低 を快適に使用する為に ULV では使い易さを考慮したオプションパーツを多数ご用意しております 用途に合わせてトラップ 真空配管部品をお役立てください S- OF-2 S RO O W 低 OF
付属品 オイルフィルトレ - ションシステム OF シリーズ V OF OF-2 OF-2 V.. OF-3 OF-3 OF-2 OF-3 1 1 1:0.4 0.45MPa=4.0 4.5 kg /cm 2 2: ホ スの長さは変更できません 1200g 600g/1 1600g 2500mL 0..45MPa 1 L 7 6.5 L/min 3.0 2 1m2 INOUR3/8P3/8 SUS304 V, 50/60z 0.2kW OF-2 420 218 550 96.2 OF-3 550 115 216 102.5 68 mm 580 4-10 580 610 610 4-10 200 (551) 200 3/8 V 0.2 kw (554) V 0.2 kw 1610200600mm 3/83S 3/8 1610200600mm 3/83S 2
付属品 粉体吸着トラップ RO シリーズ RO V RO- V 4 1/2 mm RO-50 RO-80 RO- 390 600 7 290 4 550 135 190 2 190 200 320 E 260 370 470 F 115 145 195 G 120 200 250 1 200 260 I 455 620 730 J 50 55 K 1 195 2 L 50 80 M 50 80 RO-50 RO-80 RO- L 2.5 8 19 1 ULVOIL R-4 JIS 2290 50 80 JIS 2290 50 80 L / 1600 00 7000 1: オプション油 :ULVOIL スーパー R-7500 ULVOIL -11 2:200V 3 相 50/60z V PKS-016 VS PKS-030 PKS-070 kg 30 75 130 2 W 25 60 90 SUS304 mm 油 り (- は り なし ) オイ ージ () - 排油 バ (1/2) 3
付属品 ( ) 前段トラップ S 10 ULV mm mm S- S-20 PV-180 20 20 90 90 S-25 PV-360 25 25 S- V301, V1 195 S-50 V601, V901 1 50 50 S-2 PKS-016 290 50 50 S-3 PKS-030 200 530 80 80 S-4 PKS-070 220 583 PV-180 360 型には 吸気管 (RF シリーズ ) の上に組み付けることとなります IN Smm O V ULVOIL R-4 V PKS I E F mm G O-50 O-80 O- 150 160 185 83 106 121 300 366 1 490 556 591 E 180 180 185 F 1 165 216 G 50 80 50 80 I G1 G1 G1 mm IN OU ULV mm E -25 - -50-80 - 110 125 1 155 96 88 99 114 131 276 288 314 364 396 25 50 80 E 25 50 80 ( 使用上の注意 ) シリーズは 油回転の油の逆流を少なくすることが主な使用目的です を直接経由して高い圧力の状態で長時間排気すると液体窒素の消耗が激しくなります そのような使い方の場合 取付要領図のようにバイパス配管を設け 高い圧力ではバイパス配管で排気し 圧力が低くなったら を経由して排気するようにしてください IN mm OU W 2660 3990Pa SS ULV G F mm G E W-25 W-50 W-80 W- 93 150 150 200 150 150 200 1 180 160 175 250 290 E 550550705815 F 60.5 114 165 216 G 25 50 80 25 50 80 I 120 185 235 300 IN mm OU W 4
付属品 ( ) RF 真空配管部品 RF PV-180 360 PV-180 360 PF 3/4 (PV-180) PF 1 (PV-360) mm PV-180 360 mm O mm mm RF-1 PV-180 72 315 80 RF-2 PV-180MX 235 478 RF-3 PV-360 72 315-330K 419 RF-4 220-330K 425 90 RF-6 PV-360MX 310 528-330KMX 509 RF-6 310-330KMX 515 フランジ規格 JIS 2290 による は取付要領図をご参照ください RF-7 PV-180 80 PF3/4 50 314 RF-8 PV-360 90 PF1 80 344 RF-9 PV-180MX 80 PV-360MX 507 RF-10-330KMX 90 383486 PF11/2-330KMX 389492 50-650KMX 383486 RF-11 105-650KMX 389492 RF-12-950KMX 383491 120 PF2-950KMX 389497 フランジ規格 JIS 2290による は取付要領図をご参照ください RF256 RF912 RF134 MX RF78 MX M M M M PV K mm PV-180 25 PV-360-330K 25-650K-950K 50 5
付属品 ( ) 真空配管部品 P d mm 18 18 d mm d p t P-20 80 27.2 60 PV-180 8 P-25 90 34.0 70 PV-360 P- 105 48.6 85 V301, V1 10 P-50 120 60.5 V601, V901 t 10 t 1 d 2 mm 4-10 mm 1 2 d I-2020 80 25 90 80 105 27.2 50 120 I-2525 90 90 105 34.0 50 120 105 50 120 I- 105 48.6 I-5050 120 120 60.5 L 4-10 d d mm d mm d -20 80 27.2 50-25 90 34.0 55-105 48.6 130 60-50 120 60.5 150 L d L-20 L-25 80 90 27.2 34.0 60 65 8 L- 105 48.6 80 L-50 120 60.5 90 10 J mm J-25 65 90 J- 90 105 J-50 105 120 J-80 110 160 J- 110 185 J-150 235 mm mm d L R-5 4.5 18 - R-9 9 24 3/8 R-15 15 36 0 1/2 R-18 18 42 3/4 R-25 25 55 1 d mm L=0 mm JIS L ISOKF L mm L L -20-200 200 KF-20-200 200 500 80 500 500 500 0 0 0 0 8-25-200 200 KF-25-200 200 500 90 500 500 500 0 0 0 0 --500 105 500 KF--500 500 0 0 0 55 0 2000 120 2000 2000 2000 10-50-500 500 KF-50-500 500 0 120 0 0 75 0 2000 2000 2000 2000 6
付属品 ( ) 真空フランジ mm mm P d1 d3 4-10 80 P d1 d2 d3 20 15 21.7 16.1 18 1536 20 60 80 8 27.2 21.6 24 1842 25 34.0 27.6 30 2555 25 15 21.7 16.1 18 1536 20 70 90 8 27.2 21.6 24 1842 25 34.0 27.6 30 2555 15 21.7 16.1 18 1536 20 80 105 10 27.2 21.6 24 1842 25 34.0 27.6 30 2555 50 15 21.7 16.1 18 1536 20 120 10 27.2 21.6 24 1842 25 34.0 27.6 30 2555 mm 18 mm O- ULV No.5 GF-20 80 GF-25 90 60 8 GF- 105 GF-50 120 62 10 GF-80 160 GF- 185 64 12 mm mm 1 2 45 1 2 KG KF KG-10 KF-10 NW10 30 KG-16 KF-16 80 NW16 20 20 KG-20 KF-20 NW20 KG-25 KF-25 90 NW25 25 25 KG-32 KF-32 NW32 55 105 KG- KF- NW KG-50 KF-50 75 120 NW50 50 50 ISO ISO28661 1 1974 304 mm KQ-16 NW10/16 45 61 16 22 KQ-25 NW20/25 55 75 16 32 KQ- NW32/ 70 90 16 47 KQ-50 NW50 95 123 25 62 mm KS-10 NW10 15 KS-16 NW16 20 30 16 KS-20 NW20 25 KS-25 NW25 30 KS-32 NW32 38 20 55 KS- NW 45 KS-50 NW50 56 75 mm mm O 304 304 mm d1 d2 KR-10 NW10 10 12 KR-16 NW16 16 17 KR-20 NW20 20 22 KR-25 NW25 25 26 KR-32 NW32 32 34 KR- NW 41 KR-50 NW50 50 52 mm KL-10 NW10 15 KL-16 NW16 20 30 KL-20 NW20 25 KL-25 NW25 30 KL-32 NW32 38 KL- NW 45 55 O 5 d1 d2 mm 3.9 8 mm 7
f d h d h f 付属品 ( ) 真空フランジ JIS 2290 mm g G1 G2 g S I G1 G2 S JIS 2290 mm d f g h G1 G2 S 10 17.3 70 10 8 1 38 50 4 10 M8 24 34 3 20 27.2 80 10 8 1 48 60 4 10 M8 34 44 3 25 34.0 90 10 8 1 58 70 4 10 M8 50 3 48.6 105 12 10 1 72 85 4 10 M8 55 65 3 50 60.5 120 12 10 1 88 4 10 M8 70 80 3 65 76.3 145 12 10 1 105 120 4 12 M10 85 95 3 80 89.1 160 14 12 2 120 135 4 12 M10 110 3 114.3 185 14 12 2 145 160 8 12 M10 120 130 3 125 139.8 210 14 12 2 170 185 8 12 M10 150 160 3 150 165.2 235 14 12 2 195 210 8 12 M10 175 185 3 200 216.3 300 18 16 2 252 270 8 15 M12 225 241 4.5 250 267.4 350 18 16 2 302 320 12 15 M12 275 291 4.5 300 318.5 0 18 16 2 352 370 12 15 M12 325 341 4.5 350 355.6 450 20 2 2 420 12 15 M12 380 396 4.5 0 6.4 520 20 2 458 480 12 19 M16 430 446 4.5 450 457.2 575 20 2 511 535 16 19 M16 480 504 7 500 508.0 625 22 2 561 585 16 19 M16 530 554 7 550 558.8 680 24 2 616 6 16 19 M16 585 609 7 株式会社アルバック規格品事業部 www.ulvac.co.jp 国内販売 : アルバック販売株式会社 東日本営業統括部 EL 03-5218-6011( 代 ) 西日本営業統括部 EL 06-6397-2281( 代 ) 海外販売 : 株式会社アルバック 規格品事業部 EL +81-467-89-2261 お問い合わせ 当カタログの記載内容は性能向上等の目的により 予告なしに変更することがあります 1173N-1/2013102500L