90 フィンヒーター AUQ 型 AMQ 型 ヒータAUQ 型 U 字タイプー3 (25) 20 L 0 10 CS=30 HS=L 30 5 M5 P0.8 R25 M16 P1.5 周囲温度 湿度 10~60 /85% 以下 ブッシュヒーターシース 放熱フィン 最高使用温度 160 ( 空気温度

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1 89 ヒーター配管 タンク用ヒーター容器用ヒーター金属加熱用ヒーター液体加熱用ヒーター気体加熱用技術資料129 関連材料温度制御機器温度センサー断熱材気体の加熱 フィンヒーター AIN 型 AIN 型 周囲温度 湿度 10~60 /85% 以下最高使用温度 160 ( 空気温度 ) 型式電圧相数 AIN2J39Z ダクトヒーター 空調暖房機 熱風発生機などの熱源に フィン加工により熱伝導面積が広く ヒーター内部から高温の熱を敏速に放熱 シーズヒーターにフィンを加工し放熱効果を高めたヒーターです フィンもヒーターシース同様ステンレスを採用しました 仕上がり径 12mm のヒーター外径 φ 24.5mm のフィンを取り付け優れた熱効率を実現しました 標準品以外の電圧 容量 長さのものも製作いたします ワット密度 (W/c m2 ) 電力 (W) L (mm) AIN2R41Z V 単相 AIN2S42Z AIN2143Z AIN2J40 M5 P0.8 φfo 25 CS ヒーターシース AIN2K AIN2R AIN2O AIN2S AIN AIN2Y AIN2T40 200V 単相 AIN2U AIN AIN2L AIN2M AIN2X AIN AIN2P HS(L 150) 発熱部首下寸法 L CS HS ヒーターシースターミナルターミナルナット CS (mm) CS 非発熱部発熱部 Bs ニッケルグリット φfo (mm) 印 短納期 注意 送風なし ( 無風 ) で通電しますとヒーターは 過熱高温となり危険です インターロックをとる又は 過昇温防止装置を取り付けて下さい 129

2 90 フィンヒーター AUQ 型 AMQ 型 ヒータAUQ 型 U 字タイプー3 (25) 20 L 0 10 CS=30 HS=L 30 5 M5 P0.8 R25 M16 P1.5 周囲温度 湿度 10~60 /85% 以下 ブッシュヒーターシース 放熱フィン 最高使用温度 160 ( 空気温度 ) ヒーターシース ヒCS 非発熱部ターミナル HS 発熱部ターミナルナット Bsニッケルグリットーターワット密度電力 L ワット密度電力 L 型式電圧相数型式電圧相数 (W/cm2) (W) (mm) (W/cm2) (W) (mm) AUQ1J40Z 100V AUQ2Y AUQ2155Z AUQ2T 単相 AUQ21.555Z 200V AUQ2U ヒ AUQ2255Z AUQ ーAUQ2J AUQ2L40 200V 単相 タAUQ2K AUQ2M AUQ2R AUQ2X ー200V 単相 4.0 AUQ2O AUQ AUQ2S AUQ2P AUQ 型式末尾が Z の製品は仕上がり外径 φ32mm 印 短納期 AMQ 型 M 字タイプ 3 (25)20 L 0 10 CS=30 HS=(L CS) 5 3 R25 M5 0.8 M 周囲温度 湿度 10~60 /85% 以下 ブッシュヒーターシース 放熱フィン シースヒーターにフィンを加工し放熱効果を高めたヒーターです フィンもヒーターシース同様ステンレスを採用しました 仕上がり径 12mm のヒーターに外径 24.5mm のフィンを取り付け優れた熱効率を実現 型式 電圧 相数 ワット密度電力 L (W/cm2) (W) (mm) AMQ1J20Z 100V AMQ2130Z 単相 AMQ21.540Z 200V AMQ2245Z AMQ2J AMQ2K AMQ2R V 単相 4.0 AMQ2O AMQ2S AMQ 平径 24 ヒーターシースターミナルターミナルナット 注意 送風なし ( 無風 ) で通電しますとヒーターは過熱 高温となり危険です インターロックをとる又は 過昇温防止装置を取り付けてご使用下さい 平径 24 50±2 150±2 CS HS 非発熱部発熱部 φ12 φ24.5 φ12 φ24.5 気体の加熱 Bs ニッケルグリット 型式 電圧 相数 ワット密度電力 L (W/cm2) (W) (mm) AMQ2Y AMQ2T AMQ2U AMQ AMQ2L40 200V 単相 AMQ2M AMQ2X AMQ AMQ2P 型式末尾が Z の製品は仕上がり外径 φ32mm 印 短納期 ヒーターサー料130 断熱材技術資130

3 89 ヒーター配管 タンク用ヒーター容器用ヒーター金属加熱用ヒーター液体加熱用ヒーター技術資料 気体加熱用関連材料温度制御機器温度センサー断熱材気体の加熱 ダクトヒーター ADM 型 型式 ADM3515 A H A A 電圧 L サーモスタット保護管 ダクト本体 ヒーターシース ワット密度 (W/c m2 ) 1.5 電力 ヒーターシースは仕上がり径を 12mm とし高熱効率を実現しました 高品質の絶縁材 (MgO) を使用した長寿命のヒーターです 仕様 定格電圧周囲温度 湿度安全装置ヒーターシースターミナルボックスケーシング ヒーターシースダクト本体サーモスタット保護管 寸法 (mm) L H W A AC200V 3 相 /85% 以下過昇温サーモスタット ( ) 付 W 6 ADM kW W 6 ADM W 6 ADM W 12 ADM kW W 12 ADM W 12 ADM W 18 ADM kW W 18 ADM V W 18 ADM32015 三相 W 24 ADM kW W 24 ADM W 24 ADM W 15 ADM kW W 15 ADM W 15 ADM 有効発熱部 W 18 ADM kW W 18 ADM W 23 A ターミナルボックス 非発熱部 OUT W 電源取出口サーモスタットボックス サーモスタットボックスターミナルボックス電源取出口 SS ヒーター構成安全装置周囲湿度温度 過昇防止用サーモスタット 50 ~ 320 注意 送風なし ( 無風 ) で通電しますとヒーターは過熱 高温となり危険です インターロックをとる又は 過昇温防止装置を取り付けてご使用下さい IN 85% 以下 10 ~ 60

4 熱風発生機 JSN 型 特殊形状のシースヒーター使用により従来と比べ小型 軽量化に成功 制御機構 コントロールパネル ヒーター機構及び制御 ベースヒーター ON-OFF( 手動 ) MC 駆動 コントロールヒーター PID 制御 SSC 駆動 温度設定 デジタル設定 デジタル表示 センサー 熱電対 K 安全回路 優先回路 ( ヒーター空焚き防止用 ) 遅延回路 ( ヒーター過熱防止用 ) 温度センサー K 熱電対 φ3.2 L90 リード線 3m CPT1/8B 高い制御性に優れた熱風発生機 コントロール性が向上ベースヒーターとコントロールヒーターを使用し 制御制度の向上を図りました 小型 軽量特殊形状のシースヒーターを使用したことで小型 軽量となりました 安全性の向上シースヒーターは二重絶縁構造で取り付け 空焚き防止として安全回路が設けてあります 使い易さ操作パネルの操作性と簡素化を重視したコンパクト設計です ダクトヒーター 200V 3φ 送風機 SB-75 型式使用電圧ヒーター電力ヒーター構成最大風量 50/60Hz 風量調節方式最大静圧温度調節範囲重量 JSNT05 JSNU10 JSNV15 三相 200V 5kW 10kW 15kW JSNW20 20kW JSNW30 30kW コントロールヒーター 5kW コントロールヒーター 5kW ベースヒーター 5kW コントロールヒーター 5kW ベースヒーター 10kW コントロールヒーター 10kW ベースヒーター 10kW コントロールヒーター 10kW ベースヒーター 20kW 7/8.5m 3 /min 送風機電力 :0.25kW 11/13m 3 /min 送風機電力 :0.4kW 11/13m 3 /min 送風機電力 :0.4kW 19/20m 3 /min 送風機電力 :0.75kW 19/20m 3 /min 送風機電力 :0.75kW コントロールパネル構成 スイッチ 電源 送風機 ヒーター 表示灯 電源 (R) 送風機(R) ヒーター (R G) 異常(0) 温度調節器 PV SVデジタル表示 設定キー ヒューズ トリップ機構 手動ダンパ 392/588Pa 常温 120 (MAX) 約 27kg 490/784Pa 490/784Pa 388/980Pa 588/980Pa 2 段切替式常温 100 (MAX) (MAX) 2 段切替式常温 100 (MAX) (MAX) 2 段切替式常温 140 (MAX) (MAX) 2 段切替式常温 140 (MAX) (MAX) 約 34kg 約 41kg 約 73kg 約 73kg 90 配132 管 タンク用容器用金属加熱用液体加熱用気体加熱用料ヒーターヒーターヒーターヒーターヒーター関連材料温度制御機器温度センサー断熱材技術資132

5 89 ヒーター配管 タンク用ヒーター容器用ヒーター金属加熱用ヒーター液体加熱用ヒーター技術資料 気体加熱用関連材料温度制御機器温度センサー断熱材高い制御性に優れた熱風発生機 熱風発生機 特殊形状のシースヒーターを採用し 小型 軽量化を実現しています シースヒーターはステンレス製のため クリーンで耐久性に優れています PID 制御による温度コントロールを有しています インバーター制御により風量調整を行ない 熱風循環にも対応しています 100V 仕様 200V 仕様 JAC 型 制御機構温度指示調節器 操作スイッチ 異常表示ランプ タイマー設定 風量調整表示 タイマ設定表示 温度検出制御方式安全回路 電源コード 電源コード 熱電対 (K) PID 制御 /SSR 駆動インターロック回路 VCTF 3 芯 2.0Sq(2m) VCTF 3 芯 2.0Sq(2m) 最大風量型式電圧電力電動機容量風量調整最大静圧温度調節範囲吸込気体温度重量 (50Hz 60Hz) 100V 単相 1.2kW 25W 1.1/1.2 m3 /min 12kg インバーター 0.2/0.2kPa 15 ~230 JAC 200V 三相 5kW 200W 3.2 m3 /min 常温 ~170 25kg 搭載 200V 三相 10kW 250W 6.0 m3 /min 0.8kPa 15 ~250 40kg

6 流体加熱器 YHU 型 構成 加熱部 ( 内管 ) 材質ステンレス SUS316(PFA での製作も可能 ) 温度センサー 温度制御方法 制御器は内蔵していません 過熱防止機能 設定温度上限 150 上昇温度 T( ) 流体の加熱 気体にヒーターが直接触れない間接的加熱方式ですから流体へのクリーン度を保つことができます 流体が通過する内管はループ状に設計されていますから 流体に攪拌作用が加わり熱効率を高めます 管内温度の制御 出口温度のモニターなどの温度管理には 過昇温防止機能付きのコンパクトな温度管理システムが用意されています ( 別売 ) 用途 K 熱電対 2 本 内蔵温度センサーと外付けの電子式温度調節器によるヒーター温度制御 ( 出口ガス温度とヒーター温度に差が生じます ) 出口温度検知( 外付け温度センサー ) と 外付けの電子式温度調節器とによる温度制御 この場合には流量センサーと付属センサーでヒーター過昇温の制御が必要になります 内蔵温度センサーと外付けの電子式温度調節器による異温度検知 内蔵温度ヒューズによる遮断制御 ( 再復帰はしません ) ウエハー洗浄装置等 乾燥用 N2 ガスの昇温機構として サンプリングガスの昇温機として 炉内パージガスのプレヒーターとして クリーンなスチーマーとして その他クリーン温風 不活性ガスの昇温機として 商品コード型式使用電圧負荷電力外形寸法重量接続口口径 YHU V 単相 YHU V 単相 YHU V 単相 YHU V 単相 YHU V 単相 YHU V 単相 性能特性表 この特性表は N2 ガスを対象とした際の 昇温能力 ( T) と圧力損失の相関性を示しています 昇温能力 ( T)= 出口温度ー入り口温度 グラフは実測値を元に編集した参考値であり 保証値ではございません 機種選定の目安として下さい 特性表の見方 使用領域 圧力損失 表示機種 YHU YHU 例 :YHU-400 YHU YHU 流量 84NL/min 以下では 150 の昇温能力があります 流量 100NL/min では 130 の昇温可能で その時の圧力損失は約 0.053MPa になります 200W 236(H) 235(W) 52(D)mm 約 2kg RC1/4 400W 285(H) 290(W) 82(D)mm 約 4kg RC1/4 800W 335(H) 338(W) 82(D)mm 約 5kg RC1/2 YHU YHU 注意 本器には活性ガスを流さないで下さい 本器は防水 及び防爆仕様品ではございません 制御回路の入力電源電圧は 本器の定格値でご使用ください 定格値外の電圧を加えると 故障 又は本器の特性が得られない場合があります N2 流量 (NL/min) 圧力損失 (MPa) 90 配134 管 タンク用容器用金属加熱用液体加熱用気体加熱用料ヒーターヒーターヒーターヒーターヒーター関連材料温度制御機器温度センサー断熱材技術資134

7 89 ヒーター配管 タンク用ヒーター容器用ヒーター金属加熱用ヒーター液体加熱用ヒーター技術資料 気体加熱用関連材料温度制御機器温度センサー断熱材気体の加熱 気体加熱器 YSA 型 ( 全タイプ共通 ) 外管部材質ヒーター材質接続口 ( 入口 + 出口 ) 温度センサー接続口 気体流量とヒーター容量の関係 温度400 上8600 昇 ヒーター容量 W インコロイ 800( シーズヒーターにて直接加熱 ) 1/2 インチ (12.7mm) 出口部制御用熱電対 内部構造標準寸法 YSA-900N 型 独自のヒーター及び構造設計により 加熱効率の良さ を実現しました 加熱対象ガスをクリーンにかつ 素早く昇温でき 温度制御を正確に行えます 出口温度を 350 (Max) まで設定が可能です ( 但し ご使用条件に依り異なります ) 下図は熱効率 75% での計算値を示します (62) YSA-2700N 型 (φ79) 空気流量 liter/min 用途 製品寸法については 弊社へお問い合わせ下さい 商品コード型式使用電圧負荷電力使用最高圧力重量 YSA-900N 900W 0.5MPa 約 1.8kg YSA-2700N 200V 単相 2700W 0.5MPa 約 3.5kg YSA-4500N 4500W 0.5MPa 約 4.7kg (80) (52) YSA-4500N 型 (φ79) (69) (30) (φ9.5) (80) (52) (φ13) (φ51) (φ13) (φ76) (97) (305) (φ76) (338) (85) (179) (114) (50) (269) (175) (83) (97) (458) 排気システム内のホット N2 パージ 空気 不活性ガス等の加熱 ウェットクリーニング後の水分除去 気体の流れ (74) (30) (79) (30) 従来品気体が入口から出口へ一方向に流れる YSA 型気体が中心へ流れ込み加熱された気体が中心から出口に向かって流れる (φ13) (330) (83) (φ9.5) (79) (30) (φ13)

8 流体 気体加熱器の温度調節器接続例 流体加熱器 YHU 型 + 温度制御盤 YDC-15N 型接続例 温度制御盤 (YDC-15N) へ接続する場合 ( 右記概要図参照 ) YDC-15N の出力端子へ YHU 電源端子を接続 YDC-15N の K 熱電対 ( センサー ) 接続端子へ YHU 内蔵センサー端子を接続 YDC-15N のインターロック端子へ YHU 内蔵温度ヒューズ端子を接続 ( 過昇温防止として使用しますので YDC-15N の取扱説明書をお読み下さい ) 内蔵温度センサーと温度制御盤によるヒーター温度制御を必ず行って下さい ( 出口ガス温度とヒーター温度には差が生じます ) 出口ガス温度により制御を行う場合は 出口ガス温度検知用の外付け温度センサーと 温度制御盤による制御を行って下さい ( この場合 流体加熱器内蔵の温度センサーにより過昇温の制御が必要となります ) 内容物の流れが無い状態での通電は オーバーヒートの原因となるため 絶対に行わないで下さい 気体加熱器 YSA 型 + 温度制御盤接続例 温度制御盤へ接続する場合 ( 右記概要図参照 ) 温度制御盤の出力端子へ YSA 電源端子を接続 温度制御盤の制御用センサー端子へ YSA 出口温度センサーを接続 温度制御盤の過昇温制御用センサーへ YSA 内蔵センサーを接続 出口ガス温度検知センサーと温度制御盤によるヒーター温度制御を必ず行って下さい 無送風状態での通電は オーバーヒートの原因となるため 絶対に行わないで下さい ( 流量センサー等を組み合わせて制御を行って下さい ) 流体 気体の加熱 90 配ヒーター136 管 タンク用容器用金属加熱用液体加熱用気体加熱用料ヒーターヒーターヒーターヒーター関連材料温度制御機器温度センサー断熱材技術資 温度制御盤 YDC-15N 型の仕様については (P.152) を参照して下さい 136

9 89 ヒーター配管 タンク用ヒーター容器用ヒーター金属加熱用ヒーター液体加熱用ヒーター気体加熱用関連材料温度制御機器温度センサー断熱材技術資料137 高温の熱風で対象物を処理する工業用ドライヤー ホットエアガン 用途 高温の熱風を使用して 乾燥 溶解 加熱 熱収縮チューブ シュリンク包装などの作業に使用されています これらハンディタイプは塩ビ溶接専用機や軽量タイプなど使用目的にあった機種が選べます PJ-214A 型 PJ-206A1 型 PJ-210A 型 関連商品 熱風温度 600 温度調節が可能なオールマイティタイプ 商品コード 使用電圧 100V 単相 電力 1020W 周波数 50/60Hz スイッチ 4 段切替スイッチ ( 切 送風 弱 強 ) 熱風温度 250 ~600 ( 可変 ) 風量 0.18m 3 /min 風速 1000m/min 寸法 径 70mm 長さ253mm 高さ200mm 質量 約 950g 一般的に多く使われている標準機 ( 熱風温度 450 ) 商品コード 使用電圧 100V 単相 電力 1000W 周波数 50/60Hz スイッチ 3 段切替スイッチ ( 切 送風 熱風 ) 熱風温度 450 風量 0.18m 3 /min 風速 1000m/min 寸法 径 70mm 長さ213mm 高さ191mm 質量 約 950g 熱風温度 450 軽量型シュリンクフィルム収縮などの軽作業に 商品コード 使用電圧 100V 単相 電力 600W 周波数 50/60Hz スイッチ 3 段切替スイッチ ( 切 送風 熱風 ) 熱風温度 450 風量 0.125m 3 /min 風速 400m/min 寸法 径 70mm 長さ208mm 高さ177mm 質量 約 550g AT-11 型スプーンノズル AT-21 型熱風集中ノズル AT-31 型平型ノズル 熱収縮チューブ加工などに熱風集中させますシートなどの溶着に 137

10 制御盤用ヒーター ツバ付碍子 QT 型 制御盤内の除湿 結露防止 制御盤内の除湿 結露防止に最適です 小型軽量で長寿命! 付属のハトメ碍子を取付穴に挿入することで二重絶縁ができ 安心してご使用頂けます 仕様 サーモスタット EGO ~40 可変ダイヤル付設定温度以上 OFF 復帰温度差約 3 接点容量 250V15A キャピラリーチューブ 1φ 850L 使用方法本体を制御盤内に添付のハトメ碍子を使用し取付けます ( 二重絶縁 ) キャピラリーチューブに傷をつけないように また直角に曲げないようにしてください 感温部センサーは ヒーターケース面上部 5cm 以内 ( 推奨 ) に固定してください 但し 気流がある場合など使用条件により動作温度が変わりますので なるべく感知しやすい位置に固定してください ( ヒーターケース面上より離れますと 感知が鈍くなりヒーターがオーバーヒートし断線の原因となります ) 型式使用電圧負荷電力リード線 QT W QT V 単相 100W QT W QT2-50 感熱部 キャピラリーチューブ φ1 850L サーモスタットダイヤル 50W QT V 単相 100W QT W 62 ( 重量 : 約 940g) 65 φ14 取り付穴 (No.41 ハトメ碍子付 ) mm 90 配138 管 タンク用容器用金属加熱用液体加熱用気体加熱用料ヒーターヒーターヒーターヒーターヒーター関連材料温度制御機器温度センサー断熱材技術資138

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