Laser Lens Pumping outlet Spectrometer Target 図 3 実験配置図 海外短期研究留学 報告書 2

5 Nd:YAG 800 mj 20 ns1064 nm 300 groove/mm0.02 nm micro-channel plate: MCPCCD J. L. Scowob et al 1987 MCP nm0.02 nm nm0.06 nm[2] XMCP 4 XUV nm Intensity (arb.units) Wavelength (nm) 4XUV 3

6 Cowan Code UCDCowan CodeFlexible atomic codemedusa Cowan code Cowan Code1968Robert Cowan FORTRAN 5(a)5(b)2 5(a)5(b 253p-3d Defalt nm1 40 nm e-08 1.e k ground 2p6 3s2 3p6 19 2k 2p6 3d1 2p6 3s2 3p5 3d1-1 (a) g5inp (b) Cown Code(a) (b) 4

7 K III K IV K V K VI 10 gf Wavelength (nm) 6 Applied Physics Letters [3] Applied Physics Letters [4, 5] 5

8 (University College Dublin 2 XUV Cowan Code Cowan Code 40 nm34 6

9 [1] T. higashiguchi, H. Terauchi, N. Yugami, T. Yatagai, W. Sasaki, R. D Arcy, P. Dunne, and G. O Sullivan: Characteristics of extreme ultraviolet emission from a dischargeproduced potassium plasma for surface morphology application, Applied Physics Letters, 96, (2010). [2] J. L. Schwob, A. W. Wouters, S. Suckewer, and M. Finkenthal: High-resolution duo-multichannel soft x-ray spectrometer for tokamak plasma diagnostics, Review of Scientific Instruments, 58, 1601 (1987). [3] T. higashiguchi, M. Yamaguchi, T. Otsuka, H. Terauchi, N. Yugami, T. Yatagai, R. D Arcy, P. Dunne, and G. O Sullivan: Spectral and temporal behavior of an alkali metal plasma extreme ultraviolet source for surface morphology applications, Applied Physics Letters, 98, (2011). [4] T. Otsuka, D. Kilbane, J. White, T. higashiguchi, N. Yugami, T. Yatagai, W. jiang, A. Endo, P. Dunne, and G. O Sullivan: Rare-earth plasma extreme ultraviolet sources at nm, Applied Physics Letters, 97, (2010). [5] T. Otsuka, D. Kilbane, T. higashiguchi, N. Yugami, T. Yatagai, W. jiang, A. Endo, P. Dunne, and G. O Sullivan: Systematic investigation of self-absorption and conversion efficiency of 6.7 nm extreme ultraviolet sources, Applied Physics Letters, 97, (2010). 7

10 O SullivanDunne 8

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