3-Dimensional Package on Package Mounting Process by STAMP Tadashi MAEDA* * Bonding Process Development Team, Placement Technology Development Group,

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1 3-Dimensional Package on Package Mounting Process by STAMP Tadashi MAEDA* * Bonding Process Development Team, Placement Technology Development Group, Fine Component & Device Mounting System Business Unit, Panasonic Factory Solutions Co., Ltd. ( Nagahasu, Tateishi-cho, Tosu-shi, Saga )

2 図2.PoP実 装 プ ロセ ス 最 終 のパ ッケ ー ジ歩 留 ま りに 悪 影 響 を与 え か ね な い こ の よ うな 背 景 か らPoP型SiPが 注 目 され て い る PoPで 査 さ れ た 個 々 の パ ッケ ー ジを 組 み 合 わ せ る た め,チ は検 ップ不 良 に起 因 す る最 終 歩 留 ま りの 低 下 を抑 制 で き る さ ら に電 極 の レイ ア ウ トの 標 準 化 が進 め ば,仕 様 の 異 な るパ ッケ ー ジの組 み 合 わ せ の 自 由度 向 上 も期 待 で き る しか しなが ら 実 装 密 度 の 点 で は チ ップ ス タ ック型 に 劣 る た め,電 子 機 器 の特 徴 に 合 わ せ て 使 い分 け られ る と考 え られ る 特 に携 帯 図3.PoP実 装の課題 電 話 で は,短 期 間 で の製 品 開 発 と製 品 バ リエ ー シ ョ ンの 豊 富 さ が 求 め られ る た めPoP採 用 の 動 き が活 発 化 して い る 3.PoP実 装工法 カで の一 括 実 装 方 式 の 比 重 が 増 加 す る と考 え られ る こ の よ う にPoPは 汎用 性,生 産 性 に優 れ た 都 合 の よ い実 装 方 式 で あ るが,導 入 に 際 して は次 の 課 題 を 克 服 す る必 要 PoPで は 上 下 の接 続 に は ん だ バ ン プ を 用 い た もの が多 く が あ る PoP用 の パ ッケ ー ジ は積 層 時 の トー タ ル厚 み を考 提 案 され て お り,前 述 の 通 り リ フ ロー 工 程 を 利 用 で き るた 慮 して 個 々が 非 常 に 薄 形 化 され て い る ま た,熱 膨 張 係 数 め 高 い生 産 性 が 期 待 で き る 実 装 プ ロセ ス と して は 図2に の異 な る材 質 か ら構 成 さ れ る非 対 称 構 造 で あ るた め,リ 示 す よ う に現 状2つ の 方 式 が あ る ひ とつ は プ リス タ ック ロ ー 加 熱 時 の変 形 挙 動 の 制 御 が 難 しい さ らに リフ ロ ー加 して 1パ ッケ ー ジ(=Sip) 化 して お き,従 来 の マ ウ ンタ に 熱 工 程 で は部 品 の 変 形 を機 械 的 に抑 制 す る こ とは 実 質 不 可 て基 板 上 に実 装 す る プ リス タ ック方 式 で あ る も う1つ は, 能 で あ る た め,図3に 個 々 のパ ッケ ー ジをPoP実 す い パ ッケ ー ジ 自身 の 反 り抑 制 改 善 や 接 合 材 料 の工 夫 な 装 に対 応 した マ ウ ンタ に て 基 板 上 に順 次 積 層 し リフ ロー に て一 括 して 接 合 す る一 括 実 装 方 式 で あ る い ず れ もボ トム パ ッケ ー ジ ラ ン ドへ の ソル ダ ペ ー ス ト印刷 が 不 可 能 な こ と か ら,ト ップ パ ッケ ー ジが 有 す る はん だ バ ン プへ の フ ラ ッ クス 転 写 法 が 用 い られ る 具 体 的 示 す よ うな オ ー プ ン不 良 が 発 生 しや ど安 定 実 装 技 術 の 確 立 がPoP普 4.PoP安 フ 及 の鍵 を握 って い る 定 実 装 技 術 開 発 へ の 取 り組 み 上 述 した オ ー プ ン不 良 防 止 策 と して は,ボ トムパ ッ ケ ー に は ま ず 転 写 ユ ニ ッ ト中 の 平 板 上 で フ ラ ック ス を 薄 い膜 ジ ラ ン ドへ の はん だ プ リコ ー トや,加 熱 ヘ ッ ドの 使 用 に よ 状 に形 成 して お く こ こ ヘ ト ップパ ッケ ー ジ の は ん だ バ ン りパ ッケ ー ジ反 りを機 械 的 に抑 制 した個 別 接 合 な ど も考 え プ の先 端 を 接 触 させ バ ンプ に フ ラ ッ ク スを 転 写 した 後,ボ られ る が,コ トム パ ッケ ー ジ上 へ 装 着 し リフ ロ ー に て 接 合 を 完 了 す る が 新 た に 浮 上 す る こ こ で は,リ PoP対 応 マ ウ ン タ が 普 及 す る ま で は,半 導体 組 み立 て メ ー カ へ の プ リ ス タ ッ ク方 式 に よ る出 荷 要 求 が 多 い と考 え られ る しか しな が ら,PoPの 特 徴 で あ る組 み 合 わ せ の 自 由度 を 最 大 限 に 活 用 す る た め に,将 来 的 に は電 子 機 器 メ ー ス トア ッ プ,生 産性 低 下,耐 熱 性 な どの 問 題 実 装 に 有 効 なSTAMPと フ ロー 工 程 で のPoP安 定 い う材 料 技 術 開発 の 取 り組 み につ い て 紹 介 す る 4.1STAMP開 発 の背景 バ ンプ と ラ ン ドの 隙 間 を繋 ぐ手 段 と して は,ま ず ソ ル ダ エ レ ク トロ ニ ク ス 実 装 学 会 誌Vol.8No,3(2005) 189

3 図4.粒 子 形 状 と バ ンプ転 写 性 ペ ー ス トをバ ン プ転 写 供 給 す る 方 法 が 考 え られ るが,ソ ル ダ ペ ー ス トの 転 写 法 へ の適 用 に お いて は 現 状 次 の2つ の 問 題 が あ る 1つ 目は 安 定 した ペ ー ス ト転 写 量 の 確 保 が 困 難 な こ とで あ る ソル ダ ペ ー ス トの は ん だ 粒 子 は 球 状 で あ る た め,粒 子 同士 の 凝 集 力 は 比 較 的小 さ く転 写 供 給 に は 限 界 が あ る 2つ 目 は リフ ロ ー 時 の 溶 融 性 不 足 で あ る ソ ル ダ ペ ー ス ト中の は ん だ 粒 子 は そ れ 自体 に 表 面 酸 化 膜 を 有 して お り,バ ンプ に転 写 供 給 さ れ た 体 積 で は,は ん だ バ ンプ お よ び は ん だ 粒 子 双 方 の 表 面 酸 化 膜 の 除 去 を 十 分 に行 えず 完 図5.バ ンプ 接 合 形 状 の ペ ー ス ト依 存 性 全 溶 融 し に くい 4.2新 概念 の接合材料 の開発 ギ ャ ップ が100μmを 越 え る場 合 が あ る この 場 合,十 分な わ れ わ れ は 上 述 した 転 写 性 と溶 融 性 を 両 立 す る た め に, ペ ー ス ト転 写 量 を確 保 で きて も リフ ロ ー工 程 に て接 合 が う 新 た な接 合 用 ペ ー ス トを開 発 した 基本 的 な 材 料 構 成 と し ま くいか な い 場 合 が あ る こ の要 因 解 析 の 際 に興 味 深 い 挙 て は,酸 化 膜 除 去 作 用 を持 つ樹 脂 に,新 た に開 発 した 金 属 動 を 観 察 す る こ とが で き た 図7に 解 析 方 法 を 示 す 意 図 粒 子 を配 合 した もの で あ る 金 属 粒 子 の 特 徴 と して は,転 的 に は ん だ バ ンプ と ラ ン ド間 に100μmの 写 性 に優 れ た フ レー ク形 状 で か つ 表 面 酸 化 膜 が な い 点 で あ 実 験 用TEGを る 図4に バ ン プ転 写 後 の ペ ー ス トの状 態 を 示 す が,球 察 した は ん だ バ ンプ と同 じ融 点 の ソ ル ダ ペ ー ス トを使 用 粒 子 の ソ ル ダ ペ ー ス トに比 べ,高 状 い転 写 量 と少 な い ば らつ した 場 合,ペ 用 い,数 ギ ャ ップ を 設 けた 種 の 接 合 材 料 ご と に溶 融 挙 動 を 観 ー ス ト中 の はん だ粒 子 はバ ンプ と 同時 に 溶 融 き を 実 現 で き て い る こ とが わ か る 次 に 溶 融 性 の比 較 を 図 して しま う そ の 結 果,バ 5に 示 す こ こ で 使 用 す る金 属 粒 子 は銀 を 主 成 分 と して お 融 した は ん だ 粒 子 が バ ン プ側 に吸 収 され て バ ン プ と ラ ン ド り,粒 子 表 面 に は金 属 酸 化 膜 が 存 在 しな い こ の場 合,フ が分 離 して し ま う 一 方 で は ん だ バ ン プ よ り高 融 点 の ソル ラ ッ ク ス は は ん だ バ ンプ の 表 面 酸 化 膜 の み を 除 去 す れ ば よ ダ ペ ー ス トを使 用 した場 合,は ん だ バ ンプ が溶 融 した 時 点 い た め,低 で は ペ ー ス ト中 の 高 融 点 は ん だ 粒 子 は 溶 融 して いな い状 態 活性 なRタ イ プ フ ラ ッ ク スで も良 好 な 溶 融性 を 得 る こ とが で き る ンプ が ラ ン ドに接 合 す る前 に 溶 が 得 られ る この よ うな状 態 を 設 け て や る と,溶 融 した は ま た,後 述 す る接 合 原 理 を う ま く発 現 さ せ る に は,含 有 ん だ バ ン プ は ペ ー ス ト中 の 未 溶 融 の は ん だ 粒 子 表 面 を濡 れ す る 金 属 粒 子 の 融 点 に もあ る条 件 が 必 要 な こ と もわ か って 伝 わ り,基 板 上 の ラ ン ドに 到 達 す る と い う現 象 が 起 こ る き た 従 来 と異 な る メ カ ニ ズ ム に よ り接 合 を 完 了 させ る こ た だ し,ソ ル ダ ペ ー ス トで は4.1で 述 べ た 溶 融 性 不 足 の 問 の 技 術 をSTAMPと 題 が あ るた め,酸 化 膜 の な い金 属 粒 子 の 選 定 が 必 要 とな る 材 料(STAMPペ 4.3STAMPの 呼 ぶ 図6は こ の 技 術 の 鍵 と な る接 合 ー ス トと呼 ぶ)に よ る接 合 概 念 図 で あ る 接 合原理 PoP実 装 で は,パ るた め に は,次 の3つ の 条 件 を 満 た す 金 属 粒 子 が非 常 に 有 ッケ ー ジの 組 み 合 わ せ に よ って は トッ プ パ ッケ ー ジの バ ン プ先 端 とボ トム パ ッケ ー ジの ラ ン ドの 190 エ レ ク ト ロ ニ ク ス 実 装 学 会 誌Vol ま とめ る とPoP実 装 工 程 全 般 に お い て 良 好 な実 装 性 を得.8No.3(2005) 効 で あ る こ とが わ か っ た (1)転 写 性 に優 れ た フ レー ク状 粒 子

4 図6.STAMPペ 図7.STAMPペ ー ス トで の 接 合 概 念 図 ー ス トの 接 合 メ カ ニ ズ ム (2)リ フロー時に金属表 面の酸化膜 がない こ と で 均 一 な 分 散 状 態 に な って い る た め と考 え ら れ る した (3)は ん だバ ンプ と融 点 差 が あ る こ と が っ て,従 具 体 的 に は フ レー ク状 の 銀 を 主 成 分 とす る金 属 粒 子 が 接 合 機 能 発 現 の た め に は 好 ま し く,こ ラ ッ クス がSTAMPペ 4.4接 STAMPは の 粒 子 を 含 有 した フ 来 と異 な る特 殊 な リフ ロー プ ロ フ ァ イル を設 定 す る 必 要 も な い の で あ る 5.STAMPペ ー ス トの 実 験 事 例 ー ス トで あ る 合後信 頼性 は ん だ バ ン プ と異 な る組 成 の 金 属 を 用 い た 接 STAMPペ の1つ ー ス トを 用 い た 実 験 事 例 を2つ 目 はPoPへ の 適 用 例 で あ り,事 例 の2つ 合 技 術 で あ る た め,最 終 的 な バ ンプ の機 械 的 強 度 も確 認 し オ ー プ ン 不 良 が 発 生 し や す いC4(Controlled て お く必 要 が あ る 図8に 数 種 の接 合 材 料 に て 接 合 した は Connection)フ ん だ バ ン プ の 高 温 放 置 試 験 で の 強 度 変 化 を示 す STAMP 紹 介 す る 事 例 目は 同 様 の Collapse Chip リ ッ プ チ ッ プ 実 装 に 適 用 し た 例 で あ る 5.1Package on Package実 装 実験結果 ペ ー ス トで 使 用 す る金 属 粒 子 は上 述 した と お りは ん だバ ン PoP用 プ よ り も高 融 点 で あ り,リ フ ロ ー加 熱 で は そ れ 自体 は溶 融 に 加 え,プ しな い に もか か わ らず,接 合 後 の 初 期 強 度 の 低 下 お よ び 合 わ せ が 想 定 され る 構 造 の 異 な る パ ッケ ー ジの 組 み合 わ 時 せ の 場 合,図9に 由 と して は,リ 間 経 過 後 の 強 度 劣 化 も見 られ な い こ の 理 フ ロ ー 温 度 にて 金 属 粒 子 自体 が 溶 融 しな く て も,溶 融 し た は ん だ バ ンプ へ の 固 溶 が 容 易 に 進 む3)こと パ ッケ ー ジは 前 述 した 通 り個 々が 薄 形 で あ る こ と を 示 し,特 ロ セ ッ サ と メ モ リな ど 個 々 の 構 造 が 異 な る 組 み 示 す よ う に 加 熱 に よ り異 な っ た 反 り挙 動 に コ ー ナ 部 に お い て バ ン プ と ラ ン ドの ギ ャ ッ プ が 大 き く な り接 合 が 困 難 と な る 実 験 で は こ の よ う な 変 形 エ レ ク ト ロ ニ ク ス 実 装 学 会 誌Vol.8No.3(2005)191

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22 610407487 ロ ペ ミ ッ ク 小 児 用 0. 0 5 % 2319001C1072 23 610412059 ゲ シ ン L 錠 5 0 m g 2478001G1046 24 610412105 ソ レ ル モ ン S R カ プ セ ル 3 7. 5 m g 1147002N1 お 知 ら せ ( 薬 ) 0 0 5 平 成 2 0 年 8 月 2 9 日 医 薬 品 マ ス タ ー の 改 定 に つ い て 今 般 下 記 の と お り 医 薬 品 マ ス タ ー を 改 定 し ま し た の で お 知 ら せ し ま す 記 次 の 医 薬 品 に つ い て は 平 成 2 0 年 3 月 5 日 付 け 厚 生 労 働 省 告 示 第 7 2 号 に 基 づ

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