学位論文題目 Title 氏名 Author 専攻分野 Degree 学位授与の日付 Date of Degree Resource Type 報告番号 Report Number URL Kobe University Repository : Thesis 有機強誘電体薄膜の構造 配向制御および焦電デバイス応用に関する研究 黒田, 雄介 博士 ( 工学 ) 2013-03-25 Thesis or Dissertation / 学位論文 甲 5765 http://www.lib.kobe-u.ac.jp/handle_gakui/d1005765 当コンテンツは神戸大学の学術成果です 無断複製 不正使用等を禁じます 著作権法で認められている範囲内で 適切にご利用ください Create Date: 2016-07-19
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薄膜であることを明らかとした また摩擦転写条件を調整し作製した 200~300nm の厚
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低い膜であるが 融点近傍 (1 200C~1400C 程度 ) にて熱処理することで 結晶化が進行
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行な方 I~I に回折する X 線を測定するため X 線照射面積が大きくなり 基板の回折の
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は 摩擦転写法により強誘電性発現に有利となる構造や配 r~ij の制御は閃難であった し
せるために 六方晶相をとる Tc~Tm の温度域で熱処理結晶化を行う 六方晶相では分子 知られている そのため 摩擦転写においても九 ~Tm の温度領域が重要であると考えら (a) に示す 基板温度が Tc~Tm の聞である 130 oc においては 図 3.12(c)~ に示すように 針状の結晶が観察されるようになる P(VDF/TrFE) の摩擦転写では Tc~Tm の間での成膜が重要であると考えられ 本研究で
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マ一成分が I 型を示す報告を参考に VDF オリゴ マーの 113~133K での低温基板上へ
た柱状晶を形成する場合が多い 有機物の場合は 金属 無機結晶の格子定数が O.5~O.6
(a)~(c) に示す また 基
オリゴマー結晶であるが 摩擦転写方向の厚さは 20~30
(m~ r.:=-~ ~
面に垂直に成長している様子が観察された 厚さは約 3~4 分子長である この厚みは
T+~T
であるのに対し P(VDF 庁 rfe) はー 20~-50μC/m 2 K 8 )-Il) と報告されている 本研究で使用 結果より -35~-45μC/m 2 K と見積もられた 焦電係数としては VDF オリゴ マーを用いる
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単純な熱モデ ルおよび熱等価回路を図に示す 入射赤外光エネルギ ~W に対し 素子の ~
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