バキュームパッド 仕様 標準タイプ 横配管 注 1 使用チューブサイズおよび注 2 配管ねじサイズ スプリングで可変するストローク スプリング戻り力 (1/2 ストローク ) 材質主要金具部分本体 ケース本体 カバー O リング ガイド スプリング パッドゴム ( 色 ) 標準タイプ 縦配管 注 1

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1 真空機器 VUUM PDS INDEX RoHS 指令対応製品.0.1 仕様 114 注文記号 1 理論吊り上げ力 パッドゴムの材質と適性 116 質量 117 パッドゴム寸法図 118 KPHF 寸法図 1 KPVF 寸法図 122 KPPF 寸法図 12 KPLF 寸法図 124 KPHS 寸法図 125 KPVS 寸法図 127 KPPS 寸法図 128 KPLS 寸法図 129 パッドゴムはめ合い寸法図 1 取扱い要領と注意事項 12 注意ご使用になる前に前付 127 ページの 安全上のご注意 を必ずお読みください 14_ 11

2 バキュームパッド 仕様 標準タイプ 横配管 注 1 使用チューブサイズおよび注 2 配管ねじサイズ スプリングで可変するストローク スプリング戻り力 (1/2 ストローク ) 材質主要金具部分本体 ケース本体 カバー O リング ガイド スプリング パッドゴム ( 色 ) 標準タイプ 縦配管 注 1 使用チューブサイズ注 2 スプリングで可変するストローク スプリング戻り力 (1/2 ストローク ) 材質 本体 パッドゴム mm mm mm N mm mm mm N 横配管 固定形注 KPHF 横配管 スプリング内蔵形注 KPHS Rc1/8 Rc1/ 黄銅 ( ニッケルめっき ) 鋼 ( ニッケルめっき ) アルミ合金 ( アルマイト ) 合成ゴム :NR 注 1: のに表わされる 枠内のパッドサイズは 金具が共通です ( パッドゴム取付ねじは一部違います ) 注 2: 使用チューブはをお選びください 注 :φ60 φ0 の縦配管は 配管プラグ R1/8 を入れ換えることにより可能です 黄銅 ( ニッケルめっき ) ステンレス 合成ゴム :NR( 黒 ) ウレタン ( 緑 ) シリコン ( 白 ) フッ素 ( 黒白のマーク付 ) 縦配管 固定形 KPVF 黄銅 ( ニッケルめっき ) 鋼 ( ニッケルめっき ) 縦配管 スプリング内蔵形 6 8 KPVS 合成ゴム :NR( 黒 ) ウレタン ( 緑 ) シリコン ( 白 ) フッ素 ( 黒白のマーク付 ) 2.5 黄銅 ( ニッケルめっき ) アルミ合金 ( アルマイト ) 合成ゴム :NR 鋼 ( ニッケルめっき ) ピアノ線 ( 亜鉛めっき ) 首振りタイプ 注 1 mm 使用チューブサイズおよび配管ねじサイズ mm スプリングで可変するストローク スプリング戻り力 (1/2 ストローク時 ) 主要金具部本体 主軸 mm N 横配管 固定形注 KPPF 40 黄銅 ( ニッケルめっき ) 横配管 スプリング内蔵形注 2 KPPS (M5) Rc 1/8 (M5) Rc 1/8 分材質 ケース本体 鋼鋼黄銅黄銅 ( ニッケル ( ニッケル ( ニッケルめっき ) ( ニッケルめっき ) めっき ) めっき ) カバー Oリング アルミ合金 ( アルマイト ) 合成ゴム :NR スプリング ステンレス パッドゴム ( 色 ) 合成ゴム :NR( 黒 ) ウレタン( 緑 ) シリコン( 白 ) フッ素( 黒白のマーク付 ) 鋼 鋼 ( ニッケル めっき ) 注 1: のに表わされる 枠内のパッドサイズは 金具が共通です 注 2: 縦配管は 横配管の継手とプラグを入れ換える ( パッドサイズ は プラグのみ入れ換える ) ことにより可能です 114 回転レスタイプ 注 1 横配管 固定形注 KPLF 黄銅 ( ニッケルめっき ) 横配管 スプリング内蔵形注 KPLS パッド形状円形長円形円形長円形 mm 使用チューブサイズおよび配管ねじサイズ mm スプリングで可変するストローク スプリング戻り力 (1/2ストローク時) 主要金具部ロッド mm N (M) 黄銅 ( クロムめっき ) 材質ガイド 含油鉄合金分スプリング ステンレスパッドゴム ( 色 ) 合成ゴム :NR( 黒 ) ウレタン( 緑 ) シリコン( 白 ) フッ素( 黒白のマーク付 ) 注 1: のに表わされる 枠内のパッドサイズは 金具が共通です 注 2: 縦配管は 横配管の継手とプラグを入れ換えることにより可能です

3 注文記号 バキューム ( 金具付 ) KP KP パッドゴム材質 N NR S シリコン U ウレタン F フッ素パッドサイズ 2パッドサイズの表をご覧ください 標準タイプ首振り ( ユニバーサル ) タイプ注回転レスタイプ注 : 首振りタイプのパッドサイズ60 80は 標準タイプと共通です ご注文は 標準タイプので記入してください 1 ⑴KPPSの mm 5 70 パッドゴム材質 N NR S シリコン U ウレタン 25 5 F フッ素 40 KPPS, KPLSの場合のみ記入してください の表をご覧ください ⑵KPLSのパッドサイズ 2パッドサイズの表をご覧ください 各パッドサイズとも 5mm, mm, mm, mm 金具仕様 HF スプリングなし 標準タイプ 横配管 2パッドサイズ VF スプリングなし 標準タイプ 縦配管 PF スプリングなし 首振り ( ユニバーサル ) タイプ ⑴ 標準タイプ ⑵ 首振りタイプ ⑶ 回転レスタイプ LF スプリングなし 回転レスタイプ HS スプリング内蔵 標準タイプ 横配管 2 φ2.5 φ 6 φ6 VS スプリング内蔵 標準タイプ 縦配管 PS スプリング内蔵 首振り ( ユニバーサル ) タイプ.5 φ.5 φ 8 φ8 LS スプリング内蔵 回転レスタイプ ( 長円形 ) φ φ パッドゴム ( 金具なし ) 無記入 P L 導電性 ハロゲン処理バキュームパッド バキューム ( 金具付 ) ( 長円形 ) 6 φ6 8 φ8 φ φ φ 25 φ25 φ 5 φ5 40 φ40 φ 60 φ60 80 φ80 95 φ95 0 φ0 1 φ1 1 φ1 0 φ φ25 φ φ5 φ40 φ φ60 φ ( 長円形 ) ( 長円形 ) 4 4 ( 長円形 ) 5 5 ( 長円形 ) 6 6 ( 長円形 ) 4 4 ( 長円形 ) 5 5 ( 長円形 ) 6 6 ( 長円形 ) 8 8 ( 長円形 ) 4 4 ( 長円形 ) 5 5 ( 長円形 ) 6 6 ( 長円形 ) 8 8 ( 長円形 ) 仕様 KP KP パッドゴム材質注 N NR S シリコン注 : ハロゲン処理は Nのみハロゲン処理はφ1 φ1 φ0 は除く KPPS, KPLSの場合のみ記入してください 1の表をご覧ください パッドサイズ 2パッドサイズの表をご覧ください 金具仕様 HF スプリングなし 標準タイプ 横配管 VF スプリングなし 標準タイプ 縦配管 PF スプリングなし 首振り ( ユニバーサル ) タイプ LF スプリングなし 回転レスタイプ HS スプリング内蔵 標準タイプ 横配管 VS スプリング内蔵 標準タイプ 縦配管 PS スプリング内蔵 首振り ( ユニバーサル ) タイプ LS スプリング内蔵 回転レスタイプ 導電性ハロゲン処理 パッドゴム ( 金具なし ) 導電性バキュームパッド (NR シリコン ) バキュームパッドゴム材質が導電性ゴムのため 静電気を流したり 帯電を防止します ハロゲン処理バキュームパッド (NR) バキュームパッドゴムにハロゲン処理をすることにより ゴムの摩擦抵抗が約 88% 減少注し ゴム特有の吸着跡が付きづらくなります 注 : 当社比 材質は NR 体積抵抗率と識別マーク パッドゴム材質 ( 黒 ) 体積抵抗率注識別マーク 導電性 NR( 黒 ) 導電性シリコン ( 黒 ) ハロゲン処理 NR( 黒 ) 注 : 材料の規格値 2 5 Ωcm 1 2 Ωcm 青色ポツマーク 黄色ポツマーク茶色ポツマーク 仕様 KP KP パッドゴム材質注 N NR S シリコン注 : ハロゲン処理は Nのみハロゲン処理は φ1 φ1 φ0は除くパッドサイズ 2パッドサイズの表をご覧ください 無記入標準タイプ P 首振り ( ユニバーサル ) タイプ注 L 回転レスタイプ注 : 首振りタイプのパッドサイズ60 80は 標準タイプと共通です 導電性ご注文は 標準タイプので記入してください ハロゲン処理 14_ 1

4 理論吊り上げ力 mm 真空度 kpa パッド面積 cm 2 φ 長 mm 真空度 kpa パッド面積 cm φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ1 φ N 注 : 上表は計算値です N 注 : 上表は計算値です パッドゴムの材質と適性 パッドゴムの材質と特性 材質 NR (N) シリコン (S) ウレタン (U) フッ素 (F) 硬度 Hs 使用温度範囲 引張強さ (N/cm 2 ) 伸び (%) 耐油性耐油性 ( ガソリン ) ( ベンゾール ) 耐候性耐オゾン性耐アルカリ性耐酸性耐水性耐摩耗性 電気絶縁性 70± ± ± ± 備考 : 最適 条件によって使用可 不適 使用不可注 ) 本表は ゴムの一般特性を示したものです 使用に際しては 各種条件を充分配慮してください 耐引裂性 _

5 質量 標準タイプ タイプ固定タイ mm 2.5 KPHF KPVF 8 スププリKPHS 5 ングKPVS g 首振りタイプ 定リタイプイイププスプリスンプグスリタプンイリグタグイタプg 回転レスタイプ g KPPS-5-90 KPLS KPLS-5-6 イ形 式 KPPF- 8 KPPS-- 12 KPLF-6 1 KPLS スプKPPF- 質量固8 KPPS KPLF-8 質量固1 KPLS-5-4 KPPF- 52 KPPS-- 2 KPLF- 1 KPLS-5-52 KPPF KPPS KPLF KPLS-5-60 KPPF- 55 KPPS KPLF KPLS ンKPPF-5 55 KPPS 定KPLF-4 1 KPLS-6-4 グKPPF-40 1 KPPS KPLF-5 1 KPLS-6-52 KPPF- 4 タKPPS タKPLF-6 1 KPLS-6-60 KPPF KPPS-80-7 KPLF-4 KPLS KPPF KPPS KPLF-5 KPLS-4-46 KPPS KPPS KPLF-6 KPLS-4-55 KPPS-- 66 KPPS KPLF-8 KPLS-4-6 KPPS-- 76 KPLF-4 16 KPLS KPPS-- 86 KPLF-5 16 KPLS-5-46 KPPS KPLF-6 16 KPLS-5-55 KPPS-- 66 KPLF-8 16 KPLS-5-6 KPPS-- 76 KPLS KPLS KPPS-- 86 KPLS-6-4 KPLS-6-46 KPPS-- 80 KPLS-6-52 KPLS-6-55 KPPS-- 90 KPLS-6-60 KPLS-6-6 KPPS-- 0 KPLS KPLS KPPS KPLS-8-4 KPLS-8-46 KPPS KPLS-8-52 KPLS-8-55 KPPS KPLS-8-60 KPLS-8-6 KPPS-25-0 KPLS--5 9 KPLS KPPS KPLS-- 4 KPLS-4-46 プKPPS-- 80 ンKPLS-- 52 KPLS-4-55 KPPS-- 90 KPLS-- 60 KPLS-4-6 KPPS-- 0 KPLS KPLS KPPS KPLS KPLS-5-46 KPPS-5-80 KPLS KPLS-5-55 KPPS-5-0 KPLS KPLS KPPS KPLS KPLS-6-46 プKPPS KPLS KPLS-6-55 KPPS KPLS KPLS-6-6 KPPS KPLS KPLS KPPS KPLS-4-4 KPLS-8-46 KPLS-4-52 KPLS-8-55 KPLS-4-60 KPLS-8-6 注 : 上記質量表は金具にパッドゴム (NR) を付けた質量です 14_ 117

6 パッドゴム寸法図 (mm) KP-2 KP-.5 φe φf 記号 E F G Y KP KP KP-6 φ φg Y KP-2 4 KP-.5 7 記号 D E KP KP 記号 G H J K Y KP KP F KP-8 KP- KP- KP- KP-25 KP- KP-5 KP-40 KP- KP- KP- KP- KP-25 記号 D E F G Y KP- KP-5 KP-40 KP- 記号 D E F G Y KPP- KPP- KPP- KPP-25 KPP- KPP-5 KPP-40 KPP- KP-60 KP-80 KP-95 KP-0 KPP- KPP-25 KPP- KP-1 KP-1 KP-0 記号 KPP KPP-400 KPP-0 KP-600 KP-800 KP-9 KP-0 記号 E F G L M N KP-1 KP-1 KP-0 記号 E _

7 パッドゴム寸法図 (mm) KPL-6 KPL-8 KPL- KPL-2 4 KPL-.5 7 KPL-4 KPL-5 KPL-6 KPL-4 KPL-5 KPL-6 KPL-8 記号 KPL-.5 7 KPL-4 KPL-5 KPL-6 G H K 記号 KPL-4 KPL-5 KPL-6 KPL-8 K J KPL-4 KPL-5 KPL-6 KPL-8 記号 KPL-4 KPL-5 KPL-6 KPL-8 K J _

8 KPHF 寸法図 (mm) 円 形 KPHF-2 パッド長 KPHF-.5 KPHF-2 4 KPHF-.5 7 φ2.5 φ KPHF-6 KPHF KPHF- 円形 KPHF- パッド KPHF KPHF-25 KPHF- KPHF-5 KPHF-40 KPHF D E F 11 M5 0.8 深さ 12 M8 1 深さ _

9 KPHF 寸法図 (mm) KPHF-60 KPHF-80 KPHF-95 KPHF-0 備考 : プラグを付け換える事により縦配管で使用できます パッド部長さ 配管口位置 D KPHF-1 KPHF-1 KPHF-0 備考 : プラグを付け換える事により縦配管で使用できます パッド部長さ 配管口位置 D _ 121

10 KPVF 寸法図 (mm) 円 形 KPVF-2 パッド長 KPVF-.5 KPVF-2 4 KPVF-.5 7 φ φ KPVF-6 KPVF KPVF- 円形 KPVF- パッド KPVF KPVF-25 KPVF KPVF KPVF KPVF _

11 KPPF 寸法図 (mm) 25 5 KPPF- KPPF 配管口位置 D 22 2 備考 : プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます KPPF- KPPF KPPF- KPPF 配管口位置 D.5 2 備考 : プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます KPPF-40 KPPF 配管口位置 D 備考 : プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます 円形 KPPF-60 パッド KPPF 備考 : プラグを入れ換える事により縦配管で使用できます 配管口位置 D _ 12

12 KPLF 寸法図 (mm) 長 KPLF-6 KPLF-8 KPLF- KPLF-2 4 KPLF-.5 7 KPLF-4 KPLF-5 KPLF-6 項 目 X Y φ6 φ8 φ 備考 : プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます 長 KPLF-4 KPLF-5 KPLF-6 KPLF-8 KPLF-4 KPLF-5 KPLF-6 KPLF-8 X Y 備考 : プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます _

13 KPHS 寸法図 (mm) M ( 二面幅 ) 8.1( 対角 ) ( 二面幅 ) 1.9( 対角 ) M φ φ ( ストローク ) φ5 5( ストローク ) 5( 二面幅 ) φ ( 二面幅 ) 項 目 円 形 KPHS-2 φ2.5 6 パッド KPHS-.5 φ 長円形 KPHS パッド KPHS KPHS-6 6 KPHS M ( 二面幅 ) 16.2( 対角 ).5 M ( 二面幅 ) 19.6( 対角 ) φ5 4 ( 二面幅 ) 6( ストローク ) φ5 7( ストローク ) φ φ 12( 二面幅 ) 項 目 KPHS ウレタン KPHS チューブ KPHS KPHS KPHS- 8 KPHS KPHS KPHS _ 125

14 KPHS 寸法図 (mm) 項 目 パッド部高さ 配管口位置 D KPHS-60 KPHS-80 KPHS-95 KPHS 備考 : プラグを付け換える事により縦配管で使用できます 項 KPHS-1 KPHS-1 KPHS-0 目 パッド部高さ 配管口位置 D 備考 : プラグを付け換える事により縦配管で使用できます _

15 KPVS 寸法図 (mm) φ φ ( ストローク ) φ 8( 二面幅 ) 9.2( 対角 ) M ( ストローク ) φ 8( 二面幅 ) 9.2( 対角 ) M 項 目 円 形 KPVS-2 φ2.5. パッド KPVS-.5 φ.5.5 長円形 KPVS パッド KPVS KPVS KPVS φ5 φ5 M M ( 二面幅 ) 16.2( 対角 ) φ 5( ストローク ) ( 二面幅 ) 19.6( 対角 ) φ 9( ストローク ) 56 項 目 KPVS- 5 ウレタン KPVS- 5 チューブ KPVS KPVS KPVS- 68 KPVS KPVS KPVS _ 127

16 KPPS 寸法図 (mm) 項 KPPS- KPPS- 目 S 配管口位置適応チューブ D サイズ 備考 : プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます 22 2 KPPS- KPPS-25 KPPS- KPPS-5 S 配管口位置適応チューブ D サイズ 備考 : プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます 項 KPPS-40 KPPS- 目 S 配管口位置適応チューブ D サイズ 備考 : プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます 128 KPPS-60 KPPS S 備考 : プラグを付け換える事により縦配管で使用できます 配管口位置 D 64 67

17 KPLS 寸法図 (mm) 項 KPLS-6 KPLS-8 KPLS- 目 X Y φ6 φ8 φ S 長 KPLS-2 4 KPLS-.5 7 KPLS-4 KPLS KPLS 備考 : プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます 項 目 X Y S 長 KPLS-4 KPLS-5 KPLS-6 KPLS-8 KPLS-4 KPLS-5 KPLS-6 KPLS 備考 : プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます 14_ 129

18 パッドゴムはめ合い寸法図 (mm) KP-2 KP-.5 KP-2 4 KP-.5 7 KP-6 KP-8 KP KP- KP φ φ φ 取り 可 φ4 φ φ5..05 φ6 0.1 φ8 KP-25 KP- KP-5 KP-40 KP- KPL-4 8 KPL-6 KPL KP KPP-95 0 KP-1 0 1

19 パッドゴムはめ合い寸法図 (mm) KPP- KPP- 5 KPP-40 11

20 取扱い要領と注意事項 バキュームパッド 配管 配管抵抗を少なくする為 配管長さはできるだけ短く まっすぐにし ら旋状の配管は避けてください パッドゴムの交換 パッドゴムを交換するときは パッドゴムはめ合い寸法図を参考に パッドゴム ねじ 金具等をはずし パッドゴムの交換をしてください パッドゴムKP- KP-40を金具に組み付ける時は 取付ねじを除々にねじ込み 金具 パッドゴム 取付ねじが密着した後 取付ねじを半回転 (180 ) 増し締めしてください パッドゴムKP- KP-のパッドゴム取付ねじは各サイズ毎に違っていますので パッドゴムはめ合い寸法図 を参考にしてください ( 詳細につきましては最寄りの弊社営業所へお問い合せください ) 一般注意事項 1.バキュームパッドはマイクロエジェクタ 1 台につき 1 個使用してください 2 個以上の使用は吸着ミスを生 じ易く 設定真空度までの到達時間も長くなります 取付姿勢 水平吊りを基本とし 斜め吊りや垂直吊りは できるだけ行なわないでください 止むを得ない場合は 十分な安全率をみてください ( 詳細は前付 4ページをご覧ください ) 2.バキュームパッド金具付スプリングタイプは 配管時 本体に無理な力をかけるとスプリングの作動不良および 摺動部の片摩耗の原因になります 締付トルク 保管 1. バキュームパッド ( パッドゴム含む ) は 各種ゴムを使用しています ゴムは 直射日光 油 水 オゾン等で劣化します 使用前までは ポリエチレン袋に密閉したまま屋内に保管してください 2. 保管温度は 常温としてください.保管期間は 製造年月日より 2 年を目安としてください 製品 ゴム型により パッドゴム外周部に若干の凹凸が出る場合がありますが 性能には影響しません バキュームパッドを取付ける際のナットの締付トルクは 右表の範囲にて管理してください ねじサイズ 締付トルク N cm KPHF M KPHF-6 8 M KPHF- M KPHF-25 M KPHF-5 M KPHF-60 0 M KPVF M KPVF-6 8 M KPVF- M KPVF-25 M KPPF- M KPPF M KPPF- 全タイプ M KPHS M KPHS-6 8 M KPHS- M KPHS-25 M KPHS-60 0 M KPVS M KPVS-6 8 M KPVS- M KPVS-25 M KPPS- M KPPS M KPLS- 全タイプ M _

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