SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置取扱説明書

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1 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置取扱説明書

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3 この度は 弊社製品をご購入いただき誠にありがとうございます 本書は 装置の正しい使い方や使用上の注意について記載しております 装置の機能を十分にご活用いただくために ご使用の前には本書を最後までお読み下さい 本書が必要となったとき すぐ利用できるように 必ず取り出しやすい場所に保管して下さい ご注意 1. この取扱説明書は 内容の全体もしくは 部分にかかわらず 書面の許可なしで第三者への開示 コピー 複製をすることは禁止されております 2. 取扱説明書は 装置 1 台に付き 1 セット付属が原則となっております 3. 取扱説明書の乱丁 落丁はお取り替えいたしますので 最寄りの支店 営業所までご連絡ください 4. この取扱説明書を運用した結果の影響については いっさい責任を負いかねますのでご了承ください 5. この取扱説明書に記載されている事柄は 将来予告なしに変更することがあります

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5 安全に関する重要事項 X 線回折装置を安全にご利用いただくために 安全に関する重要事項 X 線回折装置および付属する装置をご使用の前に この 安全に関する重要事項 と 別章の 安全に関する注意事項 をよく読んで理解し 本書の指示を必ず守ってください 本書に示した安全に関する重要事項 注意事項は 本装置の管理 操作 保守 サービスを行うすべての人や他の人々への危害や損害を未然に防止するために必要な事柄です 1) 2) X 線回析装置は強いX 線を発生します X 線は人体に有害で 被ばくすると大きな障害 ( 放射線障害 ) を引き起こす可能性があります X 線管球の窓には 人体に付着したり吸入したりすると有害な金属ベリリウムを使用しています また 装置内部には感電のおそれがある高電圧部があります 本装置を適切な方法で取扱わないと死亡事故を起こす可能性があります 本装置のご使用や設置 保守作業にかかわる安全を確保するためには 危険の要素をあらかじめ知っておく必要があります 弊社にとって 潜在的なすべての危険性を予想することは困難ですが 本書には知り得る限りの危険性を記載してあります 危険性に関する警告は 表 1 の 3 段階に区分して表示し 本装置の本体に貼り付けた警告表示ラベル および取扱説明書に記載してあります この説明書はいつでも読み返すことができるように 取り出しやすい場所に保管してください 表 1 危険性の定義シンボル危険のレベル定義 DANGER WARNING CAUTION 危険 (DANGER) 警告 (WARNING) 注意 (CAUTION) 取扱いを誤った場合に 使用者が死亡または重傷を負う危険の状態が生じることが想定され かつ危険発生時の警告の緊急性 ( 切迫の度合 ) が高い限定的な場合 ( 高度な危険を含む ) Indicates an imminently hazardous situation which, if not avoided, will result in death or serious injury. This signal word is to be limited to the most extreme situations. 取扱いを誤った場合に 使用者が死亡または重傷を負う危険の状態が生じることが想定される場合 Indicates a potentially hazardous situation which, if not avoided, could result in death or serious injury. 取扱いを誤った場合に 使用者が軽傷を負うかまたは物的損害だけが発生する危険の状態が生じることが想定される場合 Indicates a potentially hazardous situation which, if not avoided, may result in minor or moderate injury. It may also be used to alert against unsafe practices. ここで言う重傷とは 後遺症 入院 あるいは長期治療のための通院をともなう失明 けが やけど ( 高温または低温 ) 感電 骨折 中毒などを意味します 軽症とは 入院や長期治療のための通院をともなわないけが やけど 感電などを意味します 物的損害とは 装置の損傷や 関連施設または取得データへの損傷を意味します 表 2 図記号の意味 禁止 ( してはいけないこと ) 事項を示します 強制 ( 必ず守ること ) 事項を示します 注意 ( 危険 警告を含む ) 事項を示します 1) - 2) 用語解説参照 X 線回折装置を安全にご利用いただくために 1

6 安全に関する重要事項 WARNING 本装置を 弊社の書面による事前の許可なしに改造しないでください また 本書に説明のない修理や弊社の認定していない部品の取付け 取外し等をしないでください これらの改造や 部品交換をすることは 安全に関して重大な影響を及ぼすおそれがあります 決して 行わないでください WARNING 本装置は X 線回折法 1) を用いて分析する装置です この分析以外の目的には使用しないでください 1 ) 用語解説参照 2 X 線回折装置を安全にご利用いただくために

7 X 線回折装置の使用にかかわる法的規制 X 線回折装置の使用にかかわる法的規制 X 線回折装置 X 線装置の使用に関する法律を遵守してください X 線回析装置の使用に際しては 装置を設置する国や地域の法令の規制を受けます 法令を必ず守って 安全な作業 操作 管理をしてください 1) 装置管理者は X 線作業の安全保持のために必要な事項について 操作担当者 2) 保守担当者 3) に教育を行ってください 日本国内の法的規制 1. 本装置を設置する 30 日前までに 所轄の労働基準監督署に 計画の届出 * をしなければならない ( 労働安全衛生法第 88 条 労働安全衛生規則第 85 条 ) 2. 防 X 線カバーを付けないで装置を使用する場合は 装置を 放射線装置室 4) に設置し 管理区域 5) を設定し X 線作業主任者免許 6) を受けた者のうちから 管理区域 ごとにX 線作業主任者を選任しなければならない ( 電離放射線障害防止規則第 15 条 第 3 条 第 46 条 ) 3. 防 X 線カバーが付いている装置を使用する場合は 管理区域 を設定し X 線作業主任者免許を受けた者のうちから 管理区域 ごとにX 線作業主任者を選任しなければならない ( 電離放射線障害防止規則第 3 条 第 46 条 ) 4. 作業者の健康診断や 管理区域 の境界におけるX 線の線量当量率測定など 関連する法規を参照してください ( 関連法令 : 労働安全衛生法 労働安全衛生規則 電離放射線障害防止規則 ) * 詳細については案内書を用意しておりますので弊社の営業部門にお問い合わせください 輸出する場合の法的規制 製品の構成内容によっては外国為替および外国貿易法の安全保障輸出管理の規制品に該当する場合があります 予備品 付属品を含め 本製品を輸出する場合 または日本国外に持ち出す際は 日本国政府 ( 経済産業省 ) への輸出許可申請等 必要な手続きをとってください 弊社の書面による許諾なしに改造されている製品を日本国外に輸出する場合 弊社は自主判定書を発行できない場合があります 1) - 6) 用語解説参照 X 線回折装置を安全にご利用いただくために 3

8 安全に関する注意事項 安全に関する注意事項 WARNING 警告 取扱いを誤った場合に 使用者が死亡または重傷を負う危険の状態が生じることが想定される事柄 改造をしない 本装置を 弊社の書面による許諾なしに改造した場合 安全に関して重大な影響を及ぼすおそれがあります 決して 改造しないでください 書面による許諾なしに改造した場合の装置は 保証対象外になります X 線シャッターが開いているときはX 線の通路に近づかない X 線シャッター本体ランプが点灯しているときはX 線シャッターが開いており X 線が照射されています X 線シャッター本体ランプが点灯しているときに 手など身体の各部位をX 線の通路においたり 近づけたりすると X 線を被ばくするおそれがあります 被ばくすると放射線障害を起こします X 線シャッターが開いているときは試料の取付け 交換 取外しをしない X 線シャッター本体ランプが点灯しているとき 試料の取付け 交換 取外しをすると X 線を被ばくするおそれがあります 被ばくすると放射線障害を起こします X 線シャッターが開いているときは光学素子の取付け 取外しをしない X 線シャッター本体ランプが点灯しているとき スリット モノクロメータ 吸収板などの X 線光素子や部品の取付け 取外しをすると X 線を被ばくするおそれがあります 被ばくすると放射線障害を起こします セーフティーリリースキーは 使用する資格のある担当者 1) が X 線光学系を手動で調整するときのみ使用する セーフティーリリースキーを使うと X 線を発生させた状態で 防 X 線カバーの扉を開けて X 線シャッターを開閉することができます 不用意にX 線シャッターを開けるとX 線を被ばくするおそれがあります 被ばくすると放射線障害を起こします セーフティーリリースキーは装置の管理者 2) が装置とは別の場所に保管してください 1) X 線作業主任者免許を受けた者 またはX 線作業主任者の指示 管理の下で装置を使用する者で 装置の管理者からX 線作業の安全保持のために必要な事項について教育を受けた者 2) 用語解説参照 4 X 線回折装置を安全にご利用いただくために

9 安全に関する注意事項 WARNING 警告 取扱いを誤った場合に 使用者が死亡または重傷を負う危険の状態が生じることが想定される事柄 X 線シャッターの取外し 分解 取付けをしない X 線シャッターの取外し 分解 機能の変更 部品の交換 部品の追加等を行った場合 また X 線シャッターを正しく取り付けていない場合は X 線を被ばくするおそれがあります 被ばくすると放射線障害を起こします X 線シャッターの改造 取外し 取付けは 決して行わないでください X 線シャッターの修理や保守作業は弊社サービス部門へ連絡してください 防 X 線カバーの取外し 分解 取付けをしない防 X 線カバーの取外し 分解 機能の変更 部品の交換 部品の追加等を行った場合 また 防 X 線カバーを正しく取り付けていない場合は X 線を被ばくするおそれがあります 被ばくすると放射線障害を起こします 防 X 線カバーの改造 取外し 取付けは 決して行わないでください 防 X 線カバーの修理や保守作業は弊社サービス部門へ連絡してください X 線シャッター本体ランプを分解しない X 線シャッター本体ランプを分解したり 専用のランプ以外を取付けないでください X 線シャッターの開閉状態を正しく表示しないときがあり X 線を被ばくするおそれがあります 被ばくすると放射線障害を起こします X 線警告灯を分解しない X 線警告灯を分解したり 専用のランプ以外を取付けないでください X 線の発生状態を正しく表示しないときがあり X 線を被ばくするおそれがあります 被ばくすると放射線障害を起こします 接続検出器を分解 修理 変更しない接続検出器を分解したり 機能を変更したりすると ゴニオメータなどのX 線光学系が接続されていない場合 X 線シャッターが開くときがあり X 線を被ばくするおそれがあります 被ばくすると放射線障害を起こします 1) 防 X 線カバーが付いていない装置は 使用する資格のある担当者以外は操作しない防 X 線カバーがない場合 X 線の発生やX 線シャッターの開閉に関する安全機能がないので 不用意に扱うとX 線を被ばくするおそれがあります 被ばくすると放射線障害を起こします 関連する法令に基づく防護対策が必要です 弊社の営業部門に相談してください 1) X 線作業主任者免許を受けた者 またはX 線作業主任者の指示 管理の下で装置を使用する者で 装置の管理者からX 線作業の安全保持のために必要な事項について教育を受けた者 X 線回折装置を安全にご利用いただくために 5

10 安全に関する注意事項 WARNING 警告 取扱いを誤った場合に 使用者が死亡または重傷を負う危険の状態が生じることが想定される事柄 高電圧ケーブルを装置から取外さない X 線発生中は高電圧トランスから高電圧ケーブルを経由してX 線管球に高電圧が供給されています X 線発生を停止した後もX 線の高電圧トランス内と高電圧ケーブルに高電圧の電荷が充電されています 高電圧ケーブルを装置から取外すと感電するおそれがあります 保守作業で 高電圧ケーブルを装置から取外す前に弊社サービス部門へ連絡してください 高電圧ケーブルヘッドに触れない 装置の電源を切っても高圧ケーブルヘッドは帯電している場合があります X 線管球の交換作業等のとき 高電圧ケーブルのヘッドには直接触れないでください 感電するおそれがあります ベリリウムには触れない X 線管球 X 線検出器 試料高温装置などのX 線の通路の窓にはベリリウムが使用されています ベリリウムの粉末や蒸気を吸引すると重症や死にいたる危険性があります ベリリウムには触れないでください ベリリウムを廃棄する場合は法令に従ってください 火災の危険性 (EMO ボタンを押し 装置電源を切る ) 万一 装置から煙が発生したり 異臭がするときは EMO ボタンを押して装置に供給している電源を切ってください 6 X 線回折装置を安全にご利用いただくために

11 安全に関する注意事項 CAUTION 注意 取扱いを誤った場合に 使用者が軽傷を負うかまたは物的損害だけが発生する危険の状態が生じることが想定される事柄 X 線を停止した直後に X 線管球の交換をしない X 線発生装置の使用を終了して X 線の発生を停止した直後は X 線管球が高温になっています 高温状態の X 線管球に触れると火傷をします X 線発生を停止した後 30 分以上 X 線管球を自然冷却して管球が室温になってから交換作業をしてください X 線を停止した直後に回転対陰極や電子銃の交換をしない 1) 組立式 X 線管球が付いているX 線発生装置の使用を終了してX 線の発生を停止した直後は X 線管球が高温になっています 高温状態の回転対陰極や電子銃に触れると火傷をします X 線発生を停止した後 3 時間以上 X 線管球を自然冷却して管球が室温になってから交換作業をしてください 高温の炉体には触れない 高温の気体や液体には触れない試料高温装置など 試料の温度を高温にするための加熱炉が付いているアタッチメントを使用する場合 炉体やその周辺が高温のときは炉体や周辺の部品に触ると火傷をします 試料の温度を高温にするために 高温の気体や液体を使用しているアタッチメントの場合 高温の気体や液体および高温状態の部品に触ると火傷をします 炉体や部品が室温になってから必要な作業 操作をしてください 低温の炉体には触れない 低温の気体や液体には触れない試料極低温装置やクライオスタットなど 試料の温度を低温にするためのアタッチメントを 2) X 線回折装置と併用する場合 低温部分に触ると低温障害を起こします ドライアイス 液体窒素 液体ヘリウムなど試料の温度を低温にするための冷媒に触ると低温障害を起こします 試料や試料周辺が室温になってから必要な作業をしてください 定期的に漏えいX 線量を測定する漏えいX 線量が法令で規定されている許容線量を超えた場合は 直ちにX 線発生装置の電源を切り 装置に使用禁止等の表示をしてから弊社サービス部門に連絡してください 1) - 2) 用語解説参照 X 線回折装置を安全にご利用いただくために 7

12 安全に関する注意事項 CAUTION 注意 取扱いを誤った場合に 使用者が軽傷を負うかまたは物的損害だけが発生する危険の状態が生じることが想定される事柄 高圧ガス容器のバルブを急激に開かない ガスフロー形 X 線検出器や試料の雰囲気をガス置換して使用する装置 ( 容器 ) へ急激にガスを送ると検出器や容器を破損するおそれがあります また 破損した破片で怪我をする危険性があります 容器のバルブは静かにゆっくり開閉してください 1) 高圧ガスの取扱は 関係する法令を遵守してください 真空リーク弁を急激に開かない組立式 X 線管球の管球内を真空から大気圧にする場合や 試料雰囲気 X 線通路容器 ( 真空パス ) 内を真空から大気圧にする場合 真空リーク弁 ( リークつまみ ) を急激に開かないでください 急な圧力差のために容器内や容器を破損するおそれがあります また 破損した破片で怪我をする危険性があります リーク弁は静かにゆっくり開閉してください 装置の設置環境 設置条件を守る装置を設置するときは 取扱説明書に記載している設置環境 設置条件を守ってください 設置環境 設置条件が守られない場合 装置の正常な動作は保証致しません 保管 長期間装置を使用しない場合は 室温 5~40 湿度 75% 以下で 粉塵や腐食性のガスがない環境に保管してください 組立式 X 線管球は定期的に真空に引いてください 装置の移動 移設をしない現状の場所から装置を移動や移設する場合は 弊社営業部門にご相談ください ご相談なしに移動や移設した場合 移設先での動作保証は致しません また 移動 移設をする場合には 所轄の労働基準監督署に 計画の届出 を提出する必要があります 廃棄 X 線管球の窓などに使用している金属ベリリウムやX 線の遮へい材の鉛は 一般廃棄物と分離してください これらは 廃棄処理の資格を持っている業者に依頼して処分してください ベリリウムを廃棄する場合は法令に従ってください 高圧ガス容器 ( ボンベ ) は廃棄できません 専門業者 ( 付表 1 参照 ) に容器の引取りを依頼してください 1) 用語解説参照 8 X 線回折装置を安全にご利用いただくために

13 安全に関する注意事項 X 線に対する安全機能 X 線の遮へい 1. 封入式 X 線管球は金属製のチューブシールドに収納されています このチューブシールドでX 線を遮へいしています ( 図 1 参照 ) 2. 組立式 X 線管球は管球容器が金属製です この管球容器でX 線を遮へいしています ( 図 2 参照 ) 3. X 線管球からX 線を取り出すところには X 線シャッターが取り付けられています X 線シャッターが閉じているときは X 線シャッターでX 線を遮へいしています ( 図 1 2 参照 ) 4. 通常 X 線管球部とX 線光学系を防 X 線カバーの中に設置します 防 X 線カバーは X 線光学系や試料からの散乱 X 線を遮へいします X 線の利用は すべてこの防 X 線カバーの中で行ってください 5. 防 X 線カバーには内部をのぞける のぞき窓があります のぞき窓にはX 線を遮へいする材料を使用しています のぞき窓が破損したときは直ちに装置の電源を遮断して使用を中止してください のぞき窓の修理は弊社サービス部門に連絡してください 窓材は 類似品あるいは普通ガラスとは交換しないでください X 線シャッター X 線シャッター本体ランプ X 線管球 X 線シャッター本体ランプ チューブシールド 接続検出器 高電圧ケーブル X 線シャッター 接続検出器 図 1 封入式 X 線管球部の例 図 2 組立式 X 線管球部の例 X 線回折装置を安全にご利用いただくために 9

14 安全に関する注意事項 のぞき窓 X 線警告灯 保守用パネル ( 背面 ) 防 X 線カバー 扉 図 3 防 X 線カバーの例 10 X 線回折装置を安全にご利用いただくために

15 安全に関する注意事項 X 線を安全に使用するための安全機能 X 線の被ばくを防止するために取り付けられている部品等の故障が原因で 作業者がX 線を被ばくしないように 1) 機能する機構を ここではフェイルセーフ機構と呼んでいます この機構には次の二つがあります 防 X 線カバーが付いている装置にはこの機構が付いています 1. X 線の発生に関するフェイルセーフ機能 2. X 線シャッターに関するフェイルセーフ機能 X 線の発生に関するフェイルセーフ機構この機構は X 線シャッターが正常に取り付けられており 2) 警告灯ランプが正常で かつ 防 X 線カバーの扉が閉じられているときのみX 線を発生できるようにするものです 図 4 を参照してください 機能の詳細を以下に示します X 線の発生状態を表示するX 線警告灯があります ( 図 3 参照 ) この警告灯のランプが断線していると X 線を発生することはできません X 線の発生中は警告灯が赤く点灯します X 線の発生が停止すると消灯します 防 X 線カバーの背面の保守用パネルが正しく組み付いていない場合はX 線を発生することはできません X 線の発生中に保守用パネルを開けるとX 線の発生が停止します 組立式 X 線管球には X 線シャッターがX 線管球に正しく組み付けられていることを検出するセンサーが付いています X 線シャッターが正しく取り付いていない場合 このセンサーが機能して X 線を発生することはできません X 線シャッターに関するフェイルセーフ機構この機構は X 線を照射しても防 X 線カバーの外部にはX 線が漏れない環境が整ったときにのみX 線シャッターを開くことを可能にするものです 図 4 を参照してください 機能の詳細を以下に示します 防 X 線カバーの扉が閉じており かつX 線が発生しているときにX 線シャッターを開けることができます X 線シャッターが開いているときに防 X 線カバーの扉を開くと X 線シャッターは閉じ X 線の発生が停止します 防 X 線カバーの扉が開いているとX 線シャッターは開きません X 線シャッターとゴニオメータ等のX 線光学系とが接続されていることを検出する接続検出器がX 線シャッターに付いている装置があります ( 図 2 参照 ) X 線光学系がX 線シャッターに正しく接続されていないとX 線シャッターは開きません X 線シャッターが主シャッターと補助シャッターの 2 重構造になっているものがあります 3) 2 重構造のX 線シャッターでは 補助シャッターが閉じていると主シャッターは開きません 補助シャッターは X 線光学系がX 線シャッターに正しく接続したときに開きます 1) 用語解説参照 2) 3) 装置の取扱説明書を参照してください X 線回折装置を安全にご利用いただくために 11

16 X線が停止状態で警告灯ランプ消灯線が停止状態で警告灯ランプ消灯消灯中XているX安全に関する注意事項 X 線 ランプ シャッターの状態 フェイルセーフ機構が正常なときの流れ X 線 ランプ シャッターの状態 線シャッター本体ランプ消でX中X灯中X線シャッターが閉じた状態1 X 線シャッターの取付け状態 正常 2 警告灯ランプの状態 正常 異常 異常 中X3 防 X 線カバーの開閉状態 異常 閉 4a X 線を発生する ( X-ray ON ) 4b X 線を発生することが出来ない 線が発生している 警告灯ランプは点灯してい線シャッター本体ランプ点灯中るX線シャッターが開い5 接続検出器の状態 正常 6a X 線シャッターを開く 7a X 線が照射される 異常 6b X 線シャッターを開くことが出来ない 7b X 線は照射されない 線シャッターが閉じた状態でX線シャッター本体ランプ防 X 線カバーとX 線シャッターが付いている装置で フェイルセーフ機能が正常に作動しているときの流れ 1 項, 2 項, 3 項 および 5 項は装置が自動的に判定する ( 4a でX 線を発生させた以降に防 X 線カバーの扉を開けるとX 線の発生は停止する 扉を閉めると再びX 線を発生できる状態になる ( 扉を閉めて X-ray ON のボタンを押すとX 線が発生する ) 図 4 フェイルセーフ機構が正常な場合の流れ 12 X 線回折装置を安全にご利用いただくために

17 安全に関する注意事項 光学系の調整に関する注意事項 光学系の調整は被ばくする可能性が最も高い作業です この作業は 弊社サービス部門担当者 または使用する 1) 資格のある担当者だけが行ってください 調整作業では防 X 線カバーの扉を開けたまま X 線シャッターの開閉を行い X 線通路に近づくことがあります 光学系調整作業の安全を確保するために次の注意事項を守ってください 1. 管理区域を設定してください (X 線装置の使用にかかわる法的規制の項を参照 ) 2. 調整作業中は X 線の管電圧 管電流を低く設定しX 線強度を弱くしてください 3. 作業者の被ばくを防止するために X 線防護用前掛け 放射線防護用手袋を着け 遮へいのためのつい立を設置してください 4. 調整作業中 X 線を被ばくしないために 手など身体の各部位をX 線の通路に置かないでください また X 線が照射されているときはX 線の通路に近づかないでください 5. セーフティーリリースキーは装置の管理者が保管 管理してください 6. セーフティーリリースキーは装置から外して ( 抜いて ) 装置とは別の場所に保管してください 7. 複数の人が共同で作業をするときは お互いに注意しあって連絡をひんぱんにしてください 8. 光学系を動かすときは 可動部分による巻き込みや機械的に挟まれないように注意してください 9. 被ばくの危険性を感じたときは 迷わず 直ちにその場から離れてください 試料の取付け 交換に関する注意事項 X 線回折装置の日常操作の中で 試料の取付けや交換はX 線経路に最も近づく作業です X 線を被ばくしないように以下の注意事項を守ってください 1. 防 X 線カバーの覗き窓からX 線シャッター本体ランプが消灯していることを必ず確認してから試料の取付けや交換作業をしてください 2. X 線シャッター本体ランプが点灯しているときはX 線が放射されているので試料の取付け 交換はしないでください 3. 試料の取付け 交換作業は 防 X 線カバーのドアリリース機能を用いて安全に行うことが出来ます ドアリリース機能の詳細な操作方法はX 線発生装置の取扱説明書を参照してください 4. X 線シャッターが付いていない装置は 必ずX 線の発生を停止してから試料の取付け 交換をしてください 5. 防 X 線カバーが付いていない装置は 必ずX 線の発生を停止してから試料の取付け 交換をしてください 6. X 線シャッター本体ランプが点灯している場合は いかなる理由であっても試料の取付け 交換をしないでください 1) X 線作業主任者免許を受けた者 またはX 線作業主任者の指示 管理の下で装置を使用する者で 装置の管理者からX 線作業の安全保持のために必要な事項について教育を受けた者 X 線回折装置を安全にご利用いただくために 13

18 安全に関する注意事項 X 線の安全管理 漏えいX 線の測定 X 線回析装置付近の放射線の測定は放射線障害を防止するために必要な基本的事項です 定期的に測定し結果を記録し保存してください 漏えいX 線量が法令で規定されている許容線量を超えた場合は 直ちにX 線発生装置の電源を切り 装置に使用禁止等の表示を行い弊社サービス部門に連絡してください 放射線の測定はX 線管球の最大管電圧時の最大負荷で実施してください 放射線の測定作業は防護服等を着用してください 定期的な測定以外に次の場合にも測定してください 装置を設置したとき 装置を移設したとき 防 X 線カバーを修理 あるいは組み付けしなおしたとき X 線管球を修理あるいは交換したとき X 線シャッターを修理あるいは交換したとき 光学系を交換 改造 修理を行ったとき X 線の被ばく またはその疑いがあったとき 個人線量計個人線量計は 放射線被ばくの発見や 漏えい放射線 散乱放射線による被ばくついて吸収線量の評価に有効です X 線回析装置を使用する場合は 装置管理者等が指示した個人線量計 1) ( フィルムバッチ ルクセルバッチ等 ) を着用してください 1) 用語解説参照 14 X 線回折装置を安全にご利用いただくために

19 安全に関する注意事項 電気的危険性に対する注意事項 高電圧に対する注意事項 X 線を発生中は高電圧トランスから高電圧ケーブルを経由してX 線管球に数 kv~ 数百 kv の高電圧が供給されます X 線の発生を停止した後もX 線の高電圧トランス内と高電圧ケーブルは帯電しており高電圧になっています 高電圧ケーブルを装置から取り外すと感電します 感電による事故を防止するために高電圧ケーブルの抜き差し 高電圧ケーブルヘッドの清掃と絶縁グリスの交換は弊社サービス部門へ連絡してください X 線管球の交換作業をするときは高電圧ケーブルヘッドに直接触れないでください 以下作業は弊社サービス部門担当者または使用する資格のある担当者 1) が行います 1. X 線発生装置の電源と壁電源スイッチを切り 装置への給電経路を二重に遮断する 2. 高電圧ケーブルと高電圧トランス内に高電圧の電荷が充電されているので電源を遮断した後 必ず 30 分以上経過してから作業を開始する 3. 高圧ケーブルヘッドの清掃などで直接手に触れる場合は ヘッド接点をアースに接地して高電圧の電荷を完全に放電させた後に作業を行う ヘッド接点高電圧ケーブルヘッド ( 高圧トランス側 ) ヘッド接点 高電圧ケーブルヘッド (X 線管球側 ) 1) X 線作業主任者免許を受けた者 またはX 線作業主任者の指示 管理の下で装置を使用する者で 装置の管理者からX 線作業の安全保持のために必要な事項について教育を受けた者 X 線回折装置を安全にご利用いただくために 15

20 安全に関する注意事項 装置内部の電源に対する注意事項 X 線発生装置の内部には充電部や帯電部があります これらの部分に触れると感電するおそれがあります メンテナンス作業などでX 線発生装置の内部に触れる前に弊社サービス部門へ連絡してください 接地線に対する注意事項 X 線回析装置の接地線は必ず保護導体 1) に接続した状態で使用してください 1. X 線回析装置の内部および外部の接地端子と保護導体 ( 保護接地端子 ) の接続を未接続にすることは危険な状態です 2. X 線回析装置が通電状態の場合に接地線を外すことは絶対に行わないでください 火災の危険性 万一 装置から煙が発生する 異臭がするときは EMO ボタンを押して装置に供給している電源を切ってください 1) 用語解説参照 16 X 線回折装置を安全にご利用いただくために

21 安全に関する注意事項 材料および物質による危険性に対する注意事項 ベリリウムに対する注意事項 X 線管球の窓 試料の雰囲気を変えるアタッチメントの窓 X 線検出器の窓には金属ベリリウムが使用されています ベリリウムやその腐食物 化合物の粉末や蒸気が人体にふれ または体内に入ると有害です 重症や死にいたる危険性があります 以下のことを守ってください 1. 金属ベリリウムに身体の一部を触れないでください 誤って素手で触れたり皮膚に付着した場合は すぐに石鹸で洗い流して医師の診断を受けてください 2. 金属ベリリウム部分に次のことを行わないでください 水で濡らす ( 取扱い中に万一水で濡れた場合には 吸水性の良い紙などで吸い取る ) 磨く 削る 切る 破壊する 薬品で拭く 焼却する 粉末 蒸気にする 3. 誤って破損した場合には次のようにしてください 素手でさわらない 粉末を吸い込まない 全ての破片を回収し 飛散しないよう密閉した容器に入れ 破損したものは専門の業者に処分を依頼する 適切な業者が見つからない場合には 弊社に相談する 有害な試料の測定に関する注意事項 本装置には有害な試料に対する安全機構はありません 有害な試料の取扱に関する専門知識のある担当者以外は測定しないでください 以下の注意事項を守ってください 1. 放射性物質は測定しないでください 放射線を被ばくするおそれがあります また X 線検出器が放射線を計数することがあります 2. 発火や爆発のおそれがある物質を測定しないでください 3. 揮発性のある試料や低温で液体になる試料は専用の容器を用意してください 4. アスベストや遊離けい酸は その粉塵を吸引しないでください 5. 有害な物質の粉塵や蒸気 ミストを吸引しないでください また それらが人体や衣服に触れないようにしてください 6. 有害な試料が飛散しないようにしてください 試料の雰囲気をガスにする場合の注意事項 本章の ガスに対する注意事項 を読んで注意事項を守ってください X 線回折装置を安全にご利用いただくために 17

22 安全に関する注意事項 熱的危険性に対する注意事項 使用終了直後のX 線管球の交換や試料の温度を高温または低温に保持するアタッチメントを使用の場合には 不適切に扱うと火傷や低温障害になるおそれがあります 取扱には以下の注意事項を守ってください 火傷の危険性に対する注意事項 X 線管球の交換作業時の注意事項 X 線発生装置使用直後の封入型 X 線管 および組立式 X 線管球の電子銃と回転対陰極 ( ターゲット ) の交換作業は それらが高温になっているため火傷のおそれがあります 交換作業では以下の注意事項を守ってください 封入型 X 線管は X 線発生装置の使用を停止し 装置の電源および壁の電源を切り 30 分以上経過した後に作業を行ってください 開放型 X 線管球は 最初にX 線発生装置の使用を停止し つぎに排気動作を停止します その後 3 時間以上経過してから 装置の電源および壁の電源を切り X 線管球内を大気圧にしてから作業を行ってください 高温アタッチメントの取扱に関する注意事項 1) 試料の温度を上げて高温状態に保持することが出来る高温装置を使用する場合は不適切に扱うと火傷のおそれがあります 取扱には以下の注意事項を守ってください 試料の装着や交換は 炉体や炉内部の温度が室温に戻ってから行ってください 高温装置のカバー ( 大気側の容器 ) を取り外すときは 炉体や炉内部の温度が室温に戻ってから行ってください 高温の状態でカバーを外すと炉体や部品が破損します 高温の気体または液体で昇温する方式の高温装置を使用する場合は 高温の気体または液体が直接人体または衣服に当たらないようにしてください 適切な保護具を使用してください 低温障害の危険性に対する注意事項 2) 試料の温度を下げて低温状態に保持することが出来る低温装置を使用する場合は不適切に扱うと低温障害を引き起こすおそれがあります 取扱には以下の注意事項を守ってください 1. ドライアイス 液体窒素 液体ヘリウムなど試料の温度を低温にするための冷媒を直接人体または衣服に当たらないようにしてください 2. 小さな部屋で多量の液体窒素を扱うときには酸欠にならないよう 十分な換気をしてください 1) 試料高温装置 赤外線加熱高温装置 試料直熱高温装置 試料超高温装置 液晶試料高温装置 試料中低温装置 水蒸気高温装置 X 線回折 - 示差走査熱量同時測定装置 など 2) 試料中低温装置 試料極低温装置 試料低温装置 など 18 X 線回折装置を安全にご利用いただくために

23 安全に関する注意事項 ガスに対する注意事項 ガスは取扱を誤ると重大な事故になるおそれがあります ガス容器の設置 運搬 保管 返却 取扱は法令を守ってください 注意深く取扱い 以下の事項を守ってください 高圧ガスに関する注意事項 1. ガス容器は専用の容器 ( ボンベ ) 立てに固定し 転倒 転落しないようにしてください 2. ガス容器は 40 以下に保ち 通風のよい場所に置き 直射日光を避けてください 3. ガス容器の弁は 使用しないときは閉じてください 4. ガス容器を油の付いた手や手袋で取扱わないでください 5. ガス容器は注意深く取扱ってください 不注意に扱って転倒 転落などをすると容器 設備 配管などの爆発 破裂が起こるおそれがあります 6. 配管や弁などからガス漏れがないことを石鹸水や検知液で使用前に確認してください 7. ガス容器の弁を急激に開かないでください 急な圧力差で ボンベに接続した容器や配管を破損するおそれがあります 8. ガス容器を本来の目的以外に使用しないでください 9. 作業場所 設置場所は十分に換気してください 10. 高圧ガスの取扱は 関係する法令 ( 高圧ガス保安法とその関連法令 ) を遵守してください 11. ガスの再充填やガス容器の廃棄は専門の業者 ( 付表 1) に依頼するか弊社の営業部門へ連絡してください 可燃性 腐食性 毒性のあるガスに対する注意事項 可燃性のあるガスや腐食性 毒性のあるガスの取扱は 上記の高圧ガスに関する注意事項を守り さらに 以下の事項を守ってください 1. 可燃性のあるガスは ガス漏れや不適当な取扱によって火災や爆発を引き起こすおそれがあります ガス漏れがないことを確認してから適正に取扱ってください 2. 可燃性のあるガスを使用するときは 作業場所の 5 メートル以内は喫煙 火気の使用を禁止し 引火性 発火性のものを置かないでください 3. 腐食性のあるガスは 装置とその部品および設備を腐食させるおそれがあります 腐食性のあるガスの取扱に関する専門知識のある担当者以外は取り扱わないでください 4. 毒性のあるガスは 少量のガス漏れでも人命にかかわる重大な事故を引き起こす場合があります 毒性のあるガスの取扱に関する専門知識のある担当者以外は取り扱わないでください 5. ガスの排気 放出は法令を遵守して適正に処理してください X 線回折装置を安全にご利用いただくために 19

24 安全に関する注意事項 毒性のないガスに対する注意事項 毒性のないガスでも充満した状態では窒息するおそれがあります ガスの滞留がないように換気してください 20 X 線回折装置を安全にご利用いただくために

25 安全に関する注意事項 用語解説 X 線回折装置 X 線を試料に照射したときに生じる回折 X 線の回折角と強度を記録する装置 X 線回折装置の基本構成は次の4 部分である X 線を発生するX 線発生部 回折線の回折角度を測るゴニオメータ部 回折線の強度を計数する計数部 および X 線発生部 制御部 ゴニオメータ部を制御して回折データを収集する制御 データ処理部 この他にいろいろな付属装置がある 放射線障害放射線障害は 電離放射線の生物学的作用により生体の細胞や組織が変化し 細胞の変異 死滅 組織の破壊などの現象が生じ これらが直接あるいは間接の原因となって生じる障害である 障害には吐気 全身倦怠 白血球増加 皮膚の色素沈着 脱毛 老化現象 発がん 寿命短縮 悪性貧血 白血病 などがある 電離放射線原子を電離する粒子や電磁波を電離放射線という 電離放射線には X 線 α 線 β 線 γ 線 電子線 中性子線などがある X 線回折法 X 線を結晶に照射するとその結晶に特有の回折図形 ( 多数の回折線で構成される回折パターン ) が得られる 回折図形を解析して結晶の構造を解析したり 結晶相に関する知見を得る方法 試料の形態によって粉末 X 線回折法と単結晶 X 線回折法がある 装置管理者装置の管理者 ( 管理団体 ) は 装置の使用と保守に責任を負う個人または団体であり 装置が本来の仕様と動作限界の範囲内で適正に運用され 操作担当者 保守担当者が適切な教育を受けることに対して責任を負う 操作担当者操作担当者は目的の機能を実現するために装置 製品を使用する 操作担当者は 安全保持および装置の適正な運用について教育を受けている必要がある 保守担当者保守担当者は装置 製品を正しく動作させるために必要な所定の作業を行う 具体的な保守作業の内容は装置の取扱説明書をご覧ください 保守担当者が実施できる事柄であるかどうかはそれぞれの取扱説明書に記載してある 該当しない項目については弊社サービス部門担当者にお任せください 保守担当者は 安全保持および装置の適正な運用について教育を受けている必要がある 放射線装置室 X 線回折装置を設置する専用の部屋 部屋の入り口に放射線装置室の標識を掲示する 必要のない者を立ち入らせてはならない ( 電離放射線障害防止規則第 15 条 ) 管理区域 (X 線管理区域 ) X 線の管理区域は X 線による実効線量が 3 ヵ月につき 1.3 msv を超えるおそれがある区域 管理区域の境界は標識で明示する また 必要のない者を立ち入らせてはならない ( 電離放射線障害防止規則第 3 条 ) 防 X 線カバーが正常に付いているX 線回折装置は カバーの外面がX 線管理区域の境界です X 線回折装置を安全にご利用いただくために 21

26 安全に関する注意事項 X 線作業主任者免許 X 線装置を使って 工業製品の品質検査や構造物の非破壊検査をする技術者を認定する国家資格 組立式 X 線管球 X 線管球内を真空ポンプで排気しながら使用する方式のX 線管球 開放式 X 線管球とも言う 製品には 回転対陰極 X 線管 ( 製品の総称はロータ ) や微小焦点 X 線管球 ( 製品例はマイクロフレックス ) がある 他方 管球内を真空にして封じたX 線管球を封入式 X 線管球と呼ぶ 組立式 X 線管球と封入式 X 線管球の総称としてX 線管球と表記する 低温障害低温障害には凍傷や凍瘡などがある 高圧ガス保安法高圧ガスによる災害を防止するために 高圧ガスの製造 販売 貯蔵 移動その他の取扱および消費や高圧ガス容器の製造 取扱などについて規定した法律 安全機能装置が偶発的に異常な動作をしたときや 作業者が不用意に装置を扱ったときなどに 事故を防止して正常な運転を確保するために必要な機能と 人をX 線の被ばくや火傷などの危険から保護するために必要な機能との両方を言う フェイルセーフ機能も安全機能の一つである フェイルセーフ機構 X 線の被ばくを防止するために取り付けられている部品等の故障が原因で 人がX 線を被ばくしないように機能する機構をフェイルセーフ機構と呼ぶ この機構が働くと X 線を発生できなかったり 発生中のX 線を停止したり X 線シャッターが開けなかったり 開いているシャッターを閉じたりする この機能は 弊社の防 X 線カバーが弊社の装置に正常に組み合わされている場合のみ有効である 個人線量計個人の受けた線量当量を測定するため 各個人に装着するように作られた小形の線量計 フィルムバッチ 光刺激ルミネッセンス線量計 熱ルミネッセンス線量計 ポケット線量計などがある ルクセルバッチ光刺激ルミネッセンス線量計の一つ 輝尽発光 OSL ; Optically Stimulated Luminescence (Photo-Stimulated Luminescence PSL ともいう ) 法による個人線量計 長瀬ランダウア株式会社 (Nagase Landauer, Ltd.) 製の個人線量計の商品名 保護導体感電保護のために 露出導電性部分 外部導電性部分および主接地端子を電気的に接続する導体 放射線防護の 3 原則作業者が電離放射線を受けることをできる限り少なくするには次の三つの方法があります これを放射線防護の 3 原則といいます 放射線源と人体の間に遮へい物を置く X 線は物質を透過すると減衰します 減衰量は 原子番号が大きい物質ほど 厚さが厚いほど多くなります 一般には鉛が使われています 放射線源と人体との距離を大きくとる X 線は距離の二乗に反比例して減衰します 被ばくの危険があるときは直ちにその場から離れることが重要です 放射線を受ける時間を短くする放射線を取扱う場合は できるだけ (1) や (2) の方法で放射線を防護します やむをえない場合は放射線を受ける時間を短くし 被ばくする量を最小にします 被ばくする量は少ないほどよい 法に定められた線量限度を超えて被ばくすることがないようにX 線に対する管理をしなければなりません 遮へい物を置く 放射線防護の 3 原則 距離を大きくとる 時間を短くする 22 X 線回折装置を安全にご利用いただくために

27 安全に関する注意事項 付表 1 高圧ガス容器の取扱 PSPC PSD のカウンタ 試料高温装置などで使用している高圧ガス容器 ( ボンベ ) は高圧ガス保安法に基づいて弊社で管理しています 使用済みの容器 あるいは不要になった容器を処分される場合には 最寄りの営業所にご相談ください 高圧ガス保安法により高圧ガス容器の一般廃棄は法律で禁じられております 高圧ガス及び 高圧ガス容器の再充填 廃棄等のご相談は下記の会社にてお受け致します 最寄の営業所へご連絡をお願い致します 高圧ガス容器の廃棄連絡先株式会社リガク東京蛍光サーヒ スステーション 渋谷区千駄ヶ谷 SKヒ ル千駄ヶ谷 東京回折サーヒ スステーション 東京都昭島市松原町 東北営業所 仙台市青葉区大町 大町佐藤屋ヒ ル2F 筑波営業所 茨城県つくば市小野崎 名古屋営業所 名古屋市東区代官町 第一富士ヒ ル 大阪サーヒ スステーション 大阪府高槻市赤大路町 九州営業所 北九州市小倉北区堺町 丸美小倉駅前ヒ ル 高圧ガス容器の再充填連絡先 高圧ガス容器の再充填 廃棄等に関するお願い 株式会社鈴木商館岩手事業所 岩手県北上市北工業団地 宮城営業所 宮城郡利府町しらかし台 郡山営業所 福島県郡山市喜久田町字松ヶ作 高崎営業所 群馬県高崎市八千代町 宇都宮営業所 栃木県宇都宮市清原台 iファーストヒ ル 入間営業所 埼玉県入間市宮寺宮ノ台 東京販売課 埼玉県上尾市平塚 千葉営業所 千葉県市原市五井 日立駐在 茨城県日立市桜川町 鈴木ヒ ル 筑波営業所 茨城県つくば市要 鹿島営業所 茨城県鹿島郡神栖町横瀬 柏営業所 千葉県柏市小青田字小船新田 君津営業所 千葉県君津市人見 京浜営業所 神奈川県川崎市川崎区水江町 相模営業所 神奈川県相模原市上溝 甲府営業所 山梨県甲府市国母 静岡営業所 静岡県静岡市駿河区宮竹 浜松営業所 静岡県浜松市南区青屋町 名古屋営業所 愛知県名古屋市熱田区沢上 四日市営業所 三重県四日市市平尾町 加賀営業所 石川県能美市和気町ウ 大阪営業所 大阪府茨木市五日市 堺営業所 大阪府高石市綾園 京都営業所 京都府京都市下京区西七条掛越町 60 菱ビル 福岡営業所 福岡市博多区吉塚 北九州出張所 福岡県北九州市小倉北区浅野 大分出張所 大分県大分市新貝 宮崎営業所 宮崎県宮崎市太田 X 線回折装置を安全にご利用いただくために 23

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29 ご使用前に SmartLab をご使用になる前に 本取扱説明書を必ず最後までお読みください また 本取扱説明書の初めに記載 されている X 線回折装置を安全にご利用いただくために を必ずお読みください 法的規制 X 線装置使用に関する法的規制 X 線を使用する装置 を設置 移転 変更 および廃止する場合には 法令に基づき 届け出などの措置を行わなければならないとされています 届出に必要な書類 届け先は お客様の業種などで異なり 次のようになっています 1. 人事院規則 10-4 の運用別表類が適用される国の機関 ( 例 : 科学警察研究所 防衛施設庁 消防大学校 文部科学省 国土交通省 環境省など ) 提出書類 エックス線装置届( 設置 変更 廃止 ) エックス線装置検査結果の記録書( 設置 変更 廃止 ) 管理区域の説明書 提出期限設置 変更検査終了日 または廃止日から 30 日以内提出先所属省庁の本省 本庁の安全担当部門経由人事院事務総長関係法令人事院規則 10-4 職員の保健および安全保持 ( 昭和 48 年 3 月 1 日 ) 人事院規則 10-5 職員の放射線障害の防止 ( 昭和 38 年 9 月 25 日 ) 2. 労働基準法別表第 1 の第 11 項 または第 12 項に該当する場合 ( 例 : 公立大学 公立専門学校など ) 提出書類 建設物/ 機械など / 設置 移転 変更届 放射線装置摘要書 または 放射線装置室等摘要書 管理区域の説明書 その他お客様でご用意いただく図書類 ( 例 : 当該建築物の各階の平面図など ) 提出期限工事開始の 30 日前まで提出先各都道府県の人事委員会事務局 3. 労働基準法別表第 1 の第 1~ 第 10 項または同第 13~ 第 15 項に該当する場合 ( 例 : 民間企業 国立大学法人などの法人化機構 私立大学 私立専門学校など ) 提出書類同上提出期限同上提出先所轄の労働基準監督署長関係法令電離放射線障害防止規則 ( 昭和 47 年労働省令第 41 号 ) 労働安全衛生法 ( 昭和 47 年法律第 57 号 ) 労働安全衛生規則 ( 昭和 47 年労働省令第 32 号 ) 労働安全衛生法 ( 昭和 47 年法律第 57 号 ) 労働安全衛生規則 ( 昭和 47 年労働省令第 32 号 ) 地方公務員法 ( 昭和 25 年 12 月 13 日 ) 労働基準法 ( 昭和 22 年 4 月 7 日 ) なお 詳細については案内書を用意しておりますので 弊社までお問合せください

30 外国為替および外国貿易法 本製品は 外国為替および外国貿易法の安全保障輸出管理の規制品 ( 輸出貿易管理令別表第 1) に該当しませんが 輸出先国 輸出先組織または当局からの指示などにより該当となる場合があります ( キャッチオール規制 ) 輸出または日本国外に持ち出す場合は弊社への問合わせ および必要に応じて日本国政府 ( 経済産業省 ) への輸出許可申請など 必要な手続きをとってください なお 弊社の許諾なしに改造されている製品を日本国外に輸出する場合 弊社は自主判定書を発行できない場合があります 電気用品安全法 付属 ( 同梱 ) のケーブル類は SmartLab 以外に使用できません 著作権など 1. 本書の全体または部分にかかわらず 印刷版または電子的形態で 無断で複写 複製 転載することを禁止しています 複写などされる場合は その都度 事前に書面で弊社の許諾を得てください 2. 本書の全体または部分にかかわらず 無断で第三者への開示を禁止しています 開示される場合は その都度 事前に書面で弊社の許諾を得てください 3. 本書の全体または部分にかかわらず 無断で引用すること 翻訳して無断で引用すること および無断で第三者へ開示することを禁止しています 引用や翻訳などされる場合は その都度 事前に書面で弊社の許諾を得てください 4. この取扱説明書は 特にご契約がない限り 原則として製品 1 台につき 1 セット付属します 5. この取扱説明書の記載内容は 将来予告なしに変更することがあります 免責 1. 次に起因する事故について 弊社は一切の責任を負いかねますのでご了承ください 本製品の目的以外の使用 製品寿命 無断改造 お客様による保守不良 天変地異 戦争 暴動 紛争 お客様による本書に反した操作 設置条件違反 消耗品 2. 株式会社リガクは 本製品の使用者 作業者が本書を運用した結果と結果の影響について 一切の責任を負いかねますのでご了承ください 移設 本製品を現在設置している場所から移動 移設する場合は弊社に連絡してください

31 登録商標 商標 Microsoft Windows は 米国 Microsoft Corporation の米国およびその他の国における登録商標または商標です Pentium は Intel 社の登録商標です その他の会社名 製品名は各社の商標および登録商標です なお TM および マークは省略しています

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33 目 次 目 次 概要...1 特長...3 試料水平配置型のθ-θ 型ゴニオメータ... 3 アタッチメント... 3 X 線発生装置... 3 クロスビームオプティクス (CBO)... 3 結晶の調整機構 ( モノクロメータおよびアナライザ )... 4 受光アナライザシステム... 4 入射光学系システム... 4 受光光学系システム... 5 光学系の切換システム... 5 光学素子の検出... 5 制御ソフトウェア (SmartLab Guidance) スリット型小角散乱光学系... 6 薄膜構造をより詳細に解析するインプレーン光学系 (2080B212)... 6 各部の名称...7 本体... 7 ゴニオメータ... 9 X 線管球...11 θsアーム...12 θdアーム...13 検出器の取付け部...14 試料台とアタッチメント...14 ソフトウェアの構成...15 制御ソフトウェア...15 データ処理ソフトウェア...15 データ表示ソフトウェア ( オプション )...15 解析ソフトウェア ( オプション )...15 SmartLabの起動と停止...17 SmartLabを起動する...17 SmartLab Guidanceを起動する...17 X 線をONにする ( スタートアップ )...18 X 線をOFFにする ( シャットダウン )...19 SmartLab Guidanceを終了する...20 SmartLabを停止する...20 ドアの開閉...21 ドアを開ける...21 ドアを閉める...22 緊急遮断スイッチ (EMO)...22 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 i

34 目 次 内部照明のON/OFF(LAMP)...22 光学系...23 CBOユニット (Cuターゲット用)...23 入射光学ユニット ( 標準入射光学ユニット )...28 入射平行スリットアダプタ (IPS adaptor) 結晶モノクロメータ ( オプション ) 結晶モノクロメータ ( オプション )...34 CBO-fユニット ( オプション :2220C301)...36 入射スリットボックス...38 標準入射スリットボックス...38 コリメータホルダー ( オプション )...40 受光スリットボックス 標準受光スリットボックス 受光光学ユニット 受光光学素子アダプタ (ROD adaptor) 結晶アナライザ ( オプション )...50 受光光学ユニット 受光平行スリットアダプタ (RPS adaptor)...52 受光スリットボックス 標準受光スリットボックス アッテネータ...57 標準アッテネータ...57 検出器...59 カウンタアダプタ...59 シンチレーションカウンタ...61 Cu 用カウンタモノクロメータユニット (DBM unit:2726h112)...63 D/teX Ultra( オプション :5741A300)...66 Cu 用カウンタモノクロメータユニット (D/teX Ultra 用オプション :2726P101)...68 PILATUS( オプション :5742A101)...70 試料台...71 標準試料台...72 β 試料台 ( オプション :2430B101)...72 オートサンプルチェンジャ :ASC-6( オプション :2430H101)...73 垂直透過測定 ( オプション :2455H104)...73 AntonPaar 製の試料台の使用...74 アタッチメント...75 試料板...77 高さ基準試料板...77 透過小角用試料板 ( オプション :2680J111)...77 キャピラリ回転 ( オプション :2430C101)...78 ウェーハ試料板と試料厚調整板...78 ii SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

35 目 次 試料厚調整板の取付け 取外し...81 ウェーハ試料板の取付け 取外し...82 試料ホルダー...83 ガラス試料ホルダー...83 アルミ試料ホルダー...83 透過法用試料ホルダー ( オプション :2680J111)...83 付属品...85 試料の取付け例...87 粉末試料...87 バルク試料...87 小角散乱測定用試料 ( 透過型 )...87 ウェーハ状試料...88 測定を行う...89 測定の準備を行う...89 装置構成を設定する...89 パッケージ測定を選択する...90 定期メンテナンス...91 光学系のメンテナンス...91 冷却水...92 冷却水用フィルター...92 ターゲット (2080A211)...92 フィラメント (2080A211)...92 イオンゲージ ( 真空計 )(2080A211)...92 ロータリーポンプ (2080A211)...92 トラブルシューティング...93 OPERATEランプの動作について...94 Cat. No. 2080A211/B211/B212/A231/A232/B231/B232 Manual No. MJ11573A ( 初版 ) SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 iii

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37 概要 全自動多目的水平型 X 線回折装置 SmartLab( 以下 SmartLab) は 試料水平配置のθ-θ 型高精度ゴニオメータを搭載した汎用 X 線回折測定システムです スリット ( 選択スリット ) を交換するだけで 多結晶試料の測定を簡便に行うことができる集中法光学系 多結晶試料の高精度測定や薄膜試料の測定に適している多層膜ミラーを用いた平行ビーム光学系 ナノサイズの試料を測定する小角散乱光学系を切り換えることができます また 入射側に 2 結晶または 4 結晶モノクロメータ 受光側に 2 結晶アナライザを搭載した高分解能光学系を ユニットを交換するだけで簡単に組み換えることができます さらに インプレーンアームの追加により 各種のインプレーン測定が可能になるなど 薄膜評価に必要な様々な測定にも対応します 集中法 ソーラスリット ソーラスリット Ni フィルタ ソーラスリット ソーラスリット カウンターモノクロメータ 定性 定量 ソーラスリット PSA PSA ソーラスリットソーラスリット 粉末プロファイル解析配向度測定薄膜 膜厚測定 SmartLab9k W システム 平行ビーム 2 結晶モノクロメータ + ソーラスリット 4 結晶モノクロメータ 2 結晶アナライザ 2 結晶アナライザ ソーラスリットソーラスリットソーラスリット 膜厚測定逆格子マップロッキングカーブ 小角散乱 ソーラスリット ソーラスリット 粒径 空孔径分布 微小部 CBO-f ソーラスリット D/teX Ultra 微小領域 インプレーン光学系 平行ビーム PSC 2 結晶モノクロメータ + PSC PSA PSA 配向度測定インプレーン測定 CBO ユニット入射光学系受光光学系 SmartLab の構成と測定例 本取扱説明書で取り扱う SmartLab は以下の7タイプです 2080A211 ロータタイプ 2080B211 封入管タイプ 2080B212 封入管タイプ インプレーンアーム付 2080A231 XRD-DSC ロータタイプ 2080A232 XRD-DSC ロータタイプ オートサンプラーあり 2080B231 XDR-DSC 封入管タイプ 2080B232 XRD-DSC 封入管タイプ オートサンプラーあり SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 1

38 特性 X 線 X 線は 真空中で非常に高速度の電子を作り それを対陰極 ( ターゲット ) に衝突させて発生させます 電子をターゲットに衝突させて得る X 線のスペクトルは 連続した分布を示す 連続 X 線 ( 白色 X 線 ) と 線状のスペクトルを示す 特性 X 線 の 2 種類に分類されます 4000 β α 特性 X 線 強度 2000 連続 X 線 波長 (A ) Cu ターゲットの X 線スペクトル 特性 X 線の波長は ターゲットの種類によって異なり X 線回折には 通常 表に示す数種類の金属の Kα 線が用いられます Kα 線には 波長が非常に近接した Kα 1 線および Kα 2 線が含まれています 定性分析などの目的で行われる通常の粉末試料の測定ではあまり問題にはなりませんが 粉末試料を用いた結晶構造解析のための測定や 薄膜試料を用いたより精密な測定では Kα 1 線のみを用いて測定を行うほうが良い結果が得られる場合があります 近年 多層膜ミラーと Ge や Si のモノクロメータ結晶を入射光学系に導入することにより Kα 1 線のみを用いて測定を行うことができるようになりました 表特性 X 線の波長 ターゲット 波長 (A ) 元素 原子番号 Kα 2 Kα 1 Kβ Cr Fe Co Cu Mo Ag W

39 試料水平配置型の θ-θ 型ゴニオメータ 特長 試料水平配置型の θ-θ 型ゴニオメータ θ-θ 型ゴニオメータの採用により 試料を水平に保持したまま ( 試料の方位調整を行った場合には水平でないこともあります ) ωスキャン 2θ/ωスキャン 2θスキャンを行うことができます 試料を水平に置くことで 大型ウェーハなどの試料では 自重による歪の影響を最小限にすることができるだけでなく 試料の落下に対する危険性も少なくなります また 2 つの主軸には 軸エンコーダを搭載しており それぞれ の分解能による制御が可能です アタッチメント エリアマップ測定を行うための XY アタッチメントや インプレーン測定や逆格子マップ測定の前に行う試料方位調整のための RxRy アタッチメントなどを搭載することができます 各種アタッチメントは 新開発のコネクタの採用により 容易に交換することができます X 線発生装置 X 線源が移動する試料水平配置型ゴニオメータでありながら 世界最高水準の高強度 X 線発生装置を搭載することができます 高輝度焦点の採用により 多層膜ミラーと組み合わせて使用した場合 回転対陰極式 18 kw X 線発生装置の 50% の出力で同等の強度 ( 封入管式と比較して約 6~7 倍の強度 ) が得られます また ランニングコストの削減にもつながります ( 当社比 ) また 封入管式管球(3 kw) も SmartLab ゴニオメータに組み合わせて使用できます 主な仕様は 以下のとおりです 表 1 X 線発生装置の仕様 最大出力最大管電圧最大管電流ターゲット金属 回転対陰極式 *1 9 kw 45 kv 200 ma Cu 封入管式 *2 3 kw 60 kv 50 ma Cu *1:2080A211/2080A231/2080A232 *2:2080B211/2080B212/2080B231/2080B232 クロスビームオプティクス (CBO) 粉末試料の定性 定量分析などの目的のため 強度を優先する集中法光学系 (Bragg-Brentano 光学系 ) 用のダイレクトビームと 粉末試料のプロファイル解析や 配向度測定 薄膜試料の測定 逆格子マップ測定およびロッキングカーブ測定などに用いられる多層膜ミラーを用いた単色平行ビームを スリットの交換だけで簡単に切り換えて使用することができます 同様に スリットを交換することによって ナノ材料評価用の小角散乱光学系 微小領域の分析用の光学系に切り換えることもできます SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 3

40 特長 結晶の調整機構 ( モノクロメータおよびアナライザ ) 測定に必要な分解能に応じて 結晶の指数や種類を選択することができます 2 結晶モノクロメータ 4 結晶モノクロメータおよび 2 結晶アナライザには調整機構を内蔵しており 制御ソフトウェア ( 以下 SmartLab Guidance ) により 自動で調整を行うことができます 結晶の調整位置は ユニットを取り外した後も保持されるので 一度調整された結晶は ユニットを取り付けるだけで ( 調整を行わずに ) データ測定を行うことができます 受光アナライザシステム 受光スリットボックス 2 にスリット位置の移動機構が搭載されているため 以下の受光アナライザシステムを 簡単な部品交換および SmartLab Guidance による自動調整で切り換えることができます 受光側の 2 つの可変スリットによるダブルスリットアナライザ粉末集中法 小角散乱 反射率測定など 平行スリットアナライザ平行ビーム光学系を使用した高強度高精度を必要とする粉末試料のプロファイル測定 薄膜測定 配向度測定など 2 結晶アナライザ高い分解能を必要とする反射率測定 逆格子マップ測定 ロッキングカーブ測定など 入射光学系システム 以下の機構により 集中法光学系 平行ビーム光学系 2 結晶または 4 結晶によって単色化された平行ビーム光学系 小角散乱光学系 微小領域の測定を行う光学系を容易に切り換えることができます また 各種インプレーン測定を行う場合は インプレーン方向の分解能を決める平行スリットコリメータ (PSC) を 入射平行スリットアダプタおよび 2 結晶モノクロメータに取り付けることができます CBO ユニット入射ビームを選択する 標準入射光学系ユニットソーラースリット 2 結晶モノクロメータ ( ソーラースリット付 ) 4 結晶モノクロメータを切り換える 標準入射スリットボックス可変スリットと長手制限スリットを持つ 4 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

41 受光光学系システム 受光光学系システム 以下の機構により 目的に応じた広範囲な分解能を容易に切り換えることができます また 各種インプレーン測定を行う場合には インプレーン方向の分解能を上げる平行スリットアナライザ ( インプレーン PSA) を使用することができます 標準受光スリットボックス 1 集中法光学系での測定で Kβ 線を除去するためのフィルターを装着する 標準受光光学ユニット 1 各種のアナライザを装着する 標準受光光学ユニット 2 ソーラースリットなどの平行スリットを装着する 標準受光スリットボックス 2 スリット位置の調整機構を持つ 標準アッテネータ X 線の強度を調整する 光学系の切換システム 各光学系の調整位置は SmartLab Guidance に保存されます 光学系を切り換えた場合は 前回の調整位置が設定されるので 再調整の必要はありません 光学素子の検出 SmartLab Guidance では 測定に使用されている次の光学素子の状態を調べることができます CBO ユニットの選択スリット ソーラースリットの種類または結晶モノクロメータの種類 入射スリットの幅 ビームの長手方向制限スリットの長さまたはコリメータの種類 受光スリットの幅 アナライザの種類 ソーラースリットの種類 検出器の種類 カウンタモノクロメータの有無など SmartLab Guidance では 必要な光学素子が取り付けられているかどうかのチェックが行われ ユーザーに適切な光学系を構築するためのメッセージを表示します また 測定データファイルには測定時の光学素子の状態が保存されるため データの再現性 トレーサビリティを向上させることができます SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 5

42 特長 制御ソフトウェア (SmartLab Guidance) SmartLab Guidance は 従来のソフトウェアのように SmartLab を制御するためだけではなく ユーザーが必要とする測定のための手順 条件の設定をガイドします それぞれの測定目的に応じた光学素子の構成 光学系の調整方法 試料位置の調整方法 測定条件は パッケージ測定と呼ばれる単位でまとめられています 評価目的に応じたパッケージ測定を選択すれば ユーザーはガイドに従って 光学系の調整 試料位置の調整およびデータ測定を 適切な条件で行うことができます それぞれのパッケージ測定は その測定において 多くの経験をつんだ専門家によって作成されていますので X 線回折測定や X 線反射率測定の経験が浅いユーザーであっても 専門家が行う測定と同等の測定を行うことができます 調整や測定の条件はカスタマイズすることもできるので 特殊なケースにも柔軟に対応することができます また マニュアル制御による測定も可能なため 幅広いユーザーに使用していただくことができます 2 スリット型小角散乱光学系 多層膜ミラーを用いた 2 スリット型小角散乱光学系は 従来の 3 スリット型小角散乱光学系と比較して より高精度で S/N 比の高い測定が可能です さらに 従来困難であった小角散乱光学系の調整を SmartLab Guidance により 自動で行うことができるようになりました 測定データの粒径 空孔径解析 ( 粒子の大きさ 分布 形状などの解析 ) は 光学系による散乱像の歪み補正を スリット関数のデコンボリューションによって実現した NANO-Solver がサポートします 薄膜構造をより詳細に解析するインプレーン光学系 (2080B212) インプレーンアームと RxRy アタッチメントの採用により 試料を回転しても X 線は試料表面すれすれに入射する条件を保ったまま 試料の面内回折を測定することができます これにより 基板からの回折や散乱が観測されない条件で 試料面に対して垂直な回折面の情報 薄膜の配向や結晶性 歪みなどを高精度で測定することが可能です また インプレーン光学系を応用した反射正極点測定では 薄膜の測定ブラインド ( 従来法では 試料面に対して垂直な回折面は透過法で測定 ) をなくし 全域の極点図による結晶配向情報を得ることができます 光学系調整 試料位置調整および測定条件の設定は SmartLab Guidance のパッケージ測定によって自動で行われます 6 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

43 本体 各部の名称 1 2 SmartLab 全体 ( 左 :2080A211/2080B211/2080A231/2080B231 右 :2080B212/2080A232 /2080B232) 1 ロータリーポンプ 2 制御用 PC X 線発生部を真空に保つためのポンプです (2080A211/2080A231/2080A232) SmartLab を操作するための PC です 本体 SmartLab 前面 ( 左 :2080A211/2080B211/2080A231/2080B231 右 :2080B212/2080A232 /2080B232) SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 7

44 各部の名称 1メインパネル 2 操作パネル 3ドア 4X 線発生装置の警告灯 5ドアロックボタン SmartLab の起動 停止を行うためのパネルです 内部照明の ON/OFF を行うためのパネルです 試料や光学素子の交換を行う場合に開閉します X 線が発生している場合に点灯します ドアの施錠と解錠を行います SmartLab 背面 6 電源の接続 7 制御用 PC との接続線 外部からの電源を接続します SmartLab を制御するための LAN ケーブル取り出し口です 8 ロータリーポンプとの接続線ロータリーポンプの電源を接続します (2080A211/2080A231/2080A232) 9 冷却水循環装置との接続線 10 冷却水配管 11ロータリーポンプ配管 12ブレーカ 冷却水循環装置 ( ショートカットバルブ ) の制御用です X 線発生装置の冷却水を接続します ロータリーポンプからのパイプを接続します (2080A211/2080A231/2080A232) 本体へ電源を供給するためのブレーカです 8 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

45 ゴニオメータ ゴニオメータ ゴニオメータ 1θs アーム 2X 線管球 3 入射光学系 4θd アーム 5 受光光学系 6 検出器 7 試料台 8インプレーンアーム X 線の入射角度を制御するアームです X 線の発生装置です X 線の入射条件を整える各種光学素子です 検出器の角度を制御するアームです X 線の受光条件を整える各種光学素子です X 線を検出するための検出器です 測定試料の位置 方位を調整します インプレーン測定を行う際に使用するθd アームです (2080B212) SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 9

46 各部の名称 θs アーム 選択スリット PB/BB/SA など CBO ユニット (Cu ターゲット用 ) 入射長手制限スリット 10 15(mm) など 入射スリットボックス 入射平行スリットアダプタ / モノクロメータ Soller slit 5.0 deg Ge(220)x2 CBO-f など 入射光学ユニット ( 標準入射光学ユニット ) θd アーム Kβ フィルター 受光スリットボックス 1 受光光学素子アダプタ / アナライザ PSA PSA deg Ge(220)x2 など 受光光学ユニット 1 受光平行スリットアダプタ ソーラースリット / インプレーン PSA Soller slit 5.0 deg In-plane PSA 0.5 deg など 受光光学ユニット 2 シンチレーションカウンタ D/teX ultra /Cu 用カウンタモノクロメータユニット 検出器 試料台 試料板高さ基準試料板 4 インチ試料板など 試料板 アタッチメント標準 XY-4 φ など アタッチメント 試料台標準試料台 β 試料台など 試料台 10 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

47 X 線管球 X 線管球 回転対陰極式 X 線管球 (2080A211/2080A231/2080A232) 1 冷却水の配管 2 回転ターゲット 3シャッター 4フィラメント交換窓 5イオンゲージ 6ターボ分子ポンプ (TMP) X 線発生装置の冷却水のパイプを接続します X 線の発生源です X 線の出射を制御します フィラメントを交換するための窓です X 線発生装置の真空度を測定します X 線発生部を真空に保つためのポンプです 封入管式 X 線管球 (2080B211/2080B212/2080B231/2080B232) 1 冷却水の配管 2X 線管球 3 シャッター X 線発生装置の冷却水のパイプを接続します X 線の発生源です X 線の出射を制御します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 11

48 各部の名称 θs アーム θs アーム 1 入射コネクタボックス 各種光学素子の制御線を接続します 2 クロスビームオプティクス (CBO) ユニット 各種の光学系を切り換える光学ユニットです 3 入射光学ユニット 4 入射スリットボックス ソーラースリット モノクロメータなどを設置します 入射側の可変スリットです 12 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

49 θd アーム θd アーム θd アーム 1 受光コネクタボックス 2 受光スリットボックス 1 3 受光光学ユニット 1 4 受光光学ユニット 2 5 受光スリットボックス 2 6アッテネータ 各種光学素子の制御線を接続します 受光側の可変スリットです 受光光学素子 ( アナライザ ) を設置します ソーラースリットなどを設置します 受光側の可変スリットです X 線の強度を調整します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 13

50 各部の名称 検出器の取付け部 1 2 検出器の取付け部 1 カウンタアダプタ 2 固定台 検出器を取り付けます 検出器を固定します 試料台とアタッチメント 試料台とアタッチメント 1 試料台 2 アタッチメント 3 試料板 試料台本体です 試料台に取り付けるアタッチメントです 試料ホルダーまたは試料を載せます 14 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

51 制御ソフトウェア ソフトウェアの構成 制御ソフトウェア SmartLab Guidance SmartLab の制御および測定を行います データ処理ソフトウェア 標準データ処理 PDXL 平滑化 バックグランド除去などの基本的なデータ処理を行います 基本的なデータ処理を行います データ表示ソフトウェア ( オプション ) 薄膜データ処理 (9240H162) 多重記録 (9240H162) 反射率やロッキングカーブの簡易的な解析を行います 複数の測定データを重ねて表示します 3D Explore ST1(9240H403) 逆格子マップ測定 極点測定などの 2 次元データの表示と簡単なデータ処理を行います 解析ソフトウェア ( オプション ) PDXL(9240J J J710) GlobalFit 反射率 (9240H155) NANO-Solver(9289H901) 追加機能で 定性分析 定量分析 リートベルト解析などを行うこともできます 反射率解析を行います 粒径空孔径分布解析を行います Pore サイズ解析 (9240H231) GlobalFit ロッキングカーブ (9240H145) QA-Tex(9240H601) 表面界面散乱を考慮して 薄膜中の粒径空孔径分布解析を行います ロッキングカーブのシミュレーションおよび解析を行います 試料の配向度を定量的に解析します CSDA(9240H651) 結晶子サイズ分布解析を行います SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 15

52 管電圧 管電流 特性 X 線の強度は管電圧と最低励起電圧 ( その特性 X 線を得るために必要な最低電圧 ) の差の n 乗に比例し また 管電流に比例します 管電圧が小さい場合 n は 2 に近く 管電圧が大きくなるに従って小さくなります 一方 Kβ フィルター法でバックグラウンドとして観測される連続 X 線の強度は 管電圧の 2 乗に比例し 管電流に比例します したがって 管電圧は それぞれのターゲットに対して測定に最適な値が決まっています 下記の表は ターゲット別の最適電圧を示したものです Kβ フィルター法で測定を行う場合は P/B 比 ( ピークバックグラウンド比 ) が最大になるように管電圧を設定するのもよい方法です ターゲット 最低励起電圧 (kv) 最適電圧 ( 同一負荷 )(kv) 強度最大 P/B 比最大 Cu ~55 25~35 Co ~50 25~35 Fe ~45 25~35 Cr ~40 20~30

53 SmartLab を起動する SmartLab の起動と停止 SmartLab の起動および停止の手順を以下に説明します SmartLab を起動する 1 メインパネルの HV ENABLE キーが解除された状態 ( 水平 ) であることを確認してください ロックされている ( 垂直 ) 場合は キーを右にまわし ロックを解除してください 解除されていることを確認 メインパネル 2 ON ボタン を押します 3 ON ボタン が点灯していることを確認します 4 OPERATE ランプが緑色で点灯していることを確認します OPEARATE ランプは SmartLab の起動中またはエラーが発生したときに点滅します 詳細につい ては OPERATE ランプの動作についてを参照してください SmartLab Guidance を起動する 1 [ スタート ] メニューの [ すべてのプログラム ]-[Rigaku]-[SmartLab Guidance]-[SmartLab Guidance] をクリックし SmartLab Guidance を起動します 2 ログイン画面が表示されます [ ログイン名 ] と [ パスワード ] に登録されているユーザー名とパスワードを入力して [OK] をクリックします ( 初回起動時は [ ログイン名 ] に administrator を入力して パスワードは入力せずに [OK] をクリックします ) 3 起動後 制御軸の初期化を行います 初期化の詳細については SmartLab Guidance レファレンスマニュアル (MJ13365A) の第 14 章を参照してください SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 17

54 SmartLab の起動と停止 X 線を ON にする ( スタートアップ ) [ タスク ] メニューの [ パッケージ測定 ] をクリックし 表示された [ パッケージ測定 ] フローバーの [ スタートアップ ] をクリックします スタートアップ スタートアップの手順については SmartLab Guidance オンラインヘルプの メンテナンスパッケージ測定 の 2.1 節を参照してください 注意 : 冷却水循環装置を使用していない場合は 冷却水が流れていることを確認してください 冷却水が流れていない場合や 水量 水圧が適切でない場合は スタートアップ実行後 3 分間アラーム音が鳴ります 3 分以内にアラーム音が消えるように水量を調節し 再度 スタートアップを実行してください 水量の調節については 冷却水循環装置の取扱説明書を参照してください 18 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

55 X 線を OFF にする ( シャットダウン ) X 線を OFF にする ( シャットダウン ) [ タスク ] メニューの [ パッケージ測定 ] をクリックし 表示された [ パッケージ測定 ] フローバーの [ シャットダウン ] をクリックします シャットダウン シャットダウンの手順については SmartLab Guidance オンラインヘルプの メンテナンスパッケージ測定 の 2.6 節を参照してください SmartLab を使用しない時は 通常 排気制御を停止せずに X 線のみ OFF にしておきます この場合 コントローラには通電されているので SmartLab Guidance からの起動 ( エージングなど ) が可能な状態になっています SmartLab を長期間 ( 年末年始など ) 使用しない場合は メインパネルの OFF ボタン を押し SmartLab の電源を OFF にしておいてください (2080A211) 注意 : 冷却水循環装置を使用していない場合は シャットダウン後 SmartLab の上部にある警 告灯の黄色いランプが消えた後 3 分以上経過してから 冷却水を止めてください (3 分以内に冷却水を止めると SmartLab にダメージを与える場合があります ) SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 19

56 SmartLab の起動と停止 SmartLab Guidance を終了する X 線を OFF にしたら SmartLab Guidance を終了します 1 [ ファイル ] メニューの [ 終了 ] をクリックし SmartLab Guidance を終了します SmartLab を停止する SmartLab を長期間 ( 年末年始など ) 使用しない場合は 以下の手順で SmartLab を停止します 1 測定が終了しているかなど SmartLab の状態を確認します 2 メインパネルの OFF ボタン を押します メインパネル 3 OPERATE ランプが消灯したことを確認します SmartLab への通電が完全に遮断されます 20 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

57 ドアを開ける ドアの開閉 X 線の被ばくを避けるため シャッターとドアにはインターロックが構築されています 安全に作業を進めるため に X 線発生中に測定試料や光学素子を交換する場合は 以下の手順でドアの開閉を行ってください ドアを開ける 注意 : 通常の状態では ロックがかかっているためドアは開きません 1 ドアにある DOOR LOCK ボタンを押します 2 シャッターが閉じて ドアのロックが解除されます 3 DOOR LOCK ボタンが点滅し ピーピー というアラーム音が鳴ります 4 ドアを開けます 注意 : ドアのロックが解除されている状態では シャッターを開くことはできません また 次 のメッセージが表示され 再びドアをロックするまで SmartLab Guidance の操作を行う ことはできません SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 21

58 ドアの開閉 ドアを閉める 1 ドアを閉めます 2 ドアの DOOR LOCK ボタンを押します 3 正常にロックがかかると DOOR LOCK ボタンの点滅およびアラーム音が止まり 測定を開始すること ができます 緊急遮断スイッチ (EMO) 緊急事態が発生した場合に押します このスイッチのボタンを押すと ブレーカが OFF になり 本体への電源が遮断されます 緊急停止から復帰する際には ボタンを時計回りに回して復帰させ 安全を確認した後 ブレーカをONにし SmartLabを再起動します (SmartLabを起動する SmartLab Guidanceを起動する X 線をONにする ( スタートアップ )) 参照 ) 注意 : SmartLab を再起動した後 SmartLab Guidance も再起動してください 緊急遮断スイッチ (EMO) 内部照明の ON/OFF(LAMP) LAMP ボタンを 1 回押すと内部照明が点灯し もう一度押すと消灯します LAMP ボタン 22 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

59 CBO ユニット (Cu ターゲット用 ) 光学系 本章では 各部の名称と取付け方法について説明します Kα1 ユニットの取り扱いについては Kα1 ユニット の取扱説明書をご覧ください CBO ユニット (Cu ターゲット用 ) 標準的な Cu ターゲットからの特性 X 線 (Kα 線 ) 用の CBO ユニットです 選択スリットを交換するだけで 発散ビームと 多層膜ミラーにより整形されたビーム ( 平行ビーム / 集光ビーム ) の 2 種類のビームを 切り換えて使用することができます 平行ビームに関しては 小角散乱測定用の細いビーム 微小部測定用のビームを作ることもできます 多層膜ミラーの微調整は SmartLab Guidance から行うことができます 表 2 CBO ユニット ユニット名称略記図 CBO ユニット (Cu ターゲット専用 ) Cu 波長に対応し 発散ビームと 平行ビームを切り換えることができます CBO(Cu) CBO ユニット (Cu/Co 対応 ) ( オプション :9999) Cu 波長 Co 波長に対応し 発散ビームと平行ビームを切り換えることができます CBO(Cu/Co) CBO-E(Cu ターゲット専用 ) ( オプション :9999) Cu 波長に対応し 発散ビームと集光ビームを切り換えることができます CBO-E SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 23

60 光学系 1 CBO ユニットをシャッターに取り付けて 奥の面に突き当てた状態で 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固 定します 2 ケーブルを入射コネクタボックスの CBO に差し込みます 24 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

61 CBO ユニット (Cu ターゲット用 ) 3 選択スリットを CBO ユニットのスリットボックスに挿入します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 25

62 光学系 表 3 選択スリット 光学系名対応する CBO 略記図 集中法用 CBO(Cu) CBO(Cu/Co) CBO-E BB 集中法用 (Co) CBO(Cu/Co) に付属 CBO(Cu/Co) BB Co 平行ビーム用 CBO(Cu) CBO(Cu/Co) に付属 CBO(Cu) CBO(Cu/Co) PB 集光ビーム用 CBO-E に付属 CBO-E CB 微小部用 ( オプション :2431C302) CBO(Cu) CBO(Cu/Co) PB03 小角散乱測定用 ( オプション :2680J111) CBO(Cu) CBO(Cu/Co) SA 微小部測定用 ( オプション :2680G111) 小角散乱高強度測定用 ( オプション :9999) CBO(Cu) CBO(Cu/Co) CBO-E CBO(Cu) CBO(Cu/Co) MA SA01 取り付けられている選択スリットの種類は SmartLab Guidance から判別することができます 26 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

63 CBO ユニット (Cu ターゲット用 ) 表 4 微小部測定用選択スリット ( オプション ) 光学系名サイズ略記図 平行ビーム (2431C302) φ0.3 mm PB03 平行ビーム (2431C301) φ0.1 mm PB01 ポイント線源 *1 (2431C202) φ0.3 mm BB03 ポイント線源 *1 (2431C201) φ0.1 mm BB01 *1:2080B211 / 2080B212( 封入管タイプ ) でのみポイント線源に切り換え可能 取り付けられている選択スリットの種類は SmartLab Guidance から判別することができます コリメータと組み合わせて ダブルピンホールコリメータとして使用します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 27

64 光学系 入射光学ユニット ( 標準入射光学ユニット ) 入射 X 線のコンディションを整えるための光学素子を取り付けます 平行スリット 2 結晶モノクロメータ 4 結晶モノクロメータの 3 種類の光学素子を切り換えて使用することができます 入射平行スリットアダプタ (IPS adaptor) 平行スリットを装着するためのアダプタです 入射平行スリットアダプタ 1 入射平行スリットアダプタを CBO ユニットに上からスライドさせるようにして取り付けた後 付属の 工具 ( 六角レンチ ) で固定します 28 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

65 入射光学ユニット ( 標準入射光学ユニット ) 2 ケーブルを入射コネクタボックスの MONO/ADPT に接続します 3 平行スリットをアダプタに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 29

66 光学系 表 5 入射平行スリット 種類発散制限角度略記図 開放 ( オプション :2680D115) なし Soller_Slit_open ソーラースリット 5 Soller_Slit_5.0deg ソーラースリット ( オプション :2680D114) 2.5 Soller_Slit_2.5deg インプレーン PSC (Parallel Slit Collimator) ( オプション :2680D113) 1.0 In-plane_PSC_1.0deg インプレーン PSC ( オプション :2680D112) 0.5 In-plane_PSC_0.5deg インプレーン PSC ( オプション :2680D111) 0.15 In-plane_PSC_0.15deg アダプタに取り付けられている入射平行スリットの種類は SmartLab Guidance から判別することができます 30 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

67 入射光学ユニット ( 標準入射光学ユニット ) 2 結晶モノクロメータ ( オプション ) チャンネルカット結晶を用いた 2 回の反射によって X 線を単色化する光学素子です チャンネルカット結晶の微調整は SmartLab Guidance で行います また チャンネルカット結晶の後ろに 専用の平行スリットを取り付けることができます 2 結晶モノクロメータ 1 2 結晶モノクロメータを CBO に上からスライドさせるように取り付けた後 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 31

68 光学系 2 ケーブルを入射コネクタボックスの MONO/ADPT に接続します 3 平行スリットを 2 結晶モノクロメータに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します 32 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

69 入射光学ユニット ( 標準入射光学ユニット ) 表 6 2 結晶モノクロメータ 結晶回折面略記図 Ge ( オプション :2680B111) 220 Ge(220)x2 Ge ( オプション :2680B112) 400 Ge(400)x2 取り付けられている結晶の種類は SmartLab Guidance から判別することができます 表 7 2 結晶モノクロメータ用平行スリット 種類発散制限角度略記図 開放 ( ユニットに付属 ) なし Soller_slit_open ソーラースリット ( オプション :2680D213) 5.0 Soller_slit_5.0deg ソーラースリット ( オプション :2680D212) 2.5 Soller_slit_2.5deg インプレーン PSC ( オプション :2680D211) 0.5 In-plane_PSC_0.5deg アダプタに取り付けられている平行スリットの種類は SmartLab Guidance から判別することができます SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 33

70 光学系 4 結晶モノクロメータ ( オプション ) 2 つのチャンネルカット結晶を用いた 4 回の反射によって X 線を高精度に単色化する光学素子です チャンネルカット結晶の微調整は SmartLab Guidance で行います 4 結晶モノクロメータ 1 4 結晶モノクロメータを CBO ユニットに上からスライドさせるように取り付けた後 付属の工具 ( 六 角レンチ ) で固定します 34 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

71 入射光学ユニット ( 標準入射光学ユニット ) 2 ケーブルを入射コネクタボックスの MONO/ADPT に接続します 表 8 4 結晶モノクロメータ 結晶回折面略記図 Ge ( オプション :2680B211) 220 Ge(220)x4 Ge ( オプション :2680B212) 440 Ge(440)x4 取り付けられている結晶の種類は SmartLab Guidance から判別することができます SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 35

72 光学系 CBO-f ユニット ( オプション :2220C301) 平行ビームの長手方向を試料位置に集光して 微量試料や微小領域の測定を行う場合に使用する光学素子です 微調整は SmartLab Guidance で行います CBO-f ユニット 1 CBO-f ユニットを CBO ユニットに上からスライドさせるように取り付けた後 付属の工具 ( 六角レン チ ) で固定します 36 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

73 入射光学ユニット ( 標準入射光学ユニット ) 2 ケーブルを入射コネクタボックスの MONO/ADPT に接続します 取り付けられている結晶の種類は SmartLab Guidance から判別することができます SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 37

74 光学系 入射スリットボックス θs アームの Zs 軸に取り付ける可変スリットボックスです 標準入射スリットボックススリットの幅を調整して 集中法の場合はビームの発散角度 平行ビームの場合は ビームの幅を制御します 小角散乱の場合は寄生散乱をガードするスリットとして機能します また ビームの長手方向の長さを制限するための長手制限スリットを挿入することができます 標準入射スリットボックス 1 標準入射スリットボックスを Zs 軸に取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します 38 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

75 入射スリットボックス 2 ケーブルを入射コネクタボックスの SLIT に接続します 3 ビームの長手方向の長さを調整する長手制限スリットを挿入します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 39

76 光学系 表 9 長手制限スリット 制限スリットの長さ略記図 15 mm mm 10 5 mm 5 2 mm mm 微小部光学系用 ( オプション : 2680G111) 0.5 挿入されている長手制限スリットの種類は SmartLab Guidance から判別することができます コリメータホルダー ( オプション ) 微小領域の測定のために 各種のピンホールコリメータを取り付けることができます オプションで CuKβフィルターを取り付けることができます 表 10 コリメータホルダー 名称仕様図 PB コリメータホルダー (2431D201) 多層膜ミラーや CBO-f とコリメータを組み合わせる際に使用します BB コリメータホルダー (2431D101) ポイント光学系で使用します 40 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

77 入射スリットボックス 表 11 入射側フィルター ( オプション ) 名称 図 アブソーバケース (2431H101) Cu 用 Kβフィルター (2431H201) Kβ フィルターは各種波長に対応可能です 弊社サービス部門担当者までお問い合わせください SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 41

78 光学系 1 ピンホールコリメータボックスを Zs 軸に取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します 2 ケーブルを入射コネクタボックスの SLIT に接続します 42 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

79 入射スリットボックス 3 ピンホールコリメータを挿入します 表 12 ピンホールコリメータ ( オプション ) ピンホール直径略記図 φ0.2 mm (2431E103) 0.2 φ0.1 mm (2431E102) 0.1 φ0.05 mm (2431E101) 0.05 挿入されているピンホールコリメータの種類は SmartLab Guidance から判別することができます SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 43

80 光学系 受光スリットボックス 1 θd アームの試料側に取り付けるスリットボックスです 標準受光スリットボックス 1 集中法光学系では スリット幅を調整してビームの集光角度を制御します 平行ビーム光学系では ダブルスリットで受光する場合の 1 つ目のスリットとして機能します スリットの幅は SmartLab Guidance で制御することができます また 特性 X 線に含まれる Kβ 線を除去するための Kβフィルターを挿入することができます 標準受光スリットボックス 1 1 標準受光スリットボックス 1 をθd アームのレールに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します 44 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

81 受光スリットボックス 1 2 ケーブルを受光コネクタボックスの SLIT1 に接続します 3 Kβ フィルターを挿入することができます Kβ フィルターが挿入されているかどうかは SmartLab Guidance から判別することができます Kβ フィルター (Ni 箔 ) このフィルターを通すことによって Cu からの特性 X 線の強度が Kα 線は 1/2 Kβ 線は 1/10 となり Kβ 線をほとんど除去することができます ( 集中法の測定で使用します ) SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 45

82 光学系 4 取り付けられた位置は θd アームの目盛りから読み取ることができます 46 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

83 受光光学ユニット 1 受光光学ユニット 1 受光スリットボックス 1 の外側に取り付けます 受光光学ユニット 1 には 平行スリットアナライザまたは 2 結晶アナライザを取り付けることができます 受光光学素子アダプタ (ROD adaptor) 平行スリットアナライザ (PSA:Parallel Slit Analyzer) を装着するためのアダプタです 平行スリットアナ ライザは スリットが θd 軸のスキャン方向に垂直な方向 (2θ の分解能方向 ) に取り付けます 受光光学素子アダプタ 1 受光光学素子アダプタを θd アームのレールに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 47

84 光学系 2 ケーブルを受光コネクタボックスの ADPT1 に接続します 3 平行スリットアナライザをアダプタに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します 48 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

85 受光光学ユニット 1 表 13 平行スリットアナライザ 開口角度長さ略記図 開放 45 mm PSA_open 1.0 ( オプション : 2680F113) 45 mm PSA_1.0deg mm PSA_0.5deg ( オプション : 2680F111) 90 mm PSA_0.114deg 開放 90 mm PSA_open 注意 : PSA deg または PSA open (90 mm) を取り付ける場合は 原則として 受光平行スリットを使用しないでください 受光平行スリットを使用する場合は 受光平行スリットアダプタ 標準スリットボックス 2 アッテネータおよび検出器を 右へ移動してください アダプタに取り付けられている平行スリットアナライザの種類は SmartLab Guidance から判別 することができます SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 49

86 光学系 2 結晶アナライザ ( オプション ) チャンネルカット結晶を用いた 2 回の反射によって 試料からの回折線の分解能を高めます アナライザ結晶の微調整は SmartLab Guidance で行います 2 結晶アナライザ 1 2 結晶アナライザ θd アームに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します 50 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

87 受光光学ユニット 1 2 ケーブルを受光コネクタボックスの ADPT1 に接続します 表 14 結晶の種類 結晶回折面略記図 Ge ( オプション :2680C111) 220 Ge(220)x2 Ge ( オプション :2680C112) 400 Ge(400)x2 取り付けられている結晶の種類は SmartLab Guidance から判別することができます SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 51

88 光学系 受光光学ユニット 2 受光光学ユニット 1 の外側に取り付けます 受光光学ユニット 2 には 平行スリットを取り付けることができ ます 受光平行スリットアダプタ (RPS adaptor) 平行スリットを取り付けるためのアダプタです 平行スリットは スリットがθd 軸のスキャン方向に平行な方向 ( 軸発散方向 ) になるように取り付けます 受光平行スリットアダプタ 1 受光平行スリットアダプタを θd アームのレールに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します 52 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

89 受光光学ユニット 2 2 ケーブルを受光コネクタボックスの ADPT2 に接続します 3 平行スリットをアダプタに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 53

90 光学系 表 15 受光平行スリット 種類開口角度略記図 ソーラースリット 5.0 Soller_slit_5.0deg ソーラースリット ( オプション :2680F114) 2.5 Soller_slit_2.5deg インプレーン PSA ( オプション :2680F113) 1.0 In-plane_PSA_1.0deg インプレーン PSA (PSA 0.5 deg を兼用 ) 0.5 In-plane_PSA_0.5deg インプレーン PSA (PSA deg を兼用 ) ( オプション :2680F111) In-plane_PSA_0.114deg アダプタに取り付けられている平行スリットの種類は SmartLab Guidance から判別することが できます 54 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

91 受光スリットボックス 2 受光スリットボックス 2 θd アームの検出器側に取り付けるスリットボックスです 標準受光スリットボックス 2 集中法光学系における測定の分解能を制御します 平行ビーム光学系では ダブルスリットで受光する場合の 2 つ目のスリットとして機能します スリットの幅および上下の位置は SmartLab Guidance で制御します 標準受光スリットボックス 2 1 標準受光スリットボックス 2 をθd アームのレールに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 55

92 光学系 注意 : 集中法光学系で測定する場合は 取付け位置を 300 mm にしてください 2 ケーブルを受光コネクタボックスの SLIT2 に接続します 56 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

93 アッテネータ アッテネータ 回折 X 線の強度を調整します 標準アッテネータ回転円盤にある数種類のアッテネータを制御します 光学系調整時のアッテネータも内蔵しています アッテネータの種類は SmartLab Guidance で切り換えます また 測定時には 測定強度に合わせて 自動的にアッテネータを切り換えることもできます 標準アッテネータ 1 標準アッテネータを θd アームのレールに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 57

94 光学系 2 ケーブルを受光コネクタボックスの ATT に接続します アッテネータの種類には Open 1/70 1/1000 1/10000 の他に 調整用として 9 kwbb 9 kwpb 3 kwbb 3 kwpb があります 58 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

95 カウンタアダプタ 検出器 カウンタアダプタ カウンタアダプタを取り付けます カウンタアダプタ 1 カウンタアダプタを θd アームのレールに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 59

96 検出器 2 ケーブルを受光コネクタボックスの COUNTER に接続します 60 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

97 シンチレーションカウンタ シンチレーションカウンタ シンチレーションカウンタをカウンタアダプタに取り付けます シンチレーションカウンタは 受光光学系で受光した X 線を検出します シンチレーションカウンタが取り付けられているかどうかは SmartLab Guidance から判別することができます シンチレーションカウンタ 1 受光光学系からの X 線をダイレクトに検出する ( カウンタモノクロメータユニットを使用しない ) 場合 シンチレーションカウンタを固定台に取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 61

98 検出器 2 固定台をカウンタアダプタに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します 3 取り付けられた位置は θd アームの目盛りから読み取ることができます 62 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

99 Cu 用カウンタモノクロメータユニット (DBM unit:2726h112) Cu 用カウンタモノクロメータユニット (DBM unit:2726h112) 受光した X 線を単色化して Kα 線のみを測定する場合に使用します 単色化に使用するグラファイト結晶の向きは 集中法用の湾曲方向 (Bent) と平行ビーム法用の平板方向 (Flat) を 切換えつまみを回すことによって 簡単に切り換えることができます 切換えつまみ Cu 用カウンタモノクロメータユニット Cu 用カウンタモノクロメータユニットは 湾曲方向のみの集中法専用タイプ (2726H113) も用 意しております 1 カウンタモノクロメータユニットにシンチレーションカウンタを取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 63

100 検出器 2 ユニットをカウンタアダプタに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します 3 ユニットが取り付けられた位置は θd アームの目盛りから読み取ることができます 注意 : 集中法光学系で グラファイト結晶の向きを湾曲方向 (Bent) で使用する場合は 以下の 表に従って ユニットを決められた位置に取り付けてください 平板方向 (Flat) で使用 する場合は ユニットを任意の位置に取り付けることができます ターゲットの種類 Cu Co Fe Cr 取付け位置 mm mm mm mm 64 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

101 Cu 用カウンタモノクロメータユニット (DBM unit:2726h112) 4 ユニットにモノクロメータスリット (RSm) を挿入します スリットの有無は SmartLab Guidance から判別することができます 注意 : 集中法光学系で グラファイト結晶の向きを湾曲方向 (Bent) で使用する場合のみ モノ クロメータスリットを使用します 平板方向 (Flat) で使用する場合は モノクロメータ スリットは使用しません SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 65

102 検出器 D/teX Ultra( オプション :5741A300) D/teX Ultra は 小さな検出素子を並べた 1 次元検出器です X 線の強度を効率よく検出することができるため 微量成分の検出などを高速で行うことができます D/teX Ultra は カウンタアダプタに取り付けて使用します D/teX Ultra が取り付けられているかどうかは SmartLab Guidance から判別することができます D/teX Ultra 1 受光光学系からの X 線をダイレクトに検出する ( カウンタモノクロメータユニットを使用しない ) 場合 D/teX Ultra を固定台に取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します 2 受光光学素子アダプタ ( 受光光学素子アダプタ (ROD adaptor) 参照 ) を取り外し 受光平行スリットアダプタ ( 受光平行スリットアダプタ (RPS adaptor) 参照 ) 標準受光スリットボックス 2( 標準受光スリットボックス 2 参照 ) および標準アッテネータ ( 標準アッテネータ参照 ) を前 ( 入射側 ) にずらした後 カウンタアダプタを取り付けます 66 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

103 D/teX Ultra( オプション :5741A300) 3 固定台をカウンタアダプタに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します 注意 : 集中法光学系で測定する場合は カウンタアダプタの取付け位置を 351 mm にしてくだ さい 取付け位置 4 D/teX Ultra の背面にあるコネクタに電源ケーブルおよび 通信ケーブルを接続してください ケーブ ルを接続する際には メインパネルの OFF ボタン を押し SmartLab の電源を OFF にしてくだ さい SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 67

104 検出器 Cu 用カウンタモノクロメータユニット (D/teX Ultra 用オプション :2726P101) 受光した X 線を単色化して Kα 線のみを測定する場合に使用します Cu 用カウンタモノクロメータユニット (D/teX Ultra 用 ) 1 カウンタモノクロメータユニットに D/teX Ultra を取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定しま す 68 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

105 Cu 用カウンタモノクロメータユニット (D/teX Ultra 用オプション :2726P101) 2 受光光学素子アダプタ ( 受光光学素子アダプタ (ROD adaptor) 参照 ) と受光平行スリットアダプタ ( 受光平行スリットアダプタ (RPS adaptor) 参照 ) 標準受光スリットボックス 2( 標準受光スリットボ ックス 2 参照 ) と標準アッテネータ ( 標準アッテネータ参照 ) を取り外してください 3 ユニットをカウンタアダプタに取り付けて 付属の工具 ( 六角レンチ ) で固定します 注意 : 集中法光学系で測定する場合は カウンタアダプタの取付け位置を 351 mm にしてくだ さい 取付け位置 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 69

106 検出器 PILATUS( オプション :5742A101) PILATUS は 低ノイズ 高感度 半導体ハイブリッド2D 検出器です PULATUS ホルダー (2431J101) を使用して PILATUS を SmartLab に取り付けます 縦置き 横置きの切り換えが可能です PILATUS の取り付け例 ( 左 : 横置き右 : 縦置き ) 70 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

107 試料台 ゴニオメータには 試料面を上下させるための Z 軸が取り付けられています この機構により各種試料台またはア タッチメントを使用した際の 試料面の調整を行うことができます 試料上下調整部各種試料台は この試料上下調整部に取り付けることができます 下の図のようにレールの部分を合わせて上から下にスライドして取り付けます 水平状態になったことを確認後 レールの左側にある芋ねじを専用工具で絞めて固定してください ダイレクトビームストッパ ( オプション :5741A300 に付属 ) およびナイフエッジ ( オプション :2431G101) を取り付けることができます D/teX Ultra による高速測定でのバックグラウンドの低減の効果があります ダイレクトビームストッパ SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 71

108 試料台 標準試料台 各種アタッチメントを組み合わせて使用することができます 標準試料台 β 試料台 ( オプション :2430B101) 各種アタッチメントを組み合わせて使用することができます 試料面内の回転軸 (β 軸 ) により 選択配向低減のため 回転させながら測定を行うことができます β 試料台 72 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

109 オートサンプルチェンジャ :ASC-6( オプション :2430H101) オートサンプルチェンジャ :ASC-6( オプション :2430H101) ターンテーブルに取り付けた 6 個のサンプルを切り替えながら連続測定ができます 面内回転軸 (β 軸 ) により 選択配向低減のため 回転させながら測定を行うことができます ナイフエッジ オートサンプルチェンジャ垂直透過測定 ( オプション :2455H104) CBO-E を使った 集光光学系と組み合わせることで 垂直透過測定を行うことができます この際には フィルム透過試料板 (2455E463) が必要になります 左下にあるレバーを緩めることでテーブルが回転できるようになります 反時計回りに 180 回転することで垂直透過測定ができる状態になります ナイフエッジ 散乱防止スリット ダイレクトビームストッパ 垂直透過配置への変更 ナイフエッジ SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 73

110 試料台 AntonPaar 製の試料台の使用 HTK1200N HTK16 HTK2000 XRK900 TTK450 CHC の AntonPaar 社製の温度調整機構付き試料台を使った測定ができます それぞれの試料台の取扱いや配管については それぞれの取扱説明書を参照してください AntonPaar 用取付アダプタ HTK16 CHC 各種 AntonPaar 社製試料台の取り付け例 74 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

111 アタッチメント 各種の調整軸を持つアタッチメントを 測定の目的に合わせて交換し 使用することができます アタッチメントの取付け方法を以下に説明します 1 [ 制御 ] メニューの [ マニュアル制御 ] をクリックし χ 軸を 0 φ 軸を 0 に移動します 2 フックを外します 3 左右の止め金具を開いて アタッチメントを取り外します ピン 止め金具 フック 4 左右の止め金具が開いているのを確認します 5 手前のピンにアタッチメントの溝を合わせて アタッチメントを取り付けます 6 止め金具を閉じて フックをかけます SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 75

112 アタッチメント 表 16 アタッチメントの種類 名称説明図 標準アタッチメント 移動軸のないアタッチメントです 反射率や粉末 バルク状の試料の測定に使用されます RxRy アタッチメント ( オプション :2680A213) 直行する 2 軸のあおり方向を調整する Rx 軸 Ry 軸を持つアタッチメントです 逆格子マップ測定 各種のインプレーン測定に使用されます XY-20 アタッチメント ( オプション :2680A211) 直行する 2 軸の移動方向を調整する X 軸 Y 軸を持つアタッチメントです 微小領域の測定の際の測定位置調整に使用されます ただし 8 インチウェーハ試料板は使用することができません XY-4 φ アタッチメント ( オプション :2680A212) 直行する 2 軸の移動方向を調整する X 軸 Y 軸を持つアタッチメントです 4 インチウェーハのフルマップ測定に使用されます 4 インチ XY マッピング試料板以外の試料板は使用することができません キャピラリ回転アタッチメント ( オプション :2430C101) キャピラリに詰めたサンプルを 回転させながら測定することができます 取り付けられているアタッチメントの種類は SmartLab Guidance から判別することができます 76 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

113 高さ基準試料板 試料板 試料に合わせて 試料板を選択します 高さ基準試料板 ガラス試料ホルダーまたはアルミ試料ホルダーを挿入して使用します 高さ基準試料板は アタッチメントに直接載せて使用します 調整時には センタースリット Si 粉末調整用試料を挿入して使用します 高さ基準試料板 透過小角用試料板 ( オプション :2680J111) 透過小角用試料ホルダーを挿入して使用します 透過小角用試料板は アタッチメントに直接載せて使用します 透過小角用試料板 高さ標準試料板 透過小角用試料板は 原則として標準アタッチメントに載せて使用します 標準アタッチメント以外のアタッチメントに載せて使用する場合は それぞれのアタッチメントの軸の位置を原点 (0 または 0 mm) に設定して使用します 各試料板の取付け 取外しについては ウェーハ試料板の取付け 取外しを参照してください SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 77

114 試料板 キャピラリ回転 ( オプション :2430C101) キャピラリに詰めた試料による測定に使用します 回転軸 (ωc) によって キャピラリを回転させながら測定することができます キャピラリを専用ホルダーに取り付け ホルダーをキャピラリ回転試料台に取り付けます キャピラリホルダーはφ1.0 mm φ0.7 mm 等各種のサイズを用意しています 使用するキャピラリのサイズに合わせて使用してください キャピラリ回転試料台とキャピラリホルダー ウェーハ試料板と試料厚調整板 ウェーハ状の試料を載せて測定する試料板です アタッチメントに試料厚調整板を載せ その上に各試料板を載せて使用します 測定する試料の大きさによって 4 インチ用 6 インチ用 8 インチ用が用意されています ウェーハ試料板と試料厚調整板 注意 : 試料板のサイズより大きい試料を載せると 測定中に試料が破損する場合があります 78 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

115 ウェーハ試料板と試料厚調整板 試料の固定には 基本的にマグネットを使用すると便利です 試料の取付け方法については ウェーハ状試料を 参照してください 試料固定用マグネット 試料固定用マグネットは 3 mm 程度以下の試料で使用できます Z 軸によって 試料の表面を X 線の中心に調整します Z 軸で調整できる試料の厚みは 3 mm のため 測定す る試料の厚みによって 試料厚調整板を切り換えて使用します 表 17 試料厚調整板 測定可能な試料厚略記図 0~3 mm ( オプション :2680A406) 0-3 mm 3~6 mm ( オプション :2680A405) 3-6 mm 6~9 mm ( オプション :2680A404) 6-9 mm 9~12 mm ( オプション :2680A403) 9-12 mm 0-3 mm( 青い刻印 ) 12~15 mm ( オプション :2640A402) 0~3 mm(*1) 15 mm~18 mm ( オプション :2680A401) 3~6 mm(*1) 12-15mm 0-3 mm( 青い刻印 ) 15-18mm 3-6 mm( 青い刻印 ) *1:XY-4 φ アタッチメントを使用する場合の試料厚です 青い刻印で確認してください SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 79

116 試料板 表 18 ウェーハ試料板 名称 図 4 インチウェーハ試料板 ( オプション :2680A301) 6 インチウェーハ試料板 ( オプション :2680A302) 8 インチウェーハ試料板 ( オプション :2680A303) 4 インチウェーハ試料板 (18-21 mm 用 ) ( オプション :2680A301) 4 インチ XY マッピング試料板 XY-4"φ アタッチメントに付属 4 インチ XY マッピング試料板 (6-9 mm 用 ) ( オプション ) 表 19 アタッチメントと試料厚調整板 試料板の組み合わせ一覧 アタッチメント試料厚調整板試料板測定可能な試料厚 標準アタッチメント RxRy アタッチメント XY-20 mm アタッチメント XY-4"φ アタッチメント 0-3 mm 3-6 mm 6-9 mm 9-12 mm mm mm ( 黒い刻印 ) 4 インチウェーハ試料板 6 インチウェーハ試料板 (*1) 8 インチウェーハ試料板 (*1) 0-3 mm 3-6 mm 6-9 mm 9-12 mm mm mm 4 インチウェーハ試料板 (18-21 mm 用 ) mm 0-3 mm 3-6 mm ( 青い刻印 )(*2) 4 インチウェーハ試料板 6 インチウェーハ試料板 (*1) 8 インチウェーハ試料板 (*1) 4 インチ XY マッピング試料板 mm 0-3 mm 3-6 mm 4 インチ XY マッピング試料板 (6-9 mm 用 ) 6-9 mm 4 インチ XY マッピング試料板 9-12 mm *1:XY-20 mm アタッチメントに載せる場合 X=0 mm Y=0 mm のみでの使用になります *2:XY-4"φ アタッチメントを使用する場合 測定可能な試料の厚さは 各調整板の青い刻印で確認してください 80 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

117 ウェーハ試料板と試料厚調整板 試料厚調整板の取付け 取外し 試料厚調整板をアタッチメントに載せる場合は 以下の図のように矢印の部分を合わせて載せ 試料厚調整板を時計回りに回して固定します アタッチメントへの取付け 試料厚調整板をアタッチメントから取り外す場合は 以下の図の矢印で示したバーを押しながら 試料厚調整板を反時計回りに回転させます アタッチメントからの取外し SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 81

118 試料板 ウェーハ試料板の取付け 取外し ウェーハ試料板を試料厚調整板に取り付ける場合は 以下の図に示すように 矢印の部分を合わせて載せ 試料板を時計回りに回して固定します また ウェーハ試料板を反時計回りに回すことで 取り外すことができます ウェーハ試料板の取付け 取外し ウェーハ試料板をアタッチメントに直接載せる ( 取り外す ) 場合は 試料厚調整板の取付け 取外しを参照してください 82 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

119 ガラス試料ホルダー 試料ホルダー 試料の調製が必要な 粉末やバルクなどの試料を測定する場合に使用します 試料の調製については SmartLab Guidance オンラインヘルプの 簡易広角 ( 集中法 ) パッケージ 測定 または 簡易広角 (PB/PSA) パッケージ測定 の 2.8 節を参照してください ガラス試料ホルダー 粉末状の試料を測定する場合に使用します ガラス試料ホルダー アルミ試料ホルダー 粉末状の試料または小さなバルク上の試料を測定する場合に使用します アルミ試料ホルダー 透過法用試料ホルダー ( オプション :2680J111) 繊維状またはフィルム状の試料を透過法で測定する場合に使用します 透過法用試料ホルダー SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 83

120 X 線侵入深さ ( 有効厚 ) 無限厚の試料から得られる回折 X 線強度と有限厚 x cm の試料から得られる回折 X 線の強度比 Gx は以下の関係になります G x x di 0 D x di 0 D 2 1 exp sin したがって 入射 X 線の角度 θ および線吸収係数 μ(/cm) を次式に代入することにより 有効厚 x cm を求めることができます x ln( 1 G x )sin K 2 x sin 2 ただし K x ln 1 G x 回折線利用率 Gx (%) Kx 回折線利用率 90% を与える試料の厚さ x cm を Kx=2.30 θ=90 から計算した結果を表に示します 物質 密度 ρ 質量吸収係数 μ/ρ(cm 2 /g) 90% 利用率の厚さ (mm) (g/cm 3 ) MoKα CuKα CoKα CrKα MoKα CuKα CoKα CrKα α Al 2 O / Si 2.42/ α SiO / 粉末 CaCO / α Fe 2 O / ZnO 5.60/ Ag 2 O 7.22/ PbO I( 正方 ) 9.53/ Al α Fe 金属 SUS(18-8) Cu Pb ポリマー単結晶 ポリエチレン Si 塩化ビニール α SiO

121 付属品 表 20 付属品 名称 図 センタースリット Si 粉末調整用試料 Si ウェーハ調整用試料 光学系取付け工具 ( 六角レンチ ) SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 85

122 クロスビームオプティクス (CBO) CBO は 選択スリットを差し換えるだけで 集中法光学系での測定で使用する発散ビームと 多層膜ミラーにより作られた平行ビームを簡単に使い分けられるようにしたシステムです 図に示すように 選択スリット (BB) では光路 A を通る X 線を使用し 選択スリット (PB) では光路 B を通る X 線を使用します SmartLab では X 線源のフォーカスから 300 mm 離れた試料の中心 (= ゴニオメータの中心 ) で光路 A と光路 B がちょうど交差するように 多層膜ミラーが設計されています たとえば平行ビーム光学系から集中法光学系へ切り換える場合でも 多層膜ミラーを取り外す必要がなく 選択スリットの差換えと 2θ 軸の調整を 1 回行うだけで 光学系の切換えが完了します 選択スリット (BB) X 線源 ( フィラメント ) 試料 光路 A( 発散ビーム ) 選択スリット (PB) X 線源 ( フィラメント ) 試料 光路 B( 平行ビーム ) 選択スリットの切換えによる集中法光学系と平行ビーム光学系の切換え CBO-E は CBO の光路 A と光路 B が試料位置で交差するという特徴をそのまま残し 使用している多層膜ミラーの形状を 放物面から楕円面に変更したものです CBO-E で使用している楕円面多層膜ミラーは 楕円の一方の焦点を X 線源の焦点に もう一方の焦点を検出器面上になるように設計されています キャピラリーや透過試料台を使用した透過法による測定を行う際 検出器面上で X 線が焦点を結ぶため 1 次元検出器との組み合わせで 効率のよい測定を行うことができます 集中法光学系による反射法での測定と 集光光学系による透過法での測定の切り換えができ いずれの場合でも D/teX Ultra による効率のよい測定が可能なユニットです 検出器位置 X 線源 ( フィラメント ) 試料 選択スリット (CB) 光路 B( 集光ビーム ) CBO-E 概略図

123 粉末試料 試料の取付け例 試料の取付け方法の代表的な例について説明します 詳細については SmartLab Guidance に付属する各マニュアルを参照してください 粉末試料 ガラス試料ホルダーまたはアルミ試料ホルダーの充填部に試料を入れて 高さ基準試料板に挿入して使用します 粉末試料 バルク試料 通常は 4 インチウェーハ試料板 6 インチウェーハ試料板または 8 インチウェーハ試料板を使用しますが 試料の厚さによっては 試料厚調整板および試料板を選択します 詳細については ウェーハ試料板と試料厚調整板を参照してください 測定する試料面が 試料板となるべく平行になるように試料を載せます 固定の際 コンパウンドなどを使用すると便利です 付属のアルミ試料ホルダーの窓に入るサイズのバルク試料の場合は アルミ試料ホルダーに固定して 高さ基準試料板を使用することもできます 高さ基準試料板に載せたバルク試料 小角散乱測定用試料 ( 透過型 ) 繊維状やフィルム状の試料の場合 透過小角用試料ホルダーに試料を挟んで固定し 透過小角用試料板に挿入して使用します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 87

124 試料の取付け例 ウェーハ状試料 ウェーハ状試料の測定には 4 インチウェーハ試料板 6 インチウェーハ試料板および 8 インチウェーハ試料板 を使用します ウェーハ状試料 試料の取付けおよび取外しは 試料板および試料厚調整板をアタッチメントから外して行うことを お勧めします また 試料板および試料厚調整板を取り外す際は χ 軸を 0 にして 試料が水平 の状態で行うことをお勧めします 試料を試料板の中心に載せて 付属のマグネットで固定します マグネットで固定できる厚さは 3 mm 以下を 目安としてください 3 mm より厚い試料を測定する場合の試料の取付け方法については バルク試料を参照し てください 注意 : 試料板のサイズより大きい試料を載せると 測定中に試料が破損する場合があります 注意 : 8 インチウェーハ試料板に 8 インチウェーハを載せる場合は 試料を固定するマグネット を置くスペースが小さいため ウェーハ試料をできるだけ試料板の中央に載せてくださ い また 8 インチウェーハの場合 あおり軸 (χ 軸 ) を大きくすると 自重によってウ ェーハが湾曲することがあるので 測定の際には十分注意してください 88 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

125 測定の準備を行う 測定を行う ここでは 代表的な測定を行う際の最低限の操作方法を紹介します 詳細については SmartLab Guidance のレ ファレンスマニュアルおよびオンラインヘルプのパーツ パッケージ測定の項を参照してください 測定の準備を行う 1 メインパネルの OPERATE ランプが緑色で点灯していることを確認します 2 SmartLab Guidance を起動し [ タスク ] メニューの [ パッケージ測定 ] をクリックします 3 X 線を ON にするために [ スタートアップ ] をクリックします スタートアップの手順については SmartLab Guidance オンラインヘルプの メンテナンスパッケージ測定 の 2.1 節を参照してください 装置構成を設定する 1 [ オプション ] メニューの [ 装置構成 ] をクリックし [ 装置構成 ] ダイアログボックスを表示します SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 89

126 測定を行う 2 [ ゴニオメータ ] をクリックし [ ゴニオメータ ] ダイアログボックスを表示します 距離テーブル リミットテーブル 3 各光学素子の位置を設定してください 特に 受光光学系の光学素子を交換した場合は 標準受光スリットボックス 1 標準受光スリットボックス 2 カウンタアダプタの取付け位置を確認の上 距離テーブルおよびリミットテーブルに 正しい値を入力します パッケージ測定を選択する 1 [ タスク ] メニューの [ パッケージ測定 ] をクリックします 2 登録されているパッケージ測定がツリー状に表示されるので 測定目的に合ったパッケージ測定を選択します パッケージ測定の測定手順については SmartLab Guidance オンラインヘルプの各パッケージ測定の項を参照してください 90 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

127 光学系のメンテナンス 定期メンテナンス SmartLab の性能を維持するために必要なメンテナンスを以下に示します 光学系のメンテナンス 多層膜ミラーアッテネータ係数 HV/PHA 調整数え落とし補正係数 X 線発生装置のメンテナンスを行った場合には 再調整が必要です X 線発生装置のメンテナンスや測定する波長を変更した時には 再調整が必要です 測定する波長を変更した時には 再調整が必要です HV/PHA 調整をした後には 再度 数え落とし補正係数測定を行う必要があります 検出素子は特性変化が起こります 最終的には交換が必要ですが 以下の調整を行うことで性能を落とさずに使用することができます 調整は 定期的に行うことをお勧めします HV/PHA 調整 数え落とし補正係数測定 これらの調整を自動で行うには [ タスク ] メニューの [ パッケージ測定 ] をクリックし [ ユーティリティ ] の [ メンテナンス ] パッケージ測定を選択します 測定手順の詳細については SmartLab Guidance オンラインヘルプの メンテナンスパッケージ測定 の項を参照してください [ メンテナンス ] パッケージ測定の選択 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 91

128 定期メンテナンス 冷却水 冷却水循環装置を使用している場合は 冷却水の量を確認し 不足している場合は補充してください また 冷却水の定期的な交換をお勧めします 冷却水用フィルター 冷却水内の不純物を取り除きます フィルターが不純物により目詰まりすると 水圧が上がらなくなることがあるため 定期的な交換をお勧めします 以下では 回転対陰極式の X 線管球を使用している場合メンテナンスが必要となる部品について説明します ターゲット (2080A211) X 線の出力を上げるために ターゲット金属を高速で回転させています もし 異音がしたり いつもより大きな振動が現れたりした場合は 弊社サービス部門担当者まで連絡してください また フィラメントから コンタミネーション ( フィラメント物質であるタングステン ) が ターゲット金属面に付着します 付着すると ターゲット物質からの特性線のほかに コンタミネーションからの特性線が観測されることがあります この場合も メンテナンスが必要になりますので 弊社サービス部門担当者まで連絡してください フィラメント (2080A211) 電子の放出に伴い フィラメント自身が細くなり 最終的には断線する場合があります 断線の際に過剰な電子が放出され ターゲット面を荒らすことがあるため 定期的な交換をお勧めします イオンゲージ ( 真空計 )(2080A211) イオンゲージのフィラメントが断線する場合があるため 定期的な交換をお勧めします ロータリーポンプ (2080A211) 真空ポンプ内のオイルの量を確認してください オイルが減っている場合は補充してください また 定期的な交換をお勧めします 92 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

129 トラブルシューティング トラブル内容 対処方法 1 OPERATE ランプが緑色にならない ( 赤い ) コントローラが起動中である場合があります 数分間待ってください コントローラに障害が起きている場合があります メインパネルの OFF ボタンを押して SmartLab を一度停止した後 ON ボタンを押して SmartLab を再起動してください 2 SmartLab Guidance の起動時にエラーが出る SmartLab の初期化が正常に終わらない SmartLab のコントローラとの接続が正常でない場合があります メインパネルの OPERATE ランプが緑色であることを確認してください また 通信ケーブルのコネクタが確実に接続されていることを確認してください 以上の項目を確認のうえ SmartLab Guidance を一度終了して 再起動してください また SmartLab を再起動した場合についても 必ず SmartLab Guidance を再起動してください 3 測定もしくは動作中に SmartLab が突然止まる メインパネルの OPERATE ランプが赤色に変わったことを確認してください この場合 θs またはθd アームに強い力がかかり そのため停止したことが考えられます メインパネルの OFF ボタンを押して SmartLab を一度停止します アームの周りで挟まれているものがないかを確認した後 SmartLab を再起動してください 4 測定もしくは動作中に X 線発生装置が止まる [ 制御 ] メニューの [XG 制御 ] をクリックし [XG 制御 ] ダイアログボックスを表示します [ アラーム ] の [ 表示 ] をクリックし [ アラーム ] ダイアログボックスを表示して 原因を確認してください [ アラーム ] ダイアログボックスのピンク色で表示されたアラームボックスをクリックすると アラームの内容が [XG 状態の簡易説明 ] に表示されるので 参考にしてください 上記以外のトラブルまたは 対策後に不具合がある場合は 弊社サービス部門担当者まで連絡してください SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 93

130 OPERATE ランプの動作について OPERATE ランプの動作について OPERATE ランプは SmatLab のコントローラ部の状態を表示しています 通常 緑色で点灯していますが 異常が発生した場合 赤色に変わり ある間隔で点滅し アラーム音が鳴ります アラームをリセットするためには SmartLab を再起動する必要があります SmartLab Guidance にてシャットダウンした後 メインパネルの OFF ボタン を押し その後 ON ボタン を押すことで SmartLab を再起動することができます 再起動して十数秒間 OPERATE ランプは緑色で点滅します その後 OPERATE ランプが緑色で点灯した場合は そのまま使用してください もし 再起動しても 緑色で点灯せず 赤色で点滅する場合 または 一度緑色で点灯するものの 使用しているとすぐに赤色で点滅するような場合は 表 22 および表 23 を参考にして どのアラームが発生しているのかを 弊社サービス部門担当者まで連絡してください 表 21 SmartLab 起動時の OPERATE ランプの点滅パターン 条件色点灯 / 点滅 パターン 電源投入直後緑点滅 250 ms 電源投入から 10 秒後 緑 点滅 100 ms 250 ms 100 ms SmartLab Guidance から 緑 点灯 制御可能 94 SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置

131 表 22 アラーム発生時の OPERATE ランプの点滅とアラーム音のパターン アラームの箇所色点灯 / 点滅 パターン XG アラーム 緑 点滅 アタッチメント 緑 点滅 接続カバー開 通信エラー 赤 点滅 50 ms 400 ms 2500 ms 50 ms ピーピッピッ ピーピッピッ 50 ms 1000 ms 50 ms ピッピッ ピッピッ 200 ms 1000 ms ピ ピ ピ エンコーダエラー 赤 点滅 200 ms 200 ms 200 ms 1000 ms サーボアラーム赤点滅 ピピ ピピ ピピ 200 ms 200 ms 1000 ms 200 ms 200 ms ピピピ ピピピ ピピピ 表 23 アラームの原因 原因 XG アラームアタッチメント接続カバー開 説明 X 線発生装置 (XG) にてエラーが発生しています トラブルシューティングの 4 を確認してください 防 X 線カバー内部にある アタッチメント接続ケーブルのカバーが開いていることを警告しています カバーを閉じてください 通信エラー エンコーダエラー サーボアラーム 入射および受光光学系部品の制御基板の通信エラーです 入射や受光光学系の配線部が外れていたり 断線したりしていることなどが考えられます ゴニオメータの制御に使用しているエンコーダのアラームです エンコーダの調整がずれていたり 検出部が汚れていたりしていることなどが考えられます モーターへの過負荷などが原因で保護回路が働いています トラブルシューティングの 3 を確認してください SmartLab 全自動多目的水平型 X 線回折装置 95