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1 ダイコレット & ピックアップツール先端形状 3600 シリーズ 4 面ダイコレット 3700 シリーズ 2 面ダイコレット 3800 シリーズ先端長方形のフラットピックアップツール 3900 シリーズ先端円錐形のフラットピックアップツール 3300 & 3300-ETE シリーズ垂直 4 面コレット 3200-ETE シリーズ垂直 2 面コレット 特殊形状 ( カスタム ) コレット片面の一部に切り込み 特殊形状 ( カスタム ) ピックアップツール MEMS デバイス向け 58

2 バキュームピックアップツール 3800, 3900 シリーズ バキュームピックアップツールは 通常 エポキシダイアタッチに使用されます は プラスチック材が 金属材よりも ダイへのダメージを軽減するため 一般的に使用されています デルリン材は 連続使用温度に制限があり 静電気を帯びやすい特性があります ( 価格が安い ) ベスペル材は 連続使用温度がより高く 静電気を帯びにくい特性があります クアーズテック / ガイザーの EDS01 材は 導電性があり 静電気が帯びにくい特性があります その他の特性は 右記の表をご参照ください 3900 シリーズ 先端円錐形のフラットフェースツール 連続使用温度 ( ) 断続温度 ( ) デルリンベスペル ESD01 82 融点 ( ) ( 推奨 ) 260( 最大 ) なし なし 260 で分解 約 307 ロックウェル硬度 導電性なし若干ありあり ホール径 in/ μ m 先端径に対する推奨ホール径 先端径 in/ μ m 0.005/ / / / / / / / / / / / / / / / シリーズ品番例 DEL 3800 シリーズ 先端長方形のフラットフェイスツール シリーズ番号 形状 ホール径 先端の径 長さ VES = ベスペルプラスチック DEL = デルリンプラスチック WC = タングステンカーバイド材 3800 シリーズ品番例 VES シリーズ番号 形状 ホール径 先端の長さ 先端の幅 長さ VES = ベスペルプラスチック DEL = デルリンプラスチック WC = タングステンカーバイド材 CoorsTek, Inc. Gaiser Products Group 4544 McGrath Street Ventura, CA Tel gaiser@coorstek.com Fax

3 共晶ダイコレット シリーズ 2 面コレット 4 面コレットは 共晶又は エポキシを使用し ダイを基板に付けるために使用されます ダイコレットは チップの表面ではなく 縁を持ち上げます コレットの内部は 通常 90 の傾斜がありますが 別の角度を指定することも出来ます この傾斜が スクラブを使う時や ダイをつまみ上げ設置する場合に 正確な位置を保証します 4 面コレットは 4 面のピラミッドがチップを抱え込むため チップの設置が非常に安定する利点があります 2 面コレットは コレットのオープン側の寸法よりも長いチップに使用可能です また 2 面コレットは隣接する壁やチップがある場合や レーザーダイオード等の破損しやすいダイにも使用されます 3600 シリーズ 4 面コレット どちらのコレットも チップの厚みの半分が外に出るように製作されています ある条件下では 共晶の部材やエポキシなどがコレットを汚してしまうことがあります それを防ぐためには 実際のチップの厚みよりも薄い寸法で作製することをお勧めします コレットをより小さく設計して チップがコレットから外に出るようにします ダイコレットは 直径 in/ 1.58mm または 直径 0.125in/ 3.18mm のが使用されますが その他の形状も作製可能です タングステンカーバイドのダイコレットは 450 まで 加熱することが可能です 最良の共晶のためには 閉ループで急速循環加熱をお勧めします コーナーレリーフ パーツ番号の例 インナーコーナーレリーフは 小サイズのコレットでは標準 番号形状の長さ内部側壁の角度ダイの長さダイの幅ダイの厚さ 外部コーナーレリーフは 大型サイズのコレットでは標準 (0.060x0.060 以上のダイ ) 3700 シリーズ 2 面コレット 3700 シリーズでは DW は コレットに接しますが DL は コレットに接しません DL の部分で吸い込みが弱くなります : 3600, 3700 ともに WC( タングステンカーバイド ) のみ寸法は 特に指定がない限りインチ (in) です パーツ番号の例番号形状の長さ内部側壁の角度ダイの長さダイの幅ダイの厚さ

4 ピックアップコレット 3300, 3300-ETE, 3200-ETE シリーズ 3300 シリーズ 垂直 4 面コレット ( キャビティ寸法を指示 ) パーツ番号例 シリーズ番号形状長さ CL CW W 3300 シリーズは 壁の内側の寸法を指定します 形状は 01,02,60 のみ適用仕上げは P が標準 GM は指定 は WC のみ 3300-ETE シリーズ 垂直 4 面 ETE コレット ( チップ寸法を指示 ) パーツ番号例シリーズ番号形状長さ TL TW W 3302-ETE ETE シリーズは 壁の外側の寸法を指定します 形状は 01,02,60 のみ適用仕上げは P が標準 GM は指定 は WC のみ 3200-ETE シリーズ 垂直 2 面 ETE コレット ( チップ寸法を指示 ) パーツ番号例シリーズ番号形状長さ TL TW W 3202-ETE ETE シリーズは 壁の外側の寸法を指定します 形状は 01,02,60 のみ適用仕上げは P が標準 GM は指定 は WC のみ CoorsTek, Inc. Gaiser Products Group 4544 McGrath Street Ventura, CA Tel gaiser@coorstek.com Fax

5 ダイコレット & ピックアップツール 形状 / / 3.18 長さ Esec / 8 West Bond 指定 K&S / Mech EL / Mullen / SEC / 25.4 * 小型チップの垂直垂直部の高さは in / 2.54mm ですが チップの大きさが小さく強度の確保が取れない場合 高さが制限されます #03 Shank #04 Shank #12 Shank K&S 643,648 Tresky ボンダー AMI 自動 #32 & #32A Shank #05 & #05P Shank Palomar ボンダー Newport/ MRSI ボンダー Daub Tools- 3D00 シリーズ ( 形状は指定 ) 62

6 ダイコレット & ピックアップツール形状 / / / / / / / / / 12.7 Mullen/Unitek Model heated Mullen/Unitek Model heated #45 Shank / /7.92 Mullen/Unitek Model heated #60 Shank #61 Shank* Mech El 703 と K&S 643 他の長さ及び他の先端のをご希望の場合は 3901C をご指定ください K&S 6300 ボンダー Westbond ボンダー CoorsTek, Inc. Gaiser Products Group 4544 McGrath Street Ventura, CA Tel Fax

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