2 2 1990 17 000 2002 3 22 000 12 5 000 2 10 2 1999 2000 2

ii 2 2 MOS 2001 8 2002 3 2

2

iv (*2002 3 )

vi

vii ()

1 * 1 1.1 2 1.1.1 2 1.1.2 2 1.2 4 1.2.1 4 1.2.2 1 6 1.2.3 2 9 1.2.4 10 1.2.5 () a b, c 13 1.3 16 1.3.1 16 1.3.2 17 1.3.3 20 1.3.4 21 1.4 23 1.4.1 23 1.4.2 26 1.4.3 27 1.5 () 27 1.5.1 27 1.5.2 28 1.6 30 1.6.1 a b c 30 1.6.2 33 1.6.3 36 1.7 40 1.7.1 40 1.7.2 42 1.8 42 1.8.1 42 1.8.2 46 1.8.3 49 1.8.4 52 1.9 54 1.9.1 a b, c 54 1.9.2 57 1.10 58 1.10.1 58 1.10.2 58 1.10.3 59 1.11 59 1.11.1 59 1.11.2 62 1.11.3 66 1.11.4 69 1.12 71 1.12.1 71 1.12.2 73 1.12.3 75

x 2 *81 2.1 82 2.1.1 82 2.1.2 83 2.1.3 84 2.1.4 85 2.2 86 2.2.1 86 2.2.2 87 2.3 90 2.3.1 90 2.3.2 92 2.3.3 94 2.3.4 102 2.4 103 2.4.1 103 2.4.2 106 2.4.3 108 2.4.4 110 2.4.5 113 2.5 113 2.5.1 113 2.5.2 116 2.5.3 118 2.5.4 120 2.6 121 2.6.1 121 2.6.2 123 2.7 124 2.7.1 124 2.7.2 127 2.8 129 2.8.1 129 2.8.2 132 2.9 135 2.9.1 135 2.9.2 137 2.9.3 138 2.9.4 140 3 *149 3.1 150 3.1.1 150 3.1.2 2 156 3.1.3 159 3.2 162 3.2.1 162 3.2.2 166 3.2.3 169 3.3 174 3.3.1 174 3.3.2 177 3.3.3 178 3.3.4 180 3.3.5 / 182 3.3.6 184 3.4 186 3.4.1 186 3.4.2 187 3.4.3 SQUID 196 3.4.4 198 3.4.5 199 3.4.6 200 3.4.7 202 3.4.8 203 4 *207 4.1 208 4.1.1 208 4.1.2 209 4.1.3 212 4.1.4 213 4.1.5 215 4.2 218 4.2.1 218

xi 4.2.2 220 4.2.3 X 223 4.2.4 227 4.3 229 4.3.1 2 229 4.3.2 SNMS 231 4.3.3 MEIS 234 4.3.4 X 237 4.3.5 SCANIIR () 238 4.4 240 4.4.1 240 4.4.2 243 4.4.3 245 4.4.4 246 4.5 X 248 4.5.1 248 4.5.2 251 4.5.3 251 4.5.4 252 4.5.5 LIF 253 4.5.6 X (X ) 255 4.5.7 EXAFS 257 4.5.8 X 260 4.5.9 X 262 4.6 264 4.6.1 264 4.6.2 265 4.6.3 267 4.6.4 268 4.7 272 4.7.1 272 4.7.2 274 4.7.3 276 4.7.4 276 5 *283 5.1 284 5.1.1 284 5.1.2 288 5.2 290 5.2.1 290 5.2.2 294 5.3 295 5.3.1 295 5.3.2 297 5.3.3 X 300 5.3.4 301 5.3.5 (SPM) 306 5.3.6 308 5.3.7 XAFS ELNES a b 311 5.3.8 312 5.3.9 314 5.3.10 316 5.3.11 317 5.4 317 5.4.1 317 5.4.2 320 5.4.3 325 5.5 325 5.5.1 325 5.5.2 327 5.5.3 328 5.5.4 331 5.6 () 332 5.6.1 332 5.6.2 332 5.6.3 335

xii 6 *341 6.1 342 6.1.1 342 6.1.2 346 6.1.3 349 6.1.4 355 6.1.5 CVD 357 6.2 361 6.2.1 a b 361 6.2.2 364 6.2.3 370 6.2.4 a b 376 6.3 381 6.3.1 381 6.3.2 383 6.3.3 385 6.3.4 386 6.4 389 6.4.1 389 6.4.2 X 391 6.4.3 394 7 *401 7.1 402 7.1.1 402 7.1.2 408 7.2 412 7.2.1 412 7.2.2 414 7.2.3 (/) 416 7.2.4 a b, c 418 7.2.5 422 7.2.6 423 7.2.7 424 7.2.8 a b c d e, f 425 7.3 430 7.3.1 a b 430 7.3.2 (VPE ) 432 7.3.3 MOCVD a b 436 7.3.4 (MBE) a b 439 7.3.5 (ALE) 443 7.3.6 / 444 7.3.7 445 7.3.8 447 7.4 449 7.4.1 449 7.4.2 () 459 7.4.3 461 7.4.4 X 467 7.4.5 a b 473 7.4.6 a b 476 7.5 479 7.5.1 479 7.5.2 () 484 7.5.3 487 8 *495 8.1 496 8.1.1 496 8.1.2 498 8.1.3 499 8.2 500 8.2.1 500 8.2.2 504 8.2.3 508 8.3 509 8.3.1 509

xiii 8.3.2 511 8.3.3 512 8.3.4 515 8.4 516 8.4.1 516 8.4.2 520 8.4.3 520 8.5 522 8.5.1 522 8.5.2 523 8.5.3 524 8.6 525 8.6.1 525 8.6.2 526 8.6.3 529 8.6.4 531 8.6.5 533 8.7 533 8.7.1 533 8.7.2 536 8.7.3 539 8.8 542 8.8.1 () 542 8.8.2 544 8.8.3 545 8.9 548 8.9.1 548 8.9.2 559 8.9.3 563 8.9.4 565 8.9.5 567 9 *575 9.1 576 9.2 576 9.2.1 576 9.2.2 pn 577 9.2.3 pn 2 578 9.2.4 pn 579 9.2.5 pn 580 9.2.6 581 9.2.7 2 582 9.3 584 9.3.1 584 9.3.2 587 9.3.3 588 9.3.4 588 9.3.5 589 9.3.6 590 9.3.7 591 9.4 MOS 592 9.4.1 MOS 592 9.4.2 595 9.4.3 598 9.4.4 599 9.4.5 599 9.4.6 600 9.4.7 MOS 603 9.5 MOS 604 9.5.1 604 9.5.2 605 9.5.3 (TFT) 606 9.6 MES FET FET 608 9.6.1 MES FET 608 9.6.2 MES FET 608 9.6.3 MES FET 609 9.6.4 GaAs MES FET GaAs MES FET MES FET 609 9.6.5 FET (JFET) (SIT) 611 9.7 611 9.7.1 (HBT) 611 9.7.2 613 9.8 LSI 616 9.8.1 616 9.8.2 LSI 618 9.8.3 LSI 620 9.9 625 9.9.1 625 9.9.2 MOS 627

xiv 9.10 627 9.10.1 627 9.10.2 628 9.10.3 629 9.10.4 () 631 9.10.5 632 9.10.6 632 9.11 633 9.11.1 633 9.11.2 637 9.11.3 637 9.11.4 639 9.11.5 640 9.11.6 641 9.12 643 9.12.1 643 9.12.2 644 9.12.3 644 9.12.4 645 9.12.5 646 9.12.6 647 9.13 648 9.13.1 648 9.13.2 649 10 * 655 10.1 656 10.1.1 656 10.1.2 660 10.2 663 10.2.1 663 10.2.2 665 10.2.3 667 10.2.4 668 10.3 669 10.3.1 669 10.3.2 670 10.3.3 674 10.4 677 10.4.1 677 10.4.2 678 10.4.3 679 10.4.4 SOI a b 680 10.5 684 10.5.1 684 10.5.2 685 10.5.3 690 10.5.4 692 10.5.5 693 10.5.6 697 10.6 699 10.6.1 699 10.6.2 699 10.6.3 702 10.7 703 10.7.1 703 10.7.2 a, b c 703 10.7.3 705 10.7.4 Si 708 10.7.5 709 10.7.6 710 10.7.7 713 10.8 716 10.8.1 716 10.8.2 718 10.8.3 721 10.8.4 X 722 10.8.5 723 10.9 726 10.9.1 726 10.9.2 727 10.9.3 729 10.9.4 731 10.9.5 732 10.9.6 734 10.9.7 735 10.10 735 10.10.1 735 10.10.2 736 10.10.3 737 10.10.4 737

xv 10.10.5 738 10.10.6 739 10.11 739 10.11.1 739 10.11.2 740 10.11.3 742 10.11.4 743 10.11.5 744 10.12 745 10.12.1 745 10.12.2 745 10.12.3 746 10.12.4 749 10.12.5 749 11 *761 11.1 762 11.1.1 762 11.1.2 764 11.1.3 765 11.1.4 769 11.2 773 11.2.1 773 11.2.2 774 11.2.3 775 11.2.4 776 11.3 Si 777 11.3.1 777 11.3.2 779 11.3.3 a, b, d c 782 11.3.4 785 11.3.5 () 788 11.3.6 791 11.3.7 Si 794 11.4 797 11.4.1 797 11.4.2 798 11.4.3 801 11.5 803 11.5.1 803 11.5.2 804 11.6 805 11.6.1 805 11.6.2 805 11.6.3 805 11.6.4 807 11.6.5 807 11.6.6 807 11.6.7 808 11.6.8 811 12 *819 12.1 820 12.1.1 820 12.1.2 820 12.1.3 822 12.1.4 824 12.1.5 825 12.1.6 826 12.2 828 12.2.1 828 12.2.2 832 12.2.3 833 12.3 836 12.3.1 836 12.3.2 836 12.3.3 837 12.4 842 12.4.1 842 12.4.2 844 12.5 846 12.5.1 846 12.5.2 847 12.5.3 850 12.6 852 12.6.1 852 12.6.2 854 12.7 855

xvi 12.7.1 855 12.7.2 862 12.7.3 866 12.8 869 12.8.1 869 12.8.2 (MFM) 871 12.8.3 874 12.8.4 874 12.9 875 12.9.1 875 12.9.2 877 12.9.3 877 12.9.4 878 12.9.5 879 12.9.6 880 13 *887 13.1 888 13.1.1 888 13.1.2 889 13.1.3 892 13.2 894 13.2.1 a b c 894 13.2.2 a b c 898 13.2.3 a b c d e 905 13.3 918 13.3.1 a b 918 13.3.2 a b c d 921 13.3.3 a b 925 13.3.4 a b 931 13.4 934 13.4.1 934 13.4.2 936 13.4.3 938 14 *947 14.1 948 14.1.1 948 14.1.2 949 14.1.3 950 14.2 951 14.2.1 951 14.2.2 954 14.2.3 959 14.2.4 966 14.2.5 971 14.3 973 14.3.1 SI 973 14.3.2 975 14.3.3 977 14.4 979 14.4.1 979 14.4.2 982 14.4.3 984 14.4.4 987 14.4.5 989 14.4.6 994 15 *1001 15.1 1002 15.1.1 1002 15.1.2 1011 15.1.3 1013 15.2 1013 15.2.1 1013 15.2.2 1017 15.3 1018 15.3.1 1019 15.3.2 1026

xvii 15.3.3 1027 15.4 1029 15.4.1 1029 15.4.2 1030 15.4.3 1035 15.4.4 1037 15.5 1039 15.5.1 1039 15.5.2 1040 15.5.3 1041 15.5.4 1045 15.5.5 1049 15.5.6 1052 15.6 1054 15.6.1 1054 15.6.2 1054 15.6.3 1057 15.6.4 a c d, e 1058 * 1073 1091