unit_1904

Microscope Components for Reflected Light pplications

System Diagram & Index P. 1 P.-9 P. 1 1 1 1 P. P.1-16 Contents P. P.1 P.1-1 P. CFI TU Plan FLUOR EPI /1 / / /1 CFI T Plan EPI 1 /. CFI L Plan EPI. / CFI TU Plan EPI ELWD / /1 CFI T Plan EPI SLWD 1 / / /1 CFI TU Plan FLUOR BD /1 / / /1 CFI TU Plan BD ELWD / /1 CFI TU Plan po EPI /1 /1 CFI TU Plan po BD /1 /1 CFI LU Plan po EPI 1 CFI LU Plan po BD 1 /1 CFI L Plan EPI CR CR/ CR/1 CR/1 CRB P.1 P.1-16

System Diagram & Index P. 1 P. P.-9 1 6. 6. 1 1 1 1 R. ø6 ø 6 9 P.-9 P. P.1-16 11 6 16 6 6-M6 6 -W/ 1 1 1 11 69. 1. 1. 11.. 6. ~ 1. P.1 19 ø.h9 +. (1) 1 6 M6 () () 6. 6 (19) 11 P.1-1 CFI TU Plan FLUOR EPI /1 / / /1 CFI T Plan EPI 1 /. CFI L Plan EPI. / CFI TU Plan EPI ELWD / /1 CFI T Plan EPI SLWD 1 / / /1 CFI TU Plan FLUOR BD /1 / / /1 CFI TU Plan BD ELWD / /1 CFI TU Plan po EPI /1 /1 CFI TU Plan po BD /1 /1 CFI LU Plan po EPI 1 CFI LU Plan po BD 1 /1 CFI L Plan EPI CR CR/ CR/1 CR/1 CRB P.1 P.1-16

-M 1±.1 1. -M6 1 1 -M ±.1 9 (~6) 6. 6 ±.1 (~) ±.1 ±.1 16.±.1 11 1 11 16. 9 ±.1 11 11 6 1 6 ø +.1.1 -ø9. ±.1. +.1 -M6 1 6±.1 1 (-R) øh +.1. øh +.1. 6±.1 1 (-R) 1 -M6. ±.1 +.1 -ø9. 1. 1 -M ±.1 6. 9 (~) 1. 1 ±.1 ±.1 -M 16.±.1 11 1±.1 9 1 ±.1 11 -M6 1 1. 6 ±.1 11 (~) 6 1 6 ø +.1.1 1 11 16. -ø9. ±.1 -M6. +.1 1 6±.1 1 (-R) øh +.1. øh +.1. 6±.1 1 (-R) 1 -M6. +.1 ±.1 -ø9. 6

-ø9 R1... 1 6 9 11 -ø () ±. 11 1-øH ( ±.1 ) 6 ±.1 -R 1 ±.1 ±.. 116 11 1 ø +.1 +. 6 R1 9 1-ø6H +.1 6 11 6 +.1. 11 ø6 ø6 1. 1.~1. 11 1 1 6. 16 1 19 1. 11 9

CFI T Plan EPI/ EPI/CFI L Plan EPI CFI TU Plan EPI ELWD M. M. M. M. M. M. M. M. (6.) W.D.=. 6 (.) 6 W.D.=1. 6 (.) W.D.=. 6 (9). W.D.=1. (1) (9). 6 (9). 6 W.D.=1. 6 6 ø. (.) 1 6 ø9 W.D.=19 ø1. ø ø W.D.=11 ø1. ø ø W.D.=. ø ø9 EPI ø1 ø9 EPI 1 ø9 ø9 EPI ø. ø ø EPI ø. ø ø EPI 1 MUE1 MUE1 MUE19 CFI TU Plan EPI ELWD CFI TU Plan EPI ELWD CFI TU Plan EPI ELWD CFI TU Plan EPI ELWD CFI TU Plan EPI ELWD 1..6. 19. 11.. 1 1..6. 1 1 1 1 1.1.. CFI TU Plan EPI ELWD 1. 1..61 1 1.... 1..61 M. M. ø9 M. ø M. CFI T Plan EPI SLWD (6.).. W.D.=. 6 (.) 6 W.D.=6. 6 (1.) W.D.=. 6 (9).6. 6 W.D.=1. M. M. M. M. ø ø1.6 ø1. ø ø16 ø ø.9 () (). () () CFI T Plan EPI 1 CFI T Plan EPI. CFI L Plan EPI. CFI L Plan EPI W.D.= 6 W.D.= 6 W.D.= 6 W.D.=1 6 MUE1 MUE11 MUE1 MUE1 MUE19 MUE11 MUE1 MUE1 MUE EPI EPI 1 EPI EPI EPI 1 CFI T Plan EPI 1 CFI T Plan EPI. CFI L Plan EPI. CFI L Plan EPI.1....9....6. 1.. 1. 1.. 6.. 1. 1 1..6 1.6...6.9.9.6 11. 1. 1. 1. 1. 16. 1. 16.. 1 1 1.. 1.1...... 1....9. 1. 1. 1..6 1 1 1.. 1.... 1. 1..6 1....9. 1. 1. 1..6 MUE11 MUE1 MUE1 MUE19 ø ø. ø9 ø CFI T Plan EPI SLWD 1 CFI T Plan EPI SLWD CFI T Plan EPI SLWD CFI T Plan EPI SLWD 1 CFI T Plan EPI SLWD 1 CFI T Plan EPI SLWD CFI T Plan EPI SLWD CFI T Plan EPI SLWD 1....6 1 1 6..6 1..6 11 1 1 ø ø1 1 1. 1.1.. 1... 1. 1 1 ø ø1. 1... 1... 1. 1 11

BD M. M. M. M. M. CFI TU Plan po EPI/CFI TU Plan po BD/ CFI LU Plan po EPI/CFI LU Plan po BD () ø.6 ø6 W.D.=1 6 () ø ø6 6 W.D.=1 (.) ø6. ø6 W.D.=. 6 (9) ø. ø W.D.=1 6 (9) ø. ø W.D.=1 6 () 1 M. 6 () M. 6 (.). M. 6 M. 6 () M. 6 BD BD 1 BD BD BD 1 W.D.= W.D.= W.D.=1. W.D.= W.D.= MUE MUE1 MUE MUE MUE9 BD BD 1 BD BD BD 1.1....9 1. 1.. 1. 1. 1 1..6 1.6.. 1 1 1 1 1.. 1.1.. 1....9. 1 1.. 1... 1....9. ø11 ø CFI TU Plan po EPI ø1 ø CFI TU Plan po EPI 1 ø1 ø ø1 CFI TU Plan po EPI 1 ø ø CFI TU Plan po BD ø ø CFI TU Plan po BD 1 M. ø ø9 ø9 CFI TU Plan BD ELWD M. M. M. M. M. M. (.) W.D.=1. 6 (9.).. W.D.=. 6 (.9). 6 W.D.=.1 (.) W.D.=. 6 ø.6 ø ø6 ø6 ø ø ø6. ø6. MUE61 MUE61 MUE619 (1) ø ø6 CFI TU Plan EPI ELWD CFI TU Plan EPI ELWD CFI TU Plan BD ELWD CFI TU Plan BD ELWD CFI TU Plan BD ELWD 1 W.D.=19 6..6. 19. 11.. (9) 1 ø ø 1..6. W.D.=11 1 1 6 1 (.) CFI TU Plan EPI ELWD 1 1.1... 1..61 ø ø 1 W.D.=. 6 1.... 1..61 MUC11 MUC119 MUC111 MUC19 MUC11 MUC1 MUC111 MUC9* MUC11* * ø CFI TU Plan po BD 1 CFI TU Plan po EPI CFI TU Plan po EPI 1 CFI TU Plan po EPI 1 CFI TU Plan po BD CFI TU Plan po BD 1 CFI TU Plan po BD 1 CFI LU Plan po EPI 1 CFI LU Plan po BD 1 CFI LU Plan po BD 1..9.9..9.9..9.9 ø CFI LU Plan po EPI 1.. 1... 1...1... 1... 1. 1.. 1.......... 1. 1. 16. 19... 1... CFI LU Plan po BD 1 * 1 1 1 1 1 1 1...1...1.1..1.9...9..... CFI LU Plan po BD 1 * 1 1 1 1 1 1 1...1...1.1..1.9...9..... 1 1

CFI L Plan EPI CR LV-UEPI/LV-UEPI 9.1 W.D.=1. 1.1 11. 1. (.) MUE MUE MUE9 MUE91 () 11 ø ø. ø9. M. ø ø1..6(cg) 6. CFI L Plan EPI CR CFI L Plan EPI CR CFI L Plan EPI CR CFI L Plan EPI 1 CR CFI L Plan EPI 1 CRB 6.1 W.D.=..1 6. 1. 1 1. (.) () ø. ø ø9 ø M. ø1 ø1. ø. ø6 ø1..6(cg) 6.. W.D.=1.1. 6. 1 1. (.) (16) 6. ø. ø ø9. M. ø11. ø19. ø. ø ø. LV-UEPI-N 1 61.(CG) 1 6 6.1 (9.). 6. W.D.=1. 6 (.) 1. 6. 1 1. (16) 6. 6 ø. ø ø. ø ø9. ø. M. ø1. ø19. ø. ø ø. CFI L Plan EPI CR CFI L Plan EPI 1 CR CFI L Plan EPI 1 CRB.... 1.9~1..9~. 1.~. 1.~. 1.... 1.6.6.. 6 6 1 1 1.1.....9.. 1 1 1.....9(CG) 6...9.. M. M. 1 9. 1. ø ø 16 6 9. 6 6 16 11 11. LV-UEPI 11 ø1 ø1 1. 1. 1 ø1 ø1 LV-UEPI 1 1 MBE6 MBN66 MBN666 1 6 MBE6 MBN66 1 MBE11 MBE11 MX MBN666 6 MBE1 MBN669 6 MX MBE1 MBN669 1 MBN669 6 MBE61 MBP61 1 MBN66 MBN66 MBN66 MX9 1 MBN669 MBE11 1 MX9 MBP61 1 1 1 1

16 1 1 1 LV-EPILED 66. 6. ø. 6 6. 9. ø6 ø1. 1 (1) 69 ø1 ø. 1 19 9.. (9) 1 (1) 69 ø1 ø. 1 19 9.. (9) ø1 1 1 19. 9.. 1 9.6.9. 1 1..9 1. ø16 1.1 ø1 1 1 19. 9.. 1 9.6 1 (1) 69 ø1 ø. 1 19 9.. (9) ø11.6 (1) 6 16 1 1 ø. 1 (9) (1) ø1. 1.1 91.. 11 1 111 Cable length: 16mm from fixed portion Cable length: 16mm from fixed portion 16 1 TI-PS1W/ 16 1 1 16 116. 1. 6 1 ø16 MBF11 MX9 MEF11 MBF11 MQF MEF11 MBF11 MQF

CF IC EPI Plan ø6 ø ø. ø6 ø ø. CF IC EPI Plan ELWD ø6 ø ø. 16.. ø6 ø ø16 ø W.D.=. 11. ø6 ø ø CF IC EPI Plan. CF IC EPI Plan CF IC EPI Plan 1 W.D.=.. 1.. C. 1. ø6 ø ø ø W.D.=16. MUL1 MUL1 MUL91 CF IC EPI Plan ELWD CF IC EPI Plan ELWD CF IC EPI Plan ELWD 1... 11... 1. ø6 ø ø ø C. C. ø ø ø. ø. ø. 1 ø1 ø W.D.=11 1 1 ø1 ø ø CF IC EPI Plan ELWD CF IC EPI Plan ELWD CF IC EPI Plan ELWD 1 1..91. W.D.=. 1 1 1 1..... 1. 1..61 ø1 ø19 ø 1 W.D.=. 1.... 1..61 ø. ø. ø. CF IC EPI Plan SLWD 6. 1. 16. 6. 6 W.D.=. 9. 6 W.D.=. ø6 ø ø. C. ø ø ø. C. ø ø ø.. ø ø ø. ø1 ø ø W.D.=.1 1. ø. ø1 ø1. ø1. ø CF IC EPI Plan CF IC EPI Plan CF IC EPI Plan 1.. ø. ø1 ø16. ø1. ø1. ø 1. ø1 ø W.D.=. 1. 1 C. ø.6 ø ø W.D.=. 1. 1. C. C. ø.6 ø ø.6 ø W.D.=1.. ø1. ø ø W.D.=. MUL1 MUL1 MUL11 MUL1 MUL1 MUL91 CF IC EPI Plan. CF IC EPI Plan CF IC EPI Plan 1 CF IC EPI Plan CF IC EPI Plan CF IC EPI Plan 1..1..6.... 16..1..... 1....9 16..6 1... 1 6 9 1 1 1 1 1... 1... 1.....9.6 1 1 1... 1... 1.....9.6 CF IC EPI Plan SLWD 1 CF IC EPI Plan SLWD CF IC EPI Plan SLWD CF IC EPI Plan SLWD 1 MUL11 MUL1 MUL1 MUL91 CF IC EPI Plan SLWD 1 CF IC EPI Plan SLWD CF IC EPI Plan SLWD CF IC EPI Plan SLWD 1.1..... 1.. 1 6.. 1.6. 11 1 1 1. 1... 1..9 1.99.1 1 1. 1... 1..9 1.99.1 1 19

CF IC EPI Plan po ø ø ø. ø9 ø6. ø ø. ø ø ø. ø ø ø. ø ø ø. CF IC EPI Plan DI ø ø ø6 ø. ø ø ø ø. MUT11 MUT111 MUT11 9.6..1 ø16 ø. ø9 CF IC EPI Plan po CF IC EPI Plan po 1 CF IC EPI Plan po 1 B W.D.=.... 1..... 6 16.. 1. ø1 ø1. ø CF IC EPI Plan po CF IC EPI Plan po 1 CF IC EPI Plan po 1 B... C1. 1 1 16 W.D.=. 1 1 1....1. 1.1 6 16.61.6. ø. ø1 ø1. ø 1 1 C1. W.D.=....1.61.6.. 6..1 MUL11 MUL1 MUL1 MUL9 ø1 ø1. ø ø6 W.D.=. CF IC EPI Plan DI 1 CF IC EPI Plan DI CF IC EPI Plan DI CF IC EPI Plan DI 1...... ø1 ø1.6 ø6.... W.D.=. 19. 9.9.. (6.6).1 (16.) 1 CF IC EPI Plan DI 1 CF IC EPI Plan DI CF IC EPI Plan DI CF IC EPI Plan DI 1.6 1..9.6. 1 1 ø1 ø ø 1 1 W.D.=.. 1... (.9). (1.) 11... 1.1.9.6. 6 1 1 ø1. ø1. ø. ø1. 1... W.D.=.. 1.1.9.6.. 1. 6 ø M. ø CO. D. 1/P=6 CF IC EPI Plan TI 1 1 6.6 6. 6.9.. ø ø 6. ø1 M...1 19 1.1 9.6 6.9 1..6 1. ø ø1 ø19. ø. 1. 9.. ø9.1. 11 W.D.=1. ø ø9 1.1 1.6 W.D.=9. 1. 16 9.9 MUL1 MUL1 CF IC EPI Plan TI. * CF IC EPI Plan TI 1 CF IC EPI Plan TI. CF IC EPI Plan TI..1 1. 9.. 16....6 16.. 16.

CM-1/CM-1L 6 -M. ø -M -M -M ø -M ø ø ø 1.6. CM-1: CM-1L:6 1-M ø CM-/CM-L 1 -M ø ø ø ø. -M ø ø 1.6 11. -M CM-1: CM-1L:6 1-M ø CM-/CM-L CM-L CM- CM-1 CM-1L (1 ) CM- CM-L (. ) CM- CM-L (1 ) CM-L (. /1 ) 1-M 6 -M 16 ø ø1. -M ø ø 1.6 1. CM-1: CM-1L:6 1-M -M ø 1 -M -M -M. 1 ø ø ø. ø ø ø 1. 16.1 1.6 6 -M 1-M ø 6. ø1 ø CM-1/CM-1L CM-/CM-L CM-/CM-L CM-L

CM- -M 66 M6. -M ø ø 1 ø 9.6 ø ø 16 ø ø -M 9. ø W.D. 1.6 1. 16 1-M ø ø(ø) -M ø ø ø M6. M6. M6.. 1 16 ø 6. 16 CM- ø.. 99.6 16 9 M. C. ø6 f -. -. 1 ~ 1. 11. 1 1 ø ø M6. M6. M6. ø ø. 11. 16 ø 1.1 11. 16 1 ø.1 19. 16 MQD ø ø6 ø 1 6. 1 MQD ø 1. 16. 16. 1 1 1 1. 66... 1.9..1..9.1.... 9...9 6 16. 6. 16. 1. 1.1.9.1. ø ø6 1 1 1 6 6

% 1. % 1. 19. 6. 1. ø6 ø 9 1. 6.6 66 1 ø ø9 96.. 11 1 9.. 9. 1 1 6 ø1 6 6 ø1.... 6.. nm... 6.. nm ø9 mm 1mm mm 169.6 (19.6~199.6) 1 (~) 1 1. (9.6~19.) 1 (1 ~ ). ø ø 6 6. 19 9 19. (1.~1.). 91 11. 16 MBN66 MBN666 MBN66 1 6 1 1.. 1.. ø ø1 ø ø9 6. ø ø ø ø1 9. 1 ø ø ø.. ø9 ø ø ø1 MBB6 MBB61 MBB916 MBB911 MBB9 MBB916 MBB96 MBB1 MBB1 6 1 1 6 1 1 1 / / / / 1 ~ 1 ~ 1:/:1 1:/: 1:/:1 1:/:/:1 ~mm ~mm ~mm ~mm ~mm ~mm

ø. 1 1 E.P ø ø ø9 LV-1 ESD E.P ø 1.1. 1 1.. E.P ø ø ø9 CFI 1 ø E.P ø. ø CFWN 1 ø. 1. 1. 1. 1 ø ø. ø CFWN 1 ø. 1.1 1.. 1. 1 ø ø9 ø ø. ø. ø ø. ø CFI 1 CM CFI 1 CM CFI 1. CFWN 1 M CFWN 1 CM ø E.P 1 ø E.P.. 1. 1. ø ø. CFI 1 ø ø9 CFI UW1 MBJ61 MK111 MK11 LV-1 ESD () CFI 1 () CFI 1 CM () MK11 MK11 MK1 CFI 1. (16) CFI 1 (1.) CFI UW1 () 6 1 MBJ1 MBJ1 MBJ11 CFWN 1 () CFWN 1 (1) CFWN 1 M () MBJ1 MX1 CFWN 1 CM () 9

1 1.6 11. ø ø. 61. 6. ø ø6. 6. ø6 ø 91.. 1.6 ø. ø1 ø. 11 1 ø.1 ø ø.. 1.1 1.6 ø.1 ø ø. 116. 1.6 ø.1 ø.. 1.6 1 ø ø ø. 1. ø ø 1 11 ø ø ø. 1. 1. 1.6 ø. ø ø 1. 1. ø6 9 1 1. ø ø ø ø6. 119. 1 n=1 6.mm.mm 11.mm.mm 6.mm.mm.6mm.mm 6.6mm.1.6. 9....6 6. 6.

1-69 -1-C www.nikon.co.jp/ 1-69 -1- C ()6-9