Thermo Sensor 汎用熱電対測温抵抗体各種産業用装置および工業設備にはさまざまな用途に適した温度センサが使用されます当社は特殊仕様のセンサ一般産業用の液体固体ガス等の温度測定や制御用監視用として各種標準プローブを取り揃えておりますまたご希望の形状のものを短納期

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たかよしたておか
5 years ago
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1 Thermo Sensor 温度検出端熱電対測温抵抗体熱電対付ウェーハ赤外線温度センサ Thermocouple Resistance Temperature Detector Thermocouple with Wafer Infrared Temperature Sensor

Thermo Sensor 汎用熱電対測温抵抗体各種産業用装置および工業設備には

表面測定タイプフランジタイプネジ部埋め込みタイプヘックスヘッドタイプバヨネットタイプ J

2 Thermo Sensor 汎用熱電対測温抵抗体各種産業用装置および工業設備にはさまざまな用途に適した温度センサが使用されます当社は特殊仕様のセンサ一般産業用の液体固体ガス等の温度測定や制御用監視用として各種標準プローブを取り揃えておりますまたご希望の形状のものを短納期にて製作いたします温度センサの種類 K 熱電対カートリッジタイプ表面測定タイプフランジタイプネジ部埋め込みタイプヘックスヘッドタイプバヨネットタイプ J 熱電対 E 熱電対 T 熱電対 R 熱電対 S 熱電対 B 熱電対 PT 測温抵抗体 JPT 測温抵抗体 2 端子筺タイプ

3 特殊形状熱電対測温抵抗体特殊形状の熱電対測温抵抗体も製作可能ですまたお客様のニーズに合わせた製品を提供する事が可能ですお問い合わせください高温炉用熱電対装置内の汚染を最小限にするため厳選した材料を使用しクリーンルーム内で製作いたします高精度実現のため厳選された素線を用いトレースされた比較校正炉と校正を行い温度データを付けます熱電対付ウエーハウエーハに熱電対を貼り付けてウエーハ上の温度分布を測定いたします温度域は 250 までの低温用 600 までの中温用と 200 までの測定が可能な高温用の 3 タイプをご用意しております貼り付けるワークはシリコンウエーハ以外に石英ガラスや FPD 用ガラスマスクレチクル等多種に貼り付けの実績があります赤外線温度測定システム測定物に非接触で温度測定が可能です今まで測定できなかった光沢面鏡面を安定して測定本質安全防爆タイプもご用意しています 3

4 熱電対測温抵抗体カートリッジタイプ形状 No. カップリングタイプ D D 形状 No. リードタイプ L L L2 L2 形状 No. 2 フランジタイプ形状 No L 2 0 D D P.C.D φ8.6 バヨネットタイプ 3-φ.2 L L2 L2 ヘックスヘッドタイプ形状 No. 6 D D 形状 No. 3 L コンプレッションタイプコンプレッションフィッティング 7 ページ目 6. 参照 L L2 L2 熱電対は二線測温抵抗体は三線ですカタログ番号構成表 CA B 500 熱電対種類形状 No. 熱電対カートリッジ CA : K 2 フランジ IC : J 3 ヘックスヘッド CRC : E CC : T カップリング R ヘッド S 5 バイヨネット B 測温抵抗体 6 コンプレッショ新 JIS : PT ン旧 JIS : JPT 2 対の場合は形式の前に W を 3 対の場合は型式の前に T を付けて発注願います保護管外径 D ( 単位 ) 05 φ φ.0 6 φ.6 23 φ φ φ.8 6 φ 6. φ 8.0 S U T 保護管長さ L ( 単位 ) リード線種類リード線長さ L2 ( 単位 ) リード線保護端子形状接続ネジ熱電対用補償導標準値は 500 T R¹ ₈ S 保護なし 3U M3U 型線 (JISC60 に準 T2 R¹ ₄ 圧着端子ご要望により 500 C コイルスプずる ) T3 R³ ₈ 単位で指定願いま U MU 型リング T R¹ ₂ 標準値は 65 圧着端子 A 一般用ビニーす T6 R³ ₄ ですが 5 間隔でル被覆 90 以 Min 500 F フレキシブ F G¹ ₈ 50 から製作可ルチューブ 3S M3S 型圧下 F2 G¹ ₄ 着端子能です例 F3 G³ ₈ B: 耐熱用ガラス S MS 型圧例 F G¹ ₂ ウール被覆着端子 F6 G³ ₄ 50 以下この長さには形状図 F 250 型ファこの部分は接続に示されているむき C 外シールドネジを使用されストン内側ガラスウー出し部分約がる場合に指定 U 型とはフォー願いますル 50 以下含まれていますク型端子形状 R=PT( 旧 JIS) TF テフロンの事 G=PF( 旧 JIS) 200 以下 S 型とは丸穴型ヘックスヘッド端子形状の事カップリング SR シリコンヘッドタイプの 200 以下み設定形状図により長さを決めてください

5 熱電対測温抵抗体端子筺タイプ形状 No. 7 密閉端子筺タイプ形状 No. 9 密閉端子筺カップリングタイプ端子筺寸法については 7 頁 3. 参照端子筺寸法については 7 頁 3. 参照形状 No. 8 密閉端子筺固定フランジタイプ形状 No. 解放端子筺タイプ端子筺寸法については 7 頁 3. 参照端子筺寸法については 7 頁 3. 参照カタログ番号構成表 CA L T or 熱電対種類形状 No. 保護管外径 D ( 単位 : mm ) 保護管長さ L ( 単位 : mm ) ニップル長さ l ( 単位 : mm ) 端子筺の形状接続ネジ固定フランジ熱電対 CA:K IC:J CRC:E CC:T R S B 測温抵抗体新 JIS : PT 旧 JIS : JPT 2 対の場合は形式の前に W を 3 対の場合は型式の前に T を付けて発注願います 7: 密閉端子筺 8: 密閉端子筺固定フランジ 9: 密閉端子筺カップリング 0: 密閉端子筺固定フランジ 6:φ.6 23:φ :φ 3.2 8:φ.8 6:φ 6. :φ 8.0 形状図により長さを決めてください形状図により長さを決めてくださいニップルがつかないときは記入しないでください S: 小型 L: 大型 YS: 小型 Y タイプ YL: 大型 Y タイプ T:R¹ ₈ T2:R¹ ₄ T3:R³ ₈ T:R¹ ₂ T6:R³ ₄ F:G¹ ₈ F2:G¹ ₄ F3:G³ ₈ F:G¹ ₂ F6:G³ ₄ この部分は接続ネジを使用される場合に指定願います R=PT( 旧 JIS) G=PF( 旧 JIS) 5K0ARF 5K5ARF 5K20ARF 5K25ARF 0K0ARF 0K5ARF 0K20ARF 0K25ARF 20K0ARF 20K5ARF 20K20ARF 20K25ARF この部分は接続ネジを使用される場合に指定願います. で囲んだ仕様は標準仕様です熱電対はシースタイプ測温抵抗体はパイプタイプが標準仕様です別のタイプをご希望の場合には別途お知らせください 2. 保護管材質は SUS36 が標準仕様です 3. 熱電対の許容差は K J E T R S はクラス 2 B はクラス 3 が標準です測温抵抗体は B 級が標準ですその他 JIS 既定の規定のクラス階級も対応可能です別途ご連絡ください. ISO 管理基準に基づく精度確認のための温度校正を行っておりトレーサビリティ証明書校正証明書の発行もいたします ( 有償 ) 5. リードタイプの接続パイプ部耐熱温度はリード線種 A タイプでは以下 B C タイプは 50 以下 SR TF タイプは 200 以下です 6. 端子筺タイプの端子筺部は室温に近い温度となるように取付位置に考慮願います 7. 熱電対は全て非接地型が標準仕様です 8. 測温抵抗体の感熱部の耐熱温度はとなりますシースタイプの場合はとなります 5

6 特殊形状熱電対測温抵抗体シースバイヨネット型センサ引張構造メタルコネクタ型 L 字金具付表面ルーズネジ型丸端子付表面 K タイプ表面先端モールド型シートカップル詳細はお問い合わせください 6

付属部品コイルスプリングフレキシブルチューブ 2 ネジ PT C コイルスプリング R = PT 旧 JIS G = PF 旧 JIS 材質 SUS30 50 PF F フレキシブルチューブ材質 SUS30 L2- φ 6 以下 G R / φ 8 以下 G R 3 / 8 φ 0 以下 G R / 2 φ 2 以下 G R 3 / φ 6 以下端子筺 ③ 小型 ④ 大型 S 開放型

7 付属部品コイルスプリングフレキシブルチューブ 2 ネジ PT C コイルスプリング R = PT 旧 JIS G = PF 旧 JIS 材質 SUS30 50 PF F フレキシブルチューブ材質 SUS30 L2- φ 6 以下 G R / φ 8 以下 G R 3 / 8 φ 0 以下 G R / 2 φ 2 以下 G R 3 / φ 6 以下端子筺 ③ 小型 ④ 大型 S 開放型材質 : アルミダイキャスト ② ③ ④ G3/8 小型大型 YS G3/8 L G/2 YL G/2 ① ② ③ S L ③ ① 内部端子台取付ネジ部は S / YS : M3 ② ① 材質 : アルミダイキャスト密閉型 ① ② 3 適用する保護管径 φ 材質 : SUS30 JIS B0202 JIS B0203 呼び径 G R / 8 取付ネジ部は S : M3 L : M L / YL : M 固定フランジ耐圧呼び径 5 / φd φc φg t f 0 / 20 / φh フランジの各部寸法ガス管の t 呼び径 φd f φg インチ鋼鉄鋼鉄以外 3/8 /2 3/ 3/8 /2 3/ 3/8 /2 3/ 0A 5A 20A 25A 0A 5A 20A 25A 0A 5A 20A 25A ボルト穴 φc 数ボルトのねじの φh 呼び M0 M0 M0 M0 M2 M2 M2 M6 M2 M2 M2 M6 材質 : SUS30 30 鉄ご指定なき場合は SUS30 となります旧 JIS B220 に準ずる 5 ルーズフランジ 6 小型 R = PT 旧 JIS G = PF 旧 JIS 大型 φd φ32 φ70 φ20 φ φ3.2 M3 3 コンプレッションフィッティング 7 PCD 30 材質 : 真鍮 3-φ7 M6 2 PCD 5 材質 : アルミダイキャスト取付ネジ呼び径 G R / 8 G R / G R 3 / 8 G R / 2 G R 3 / 材質 : SUS30 適用する保護管径 φ φ 6 以下 φ 8 以下 φ 0 以下 φ 2 以下 φ 6 以下発注時に使用する穴径をご指示下さい 7

T/C L 型 T/C カスケード T/C 高温炉用熱電対改鋳サイクル RECYCLE 作業現場で使用した R 熱電対に破損校正ずれが発生した場合該当品をお送りください素線にプラチナを使用している R

8 高温炉用熱電対高温炉用熱電対の種類スパイク T/C プロファイル T/C プロファイル T/C SIC 温度比較校正製作過程に於いて熱電対は比較校正炉にて国家基準にトレースされた標準熱電対と比較し00 ~200 迄の5 毎の補間された温度データを熱起電力と温度で提出いたします校正証明書トレーサビリティ証明書も発行いたしますレシオミックス T/C 高温炉内温度を正確に測温スパイク T/C プロファイル T/C L 型 T/C カスケード T/C 高温炉用熱電対改鋳サイクル RECYCLE 作業現場で使用した R 熱電対に破損校正ずれが発生した場合該当品をお送りください素線にプラチナを使用している R 熱電対は新規で購入されては高額な費用が発生します不具合品からプラチナ素線を取り出し精製しなおした素線で同等品を作成いたしますメリットプラチナの時価に左右されない価格が安定しているため年間予算が立てやすい 8

熱電対付ウエーハ仕様タイプ測定可能温度範囲推奨使用温度範囲センサ種類素線径低温用 Si - 02 0~250 ~250 K φ 0.mm 中温用 Si - 06 0~600 200~600 K K φ 0.2mm φ 0.3mm シース高温用 Si - 2 0~200 00~200 R φ 0.2mm 許容差 JIS クラス 2 (0.

9 熱電対付ウエーハ仕様タイプ測定可能温度範囲推奨使用温度範囲センサ種類素線径低温用 Si ~250 ~250 K φ 0.mm 中温用 Si ~ ~600 K K φ 0.2mm φ 0.3mm シース高温用 Si - 2 0~200 00~200 R φ 0.2mm 許容差 JIS クラス 2 (0.75 級 ) 熱電対長さ ( 標準 ) 3m 端末処理 ( 標準 ) Y 端子付温度校正熱電対単体での校正データ接着後での校正データ基準設定温度 K 熱電対 (3 点 ) 基準設定温度 R 熱電対 (5 点 ) 基準設定温度 K 熱電対 (3 点 ) オプション / トレーサビリティ証明書校正証明書を発行します詳しくは弊社にご相談くださいコードウエーハサイズ標準品ポイント数 ( 単位 : ポイント :max) mm( inch ) 05 25mm( 5inch ) 06 50mm( 6inch ) mm( 8inch ) 2 300mm(2inch ) オプション / ) 測定ポイント数及び位置を自由に設定できます詳しくは弊社にご相談ください 2) 最高ポイント数は 300mm で25 ポイントまでです型番構成 Si ー 02 K ー 2 N ー 25 A タイプセンサの種類ウエーハサイズコードノッチポイント数オプション 02: 低温域用 06: 中温域用 2: 高温域用 K:K 熱電対 R:R 熱電対 0:00 mm ( inch) 05:25mm ( 5inch) 06:50 mm ( 6inch) 08:200 mm ( 8inch) 2:300 mm (2inch) N: ノッチ F: オリフラ A: 特注品 N: なし ( 標準品 ) 9

10 資料熱電対の温度に対する許容差熱電対測定温度分類許容差クラス 2 測定温度の ± 0.25% B 600 ~ 700 未満クラス 3 ±.0 又は ± 0.50% 0 ~ 00 クラス ± R S 0 ~ 600 クラス 2 ±.5 又は ± 0.25% -0 ~ 000 クラス ±.5 又は ± 0.0% CA(K) -0 ~ 200 クラス 2 ± 2.5 又は ± 0.75% -200 ~ 0 クラス 3 ± 2.5 又は ±.50% -0 ~ 0 クラス ±.5 又は ± 0.0% CRC(E) -0 ~ 900 クラス 2 ± 2.5 又は ± 0.75% -200 ~ 0 クラス 3 ± 2.5 又は ±.50% クラス ±.5 又は ± 0.0% IC(J) -0 ~ 750 クラス 2 ± 2.5 又は ± 0.75% クラス ± 0.5 又は ± 0.0% -0 ~ 350 CC(T) クラス 2 ±.0 又は ± 0.75% -200 ~ 0 クラス 3 ±.0 又は ±.50% 許容差はそれぞれの数値のいずれか大きい方になります (JIS C602) 2 シース熱電対の常用使用温度外径種類材質 A B A B A B A B A B A B CA(K) CRC(E) IC(J) CC(T) 材質 A:SUS36 材質 B: インコネル (JIS C605) 補償導線適用熱電対カタログ番号被覆材料 JIS-'95 区分 (IEC) 被覆色 JIS-'95 区分 2 (JIS-'8) ASTM E230-'96 US 規格 B BC-B ガラス灰灰灰 R S CA(K) CRC(E) IC(J) CC(T) RCA-A SCA-A RCB-B SCB-B RCB-C SCB-C KCC-A KCB-B KCB-C KCB-SR KCB-TF EX-A EX-B EX-C JX-A JX-B JX-C TX-A TX-B TX-C TX-SR ビニルガラスガラス外シールドビニルガラスガラス外シールドシリコンテフロンビニルガラスガラス外シールドビニルガラスガラス外シールドビニルガラスガラス外シールドシリコン橙黒緑緑青黄青紫紫紫黒黄黒茶茶青 (JIS C60) 3 測温抵抗体 (Pt00 Ω ) の温度に対する許容差 0 許容差±2 ± 0 0 階級許容差 A 級 ± ( t) B 級 ± ( t) t: 温度 ( ) B 級 JIS (PT) 旧 JIS (JPT) 許容差新階級許容差 0.5 級 ± ( t) 0.2 級 ± ( t) ±2 0.5 級 ± ( t) t: 温度 ( ) 0.5 級 A 級 0.2 級 ± 0.5 級 (JIS C60)

11 非接触赤外線温度測定システム特徴金属/ 光沢面の測定可能機種も用意容易な温度補正 2 点間補正と放射率補正機能 IP65 準拠以上のラインナップ本質安全防爆対応タイプも用意 K / J 熱電対 20mA 出力等世界最小クラスのセンサオプションにより高温環境下でも使用可能組込型非接触温度計 CS シリーズ金属光沢面測定用 GTL シリーズ温度調節器ラインナップ高精度デジタルコントローラ AH シリーズデジタルコントローラ AG シリーズ小型デジタルコントローラ AM シリーズ多点式基板型コントローラ AK シリーズ SSR 内蔵コントローラ DG シリーズ

12 取り扱い上の注意事項. 振動や衝撃等の発生する場所又は腐食性ガスの発生する雰囲気でご使用される場合は当社までご相談ください 2. センサー本体部及びリード部に曲げ引張り圧縮などの応力が加わらない様ご検討のうえご使用ください 3. ねじ込みタイプの締付けトルクは 29N m (3kgf m) 以下でご使用ください. リード部端子筺は防水防滴構造ではありません高湿度及び結露の発生する雰囲気で御使用される場合は当社までご相談ください 5. シース熱電対を曲げる場合の最少曲げ半径はシース径の 5 倍以上としてください又上記半径以上で曲げた部分や一度加熱した部分を再度伸ばして使用すると内部で断線する場合があります 6. シース測温抵抗体の場合先端から 70mm 以内は曲げないでください素子を破損する恐れがあります又測温抵抗体への通電電流は 2mA 以下としてください 7. 本質安全防爆タイプの各種ウェル付温度センサーなど特殊形状特殊用途極低温超高温などあらゆる温度の検出についても当社までご相談ください 8. センサ一本体は落下などに弱いため取扱いには十分ご注意願います東京都千代田区飯田橋 -5-0 教販九段ビル 2F 営業所 / 大阪九州信越工場 / 長野 ( 安曇野 ) R&D センター / 八王子お問合せは東京 TEL.03(3237)3568 FA X.03(3237)3569 大阪 TLE.06(653)07 FA X.06(653)0733 九州 TEL.092(522)0787 FA X.092(522)0786 信越 TEL.0263(72)62 FA X.0263(72)69 このカタログの記載内容は 203 年 2 月現在のものです外観及び仕様は予告なく変更する場合があります SE-2A

熱シース熱電対測温抵抗体測温抵抗体シース用途別測温体保護管接続部品端子筺被覆熱電対線接続導線温度試験と製品検査取扱い上の注意取付術資料シース測温抵抗体型式表示例シース測温抵抗体シース測温抵抗体の種類と特徴シース測温抵抗対とは金属シースとニッケル導線の間に粉末状の無機絶縁物を充填封入し

熱シース熱電対測温抵抗体測温抵抗体シース用途別測温体保護管接続部品端子筺被覆熱電対線接続導線温度試験と製品検査取扱い上の注意取付術資料シース測温抵抗体型式表示例シース測温抵抗体シース測温抵抗体の種類と特徴シース測温抵抗対とは金属シースとニッケル導線の間に粉末状の無機絶縁物を充填封入し一体となった構造に加工された測温抵抗体ニッケル導線と耐食性の高いステンレス管との隙間に熱伝導率の高いMgO