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目次 1. M シリーズ仕様 製品仕様 機械仕様 ( 接続口径と圧力損失 ) 外形寸法図 M-0.5SCCM ~ 50SCCM M-100SCCM ~ 20SLPM M

スロットルチェック弁 RJ 27536/ /8 形式 Z2FS サイズ 25 シリーズ 3X 定格圧力 35 MPa 定格流量 360 l/min tb0222 目次 内容 ページ 特長 1 形式表示 2 シンボル 2 機能 断面図 3 仕様 4 性能線図 5 外形寸法 6 入手可能なス

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電磁操作弁付リリーフ弁 JIS 油圧図記号 次頁参照 特長 騒音特性を向上させた低騒音形です 電磁操作弁の切り換えによって 回路のアンロード 及び 2 圧 3 圧制御が可能です 広範囲の流量域で安定した圧力制御を行います ハイベント形のオプションを用意しています 形式記号説明 -JRSS-G - -

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品 名 ホロコーンパターンノズル ホロコーンノズル 単孔式 KSC 多孔式 KSC ー, ホロコーンアトマイジングノズル QC ノズル 単孔式 多孔式 型 KSN 式 KSWC ー QC ー T, KSWC ー QC KSFC ー, KSWC ー QC ー EE C. C.5 C.7 ホロコーンパタ

マノスターゲージ Pa kpa 差圧式ダイヤフラム空気および非腐食性ガス ( 液体は不可 ) 約 70-10~+50 ( ただし氷結しないこと ) 90% RH 以下 ( ただし結露しないこと ) 50kPa(p.102 参照 ) ポリカーボネートおよびポリアミド 5 ~10

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INFORMATION

INFORMATION

F R L ユニット ( エアフィルタ + レギュレータ + ルブリケータ ) 8A 二次圧力 MPa 0.7 0.6 0.5 0.1 0.5 設定圧力 0.6MPa 一次圧力 0.7MPa 0 10A 0.7 二次圧力 MPa 0.6 0.5 0.1 0 15A 二次圧力 MPa 0.7 0.6 0.5 0.1 0.5 500 1000 1500 00 流量 /min 500 ( ANR ) 一次圧力 0.7MPa 設定圧力 0.6MPa 500 1000 1500 00 2500 3000 流量 /min ( ANR ) 0.5 一次圧力 0.7MPa 設定圧力 0.6MPa φ φ8 0 500 1000 1500 00 2500 3000 流量 /min ( ANR )

8A 10A 二次圧力 MPa 流量 /min ( ANR ) 15A 二次圧力 MPa 流量 /min ( ANR ) φ φ φ A φ φ 25A

F R L ユニット ( エアフィルタ + レギュレータ + ルブリケータ ) φ φ φ

8A φ φ 10A φ P L ユニット ( フィルタ付レギュレータ + ルブリケータ ) φ φ8

フィルタ付レギュレータ φ φ8

F R L ユニット φ φ φ φ

エアフィルタ 特徴 φ φ8

F R L ユニット φ φ φ φ

レギュレータ 8A 10A 15A

8A 0.6 一次圧力 0.7MPa 0.5 二次圧力 MPa 10A 二次圧力 MPa 0.1 0 0.6 0.5 0.1 設定圧力 0.5MPa 0.1 500 1000 1500 00 2500 3000 3500 流量 /min ( ANR ) 一次圧力 0.7MPa 設定圧力 0.5MPa 0.1 15A 0 0.6 0.5 500 1000 1500 00 2500 3000 3500 流量 /min ( ANR ) 設定圧力 0.5MPa 一次圧力 0.7MPa φ φ φ 二次圧力 MPa A 二次圧力 MPa 25A 0.1 0 0.6 0.5 0.1 0 0.6 1000 3000 00 4000 5000 流量 /min ( ANR ) 0.1 設定圧力 0.5MPa 0.1 00 4000 6000 8000 10000 100 14000 流量 /min ( ANR ) 一次圧力 0.7MPa 一次圧力 0.7MPa 二次圧力 MPa 0.5 0.1 0 設定圧力 0.5MPa 0.1 00 4000 6000 8000 10000 100 14000 流量 /min ( ANR ) φ φ

手元減圧弁 φ

精密レギュレータ φ 2K φ φ 4K

ルブリケータ 型 番 BN-23T5 BN-2301A BN-2301 BN-2350 BN-23T 呼 径 φ φ

φ

ユニット レギュレータ付属品 各種レギュレータ ユニット用 φ φ φ φ φ φ φ 茶 (+) 青 (-) BN-25T5 BN-25T6 32 3.5 34 10 2 - M4 30 2 - φ5.5 40 26 4 7 16 8 93 φ2 貫通 10 7 46.5 O リング 25 30 30 7 23 BN-25T5 BN-25T6 2 - φ4.2 貫通 φ9 φ5.5 8 4 5 32 40 26 4 7 16 8 34 30 10 2 - φ5.5 10 7 25 30 30 7 23 R6

デジタル圧力計 g 圧力計本体 30 21.8 37 二面巾 12 M5 0.8 M3 0.5 30 SET MPa R1/8 大気放出ポート 取付金具 (BT - 5) 取付金具 (BT - 6) φ4 M3 0.5 a 前面カバー (FPC - 2) b パネルアダプタ (PA -3) c パネルアダプタ (PA - 4) 34.4 8.5 34.4 4 33 3 取付イメージ a b t 4.5mm 31 c 31 34.4 34.4 33 3 8 5 4.2 13 M3 0.5 4.2 45 φ4 5 29.5 1.6 13 BT - 5 45 BT - 6 1.6 29.5

スピードコントローラ ラインチェック弁 2 - d 2 - d φd L S L S φ

サイレンサ g φ g φ φ g φ

フロースイッチ 流量が設定値以下の時の接点位置 NC COM NO φ 流量が設定値以下の時の接点位置 NC COM NO G1/2 φ BN-1321 10A 15A 水圧 0.1MPa 最大流量 35 l/min BN-1321L 10A 15A 水圧 0.1MPa 最大流量 17 l/min 0 BN-1311 A BN-1311 25A BN-1311 40A 水圧 0.1MPa 水圧 0.1MPa 水圧 0.1MPa 300 800 流量 l/min 10 増加時動作点減少時動作点 0 1 2 3 4 5 6 7 調節ネジ回転数 流量 l/min 8 6 4 2 0 増加時動作点 減少時動作点 1 2 3 4 5 調節ネジ回転数 流量 l/min 150 100 50 0 最大流量 増加時動作点 減少時動作点 流量 l/min 0 100 最大流量 増加時動作点 減少時動作点 1 2 3 4 0 1 2 3 4 0 1 2 3 4 弁開度目盛 弁開度目盛 弁開度目盛 流量 l/min 600 400 0 最大流量 増加時動作点 減少時動作点

圧力スイッチ 圧力が設定値以下の時の接点位置 NC COM NO 茶 (+) 青 (-) 足踏スイッチ NC COM NO φ 62

手動切替バルブ 4 -φh OUT2 2 4 -φh OUT2 2 R B2 F EX IN R R OUT1 G B1 1 4 - d H T H1 B2 F OUT1 G B1 1 4 - d L L1 L L1 4 -φh OUT2 2 EX R R OUT1 G B1 1 H T H1 H EX IN R 4 -φh OUT2 2 B2 F IN B2 R R 1 M38 1.5 H 10 F 八角形 54 50 EX 1 O1 O2 2 IN EX OUT1 G B1 6 59 4 - d φp L L1 T 4 - d φp L L1 T

手動切替バルブ 2 1 B A R1 P R2 21 21.5 A B 3 - Rc1/4 2 - φ4.2 φ18 24 R1 P R1 22 2 - Rc1/8 1 2 95 35 3 30 32 5 - Rc3/8 A B 47 10.5 φ18 2 - φ4.5 24 R1 P R1 26 34 1 2 22.3 30 106 37 46.4 18 18 14 77 67 26 26 21 101.5 114

足踏切替バルブ 1 3 方向 4 方向 O IN E 保持機構 ロック機構は ペダルを一度踏むとペダルが踏まれた状態を保持し もう一度ペダルを踏むと解除されます O2 O1 IN E 137 EX Rc1/8 14.5 EX Rc1/8 14.5 IN 179 IN OUT2 OUT1 OUT 53 3 - Rc1/4 21 2 - Rc1/4 ドレントラップ φ100 二面巾 30 Rc1/2 φ105 二面巾 32 Rc1/2 φ178 NPT3/4 132 148 1 221 216 40 16 83 21 164 114 22 64 28 80 48.5 64 62 2 - M5 NPT1/4 G1/4 G1/4

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