データシートシート 12 ピンの高電圧用に構成された S540 型のブロック図シートート 12~48 ピンの高電圧 / 低電流用に構成された S540 型のブロック図完全自動最大 3kV の 2 端子 3 端子容量測定完全自動の製造アプリケーションにおける一般的な 2 端子

Size: px

Start display at page:

Download "データシートシート 12 ピンの高電圧用に構成された S540 型のブロック図シートート 12~48 ピンの高電圧 / 低電流用に構成された S540 型のブロック図完全自動最大 3kV の 2 端子 3 端子容量測定完全自動の製造アプリケーションにおける一般的な 2 端子"

しょうぶたけすえ
5 years ago
Views:

S540 型パワー半導体テストシステムデータシート主な特長高電圧ブレークダウン容量低電圧測定を含む最大 48 ピンのオールウエハレベルのパラメトリックテストが一度のプロービングで自動的に実行できケーブルプローブカードなどのつなぎ換えが不要テストピンをマニュアルで再設定することなく Ciss Coss Crss などのトランジスタ容量が最大 3kV まで測定可能

設置スペースの節約が可能でありながら研究室レベルの測定性能を実現最大 3kV の完全シングルパスパラメトリックテストケースレーのS540 型は完全自動ウエハレベルのパラメトリックテストシステムです一度のプロービングで最大 3kVの高電圧低電圧低電流容量のすべてのテストが実行できるため作業効率が改善でき所有コストを抑えることができます低電圧

1 S540 型パワー半導体テストシステムデータシート主な特長高電圧ブレークダウン容量低電圧測定を含む最大 48 ピンのオールウエハレベルのパラメトリックテストが一度のプロービングで自動的に実行できケーブルプローブカードなどのつなぎ換えが不要テストピンをマニュアルで再設定することなく Ciss Coss Crss などのトランジスタ容量が最大 3kV まで測定可能ローレベルの測定を高速にマルチピンで完全自動のテスト環境で実行可能 Linux ベースの KTE(Keithley Test Environment) システムソフトウェアにより簡単なテスト開発と高速なテスト実行が可能プロセス統合プロセス制御モニタリング製造ダイソートの完全 / 半自動アプリケーションに最適テスト時間テストセットアップ時間の短縮設置スペースの節約が可能でありながら研究室レベルの測定性能を実現最大 3kV の完全シングルパスパラメトリックテストケースレーのS540 型は完全自動ウエハレベルのパラメトリックテストシステムです一度のプロービングで最大 3kVの高電圧低電圧低電流容量のすべてのテストが実行できるため作業効率が改善でき所有コストを抑えることができます低電圧高電圧両方のスイッチングマトリクス配線プローブカードアダプタプローバドライバ KTEテストソフトウェアなど業界トップクラスの計測器が安全にシームレスに統合されていますこれによりカスタマイズ可能な12~48ピンのパラメトリックテストシステムが構築でき高電圧から低電圧のテストに切り替える場合もテストセットアップを再設定したり 2つのテストシステムを使用したりする必要はありませんこのため 2 端子または3 端子のトランジスタの容量測定が完全自動で実行できサブ paレベルの測定性能が実現できます S540 型はさまざまな製品環境での使用に最適でありのピンシステムに構成できます主に 2 種類の構成があり基本構成は12 ピンの高電圧構成でありもう一つの高電圧 / 小電流構成では高電圧の12 ピンと最大 36ピンの低電流となりますどちらの構成でも複数の S M U( ソースメジャーユニット ) チャンネル 2/3 端子の容量測定差動電圧測定パルス / 周波数測定をサポートしていますすべてのテストピンは1 枚のプローブカードに接続されるため一度のプローブ接続ですべてのテストが実行でき作業効率が改善でき所有コストも抑えることができます

2 データシートシート 12 ピンの高電圧用に構成された S540 型のブロック図シートート 12~48 ピンの高電圧 / 低電流用に構成された S540 型のブロック図完全自動最大 3kV の 2 端子 3 端子容量測定完全自動の製造アプリケーションにおける一般的な 2 端子容量測定に加え S540 型は半自動の研究開発プロセス統合アプリケーションで一般的に見られる 3 端子トランジスタの容量測定も実行できますテストは最大 3kV のバイアス電圧最高 1MHz の周波数で実行できます S540 型は Ciss Coss Crss などの 3 端子測定もテストピンをマニュアルで再設定することなく実行できますこれによりテスト時間も短縮できより多くのデバイスを迅速にテストできるため製品の市場投入までの時間も短縮できます一般的な容量メータは内部バイアス電圧が100V 未満であるため高電圧パワー半導体の容量測定には外付けの電圧ソースとバイアスティーの使用が必要になります他の高電圧パラメトリック測定ソリューションと違い S540 型はシステムレベルのオープンショートロード補正機能により測定系の寄生容量は含まれませんこれにより完全自動で製造環境での研究室レベルの容量測定が可能になります 2 JP.TEK.COM

S540 型パワー半導体テストシステム高速ローレベルの測定性能最新のパワー半導体の設計における効率は向上しておりデバイスのリーク電流オン抵抗も小さくなっていますケースレーの実績のあるソースメータ技術をベースとした S540 型の低電流サブシステムは高電圧バイアスにおけるサブ paの電流測定が可能でありオフ状態でのリークゲートリークサブスレッショルド

3 S540 型パワー半導体テストシステム高速ローレベルの測定性能最新のパワー半導体の設計における効率は向上しておりデバイスのリーク電流オン抵抗も小さくなっていますケースレーの実績のあるソースメータ技術をベースとした S540 型の低電流サブシステムは高電圧バイアスにおけるサブ paの電流測定が可能でありオフ状態でのリークゲートリークサブスレッショルドリークなどの低電流特性の測定にも対応しますオプションの高分解能 DMM( デジタルマルチメータ ) 機能により正確な μωレベルの Rds-on 測定金属シート抵抗などの差動 / 非差動の低電圧測定電気的に重要な寸法などが完全自動でマルチピンのテスト環境で実行できます S540 型は完全自動研究室レベルの 3 端子容量測定が可能強力なシステムソフトウェアケースレーの S540 型はテストの開発 / 実行用に KTE(Keithley Test Environment)v5.7 のソフトウェアを装備しています KTE v5.7 は KTE v5.5 に比べてシステムレベルの速度が最大 40% 改善されています KTE は Linux OS の工業用標準 PC に搭載されておりその機能セットにはケースレーの長年のパラメータテストの経験が生かされています測定ルーチンとテストプランは簡単に書込み変換し再利用できるため迅速な起動実行が可能です S540 型のソフトウェアにはすべての重要なシステムソフトウェア動作が含まれていますウエハ条件の設定テストマクロの開発テストプランの開発リミット設定自動プローバ制御によるウエハまたはカセットレベルでのテストテストデータの管理ユーザアクセスポイントシステム診断 KTE ソフトウェア JP.TEK.COM 3

データシート 3kV のプローブカードと PCA( プローブカードアダプタ ) ソリューションマルチピン完全自動の製造テスト

型とCeladon 45Eという2 つの優れたソリューションがあります最大 3kVのプロービングとローレベルの測定性能を可能にしていますさらにプローブ

Celadon の高電圧 VC20 45eインタフェースすばやい交換低リーク 12ピン @3kV 32ピン @200V ケースレー 9140 型プローブ

4 データシート 3kV のプローブカードと PCA( プローブカードアダプタ ) ソリューションマルチピン完全自動の製造テストアプリケーションで信頼性の高い高電圧測定を行うには環境デバイスのレイアウトプローブ設計など多くの課題がありますケースレーには 9140 型とCeladon 45Eという2 つの優れたソリューションがあります最大 3kVのプロービングとローレベルの測定性能を可能にしていますさらにプローブカードのマウントとディスマウントを簡素化する intestトップローディングプローブカードインタフェースを工場出荷時オプションとして提供しています Celadon の高電圧 VC20 45eインタフェースすばやい交換低リークケースレー 9140 型プローブカード / アダプタ大容量低リーク intest トップローディングプローブカードインタフェースプローブカードのすばやい交換が可能 4 JP.TEK.COM

5 S540 型パワー半導体テストシステム S540 型の仕様構成ガイド主な機能ピン数 ( フルフォース - センスケルビン ) 高電圧 (HV マトリクスを使用して最大 3kV)(LC マトリクスからの 6 ピンパススルーを含む ) 低電流 (707B 型 7351 型マトリクスカードを使用して最大 200V) または 36 SMU のチャンネル数高電圧 (2657A 型を使用して最大 3kV) 1 または 2 低電圧 (2636B 型を使用して最大 200V)( チャンネルごとの HV 保護モジュールを含む ) 容量メータ (4210-CVU 型を使用 ) 数量 12 最大 8 高電圧 ( 最大 3kV バイアスティーを含む ) 0 または 1 低電圧 ( 最大 30V 保護モジュールを含む ) 0 または 1 高分解能 DMM(7510 型を使用 ) 0 または 1 パルスジェネレータ (4220-PGU 型を使用 ) 0 または 1 オシロスコープ (FMTR) 0 または 1 Linux OS の工業用 PC コントローラ 1 KTE システムソフトウェア 1 37U システムキャビネット (100~240V 50/60Hz 電源 (PDU) 緊急オフスイッチ (EMO) 高電圧インターロックモニタ / キーボードアーム ) PCA( プローブカードアダプタ ) ケースレー 9140 型 ( 最高 48 ピン - 12 ピン HV 36 ピン LV) Celadon( 最高 42 ピン - 12 ピン HV 30 ピン LV) お客様が用意 S540 型はフル構成システムですアプリケーション要件に応じて選択してください 1 いずれかを選択 DC 電流 / 電圧測定測定のタイプ SMU 電力レンジ高電圧ケースレー 2657A 型 180W 1fA~120mA 100µV~3000V 低電圧ケースレー 2636B 型 20W 1fA~1.0A 1µV~200V 容量測定 (Ciss Coss Crss を含む 2 端子 /3 端子の容量測定 ) 測定のタイプ容量メータ DC バイアス電圧周波数レンジ高電圧低電圧ケースレー 4210-CVU 型ケースレー 4210-CVU 型 A 型 SMU とバイアスティーが必要 3000V 1 10kHz 100kHz 1MHz 100nF~10pF 40V 10kHz 100kHz 1MHz 100nF~10pF 差動および低電圧測定機器ケースレー 7510 型 DMM レンジ 10nV~200V JP.TEK.COM 5

6 データシートパルス測定機器振幅パルス幅パルストランジションケースレー 4220-PGU 型 100mV~40V 100ns~1s 50ns~200µs 周波数測定機器レンジ振幅 FMTR 10kHz~20MHz 10mV~1V rms スイッチングマトリクス - 最高 48 の測定ピンピンタイプ最大電圧最高ピン数機器接続高電圧 3000V 12 低電流 200V 36 2 台までの HV SMU 1 台の HV CMTR と LV スイッチマトリクスからの 6 ピンパススルー 8 チャンネルまでの LV SMU 1 台の LVCMR DMM パルス周波数 ( 過電圧保護を含むすべての低電圧ピン ) システム仕様 - ケースレーまたは Celadon PCA の終わりまで有効動作温度 23±5 湿度 5~60% ウォームアップ時間インテグレーション時間校正サイクル 1 時間 1PLC 1 年 6 JP.TEK.COM

7 S540 型パワー半導体テストシステム SMU の仕様 +120 ma +60 ma +20 ma 0 ma 20 ma 60 ma 120 ma 3 kv 1.5 kv 0 kv +1.5 kv +3 kv HV SMU( ケースレー 2657A 型 ) の動作レンジ +1.5A +1A +0.1A 0A 0.1A 1A 1.5A 200V 20V 5V 0V +5V +20V +200V LV SMU( ケースレー 2636B 型 ) の動作レンジ * * 動作レンジは SMU 単体の仕様でありシステム全体としては最大 ±1A に制限されます JP.TEK.COM 7

8 データシート高電圧マトリクスからの高電圧 SMU(2657A 型 ) 測定印加電流レンジ分解能確度分解能確度 120mA 10μA 0.03% μA + 1.6pA/V 3μA 0.03% μA + 1.6pA/V 20mA 100nA 0.02% + 5.0μA + 1.6pA/V 300nA 0.03% μA + 1.6pA/V 2mA 10nA 0.02% + 0.5μA + 1.6pA/V 30nA 0.03% + 1.2μA + 1.6pA/V 1mA 1nA 0.02% nA + 1.6pA/V 30nA 0.03% nA + 1.6pA/V 100μA 100pA 0.02% nA + 1.6pA/V 3nA 0.03% nA + 1.6pA/V 10μA 10pA 0.03% + 1.5nA + 1.6pA/V 300pA 0.03% + 5.0nA + 1.6pA/V 1μA 1pA 0.03% pA + 1.6pA/V 30pA 0.03% pA + 1.6pA/V 100nA 100fA 0.10% pA + 1.7pA/V 3pA 0.10% pA + 2.1pA/V 10nA 10fA 0.10% + 10pA + 1.6pA/V 300fA 0.10% pA + 1.6pA/V 1nA 1fA 0.10% + 7.0pA + 1.6pA/V 30fA 0.10% pA + 1.6pA/V 測定印加電圧レンジ分解能確度分解能確度 3000V 1mV 0.025% mV 80mV 0.03% mV 1500V 1mV 0.025% mV 40mV 0.03% mV 500V 100μV 0.025% mV 10mV 0.03% mv 200V 100μV 0.025% mV 5mV 0.03% mV 高電圧マトリクスからの低電圧 SMU(2636B 型 ) 測定印加電流レンジ分解能確度分解能確度 1A 10μA 0.15% + 4.5mA + 1.6pA/V 20μA 0.06% + 5.4mA + 1.6pA/V 100mA 1μA 0.09% mA + 1.6pA/V 2μA 0.05% mA + 1.6pA/V 10mA 100nA 0.02% + 2.5μA + 1.6pA/V 200nA 0.03% + 6.0μA + 1.6pA/V 1mA 10nA 0.02% + 0.2μA + 1.6pA/V 20nA 0.03% + 0.3μA + 1.6pA/V 100μA 1nA 0.02% nA + 1.6pA/V 2nA 0.03% nA + 1.6pA/V 10μA 100pA 0.02% + 1.5nA + 1.6pA/V 200pA 0.03% + 5.0nA + 1.6pA/V 1μA 10pA 0.03% + 0.5nA + 1.6pA/V 20pA 0.03% + 0.8nA + 1.6pA/V 100nA 1pA 0.03% pA + 1.6pA/V 2pA 0.03% pA + 1.6pA/V 10nA 100fA 0.06% + 4.7pA + 1.6pA/V 200fA 0.06% + 6.7pA + 1.6pA/V 1nA 10fA 0.15% + 1.1pA + 1.6pA/V 20fA 0.15% + 2.9pA + 1.6pA/V 測定印加電圧レンジ分解能確度分解能確度 200 V 1 mv 0.02% mV 1mV 0.02% mV 20 V 100μV 0.02% + 5.3mV 100μV 0.02% + 5.3mV 2 V 10μV 0.02% μV 10μV 0.02% μV 200 mv 1μV 0.02% μV 1μV 0.02% μV 8 JP.TEK.COM

9 S540 型パワー半導体テストシステム低電流マトリクスからの低電圧 SMU(2636B 型 ) 測定印加電流レンジ分解能確度分解能確度 1A 10μA 0.03% + 1.5mA + 1.3pA/V 20μA 0.05% + 1.8mA + 1.3pA/V 100mA 1μA 0.02% μA + 1.3pA/V 2μA 0.03% μA + 1.3pA/V 10mA 100nA 0.02% + 2.5μA + 1.3pA/V 200nA 0.03% + 6.0μA + 1.3pA/V 1mA 10nA 0.02% nA + 1.3pA/V 20nA 0.03% nA + 1.3pA/V 100μA 1nA 0.02% nA + 1.3pA/V 2nA 0.03% nA + 1.3pA/V 10μA 100pA 0.03% + 1.5nA + 1.3pA/V 200pA 0.03% + 5.0nA + 1.3pA/V 1μA 10pA 0.03% pA + 1.3pA/V 20pA 0.03% pA + 1.3pA/V 100nA 1pA 0.06% pA + 1.3pA/V 2pA 0.06% pA + 1.3pA/V 10nA 100fA 0.15% + 4.1pA + 1.3pA/V 200fA 0.15% + 6.1pA + 1.3pA/V 1nA 10fA 0.15% + 2.4pA + 1.3pA/V 20fA 0.15% + 3.1pA + 1.3pA/V 100pA 1fA 0.15% + 1.9pA + 1.3pA/V 測定印加電圧レンジ分解能確度分解能確度 200V 1mV 0.02% mV 5mV 0.02% mV 20V 100μV 0.02% + 5.2mV 500μV 0.02% + 5.2mV 2V 10μV 0.02% μV 50μV 0.02% μV 200mV 1μV 0.02% μV 5μV 0.02% μV CMTR(Capacitance Measurement Unit 容量測定ユニット ) の仕様 HVCMTR の仕様 2 端子 HVCV 測定 (HVマトリクス経由 ) 容量 10kHz 100kHz 1MHz 10pF 10% 2% 1% 100pF 2% 2% 2% 1nF 0.5% 0.5% 4% 10nF 0.5% 0.5% 7% 注 : 3 端子 HVCV 測定 (HV マトリクス経由 ) 100kHz 1MHz 容量比 Ciss:Coss:Crss HVCV 測定確度 Ciss Coss Crss 1 1nF:100pF:10pF 1% 5% 2% 1nF:1nF:1nF 1% 1% 2% 1nF:1nF:100pF 1% 1% 4% 容量比 Ciss:Coss:Crss HVCV 測定確度 Ciss Coss Crss 1 1nF:100pF:10pF 8% 5% 注 1 を参照 1nF:1nF:1nF 18% 18% 注 1 を参照 1nF:1nF:100pF 9% 9% 注 1 を参照 1. Crss の測定にはソースのガードが必要です製造システムではガードの効果は 100kHz 以上で制限されます Ciss Coss の測定ではガードは不要です JP.TEK.COM 9

10 データシート DMM( デジタルマルチメータ ) の仕様 - ケースレー 7510 型レンジ分解能 1 年確度 100mV 10nV 読み値の18ppm + レンジの9ppm 1V 100nV 読み値の15ppm + レンジの2ppm 10V 10µV 読み値の14ppm + レンジの1.2ppm 200V 100µV 読み値の22ppm + レンジの5ppm 一般仕様とソフトウェアキャビネット寸法 60.0cm( 幅 ) 91.5cm( 奥行 ) 190.5cm( 高さ ) 電源ソフトウェア対応プローブプローブカード EMC 安全性認証保証期間対応サービス 100V 115V 220V 240V(50/60Hz) KTE 5.7.( ウエハの記述テストマクロの開発テストプランの開発リミット設定テストデータの管理ユーザのアクセスポイントシステム診断 ) CascadeTesla TEL P8XL Accretech UF3000 ケースレー Celadon European Union EMC Directive に準拠 European Union Low Voltage Directive に準拠 SEMI S2, S8, and S14 1 年プローブステーションの統合校正修理テストプランの移行相関性調査などで契約可能注 : 仕様は事前の通告なしに変更されることがあります 10 JP.TEK.COM

11 S540 型パワー半導体テストシステム JP.TEK.COM 11

12 お問い合わせ先 : オーストラリアオーストリアバルカン諸国イスラエル南アフリカその他 ISE 諸国ベルギーブラジル +55 (11) カナダ中央 / 東ヨーロッパバルト海諸国中央ヨーロッパ / ギリシャデンマークフィンランドフランスドイツ香港インドインドネシアイタリア日本 81 (3) ルクセンブルクマレーシアメキシコ中央 / 南アメリカカリブ海諸国 52 (55) 中東アジア北アフリカオランダニュージーランドノルウェー中国フィリピンポーランドポルトガル韓国ロシア +7 (495) シンガポール南アフリカスペインスウェーデンスイス台湾 886 (2) タイイギリスアイルランドアメリカベトナム年 4 月現在 jp.tek.com テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツお客様コールセンター : 技術的な質問製品の購入価格納期営業への連絡ヨッ! 良いなんと良い記載内容は予告なく変更することがありますのであらかじめご了承ください Copyright 2018, Tektronix. All rights reserved. TEKTRONIX および TEK は Tektronix, Inc. の登録商標です記載された製品名はすべて各社の商標あるいは登録商標です 2018 年 1 月 1KZ オシロ TEL: サービスコールセンター : 修理校正の依頼オシロ TEL: 営業時間 / 9:00~12:00 13:00~18:00 ( 土日祝日および当社休日を除く ) 営業時間 / 9:00~12:00 13:00~17:30 ( 土日祝日および当社休日を除く ) 東京都港区港南品川インターシティ B 棟 6 階

2017 年訪日外客数 ( 総数 ) 出典 : 日本政府観光局 (JNTO) 総数 2,295, ,035, ,205, ,578, ,294, ,346, ,681, ,477

2017 年訪日外客数 ( 総数 ) 出典 : 日本政府観光局 (JNTO) 総数 2,295, ,035, ,205, ,578, ,294, ,346, ,681, ,477 2018 年訪日外客数 ( 総数 ) 出典 : 日本政府観光局 (JNTO) 総数 2,501,409 9.0 2,509,297 23.3 2,607,956 18.2 2,900,718 12.5 2,675,052 16.6 2,704,631 15.3 2,832,040 5.6 2,578,021 4.1 2,159,600-5.3 2,640,600 1.8 26,109,300 9.7