真空関連部品 VACUUM COMPONENT 総合カタログ Ver. 11 八光産業株式会社 Yako Sangyo Co.,Ltd.

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1 真空関連部品 VACUUM COMPONENT 総合カタログ Ver. 11 八光産業株式会社 Yako Sangyo Co.,Ltd.

2 Contents NW/KF 規格 4P~21P ICF 規格 22P~35P ISO 規格 36P~41P JIS 規格 42P~45P アタ フ ター類 46P~57P フレキ ヘ ロース 58P~63P 2

3 Contents バルブ 64P~65P 真空関連製品 66P~70P 会社案内 71P 3

4 NW Standard NW(KF) とは NW フランジは 元々ドイツのメーカーが開発し Kleinflansch( 小口径フランジという製品名称をつけて販売を始めたもので 多くのメーカーが使っている "KF" という表記は この "Kleinflansch" を縮めたものです また "KF" の前に "ISO" をつけるメーカーも多くみられますが これは この型式のフランジの形状と寸法が 前述した ISO 規格 (ISO 2861) で決められていることによるものとわれます この ISO 2861 の表題は "Vacuum Technology - Dimensions release couplings" となっていて このことから クイックカップリング型 とることも多いようです NW 型 という呼び方は日本のメーカーに多く見受けられますが この呼び方にはちょっと注意が必要です というのも この NW というのは特定のフランジ型式を指すための記号ではなく 元々 配管の呼び径を表すためにヨーロッパの空圧機器業界規格の中で使われた記号であって 他の型式のフランジのサイズを表すのにも使われるからです ( 以上参考文献引用 ) 弊社では 国内 / 海外の製造会社と協力して JIS パイプに適応するフランジを製造販売しております カップリングの基本原理 NW(KF) 規格のクランプは一対のアルミボディをスイングさせてフランジに取り付けて蝶ネジで締め込みます これにより配管 / 継手を接合させ 真空装置や他機器間への真空引きができます 4

5 NW 部品について 材質について基本材質はSUS304を使用しております SUS316およびSUS316L 製品に ついても取り扱っておりますので 詳しくはお問い合わせください 海外製品の場合は日本規格に準じた材質を使用しております リーク検査について溶接構造の製品 ( 配管やアダプター等 ) は全品 Heリーク テストを実施 (10-9 Pa m 下 ) しております 3 /sec 以 ご要望がございましたら検査成績書の添付もいたしますので お問い合わせください Index パイプ径について JIS 規格 (JIS G 3459) で定められているパイプ径とし 厚みはSch10を基準としております Sch5や海外の規格サイズなども取り扱っておりますので 詳しくはお問い合わせください ショートフランジ 6 ロングフランジ 7 フランジ特別寸法 8 ブランクフランジ 9 インチ用穴あきフランジ 10 クランプ類 11 センターリング類 15 継手類 18 CAD 図面について製品の CAD 図面は弊社ホームページよりダウンロードが可能です 掲載されていない製品については 弊社担当者までお問い合わせください 5

6 NW ショートフランジ 材質 :SUS304/SUS316L SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください 保護キャップ付 長さ 10L フランジ 製品コード TYPE φa φb φc φd φe L NW10 KFS1010 A NW16 KFS1610 B NW25 KFS2510 A NW40 KFS4010 A NW50 KFS5010 B 長さ 20L フランジ製品コード TYPE φa φb φc φd φe L NW10 KFS1020 A NW16 NW25 NW40 NW50 KFS1620 B KFS1620-K E KFS2520 A KFS2520-5S A KFS4020 A KFS4020-5S A KFS5020 B KFS5020-5S B NW63 KFS6320 C NW80 KFS8020-T C KFS8020-S D KFS10020-T C NW100 KFS10020-S D

7 NW ロングフランジ 材質 :SUS304/SUS316L SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください 保護キャップ付 長さ 50L フランジ製品コード TYPE φa φb φc φd L NW10 KFL1050 A NW16 NW25 NW40 NW50 KFL1650 B KFL1650-K E KFL2550 A KFL2550-5S A KFL4050 A KFL4050-5S A KFL5050 B KFL5050-5S B NW63 KFL6350 C 長さ 70L フランジ製品コード TYPE φa φb φc φd L NW16 KFL1670 B KFL1670-K D NW25 KFL2570 A NW40 KFL4070 A

8 NW フランジ特別寸法 材質 :SUS304/SUS316L SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください 保護キャップ付 フランジ製品コード φa φb φc φd L NW25 NW40 KF25/25A-20L KF25/25A-30L KF40/40A-20L KF40/40A-30L 材質 :SUS304/SUS316L SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください 保護キャップ付 フランジ 製品コード φa φb φc φd L NW16 KSCF NW20 KSC NW25 KSC NW40 KSCF NW50 KSCF フランジ 製品コード φa φb φc φd L NW16 KLCF NW20 KLCF NW25 KLCF NW40 KLCF

9 NW ブランクフランジ 材質 :SUS304/SUS316L SUS316L の場合は末尾に -6L を付けてください 保護キャップ付 フランジ 製品コード TYPE φa φb φc T T1 NW10 KFB10-B0 A NW16 KFB16-B0 A NW25 KFB25-B0 A NW40 KFB40-B0 A NW50 KFB50-B0 A NW63 KFB63-B0 A NW80 KFB80-B0 A NW100 KFB100-B0 A NW160 KFB160-B0 A NW200 KFB200-B0 A フランジ製品コード TYPE φa φb φc T T1 NW10 NW16 NW25 NW40 NW50 KFB10 B KFB10-B1 B KFB16 B KFB16-B1 B KFB25 B KFB25-B1 B KFB40 B KFB40-B1 B KFB50 B KFB50-B1 B

10 NW インチ用穴あきフランジ インチ用のパイプが溶接できます 材質 :SUS304/SUS316L SUS316L の場合は末尾に -6L を付けてください 保護キャップ付 フランジ 接続パイプ 製品コード φa φb φc T 1/4 KFB16-6.4H NW16 3/8 KFB16-9.6H /2 KFB H /4 KFB25-6.4H NW25 3/8 KFB25-9.6H /2 KFB H /4 KFB40-6.4H NW40 3/8 KFB40-9.6H /2 KFB H /4 KFB50-6.4H NW50 3/8 KFB50-9.6H /2 KFB H

11 NW クランプ 1 点式 材質 : 本体 蝶ナット /AL ボルト ピン ワッシャー /SS フランジ 製品コード φa D T L NW16 KF16-CP NW25 KF25-CP NW40 KF40-CP NW50 KF50-CP TYPE:A TYPE:B 2 点式 TYPE_A 本体 :AL/ 蝶ナット :SUS TYPE_B 本体 蝶ナット /AL フランジ製品コード TYPE φa D T L NW16 NW25 NW40 NW50 KF16-CP A KF16-CPK B KF25-CP A KF25-CPK B KF40-CP A KF40-CPK B KF50-CP A KF50-CPK B

12 NW ステンレスクランプ 材質 :ALL ステンレス フランジ 製品コード φa D T L NW16 KF16-CPS NW25 KF25-CPS NW40 KF40-CPS NW50 KF50-CPS NW63 KF63-CPS NW80 KF80-CPS NW100 KF100-CPS

13 NW チェーンクランプ 材質 : ステンレス + アルミ NW16~NW63 用 フランジ製品コード φa D T NW16 KF16-CC NW25 KF25-CC NW40 KF40-CC NW50 KF50-CC NW63 KF63-CC 材質 : ステンレス + アルミ NW80~NW250 用 フランジ製品コード φa φb T NW80 KF80-CC NW100 KF100-CC NW125 KF125-CC NW160 KF160-CC NW200 KF200-CC NW250 KF250-CC

14 NW バルクヘッドクランプ 材質 :AL ボルト ワッシャーは付属しません フランジ製品コード φa PCD N-φn T NW16 KF16-BHC φ4.3 NW25 KF25-BHC φ5.3 NW40 KF40-BHC φ5.3 NW50 KF50-BHC φ5.3 NW ウォールクランプ 材質 :AL M6 六角ボルト ワッシャー付 (SS 材 ) NW16~NW50 フランジ用共通 フランジ NW16~NW50 製品コード KF16-50-WAC フランジ PCD NW NW NW NW

15 NW センターリング 基本材質 :SUS304+ フッ素ゴム インナーリング SUS316L も承ります O リングは NW10~NW80 まで太さ φ5 NW100 以上は太さ φ5.33 になります フランジ 製品コード φa φb NW10 KF10-CR NW16 KF16-CR NW25 KF25-CR NW40 KF40-CR NW50 KF50-CR NW63 KF63-CR NW80 KF80-CR NW100 KF100-CR NW125 KF125-CR NW160 KF160-CR NW200 KF200-CR NW250 KF250-CR

16 NW アウターリング付センターリング CZ TYPE 基本材質 :SUS304+ フッ素ゴム インナーリング SUS316L も承ります O リングは NW10~NW80 まで太さ φ5 NW100 以上は太さ φ5.33 になります フランジ製品コード φa φb φc NW10 KF10-CZ NW16 KF16-CZ NW25 KF25-CZ NW40 KF40-CZ NW50 KF50-CZ NW63 KF63-CZ NW80 KF80-CZ NW100 KF100-CZ NW アウターリング付センターリング OZ TYPE 基本材質 :SUS304+ フッ素ゴム インナーリング SUS316L も承ります O リングは NW10~NW80 まで太さ φ5 NW100 以上は太さ φ5.33 になります フランジ製品コード φa φb φc NW10 KF10-CZ NW16 KF16-CZ NW25 KF25-CZ NW40 KF40-CZ

17 NW メッシュ付センターリング リング材質 :SUS304 メッシュ材質 :SUS304 メッシュサイズ :70 O リング材質 : フッ素ゴム フランジ製品コード φa φb NW16 KF16-CRMS NW25 KF25-CRMS NW40 KF40-CRMS NW50 KF50-CRMS NW 異径センターリング 基本材質 :SUS304+ フッ素ゴム フランジ 製品コード φa φb φc NW10/16 KF10/16-CRRE NW20/25 KF20/25-CRRE NW32/40 KF32/40-CRRE

18 NW レジューサー 標準材質 :SUS304 SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください 特殊寸法の製作も可能です フランジ製品コード φa φb φc φd NW16/10 KF16/10-RE NW25/16 KF25/16-RE NW40/16 KF40/16-RE NW40/25 KF40/25-RE NW50/16 KF50/16-RE NW50/25 KF50/25-RE NW50/40 KF50/40-RE NW クロス 標準材質 :SUS304 表面処置 :GBB( 標準 )/ 電解研磨 / 酸洗 SUS316L の場合は末尾に -6LK 明記ください 特殊寸法の製作も可能です フランジ 製品コード φa φb φc L AL NW16 KF16-4X NW25 KF25-4X NW40 KF40-4X NW50 KF50-4X

19 NW ティー 標準材質 :SUS304 表面処置 :GBB( 標準 )/ 電解研磨 / 酸洗 SUS316L の場合は末尾に -6LK 明記ください 特殊寸法の製作も可能です フランジ製品コード φa φb φc L AL NW10 KF10-TE NW16 KF16-TE NW25 KF25-TE NW40 KF40-TE NW50 KF50-TE NW63 KF63-TE NW80 KF80-TE NW100 KF100-TE NW ニップル 標準材質 :SUS304 表面処置 : 酸洗 ( 標準 )/ 電解研磨 /GBB SUS316L の場合は末尾に -6LK 明記ください 特殊寸法の製作も可能です フランジ製品コード φa φb φc NW10 KF10-NI NW16 KF16-NI NW25 KF25-NI NW40 KF40-NI NW50 KF50-NI

20 NW エルボ 標準材質 :SUS304 表面処置 :GBB( 標準 )/ 電解研磨 / 酸洗 SUS316L の場合は末尾に -6LK 明記ください 特殊寸法の製作も可能です フランジ 製品コード TYPE φa φb φc L NW10 KF10-EL B NW16 KF16-EL B NW25 KF25-EL A NW40 KF40-EL A NW50 KF50-EL A NW63 KF63-EL A NW80 KF80-EL A NW100 KF100-EL A

21 NW5 方向管 受注生産品 標準材質 :SUS304 表面処置 :GBB( 標準 )/ 電解研磨 / 酸洗 SUS316L の場合は末尾に -6LK 明記ください 特殊寸法の製作も可能です フランジ製品コード φa φb φc L NW25 KF25-5X NW40 KF40-5X NW50 KF50-5X 異径ティー 受注生産 標準材質 :SUS304 表面処置 :GBB( 標準 )/ 電解研磨 / 酸洗 SUS316L の場合は末尾に -6LK 明記ください 特殊寸法の製作も可能です フランジ製品コード F-A F-B φa φb L1 L2 NW25/NW16 KF25-KF16-RTE-A NW25 NW NW40/NW16 KF40-KF16-RTE-A NW40 NW NW40/NW25 KF40-KF25-RTE-A NW40 NW NW50/NW16 KF50-KF16-RTE-A NW50 NW NW50/NW25 KF50-KF25-RTE-A NW50 NW NW50/NW40 KF50-KF40-RTE-A NW50 NW

22 ICF Standard ICF とは 元々アメリカの Varian 社が開発し ConFlat( コンフラット ) という登録商標で販 を始めたもので 今では数多くのメーカーから互換性のある製品が供給されています 国内では ICF フランジ という呼称が最もよく使われています この呼称は元々 ConFlat 互換型フランジの販売について Varian 社から正規のライセンスを受けた当時の 電バリアン社 ( 現在のキヤノンアネルバグループ各社の前身 ) が自社製品に付けた名称 なのですが いつのまにか後発の他メーカー製品も含む格好で ConFlat 互換型を包括的に 指す一般的な型式呼称になりました ただし この ICF フランジ という呼び方は国内 メーカーの製品名称が元であるため 日本国内でしか通じませんのでご注意下さい ヨーロッパの多くの真空メーカーでは ConFlat を略した CF 型という表記をカタロ グ中に記載しています 一方 アメリカでは ConFlat という綴りや音をアレンジして 各メーカー独自の製品名称を付けることが多いようですが やはり口頭で使われる型式 の通称は コンフラット が一般的なようです ( 以上参考文献引用 ) ICF フランジ CF(Conflat Flange) 規格製品は SUS304L を標準に取扱いをしております は真空側に彫られた尖ったミゾ ( ナイフエッジ ) に無酸素銅ガスケットを入れて相手のフランジと挟み込み ボルトでフランジを締め込むことにより高い真空度を保つことができます CF フランジは用途に応じてブランク / 穴あき キリ穴 / タップ穴 固定 / 回転の仕様の組み合わせで製造されております 鋭角なナイフエッジが相手方のフランジとかみ合い ガスケットによって締め付けられることにより超高真空領域まで真空引きを実現いたしました 通常のフランジに加え フランジサイズを変換させるゼロレングス変換やフランジ両面にナイフエッジ加工を施した両面エッジフランジも揃えております 22

23 ICF 部品について 材質について基本材質はSUS304Lを使用しております SUS304およびSUS316L 製品に ついても取り扱っておりますので 詳しくはお問い合わせください 海外製品の場合は日本規格に準じた材質を使用しております リーク検査について溶接構造の製品 ( 配管やアダプター等 ) は全品 Heリーク テストを実施 (10-9 Pa m 下 ) しております 3 /sec 以 ご要望がございましたら検査成績書の添付もいたしますので お問い合わせください シール面保護についてシール面を保護する為フランジには保護キャップが付いております (ICF253 迄 ) 保護キャップ単品販売も行っております Index ミニフランジ 24 ブランクフランジ 25 穴あきフランジ 26 回転フランジ 27 両面フランジ 29 ゼロレングスフランジ 30 継手類 31 ガスケット類 33 ビューポート類 34 CAD 図面について製品の CAD 図面は弊社ホームページよりダウンロードが可能です 掲載されていない製品については 弊社担当者までお問い合わせください 23

24 ICF ミニフランジ 材質 :SUS304L SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください ボルト穴は末尾が H= キリ穴 T= タップ穴 保護キャップ付 固定フランジ フランジ 製品コード TYPE φc φd φe H PCD ハ イフ ICF34-FH A ICF34-6.4FH C ICF34-9.6FH C CF34 ICF FH C ICF FH B ICF FH B ICF34-FT A M4 27 ICF FT B M4 27 回転フランジ フランジ製品コード TYPE φc φd φe H PCD ハ イフ ICF34-RFH D CF34 ICF RFH E ICF RFH E

25 ICF ブランクフランジ 材質 :SUS304L ボルト穴は末尾が H= キリ穴 T= タップ穴 保護キャップ付 フランジ製品コード φa T N-φn PCD CF70 CF114 CF152 CF203 CF253 CF305 CF356 CF406 ICF70-FH φ ICF70-FT M6 58. ICF114-FH φ ICF114-FT M8 92 ICF152-FH φ8.5 1 ICF152-FT M8 13 ICF203-FH φ8.5 1 ICF203-FT M8 18 ICF253-FH φ8.5 2 ICF253-FT M8 23 ICF305-FH φ8.5 2 ICF305-FT M8 28 ICF356-FH φ ICF356-FT M10 3 ICF406-FH φ ICF406-FT M10 3 材質 :SUS316L 標準フランジ (SUS304L) と厚みが異なります フランジ 製品コード 外径 φa 厚み T ホ ルト数 - 穴 N-φn PCD CF70 ICF70-FH-6L φ6.8 CF114 ICF114-FH-6L φ8.5 CF152 ICF152-FH-6L φ8.5 CF203 ICF203-FH-6L φ8.5 CF253 ICF253-FH-6L φ8.5 25

26 ICF 穴あきフランジ 材質 :SUS304L ボルト穴は末尾が H= キリ穴 T= タップ穴 保護キャップ付 ICF は φc の部分が寸法図とは異なります フランジ製品コード φa T φb φc N-φn T-1 ハ イフ ICF FH φ6.8 ICF FT M6 5 ICF70-34FH φ6.8 5 ICF70-34FT M6 5. CF70 ICF70-38FH φ6.8 5 ICF70-38FT M6 5. ICF70-41FH φ6.8 5 ICF70-41FT M6 5. ICF FH φ6.8 ICF FT M6 5 ICF FH φ8.5 CF114 ICF FT M8 ICF FH φ8.5 CF152 ICF FT M8 CF203 CF253 ICF FH φ8.5 ICF FT M8 ICF FH φ8.5 ICF FT M8 26

27 ICF ブランク回転フランジ 材質 :SUS304L ボルト穴は末尾が H= キリ穴 のみになります T= タップ穴 をご希望の場合も製作可能です 保護キャップ付 フランジ製品コード φa T φd N-φn T-2 PCD CF70 ICF70-RFH φ CF114 ICF114-RFH φ8.5 1 CF152 ICF152-RFH φ8.5 CF203 ICF203-RFH φ8.5 CF253 ICF253-RFH φ8.5 CF305 ICF305-RFH φ8.5 CF356 ICF356-RFH φ10.5 CF406 ICF406-RFH φ10.5 SUS316L (CF70~CF152はSUS304Lと厚みが異なります ) フランジ製品コード φa T φd N-φn T-2 PCD CF70 ICF70-RFH-6L φ6.8 7 CF114 ICF114-RFH-6L φ8.5 CF152 ICF152-RFH-6L φ8.5 CF203 ICF203-RFH-6L φ8.5 CF253 ICF253-RFH-6L φ8.5 27

28 ICF 穴あき回転フランジ 材質 :SUS304L ボルト穴は末尾が H= キリ穴 T= タップ穴 保護キャップ付 SUS316L の寸法はお問い合わせください ICF は φc の部分が寸法図とは異なります フランジ製品コード φa T φb φc φd N-φn T-1 T-2 ハ イ ICF RFH φ ICF70-34RFH φ CF70 ICF70-38RFH φ ICF70-41RFH φ ICF RFH φ ICF RFH φ CF114 ICF RFH φ CF152 ICF RFH φ8.5 CF203 ICF RFH φ8.5 CF253 ICF RFH φ8.5 ICF 特別寸法フランジ ( 通称メタルアダプター ) 材質 :SUS304L 保護キャップ付 その他寸法も製作可能です フランジ 製品コード φa T φb φc L CF70 ICF70-41FT-L

29 ICF 両面ブランクフランジ 材質 :SUS304L SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください 保護キャップ付 フランジ 製品コード φa T N-φn PCD CF34 ICF34-DB φ4.3 CF70 ICF70-DB φ6.8 CF114 ICF114-DB φ8.5 CF152 ICF152-DB φ8.5 CF203 ICF203-DB φ8.5 CF253 ICF253-DB φ8.5 ICF 両面穴あきフランジ 材質 :SUS304L SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください 保護キャップ付 フランジ製品コード φa φb T N-φn PCD CF34 ICF34-DB φ4.3 CF70 ICF70-DB φ6.8 CF114 ICF114-DB φ8.5 CF152 ICF152-DB φ8 CF203 ICF203-DB φ8 CF253 ICF253-DB φ8 29

30 ICF ゼロレングスフランジ 材質 :SUS304L SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください 保護キャップ付 フランジ 製品コード φa φb T N-M 適応ホ ルト CF70-34 ICF70/ M 4 ( 深さ 6 ) CF ICF114/ M 4 ( 深さ CF ICF114/ M 6 ( 深さ CF ICF152/ M 4 ( 深さ CF ICF152/ M 6 ( 深さ 1 CF ICF152/ M 8 ( 深さ CF ICF203/ M 4 ( 深さ CF ICF203/ M 6 ( 深さ 1 CF ICF203/ M 8 ( 深さ CF ICF203/ M 8 ( 深 CF ICF253/ M 4 ( 深さ CF ICF253/ M 6 ( 深さ 1 CF ICF253/ M 8 ( 深さ CF ICF253/ M 8 ( 深 CF ICF253/ M 8 ( 深 30

31 ICF ニップル 片側回転フランジ 受注生産品 表面処理 : 電解研磨 / 酸洗 /GBB L( ) 寸法をご指定ください 特殊寸法の製作もいたします フランジ製品コード φa φb φc CF34 ICF34-NI CF70 ICF70-NI CF114 ICF114-NI CF152 ICF152-NI CF203 ICF203-NI CF253 ICF253-NI ICF エルボ 片側回転フランジ 受注生産品 材質 :SUS304 or SUS316L 表面処理 : 電解研磨 / 酸洗 /GBB 特殊寸法の製作もいたします フランジ製品コード φa φb φc L CF34 ICF34-EL CF70 ICF70-EL CF114 ICF114-EL CF152 ICF152-EL CF203 ICF203-EL CF253 ICF253-EL

32 ICF ティー 2 方向回転フランジ 受注生産品 材質 :SUS304 or SUS316L 表面処理 : 電解研磨 / 酸洗 /GBB 特殊寸法の製作もいたします フランジ製品コード φa φb φc L AL CF34 ICF34-TE CF70 ICF70-TE CF114 ICF114-TE CF152 ICF152-TE CF203 ICF203-TE CF253 ICF253-TE ICF クロス 2 方向回転フランジ 受注生産品 材質 :SUS304 or SUS316L 表面処理 : 電解研磨 / 酸洗 /GBB 特殊寸法の製作もいたします フランジ製品コード φa φb φc L AL CF34 ICF34-4X CF70 ICF70-4X CF114 ICF114-4X CF152 ICF152-4X CF203 ICF203-4X CF253 ICF253-4X

33 ICF6 方向管 3 方向回転フランジ 受注生産品 材質 :SUS304 or SUS316L 表面処理 : 電解研磨 / 酸洗 /GBB 特殊寸法の製作もいたします フランジ製品コード φa φb φc L AL CF70 ICF70-6X CF114 ICF114-6X CF152 ICF152-6X CF203 ICF203-6X CF253 ICF253-6X ICF ガスケット 基本材質 : 無酸素銅ガスケット その他 : アルミ / 金メッキ / 銀メッキフッ素ゴムなどございます ICF253 以上のサイズもございます フランジ製品コード φa φb CF34 ICF34-G CF70 ICF70-G CF114 ICF114-G CF152 ICF152-G CF203 ICF203-G CF253 ICF253-G CF305 ICF305-G

34 ICF ビューポートテクニカルデータ Viewport Material KODIAL FUSE SILICA SAPPHIRE Mounting seal OFHC Gasket OFHC Gasket Operate Pressure 760 Range Torr -10Torr ~1x10760 Torr -10Torr ~1x10760 Torr -10Torr ~1x10 100kpa~1.13x10-9kpa 100kpa~1.13x10-9kpa 100kpa~1.13x10-9kpa Leak rate 1x10-10Torrl/s,He 1.13x10-9kpa 1x10-10Torrl/s,He 1.13x10-9kpa 1x10-10Torrl/s,He 1.13x10-9kpa Temperature Range -20 ~ ~200-2 Bake Temperature Maximum temperature Change per minute Body material SUS304/L SUS304/L S 溶融石英とは ガラス ( せきえいガラス 英 :Fused quartz ) は石英 (SiO 2 ) から作成されるガラスで SiO 2 純度が高いものをいう 溶融石英 溶融シリカ シリカガラスなどとも呼ばれる 耐食性 耐熱性にすぐれ 非常に透明なことから ビーカーやフラスコなど理化学用途や光ファイバーの材料などに幅広く用いられる ( ウィキペディアより抜粋 ) 溶融石英は水晶の粉末を溶かしてガラス状にしたもので 物理的性質は等方性の材料です 溶融石英の利点は UV から IR でのすぐれた透過特性 熱衝撃に対する安定性 低い熱膨張率 高いレーザー損傷しきい値等が上げられます 理化学用途やウインドウ レンズ ミラー基板など幅広く用いられております 34

35 ICF ビューポート コバールビューポート (KODIAL VIEWPORT) フランジ材質 SUS304/L フランジ 製品コード φa T φv CF34 ICF34-VK CF70 ICF70-VK CF114 ICF114-VK CF152 ICF152-VK CF203 ICF203-VK コバールビューポート (KODIAL VIEWPORT) フランジ材質 SUS316LN フランジ 製品コード φa T φv CF34 ICF34-VK-6LN CF70 ICF70-VK-6LN CF114 ICF114-VK-6LN CF152 ICF152-VK-6LN CF203 ICF203-VK-6LN 溶融石英ビューポート (FUSE SILICA VIEWPORT) フランジ材質 SUS304/L フランジ 製品コード φa T φv CF34 ICF34-VQF CF70 ICF70-VQF CF114 ICF114-VQF CF152 ICF152-VQF CF203 ICF203-VQF サファイアビューポート (SAPPIRE VIEWPORT) フランジ材質 SUS304/L フランジ 製品コード φa T φv CF34 ICF34-VS CF70 ICF70-VS CF114 ICF114-VS CF152 ICF152-VS CF203 ICF203-VS

36 ISO Standard ISOフランジとは ISO1609 によるMFフランジは クロウクランプによって連結する方法で 組立時の誤差吸収や施工性向上のために使用されます また シングルクロウクランプを使用することで 真空チャンバーに配管フランジを直接連結することができ 部品点数の低減や省スペース化のアイテムとしてご活用いただけます MFとは Multi Fastener の略で 複数個のクロークランプを使ってフランジをすることから付けた表記とのことです また一方 欧州の各社では K という記号を付けてISO-Kとしておりますが このうち2 社はドイツ語を主な公用語とする国のメーカーであり そのことを考えると この K は Klampe( 留め金具 ) の略ではないかと推測できます しかし MF も K も これら特定の数メーカーが独自に使用している呼称に過ぎず 一般的な呼び方とは正直言えません ( 複数の参考文献引用 ) 36

37 ISO 部品について 材質について基本材質は SUS304 を使用しております SUS316L 製品についても取り扱っておりますので 詳しくはお問い合わせください 海外製品の場合は日本規格に準じた材質を使用しております リーク検査について溶接構造の製品 ( 配管やアダプター等 ) は全品 He リークテストを実施 (10-9Pa m3/sec 以下 ) しております ご要望がございましたら検査成績書の添付もいたしますので お問い合わせください シール面保護についてシール面を保護する為フランジには保護キャップが付いております 保護キャップ単品販売も行っております Index MFフランジ 38 BTフランジ 39 センターリング 40 クランプ類 41 CAD について製品の CAD は弊社ホームページよりダウンロードが可能です 掲載されていない製品については 弊社担当者までお問い合わせください 37

38 ISO MF フランジ 材質 :SUS304 保護キャップ付 特殊寸法の製作もいたします フランジ 製品コード TYPE φa φb φc a T ISO63 ISO63MF-00 A ISO80 ISO80MF-00 A ISO100 ISO100MF-00 A ISO160 ISO160MF-00 A ISO200 ISO200MF-00 A フランジ製品コード TYPE φa φb φc a T ISO63 ISO80 ISO100 ISO63MF-50 B ISO63MF-65 C ISO80MF-65 B ISO80MF-80 C ISO100MF-90 B ISO100MF-100 C ISO160MF-125 B ISO160 ISO160MF-150 C ISO160MF-153 B ISO200 ISO200MF-200 C ISO200MF-203 B

39 ISO BT フランジ 材質 :SUS304 保護キャップ付 特殊寸法の製作もいたします フランジ 製品コード TYPE φa φb φc φd N-φn a T ISO63 ISO63BT-00 A φ9 ISO80 ISO80BT-00 A φ9 ISO100 ISO100BT-00 A φ9 ISO160 ISO160BT-00 A φ11 ISO200 ISO200BT-00 A φ11 フランジ製品コード TYPE φa φb φc PCD N-φn a T ISO63 ISO80 ISO63BT-50 B φ9 5 ISO63BT-65 C φ9 5 ISO80BT-65 B φ9 5 ISO80BT-80 C φ9 5 ISO100BT-90 B φ9 ISO100 ISO100BT-100 C φ9 ISO160BT-125 B φ11 ISO160ISO160BT-150 C φ11 ISO160BT-153 B φ11 ISO200BT-200 C φ11 ISO200 ISO200BT-203 B φ11 39

40 ISO センターリング 基本材質 :SUS304+ フッ素ゴム インナーリング SUS316L も承ります O リングは NW10~NW80 まで太さ φ5 NW100 以上は太さ φ5.33 になります フランジ製品コード φa φb T ISO63 ISO63-CR ISO80 ISO80-CR ISO100 ISO100-CR ISO160 ISO160-CR ISO200 ISO200-CR ISO250 ISO250-CR ISO320 ISO320-CR ISO400 ISO400-CR ISO500 ISO500-CR ISO ステンレスダブルクロークランプ 材質 :SUS ISO63~250 フランジ用クランプ フランジ製品コード φa B C ISO63~250 ISO SWCC ~

41 ISO シングルクロークランプ 本体材質 :AL ボルト ワッシャー材質 :SS ISO250 以上はお問い合わせください フランジ製品コードボルト A C L ISO63 ISO63-SCC M ISO80 ISO80-SCC M ISO100 ISO100-SCC M ISO160 ISO160-SCC M ISO200 ISO200-SCC M ISO250 ISO250-SCC M ISO ダブルクロークランプ 本体材質 :AL ボルト ワッシャー材質 :SS ISO250 以上はお問い合わせください フランジ製品コードボルト A C L ISO63 ISO63-WCC M ISO80 ISO80-WCC M ISO100 ISO100-WCC M ISO160 ISO160-WCC M ISO200 ISO200-SCC M ISO250 ISO250-SCC M

42 JIS Standard VGVFフランジとは JIS 規格 (JIS B 2290) に定められた寸法及び品質のフランジであり 主に低真空から高真空領域までの真空配管やチャンバーなどの継手類等に使用されています VGVFのVとは Vacuum Gとは Gasket Fとは Flat の略であり Oリング溝が有るものは (VG) 無い物ものは(VF) と区別し 相手フランジによって使い分けます フランジのシールには主にVシリーズのOリングを使用します VシリーズのOリングはあらかじめJIS 規格のフランジ溝に合った寸法で構成されているため 容易に選定ができ在庫もございます また弊社では 通常のJISフランジの他に タップ穴や回転フランジ また厚みの違う特殊タイプの製作も可能ですのでご相談下さい ( 参考文献引用 ) 42

43 ISO 部品について 材質について基本材質は SUS304 を使用しております SUS316L 製品についても取り扱っておりますので 詳しくはお問い合わせください 海外製品の場合は日本規格に準じた材質を使用しております リーク検査について溶接構造の製品 ( 配管やアダプター等 ) は全品 Heリークテストを実施 (10-9 Pa m 下 ) しております 3 /sec 以 ご要望がございましたら検査成績書の添付もいたしますので お問い合わせください シール面保護について JIS フランジには保護キャップが付いておりません 梱包材を使用し しっかりと養生して出荷しております Index VG フランジ 44 VF フランジ 45 CAD について製品の CAD は弊社ホームページよりダウンロードが可能です 掲載されていない製品については 弊社担当者までお問い合わせください 43

44 VG フランジ 材質 :SUS304 SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください 特殊寸法の製作も可能です 300A 以上はお問い合わせください フランジ 製品コード 適合パイプ φa T PCD N-φn φb φc a W G1 G2 h VG10 VG10B φ VG20 VG20B φ VG25 VG25B φ VG40 VG40B φ VG50 VG50B φ VG65 VG65B φ VG80 VG80B φ VG100 VG100B φ VG125 VG125B φ VG150 VG150B φ VG200 VG200B φ VG250 VG250B φ VG300 VG300B φ フランジ 製品コード 適合パイプ φa T PCD N-φn φb φc a W G1 G2 h VG10 VG10-10H φ VG20 VG20-20H φ VG25 VG25-25H φ VG40 VG40-40H φ VG50 VG50-50H φ VG65 VG65-65H φ VG80 VG80-80H φ VG100 VG H φ VG125 VG H φ VG150 VG H φ VG200 VG H φ VG250 VG H φ VG300 VG H φ

45 VF フランジ 材質 :SUS304 SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください 特殊寸法の製作も可能です 300A 以上はお問い合わせください フランジ 製品コード 適合パイプ φa T PCD N-φn φb φc a W VF10 VF10B φ10 VF20 VF20B φ10 VF25 VF25B φ10 VF40 VF40B φ10 VF50 VF50B φ10 VF65 VF65B φ12 VF80 VF80B φ12 VF100 VF100B φ12 VF125 VF125B φ12 VF150 VF150B φ12 VF200 VF200B φ15 VF250 VF250B φ15 VF300 VF300B φ15 フランジ 製品コード 適合パイプ φa T PCD N-φn φb φc a W VF10 VF10-10H φ VF20 VF20-20H φ VF25 VF25-25H φ VF40 VF40-40H φ VF50 VF50-50H φ VF65 VF65-65H φ VF80 VF80-80H φ VF100 VF H φ VF125 VF H φ VF150 VF H φ VF200 VF H φ VF250 VF H φ VF300 VF H φ

46 ゲージポート 材質 :SUS304 Oリング :FKM 特殊寸法の製作もいたします 規格 製品コード φa φb φb L φ15 用 GP15-S φ18 用 GP18-S ゲージポートプラグ 材質 :SUS304 特殊寸法の製作もいたします 規格製品コード φa φb h L φ15 用 GP15-PL φ18 用 GP18-PL リークポート 材質 :SUS304 特殊寸法の製作もいたします 製品コード φa LP15-S 15 46

47 リークポート付 NW フランジ 材質 :SUS304 Oリング :FKM 特殊寸法の製作もいたします フランジ製品コード φa L NW10 KFB10-LP NW16 KFB16-LP NW25 KFB25-LP NW40 KFB40-LP NW50 KFB50-LP リークポート付 ICF フランジ 材質 :SUS304 Oリング :FKM 特殊寸法の製作もいたします フランジ製品コード φa L ICF34 ICF34-LP ICF70 ICF70-LP ICF114 ICF114-LP

48 ゲージポート付 NW フランジ 規格フランジ TYPE 製品コード φa NW10 A KF10-GP15-A 30 NW16 A KF16-GP15-A 30 NW25 A KF25-GP15-A 40 NW16 B KF16-GP15-B 30 φ15 用 NW25 B KF25-GP15-B 40 NW40 B KF40-GP15-B 55 NW25 C KF25-GP15-C 40 NW40 C KF40-GP15-C 55 NW50 C KF50-GP15-C 75 規格フランジ TYPE 製品コード φa NW10 A KF10-GP18-A 30 NW16 A KF16-GP18-A 30 φ18 用 NW25 A KF25-GP18-A 40 NW40 B KF40-GP18-B 55 NW50 B KF50-GP18-B 40 48

49 NW-CF 変換アダプター 受注生産品 表面処理 :GBB/ 酸洗 / 電解研磨 特殊寸法の製作もいたします フランジ A フランジ B 製品コード L ICF34 KF10-ICF ICF70 KF10-ICF NW10 ICF114 KF10-ICF ICF152 KF10-ICF ICF203 KF10-ICF ICF34 KF16-ICF ICF70 KF16-ICF NW16 ICF114 KF16-ICF ICF152 KF16-ICF ICF203 KF16-ICF ICF70 KF25-ICF NW25 ICF114 KF25-ICF ICF152 KF25-ICF ICF203 KF25-ICF ICF70 KF40-ICF NW40 ICF114 KF40-ICF ICF152 KF40-ICF ICF203 KF40-ICF ICF114 KF50-ICF NW50 ICF152 KF50-ICF ICF203 KF50-ICFF NW63 ICF152 KF63-ICF ICF203 KF63-ICF

50 NW-JIS 変換アダプター 受注生産品 表面処理 :GBB/ 酸洗 / 電解研磨 特殊寸法の製作もいたします フランジ A フランジ B 製品コード L VG10 KF10-VG VG20 KF10-VG NW10 VG25 KF10-VG VG40 KF10-VG VG50 KF10-VG VG10 KF16-VG VG20 KF16-VG NW16 VG25 KF16-VG VG40 KF16-VG VG50 KF16-VG VG20 KF25-VG NW25 VG25 KF25-VG VG40 KF25-VG VG50 KF25-VG NW40 VG40 KF40-VG VG50 KF40-VG NW50 VG50 KF50-VG VF フランジの場合は VG を VF に変更してください 上記フランジ以外の製作もいたします 50

51 NW-ISO 変換アダプター 受注生産品 表面処理 :GBB/ 酸洗 / 電解研磨 特殊寸法の製作もいたします フランジ A フランジ B 製品コード L ISO63 KF10-ISO63BTorMF 57.0 ISO80 KF10-ISO80BTorMF 57.0 NW10 ISO100 KF10-ISO100BTorMF 57.0 ISO160 KF10-ISO160BTorMF 57.0 ISO200 KF10-ISO200BTorMF 57.0 ISO63 KF16-ISO63BTorMF 57.0 ISO80 KF16-ISO80BTorMF 57.0 NW16 ISO100 KF16-ISO100BTorMF 57.0 ISO160 KF16-ISO160BTorMF 57.0 ISO200 KF16-ISO200BTorMF 57.0 ISO63 KF25-ISO63BTorMF 57.0 ISO80 KF25-ISO80BTorMF 57.0 NW25 ISO100 KF25-ISO100BTorMF 57.0 ISO160 KF25-ISO160BTorMF 57.0 ISO200 KF25-ISO200BTorMF 57.0 ISO63 KF40-ISO63BTorMF 57.0 ISO80 KF40-ISO80BTorMF 57.0 NW40 ISO100 KF40-ISO100BTorMF 57.0 ISO160 KF40-ISO160BTorMF 57.0 ISO200 KF40-ISO200BTorMF 57.0 ISO63 KF50-ISO63BTorMF 57.0 ISO80 KF50-ISO80BTorMF 57.0 NW50 ISO100 KF50-ISO100BTorMF 57.0 ISO160 KF50-ISO160BTorMF 57.0 ISO200 KF50-ISO200BTorMF

52 パイプ付 NW フランジアダプター 受注生産品 材質 :SUS304 SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください 面間ご指定がある場合は L の次に長さを明記ください EP 管をご希望の場合は BA を EP に変更してください フランジ A パイプ B 製品コード φc L 1/4 (φ6.35) KFB16-1/4BA-L50 30 NW16 3/8 (φ9.53) KFB16-3/8BA-L /2 (φ12.7) KFB16-1/2BA-L /4 (φ6.35) KFB25-1/4BA-L50 40 NW25 3/8 (φ9.53) KFB25-3/8BA-L /2 (φ12.7) KFB25-1/2BA-L50 40 パイプ付 ICF フランジアダプター 受注生産品 材質 :SUS304 SUS316L の場合は末尾に -6L と明記ください 面間ご指定がある場合は L の次に長さを明記ください EP 管をご希望の場合は BA を EP に変更してください フランジ A パイプ B 製品コード φc L 1/4 (φ6.35) ICF34-1/4BA-L50 34 ICF34 3/8 (φ9.53) ICF34-3/8BA-L /2 (φ12.7) ICF34-1/2BA-L /4 (φ6.35) ICF70-1/4BA-L50 70 ICF70 3/8 (φ9.53) ICF70-3/8BA-L /2 (φ12.7) ICF70-1/2BA-L

53 LOK 継手付 NW フランジアダプター 受注生産品 標準材質 : フランジ /SUS304 継手 /SUS316 ダブルフェールールタイプの喰い込み継手 フランジがSUS316Lの場合は末尾に-6Lと明記ください フランジ A パイプ B 製品コード φc L 1/4 (φ6.35) KFB16-1/4LOK 30 3 NW16 3/8 (φ9.53) KFB16-3/8LOK /2 (φ12.7) KFB16-1/2LOK /4 (φ6.35) KFB25-1/4LOK 40 3 NW25 3/8 (φ9.53) KFB25-3/8LOK /2 (φ12.7) KFB25-1/2LOK LOK 継手付 ICF フランジアダプター 受注生産品 標準材質 : フランジ /SUS304 継手 /SUS316 ダブルフェールールタイプの喰い込み継手 フランジがSUS316Lの場合は末尾に-6Lと明記ください フランジ A パイプ B 製品コード φc L 1/4 (φ6.35) ICF34-1/4LOK 34 3 ICF34 3/8 (φ9.53) KFB34-3/8LOK /2 (φ12.7) KFB34-1/2LOK /4 (φ6.35) KFB70-1/4LOK 70 3 NW25 3/8 (φ9.53) KFB70-3/8LOK /2 (φ12.7) KFB70-1/2LOK

54 テーパーネジ継手付 NW フランジアダプター 受注生産品 標準材質 : フランジ /SUS304 継手 /SUS316 フランジがSUS316Lの場合は末尾に-6Lと明記ください フランジ A ネジサイズ B 製品コード φc L PT1/4 KFB16-PT1/4MA NW16 PT3/8 KFB16-PT3/8MA PT1/2 KFB16-PT1/2MA PT1/4 KFB25-PT1/4MA NW25 PT3/8 KFB25-PT3/8MA PT1/2 KFB25-PT1/2MA フランジ A ネジサイズ B 製品コード φc L PT1/4 KFB16-PT1/4FA NW16 PT3/8 KFB16-PT3/8FA PT1/2 KFB16-PT1/2FA PT1/4 KFB25-PT1/4FA NW25 PT3/8 KFB25-PT3/8FA PT1/2 KFB25-PT1/2FA

55 テーパーネジ継手付 ICF フランジアダプター 受注生産品 標準材質 : フランジ /SUS304 継手 /SUS316 フランジがSUS316Lの場合は末尾に-6Lと明記ください フランジ A ネジサイズ B 製品コード φc L PT1/4 ICF34-PT1/4MA ICF34 PT3/8 ICF34-PT3/8MA PT1/2 ICF34-PT1/2MA PT1/4 ICF70-PT1/4MA ICF70 PT3/8 ICF70-PT3/8MA PT1/2 ICF70-PT1/2MA フランジ A ネジサイズ B 製品コード φc L PT1/4 ICF34-PT1/4FA ICF34 PT3/8 ICF34-PT3/8FA PT1/2 ICF34-PT1/2FA PT1/4 ICF70-PT1/4FA ICF70 PT3/8 ICF70-PT3/8FA PT1/2 ICF70-PT1/2FA

56 メタル式面シール継手付 NW フランジアダプター 受注生産品 標準材質 : フランジ /SUS304 継手 /SUS316 フランジがSUS316Lの場合は末尾に-6Lと明記ください TYPE: メスアタ フ ター フランジA サイズ製品コード φa L Φ6.35 KFB16-1/4VF NW16 Φ9.52 KFB16-3/8VF Φ12.70 KFB16-1/2VF Φ6.35 KFB25-1/4VF NW25 Φ9.52 KFB25-3/8VF Φ12.70 KFB25-1/2VF Φ6.35 KFB40-1/4VF NW40 Φ9.52 KFB40-3/8VF Φ12.70 KFB40-1/2VF Φ6.35 KFB50-1/4VF NW50 Φ9.52 KFB50-3/8VF TYPE: オスアタ フ ター Φ12.70 KFB50-1/2VF フランジA サイズ製品コード φa L Φ6.35 KFB16-1/4VM NW16 Φ9.52 KFB16-3/8VM Φ12.70 KFB16-1/2VM Φ6.35 KFB25-1/4VM NW25 Φ9.52 KFB25-3/8VM Φ12.70 KFB25-1/2VM Φ6.35 KFB40-1/4VM NW40 Φ9.52 KFB40-3/8VM Φ12.70 KFB40-1/2VM Φ6.35 KFB50-1/4VM NW50 Φ9.52 KFB50-3/8VM Φ12.70 KFB50-1/2VM

57 メタル式面シール継手付 ICF フランジアダプター 受注生産品 標準材質 : フランジ /SUS304 継手 /SUS316 フランジがSUS316Lの場合は末尾に-6Lと明記ください TYPE: メスアタ フ ター フランジA サイズ製品コード Φa L Φ6.35 ICF34-1/4VF ICF34 Φ9.52 ICF34-3/8VF Φ12.70 ICF34-1/2VF Φ6.35 ICF70-1/4VF ICF70 Φ9.52 ICF70-3/8VF Φ12.70 ICF70-1/2VF TYPE: オスアタ フ ター フランジA サイズ製品コード φa L Φ6.35 ICF34-1/4VM ICF34 Φ9.52 ICF34-3/8VM Φ12.70 ICF34-1/2VM Φ6.35 ICF70-1/4VM ICF70 Φ9.52 ICF70-3/8VM Φ12.70 ICF70-1/2VM

58 NW フレキシブルチューブ フレキ材質 :SUS304 フランジ材質 :SUS304 仕様圧力範囲 :MAX0.2MPa~ 高真空 L 以外の長さも製作可能です ブレード付も製作いたします Heリークレート :1x10-9 Pa 3 /sec m フランジ L 製品コード ID OD φa L1 曲げ半径 250 KF16-FT NW KF16-FT KF16-FT KF25-FT NW KF25-FT KF25-FT KF40-FT NW KF40-FT KF40-FT KF50-FT NW KF50-FT KF50-FT NW80 NW KF80-FT KF80-FT KF100-FT KF100-FT 最少曲げ半径とは 使用可能な最少の曲げ半径でチューブの中心軸までの距離を表しております 曲げ半径はチューブに無理がかからない様にご使用いただくために設定されております 許容曲げ半径より小さい曲げでご使用になられますと寿命に影響し 比較的短時間でチューブの破壊等の異常が発生する場合があります 従って許容曲げ半径以下でのご使用は避けて下さい 58

59 ICF フレキシブルチューブ フレキ材質 :SUS304 フランジ材質 :SUS304L 仕様圧力範囲 :MAX0.2MPa~ 高真空 L 以外の長さも製作可能です ブレード付も製作いたします Heリークレート :1x10-9 Pa 3 /sec m フランジ L 製品コード ID OD φa T PCD L1 250 ICF34-FT CF ICF34-FT ICF34-FT ICF70-FT CF ICF70-FT ICF70-FT ICF114-FT CF ICF114-FT ICF114-FT JIS フレキシブルチューブ その他サイズも製作いたします フランジ L 製品コード ID OD φa T PCD N-H VG25/VF JIS25-FT VG40/VF JIS40-FT VG50/VF JIS50-FT

60 NW ベローズ ベローズ材質 :SUS316L フランジ材質 :SUS316L 使用圧力範囲 : 真空 ~ 大気 加圧側許容圧力はお問い合わせください Heリークレート :1x10-9 Pa 3 /sec m t= ヘ ロース の板厚 フランジ L 製品コード ID OD t n( 山 ) φa L1 NW16 80 KF16-BE NW25 80 KF25-BE NW KF40-BE NW KF50-BE NW KF63-BE NW KF80-BE NW KF100-BE NW KF150-BE NW KF200-BE 性能表 フランジ 製品コード 変位バネ定数 (N/mm) 軸方向軸直角方向軸方向軸直角方向 NW16 KF16-BE80 ±4.5 ± NW25 KF25-BE80 ±6.5 ± NW40 KF40-BE100 ±10.5 ± NW50 KF50-BE100 ±8.5 ± NW63 KF63-BE120 ±14.5 ± NW80 KF80-BE150 ±21.0 ± NW100 KF100-BE150 ±19.0 ± NW160 KF150-BE150 ±17.0 ± NW200 KF200-BE150 ±17.0 ±

61 ICF ベローズ ベローズ材質 :SUS316L フランジ材質 :SUS304L SUS316L 使用圧力範囲 : 真空 ~ 大気 加圧側許容圧力はお問い合わせください Heリークレート :1x10-9 Pa 3 /sec m t= ヘ ロース の板厚 フランジ L 製品コード ID OD t n( 山 ) φa T CF70 80 ICF70-BE CF ICF114-BE CF ICF152-BE CF ICF203-BE 性能表 フランジ 製品コード 変位バネ定数 (N/mm) 軸方向軸直角方向軸方向軸直角方向 CF70 ICF70-BE80 ±9.5 ± CF114 ICF114-BE100 ±9.5 ± CF152 ICF152-BE120 ±17.5 ± CF203 ICF203-BE120 ±14.0 ± フレキとベローズの違いは フレキとベローズはどちらも蛇腹形状をしており その区別に明確な規定はありません 例外もありますが 当社では以下のように区別しています 用途での区別フレキシブルチューブは主に曲げ変位 軸直角変位の吸収に用います ベローズは主に軸方向変位 軸直角変位 角変位の吸収に用います 軸方向変位とは ベローズの長さ方向のみ変化する基本的な変位のこと 軸直角変位とは ベローズの長さが一定で 一端が平行に変化する変位のこと 変位方向を X 方向とそれに直交する Y 方向とした場合 XY 同時に変位するもしくは X/Y 単独で変位する 角度変位とは ベローズの端面の角度が異なるように変化する変位のこと 角度変位の中心位置の違いでベローズにかかる負荷が異なります 61

62 JIS ベローズ ベローズ材質 :SUS316L フランジ材質 :SUS304L SUS316L 使用圧力範囲 : 真空 ~ 大気 加圧側許容圧力はお問い合わせください Heリークレート :1x10-9 Pa 3 /sec m t= ヘ ロース の板厚 フランジ L 製品コード ID OD t n( 山 ) φa T PCD N-H VG25/VF25 80 JIS25-BE VG40/VF JIS40-BE VG50/VF JIS50-BE VG65/VF JIS65-BE VG80/VF JIS80-BE VG100/VF JIS100-BE VG125/VF JIS125-BE VG150/VF JIS150-BE VG200/VF JIS200-BE 性能表 フランジ 製品コード 変位バネ定数 (N/mm) 軸方向軸直角方向軸方向軸直角方向 VG25/VF25 JIS25-BE80 ±11.0 ± VG40/VF40 JIS40-BE100 ±15.5 ± VG50/VF50 JIS50-BE100 ±12.5 ± VG65/VF65 JIS65-BE100 ±15.5 ± VG80/VF80 JIS80-BE120 ±21.0 ± VG100/VF100 JIS100-BE120 ±19.0 ± VG125/VF125 JIS125-BE120 ±18.0 ± VG150/VF150 JIS150-BE150 ±23.0 ± VG200/VF200 JIS200-BE200 ±21.5 ±

63 パイプ付チューブフレキ チューブ材質 :SUS316L パイプ材質 :SUS316L 標準長さ : 使用圧力範囲 :0.2MPa~ 真空 特別長さも製作いたします Heリークレート :1x10-9 Pa 3 /sec m ブレードなし 呼び径製品コード ID OD φa φb L1 L 曲げ半径 1/4 ST1/4- L /8 ST3/8- L /2 ST1/2- L ブレードあり の中にご希望の長さ ( 全長 ) を入れてください 呼び径製品コード ID OD BOD φa φb L1 曲げ半径 L 1/4 STB1/4- L /8 STB3/8- L /2 STB1/2- L メタル式面シール継手付チューブフレキ チューブ材質 :SUS316L パイプ材質 :SUS316L 使用圧力範囲 :0.2MPa~ 真空 特別長さも製作いたします Heリークレート :1x10-9 Pa 3 /sec m の中にご希望の長さ ( 全長 ) を入れてください 継手はご指定メーカーがある場合はご連絡ください ( 支給でも可 ) 呼び径製品コードタイフ L 1/4 ST1/4-VMVM- L オス - オス 3/8 ST3/8-VFVF- L メス - メス 1/2 ST1/2-VMVF- L オス - メス 63

64 手動式アングルバルブ VITZRO MATERIAL 製 メーカー :VITZRO MATERIAL 真空シール :FKMOリング 本体材質 :SUS304 ベローズ材質 :STS316L 許容ベーキング温度 :150 フランジ 製品コード A B C D NW16 KAV16M NW25 KAV25M NW40 KAV40M NW50 KAV50M 圧空式アングルバルブ VITZRO MATERIAL 製 メーカー :VITZRO MATERIAL 真空シール :FKMOリング 本体材質 :SUS304 ベローズ材質 :STS316L 許容ベーキング温度 :150 フランジ 製品コード ポートサイズ A B D NW16 KAV16PB PT1/ NW25 KAV25PB PT1/ NW40 KAV40PB PT1/ NW50 KAV50PB PT1/

65 手動式インラインバルブ VITZRO MATERIAL 製 メーカー :VITZRO MATERIAL 真空シール :FKMOリング 本体材質 :SUS304 ベローズ材質 :STS316L 許容ベーキング温度 :150 フランジ 製品コード A B C D E NW16 KIV16M NW25 KIV25M NW40 KIV40M NW50 KIV50M 圧空式インラインバルブ VITZRO MATERIAL 製 メーカー :VITZRO MATERIAL 真空シール :FKMOリング 本体材質 :SUS304 ベローズ材質 :STS316L 許容ベーキング温度 :150 フランジ 製品コード ポートサイズ A B D E NW16 KIV16PB PT1/ NW25 KIV25PB PT1/ NW40 KIV40PB PT1/ NW50 KIV50PB PT1/

66 O リング 材質 :FKM-70 通常在庫品 その他 NBR/ シリコン /EPDM/ パーフロ 真空フランジ用 O リング フランジ O リング線径 (φa) 内径 (φb) フランジ O リング線径 (φa) 内径 (φb) VG10 V VG350 V VG20 V VG400 V VG25 V VG450 V VG40 V VG500 V VG50 V VG550 V VG65 V VG600 V VG80 V VG650 V VG100 V VG700 V VG125 V VG750 V VG150 V VG800 V VG200 V VG900 V VG250 V VG1000 V VG300 V NW センターリング用適合 O リング フランジ O リング線径 (φa) 内径 (φb) フランジ O リング線径 (φa) 内径 (φb) NW10 NW16 NW25 NW40 NW50 NW NW63 NW AS NW80 NW NW NW100 AS AS NW125 AS NW NW160 AS AS NW200 AS NW NW250 AS AS NW320 AS NW NW400 AS AS

67 保護キャップ NW フランジ 材質 : ポリウレタン 保護キャップ単品での販売もいたします フランジ NW16 NW25 NW40 NW50 NW63 NW80 NW100 NW160 製品コード KF16CAP KF25CAP KF40CAP KF50CAP KF63CAP KF80CAP KF100CAP KF160CAP ICF フランジ ISO フランジ フランジ 製品コード フランジ 製品コード CF34 ICF34CAP ISO63 ISO63CAP CF70 ICF70CAP ISO80 ISO80CAP CF114 ICF114CAP ISO100 ISO160CAP CF152 ICF152CAP ISO160 ISO160CAP CF203 ICF203CAP ISO200 ISO200CAP CF253 ICF253CAP ステンレスパイプ ステンレスパイプを取り扱っております 長さや材質の違いでメーカーが変わる為 お問い合わせください サイズ寸法長さ SUS304-BA SUS316-BA SUS316L-BA 1/8 3.18x0.7t 2000L 6 6x1.0t 2000L/4000L 1/4 6.35x1.0t 2000L/4000L 8 8x1.0t 2000L/4000L 3/8 9.53x1.0t 2000L/4000L 1/2 12.7x1.0t 2000L/4000L 12.7x1.24t 2000L/4000L 10 10x1.0t 2000L/4000L 12 12x1.0t 2000L/4000L 3/ x1.24t 2000L/4000L 19.05x1.65t 2000L/4000L x1.65t 4000L 67

68 真空配管類 パーツ コンポーネントから装置設計 製造 メンテナンス 装置移設まで承ります 68

69 付 録 配管用ステンレス鋼管の寸法 呼び径 外径 呼び厚さ A B mm Sch5 Sch10 Sch20 Sch40 Sch80 Sch12 6 1/ / / / / / / / / ステンレス鋼の化学成分と特性 規格化学成分 (%) JIS C Si Mn P S Ni Cr Mo その他 SUS 以下 1.00 以下 2.00 以下 以下 ~ 18.00~ 以下 オーステナイト系ステンレス鋼 SUS304L 以下 SUS310S 0.08 以下 SUS 以下 SUS316L 以下 SUS317L 以下 1.00 以下 1.50 以下 1.00 以下 1.00 以下 1.00 以下 2.00 以下 2.00 以下 2.00 以下 2.00 以下 2.00 以下 以下 以下 以下 以下 以下 ~ 18.00~ 以下 以下 以下 以下 以下 19.00~24.00~ ~16.00~ 2.00~ ~16.00~ 2.00~ ~18.00~ 3.00~ SUS 以下 1.00 以下 2.00 以下 以下 ~ 17.00~ 以下 Ti/5xC% 以上 69

70 付録 普通公差 JIS B : /JIS B : より抜粋 面取り部分を除く長さ寸法に対する許容差 公差等級 基準寸法の区分 記号 説明 0.5 以上 3 以下 3 を超え 6 以下 6 を超え 30 以下 30 を超え 120 以下 120 を超え 400 以下 400を超え 1000を超え 1000 以下 2000 以下 f 精級 ±0.05 ±0.05 ±0.1 ±0.15 ±0.2 ±0.3 m 中級 ±0.1 ±0.1 ±0.2 ±0.3 ±0.5 ±0.8 ± c 粗級 ±0.2 ±0.3 ±0.5 ±0.8 ±1.2 ±2.0 ± v 極粗級 - ±0.5 ±1.0 ±1.5 ±2.5 ±4.0 ±6 0.5mm 未満の基準寸法に対しては その基準寸法に続けて許容差を個々に指示する 面取り部分の長さ寸法 ( かどの丸み及びかどの面取り寸法 ) に対する許容差 公差等級基準寸法の区分 円周振れの普通公差 公差等級円周振れ公差 記号 f m 説明 精級 中級 0.5 以上 3 以下 3 を超え 6 以下 6 を超えるもの ±0.2 ±0.5 ±1 H 0.1 K 0.2 L 0.5 c v 粗級 極粗級 ±0.4 ±1 ±2 0.5mm 未満の基準寸法に対しては その基準寸法に続けて許容差を個々に指示する 角度寸法の許容差 公差等級 対象とする角度の短い方の辺の長さ (mm) の区分 記号説明 10 以下 10 を超え 50 以下 50 を超え 120 以下 120 を超え 400 以下 400 を超えるもの f m 精級 中級 ±1 ±30 ±20 ±10 ±5 c 粗級 ±1 30 ±1 ±30 ±15 ±10 v 極粗級 ±3 ±2 ±1 ±30 ±20 70

71 Company Profile / info@yako-sangyo.co.jp 会社名八光産業株式会社 Yako Sangyo Co.,Ltd. 所在地東京都港区三田 デリス三田ビル 2 階 TEL FAX 代表者篠田光一 設立 1984 年 12 月 ( 昭和 59 年 ) 資本金 1,000 万円 取引銀行 三井住友銀行三田通支店 さわやか信用金庫東京港支店 東京都民銀行麻布支店 会社沿革 昭和 56 年 1 月 東京都港区芝 に於いてゴム商社 八光産業 ( 個人 ) を創業 昭和 59 年 12 月 東京都港区芝 に於いて八光産業株式会社創設 ( 資本金 100 万円 ) 昭和 63 年 1 月 東京都港区芝 に移転 平成 7 年 1 月 資本金 10,000,000 円に増資 平成 10 年 11 月 東京都港区芝 に移転 平成 17 年 6 月 真空用継手部品類の販売開始 平成 19 年 10 月 海外メーカーと業務提携 海外製真空継手類の輸入販売開始 平成 20 年 5 月 東京都港区芝 4-3-6に移転 平成 23 年 6 月 東京都港区三田 に移転 取扱製品 JIS 規格 (P G V)Oリング及び AS/S/GS/GM/ISO 各種規格 Oリング 樹脂成型品 大口径ジョイントOリング 樹脂加工品 (PTFE アクリル ナイロン etc) パーフロ カルレッツその他特殊材質 Oリング バルブ 継手類 ゴム スポンジ抜加工 ( ハ ッキン カ スケット類 ) 金属加工品 ゴム スポンジ金型成型品 ガラス製品 ゴム + 金属等のインサート成型品 その他工業製品 ゴム スポンジ切削加工品 71

72 八光産業株式会社 東京都港区三田 デリス三田ビル2 階 TEL FAX WEB サイトアドレス : 本資料の内容は製品改良などのために変更することがありますのでご了承ください 2016_6 Printed in J 72