Title 室 温 低 周 波 (50Hz) プラズマCVD 法 によるアモルフ ァスカーボン 膜 の 作 成 と 評 価 Author(s) 下 妻, 光 夫 ; 田 頭, 博 昭 Citation 北 海 道 大 学 医 療 技 術 短 期 大 学 部 紀 要, 1: 73-83 Issue Date 1988-10 DOI Doc URLhttp://hdl.handle.net/2115/37493 Right Type bulletin (article) Additional Information File Information 1_73-84.pdf Instructions for use Hokkaido University Collection of Scholarly and