摩擦 摩擦をなくすと 僅かな推力も 細かな推力も フィードバックがなくても 制御可能 推力 LBC シリーズ アライメント LBC-R シリーズ 特定要素を極め 材料 多孔質を使うと 全面吸着で 浮かして 搬送可能 吸着 PVP シリーズ 吸着 PVP-B シリーズ エアファイバ 形状 浮上 GFM

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1 THE K I W A M I Components Report ❶ CC

2 摩擦 摩擦をなくすと 僅かな推力も 細かな推力も フィードバックがなくても 制御可能 推力 LBC シリーズ アライメント LBC-R シリーズ 特定要素を極め 材料 多孔質を使うと 全面吸着で 浮かして 搬送可能 吸着 PVP シリーズ 吸着 PVP-B シリーズ エアファイバ 形状 浮上 GFM シリーズ

3 摩擦が一定になると スティックスリップが少ない 推力変動が少ない 摩擦 微速シリンダ SSD2 シリーズ LCR シリーズ STR2 シリーズ SMG シリーズ GRC シリーズ る にこだわります 磁力を使うと 推力が一定 メンテナンスフリー 磁石 FSM-X バッファ FBU2 シリーズ ピックアップ ( バッファ ) AFB-P シリーズ 小形化で 限られたスペースにも取付可能 バッファ & 回転アライメント AFB-RB シリーズ

4 摩擦をなくすと LBC Series 非接触エアベアリング機構を採用した 摺動抵抗ゼロの空気静圧式ソフトアクチュエータ 高精度リニア制御 摺動抵抗がゼロのため 電空レギュレータ (EV-FL) 使用により 荷重の高精度リニア制御ができます ソフトタッチ 微小 0.01N から荷重をコントロールできるため 対象ワークへのソフトタッチが可能 衝撃を与えず 傷もつけません 最適荷重をコントロール 目的 用途に合わせた ベストな荷重をワークに与えることができます 電空レギュレータ ( E V ) との組合せにより 繊細で精密な荷重コントロールを実現します エアベアリングにおけるロッドの求心作用エアの流れブッシュブッシュロッドロッド接触による摺動抵抗 f エアベアリングメタルシール エアベアリングとメタルシールとの摺動抵抗比較 1 摺動抵抗 f(n) 推力 (N) メタルシール エアベアリング 30 仕様 項目 LBC-01 LBC-05 LBC-30 使用流体 圧縮空気 (0.3 μ m フィルタ使用 油分水分不可 ) 使用圧力 ( M P a ) エアベアリングポート 推力ポート 推力範囲 ( N ) 用途例 フィルムのテンションコントロール コイルの巻線におけるテンションコントロール LBC 巻線 ローラ LBC フィルム 3

5 摩擦 ウェハーの洗浄 ( スクラバー洗浄機用 ) チップ部品の組み付け ( ボンディング装置用 ) LBC LBC チップ部品 ウェハー 半導体部品の研磨仕上げ レンズの研磨仕上げ LBC LBC レンズ ポリッシャー チップ部品 研磨ヘッド 表面走査の計測プローブ 半導体テスターの針先高さ検出 レーザー変位計ヘッド部 LBC ウェハー ( チップ ) ウェハーチャック プローブピン 試料表面 LBC 4

6 摩擦をなくすと LBC-R Series 摩擦 平行調整を可能にするエアジャイロ 高精度な平行出し 調整の自動化 工数削減に威力を発揮します " 倣い " で一発平行調整 平行にしたい面同士を押しあてれば 数秒で倣い調整が完了 自動化も可能です ( 弊社試験条件にて ) 職人技に頼らない高精度 " 倣い " " 倣い " は エア加圧により球面ベースを浮上させて行なう 球面静圧軸受け方式 摩擦 磨耗がなく高精度の平行調整 ( 平行度 2μm) を支えます 押しあてるだけで対象面を平行調整 基準面回転中心 ベース 倣い面球面静圧軸受け部 加圧 加圧加圧真空真空エア浮上押し付け倣い動作角度保持調整完了空気圧で姿勢を保持 用途例 フリップチップボンダ圧着ヘッドの角度調整 バンプレベラー加圧ヘッドの角度調整 LBC-R 加圧ヘッド IC チップ IC チップ 基板 OK 圧着治具 ハンダバンプ ハンダバンプ 治具 NG 基板 ラミネータ装置 IC チップ FPD パネルの貼り合せ LBC-R CMOS パッケージ組立カメラモジュール組立 液晶パネル 有機 EL パネル カバーガラス接着セラミック基板 CMOS センサ吸着ヘッド CMOS パッケージ レンズユニット接着 CMOS パッケージ レンズユニット LBC-R 治具 LBC-R 5

7 スムーズ & スロー 微速シリンダ Series 摩擦 特殊な摺動機構により スティックスリップのない滑らかな低速作動を実現 1mm/sec までの超低速 スティックスリップなどがなく 速度も安定 両端部でもソフト作動 立上がりも終端も滑らかな作動 停止 スピー普通シリンダ シリンダの速度目安 微速シリンダ 0 ドストローク コンパクト設計 全機種すべて 標準形番製品と同一寸法 遅 1mm/sec 微速シリンダ 10mm/sec 低速シリンダ 50mm/sec 普通シリンダ 1000mm/sec 高速シリンダ 3000mm/sec 超高速シリンダ 速 商品体系 ペンシルシリンダ SCPD3-F スーパーコンパクトシリンダ SSD2-F 小形ダイレクトシリンダ MDC2-F テーブル形ロータリアクチェエータ GRC-F 小形コンパクトシリンダ MSD-F リニアスライドシリンダ LCR-F スーパーツインロッドシリンダ STR2-F スーパーマウントシリンダ SMG-F 用途例 ラビング装置レンズ ( ガラス ) 研磨 ( 押圧一定制御 ) 微速シリンダをリフターとして使用作業テーブルからガラス基板をゆっくり持ち上げ静電気の発生を防止する 微速シリンダ 研磨治具 レンズ ( ガラス ) 微速シリンダ 6

8 し圧(スプリング式バッファ押N )Fine Buffer FBU2 Series 磁石の吸引力を利用した 従来にないまったく新しい緩衝ユニットです ソフトな接触と安定した押し圧により 対象ワークの損傷を解消します 微小デバイス 壊れやすいワークのダメージレスハンドリングに最適です 押し圧一定 可動軸 固定軸に組み込まれた磁石がずれると斜め方向の磁力線が発生し 軸方向分の力が戻ろうとする力を発生します 小形 軽量 (FBU2 シリーズ ) 構成部品が 可動部 固定部と 2 パーツのみ そのため 小形 超軽量化 ( 5 g 以下 ) が可能になりました また可動部の質量も少なく ワークへのソフトタッチ ショック低減が可能になります 用途多彩 真空吸着による部品のピック & プレイス 搬送 移送をはじめ ワークの押し当て 部品の挿入など 多彩な使い方が可能です 押し圧特性 押し圧(N ローク ( m m ) 初期作動時 100 万回作動後 スプリング式バッファ ロングライフメンテナンス N ファインバッファファインバッファ)スト 1.0N フリー N N 0.2N 0.2N ストローク ( m m )( 当社寿命試験による ) クリーン & ロングライフ 従来の金属バネ式に比べ 金属接触がなく可動接触面積も微小なため 発塵量が極少 しかも推力は磁力により発生しているため金属バネのような疲労が無く高寿命かつ性能も安定しています 小形 軽量 可動軸 磁石 固定軸 用途例 固定部 可動部 積層搬送 チップ検査装置 FBU2 FBU2 プリント基板 フレキ基板搬送 電子デバイス吸着搬送 FBU2 FBU2 7

9 磁石 バリエーション 外径 軸受精度 押し圧 (N) ストローク (mm) テールピース形状ヘッドピース形状 穴なし M3 M4 M5 M6 穴なし M3 M4 M5 M6 軽量タイプ FBU2-7 標準タイプ FBU2-12 φ7 h7 M φ12 h7 M12 1 S 標準 H 高精度型 HV 内部流路式高精度型 S 標準 H 高精度型 HV 内部流路式高精度型 汎用タイプ FBU2-SU M12 1 標準のみ アクティブファインバッファ AFB Series 磁石 空圧シリンダ駆動ファインバッファ AFB-P Series オールインワンで多連ヘッドを小型 軽量に シリンダ スリム ソフト ファインバッファ エアシリンダ シリンダスイッチ を一体化 省スペースで薄型 狭ピッチのマニホールド化が可能 ファインバッファ内臓で 低発塵 長寿命 押し圧一定 ソフトタッチを実現 三位 一体 モータ駆動ファインバッファ シリンダスイッチ ファインバッファ 特注対応品 詳細はお問い合わせください AFB-RB Series モータとファインバッファを一体化し 回転とバッファ動作を行います オールインワンで多連ヘッドを小型軽量に ステッピングモータ 真空ポートボディ前面にポート配管 ロッド先端でワーク真空吸着 ファインバッファ ( 磁気ばね緩衝機構 ) 磁気ばねでストローク中の押圧一定 ガイドブッシュボールガイドブッシュで軸振れを高精度に抑制 小形 狭ピッチ配置 ファインバッファ内蔵で 低発塵 長寿命 押し圧 一定 ソフトタッチを実現 回転アライメント バッファ動作 コンパクトに設置可能 P&P 中の回転アライメント 8

10 エアファイバ UP/EH/PG/CG Series 形状 エアファイバ UP/EH Series 省エネ 省スペース 外径 φ1.8 内径 φ1.2 の極細サイズ 配管スペースを大幅に削減できます また チューブ 配管の容積が小さく 省エネルギーにもなります エアファイバ φ 本 :80mm 2 従来品 φ 本 :253mm 2 従来品 φ 本 :396mm 2 静電気やホコリの付着防止 エアファイバ (UP シリーズ ) は 帯電防止対策が施してあり 静電気やホコリの付着を防ぎます エアファイバ用ワンタッチ継手 PG/CG Series ワンタッチ着脱 継手のプッシュリングを押しながら チューブを挿入または抜くだけで着脱可能 従来に比べて容易になりました また 樹脂材料はポリプロピレン (PP) 樹脂を標準採用して 耐食性を上げました バリエーション 機種 バリエーション シリーズ チューブ材質 色 エアファイバ 標準仕様 クリーン仕様 UP Series EH Series ウレタン ( 帯電防止 ) 特殊ポリオレフィン 7 色 2 色 バリエーション シリーズ 材質 バリエーション ワンタッチ継手 標準仕様 クリーン仕様 PG Series CG Series 黄銅 + 無電解ニッケルメッキ PP ステンレス ( 禁油 ) P P 10 タイプ 16 種類 6 タイプ 11 種類 9

11 超小形流量スイッチ ( 空気 N2 用 ) ラピフロー FSM-X Series 形状 超小形 最薄 8 mm ヘッド分離でさらに省スペース!! 半導体微少チップの吸脱着確認 ( フィルタの目詰り ノズルのツブレ検知も可能 ) 超小形 軽量 センサヘッド分離で省エネスペース センサヘッド単体で従来体積比 48% 減 業界最軽量の質量 4g 業界最薄クラスの幅 8mm を実現いたしました センサヘッド単品対応 センサヘッド単品 ( 継手なし ) での対応が可能になりました 豊富な流量レンジ 双方向流れ :± 0.5 ±1 ± 5 ±10L/min 片方向流れ : L/min の全 8 種類を用意いたしました 超小形形状ながら大流量 (10L/min) まで使用可能です 用途例チップマウンター 双方向の流量測定が可能 双方向での流量検知に加え 片方向タイプも対応 概要 装置組込用に機能を絞込み さらに小形 軽量化を図りました 測定部直近の可動部先端への取付が可能となり システムとしての応答性改善に貢献します また 双方向検出が可能で幅広い分野で付加価値の高い機能を提供します ペットボトルの漏れ検査 FSM-X マルチプルヘッド FSM-X パーツフィーダ x z y PCB コレットノズルによる吸着確認 バルブ真空源 コレットノズル FSM-X インラインフィルター ワーク 10

12 精密吸着プレート PVP Series CKD 独自の気孔率 40% フッ素樹脂焼結多孔質を採用 極薄材料や軟材質でも ワークを傷めず 吸着による歪みや変形も解消 高精度 高難度工程に威力を発揮 高精度なワーク処理 吸着面の平面度 :2μm 平行度:5μm (R C-50 S の仕様値です ) ワーク固定精度が高く 高精度なワーク処理が可能です 吸着力が大きい 気孔率が 40% もあり 大きい吸着力で全面吸着が可能 大きい吸着力でも極薄ワークの吸引変形がありません フッ素樹脂多孔質 フッ素樹脂多孔質 多孔質含浸エポキシール 真空ポート アルミベース 黒色多孔質 ワークを傷めない 吸着面の硬度はショア D60 ソフトな接触でワークを傷つけません 反射しない ( 黒色多孔質 ) 従来の白色多孔質では反射により不可能だった検査工程も 黒色の採用により可能にしました プレート形状は思いのまま プレート形状は標準 3 タイプをご用意 さらにお客様のご要望に合わせて思いのままの形状にカスタマイズいたします 標準タイプ 真空ポート M5 形状特注タイプ例 PVP-R 1 ドーナッツ形 PVP-C 2 丸形 PVP-S 3 四角形 ディスクなど 半導体 シリコンウェハーなど プラスチック基板など ウェハー型 ロボットハンド用途 多点吸着型 形状特注タイプにつきましては 弊社までお問い合わせください 11

13 材料 用途例 フィルムの貼り合わせ 剥離 ロボットハンド PVP PVP 検査工程 液晶ガラス張り合わせ工程 カラーフィルター PVP PVP ガラス基板 フィルム基板搬送工程 太陽電池製造工程 太陽電池セル フィルム基板 PVP PVP 12

14 フロートスター GFM Series ライン革命品質 歩留まり向上に貢献 非接触 クリーン ダメージレス搬送が一段と進化した 最新の CKD 浮上システム フロートスター GFM シリーズ 新素材の採用により エア消費量の大幅削減 静電気 & パーティクル発生の抑制で 高品質な浮上システムを実現します ガラス基板などの搬送から プロセス 製品検査に至るまで 基板の浮上用途 高精度浮上に対応します ラフ搬送に最適 高浮上レール GFM-T Series アライメント工程に最適 アライメント浮上パッド GFM-A 精度の高い搬送やロ - ダ - アンロ - ダ - に最適 浮上レール ( 標準タイプ ) GFM-RS Series 搬送工程に最適 浮上レール ( 汎用タイプ ) GFM-RF Series 各種プロセスに最適 精密浮上ステージ GFM-P 13

15 材料 非接触で安定した高精度浮上 新素材多孔質の採用により 安定した浮上が実現し あわせて空気消費量が低減しました (GFM-T を除く ) 高感度検査に最適 ブラックボディの採用により 乱反射がなく ワークの視認性がアップします ワークへの帯電を防止 帯電防止の新素材によって静電気を抑制します (GFM-T を除く ) 豊富なアプリケーション 浮上に最適な空気圧機器を提案いたします クラス 10 レベルを実現 新素材多孔質により浮上エアのパーティクルを抑制 GFM シリーズの当社テストによる JIS B 9920 のクラス 4 相当であり 測定値には 0.5 μ m 以上の粒径も含まれます (GFM-T を除く ) バリエーション 機種バリエーション 主用途浮上量 [ μ m] 空気消費量 l /min(abs)(0.1mpa 時 ) GFM-A 位置決め 2 10μm 以上 3 10 GFM-T Series ラフ搬送 2 250μm 以上 100 以下 GFM-RF Series 搬送 2 250μm 以上 GFM-RF Series ロ - ダ - アンロ - ダ μm 以上 GFM-P 各種プロセス 3 30μm 以上 空気消費量の目安とお考えください 2 浮上量の目安とお考えください 3 正圧 負圧流量の組合わせで 数値が変わります 14

16 お問合せはお近くの営業所へどうぞ 東北 北上営業所 岩手県北上市諏訪町 TEL(0197) FAX(0197) 仙台営業所 宮城県仙台市泉区泉中央 4 丁目 1-5(SAKAE 泉中央ビル 401) TEL(022) FAX(022) 山形営業所 山形県山形市清住町 TEL(023) FAX(023) 郡山出張所 福島県郡山市町東一丁目 35( メイプルコート 1-A) TEL(022) FAX(022) 北関東 さいたま営業所 埼玉県さいたま市北区宮原町 ( 杉ビル 6 5 階 ) TEL(048) FAX(048) 茨城営業所 茨城県土浦市卸町 1-1-1( 関鉄つくばビル 4 階 C) TEL(029) FAX(029) 宇都宮営業所 栃木県宇都宮市東宿郷 3-1-7(NBF 宇都宮ビル 3 階 ) TEL(028) FAX(028) 太田営業所 群馬県太田市内ケ島町 946-2( 大槻商事ビル 1 階 ) TEL(0276) FAX(0276) 南関東 東京営業所 東京都港区芝大門 2 丁目 1 番 16 号 ( 芝大門 MFビル 8 階 ) TEL(03) FAX(03) 立川営業所 東京都立川市錦町 ( 朝日生命立川錦町ビル 3 階 ) TEL(042) FAX(042) 千葉営業所 千葉県船橋市前原西 ( 朝日生命津田沼ビル 5 階 ) TEL(047) FAX(047) 横浜営業所 神奈川県横浜市港北区新横浜 (HF 新横浜ビルディング 4 階 ) TEL(045) FAX(045) 厚木営業所 神奈川県厚木市愛甲東一丁目 22 番 6 号 TEL(046) FAX(046) 甲府営業所 山梨県中巨摩郡昭和町清水新居 1509 TEL(055) FAX(055) 東日本支店 東京都港区浜松町 ( 文化放送メディアプラス 4 階 ) TEL(03) FAX(03) 北陸 信越 長岡営業所 新潟県長岡市柏町 ( 高野不動産ビル 2 階 ) TEL(0258) FAX(0258) 松本営業所 長野県松本市大字島立 399-1( 滴水ビル 4 階 ) TEL(0263) FAX(0263) 富山営業所 富山県富山市上袋 TEL(076) FAX(076) 金沢営業所 石川県金沢市駅西本町 TEL(076) FAX(076) 東海 名古屋営業所 愛知県名古屋市中区栄一丁目 12 番 17 号 TEL(052) FAX( 052) 小牧営業所 愛知県小牧市応時 TEL(0568) FAX(0568) 豊田営業所 愛知県豊田市広田町広田 103 TEL(0565) FAX(0565) 三河営業所 愛知県豊田市広田町広田 103 TEL(0565) FAX(0565) 静岡営業所 静岡県静岡市駿河区宮竹 TEL(054) FAX(054) 浜松営業所 静岡県浜松市東区和田町 438 TEL(053) FAX(053) 四日市営業所 三重県四日市市小牧町字高山 2800 TEL(059) FAX(059) 中日本支店 愛知県小牧市応時 TEL(0568) FAX(0568) 関西 大阪営業所 大阪府大阪市西区土佐堀 TEL(06) FAX(06) 大阪東営業所 大阪府守口市京阪本通 1-2-3( 損保ジャパン日本興亜守口ビル 6 階 ) TEL(06) FAX(06) 滋賀営業所 滋賀県守山市浮気町字中ノ町 ( 第 2 小島ビル 4 階 ) TEL(077) FAX(077) 京都営業所 京都府京都市伏見区竹田段川原町 241 TEL(075) FAX(075) 奈良営業所 奈良県大和郡山市筒井町 ( オッシェム ロジナ 1 階 ) TEL(0743) FAX(0743) 神戸営業所 兵庫県明石市松の内 2-6-8( 西明石スポットビル 3 階 ) TEL(078) FAX(078) 西日本支店 大阪府大阪市西区土佐堀 TEL(06) FAX(06) 中国 広島営業所 広島県広島市中区三川町 2 番 6 号 ( くれしん広島ビル 3 階 ) TEL(082) FAX(082) 岡山営業所 岡山県岡山市北区柳町 2 丁目 6 番 25 号 ( 朝日生命岡山柳町ビル 10 階 ) TEL(086) FAX(086) 山口営業所 山口県防府市駅南町 6-25 TEL(0835) FAX(0835) 四国 高松営業所 香川県高松市伏石町 TEL(087) FAX(087) 松山営業所 愛媛県松山市竹原 ( サンライト竹原 1 階 ) TEL(089) FAX(089) 九州 福岡営業所 福岡県福岡市博多区博多駅東 ( アスティア博多ビル 5 階 ) TEL(092) FAX(092) 北九州営業所 福岡県北九州市小倉北区紺屋町 12-4( 三井生命北九州小倉ビル 8 階 ) TEL(093) FAX(093) 熊本営業所 熊本県菊池郡菊陽町久保田 TEL(096) FAX(096) 本社 本社 工場 愛知県小牧市応時 TEL(0568) FAX(0568) 営業本部 愛知県小牧市応時 TEL(0568) FAX(0568) 海外営業統括部 愛知県小牧市応時 TEL(0568) FAX(0568) お客様技術相談窓口 フリーアクセス 受付時間 9:00~12:00/13:00~17:00 ( 土日 休日除く ) Website U.S.A. 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Gatot Subroto Kav , Pancoran, Jakarta 12870, Indonesia PHONE FAX SURABAYA OFFICE Vietnam CKD VIETNAM ENGINEERING CO.,LTD. 18th Floor, CMC Tower, Duy Tan Street, Cau Giay District, Hanoi, Vietnam PHONE FAX Taiwan 台湾喜開理股有限公司 TAIWAN CKD CORPORATION 16F-3, No. 7, Sec. 3, New Taipei Blvd., Xinzhuang Dist., New Taipei City 242, Taiwan PHONE +886-(0) FAX +886-(0) 新竹営業所 (HSINCHU OFFICE) 台中営業所 (TAICHUNG OFFICE) 台南営業所 (TAINAN OFFICE) China 喜開理 ( 上海 ) 機器有限公司 CKD(SHANGHAI)CORPORATION 営業部 / 上海浦西事務所 (SALES HEADQUARTERS / SHANGHAI PUXI OFFICE) Room 601, 6th Floor, Yuanzhongkeyan Building, No Hongmei Road, Xinhui District, Shanghai , China PHONE +86-(0) FAX +86-(0) 上海浦東事務所 (SHANGHAI PUDONG OFFICE) 無錫事務所 (WUXI OFFICE) 杭州事務所 (HANGZHOU OFFICE) 寧波事務所 (NINGBO OFFICE) 南京事務所 (NANJING OFFICE) 蘇州事務所 (SUZHOU OFFICE) 昆山事務所 (KUNSHAN OFFICE) 北京事務所 (BEIJING OFFICE) 天津事務所 (TIANJIN OFFICE) 長春事務所 (CHANGCHUN OFFICE) 大連事務所 (DALIAN OFFICE) 青島事務所 (QINGDAO OFFICE) 済南事務所 (JINAN OFFICE) 烟台事務所 (YANTAI OFFICE) 瀋陽事務所 (SHENYANG OFFICE) 重慶事務所 (CHONGQING OFFICE) 成都事務所 (CHENGDU OFFICE) 西安事務所 (XIAN OFFICE) 武漢事務所 (WUHAN OFFICE) 鄭州事務所 (ZHENGZHOU OFFICE) 長沙事務所 (CHANGSHA OFFICE) 広州事務所 (GUANGZHOU OFFICE) 深圳西事務所 (WEST SHENZHEN OFFICE) 深圳東事務所 (EAST SHENZHEN OFFICE) 東莞事務所 (DONGGUAN OFFICE) 厦門事務所 (XIAMEN OFFICE) Korea CKD KOREA CORPORATION HEADQUARTERS (3rd Floor), 44, Sinsu-ro, Mapo-gu, Seoul , Korea PHONE +82-(0) ~5203 FAX +82-(0) 水原営業所 (SUWON OFFICE) 天安営業所 (CHEONAN OFFICE) 蔚山営業所 (ULSAN OFFICE) 本カタログに記載の製品及び関連技術は 外国為替及び外国貿易法のキャッチオール規制の対象となります 本カタログに記載の製品及び関連技術を輸出される場合は 兵器 武器関連用途に使用されるおそれのないよう ご留意ください The goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are subject to complementary export regulations by Foreign Exchange and Foreign Trade Law of Japan. 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