AdvanTorr BODY SUS CF70 NW40 O HV UHV He AV- MAV PAV HV- UHV OFHC HV:O MAV-HV-NW25 O NW25 HV UHV HV UHV NW16 AV- HV-NW16 6l/s 23,000 23,000 2 NW25 AV-

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1 AdvanTorr AdvanTorr Vol_2016/12

2 AdvanTorr BODY SUS CF70 NW40 O HV UHV He AV- MAV PAV HV- UHV OFHC HV:O MAV-HV-NW25 O NW25 HV UHV HV UHV NW16 AV- HV-NW16 6l/s 23,000 23,000 2 NW25 AV- HV-NW25 15l/s 25,000 25,000 2 NW40 AV- HV-NW40 48l/s 38,000 38,000 2 CF34 AV- HV-CF34 6l/s 27,000 30,000 28,000 40,000 2 CF70 AV- HV-CF70 48l/s 36,000 40,000 37,500 51,000 2 CF114 AV- HV-CF l/s 63,000 91,000 2 CF152 AV- HV-CF l/s 127, ,000 2 CF114 CF70 NW40 HV UHV AM350 AM350 FKM FKM FKM E-9Pam 3 /sec SUS304L SUS304L CF70 NW40 400K 550KPa(4 5bar) 1 CF AdvanTorr Vol_2016/12-1 L

3 A B B C C NW NW NW CF CF CF CF Advantorr ISO AdvanTorr Vol_2016/12-1 L

4 SMART AdvanTorr SMART SMART O O HV OFHC UHV R SmartGateValve A SmartGateValve SG -A,-MR -R -HV: O -UHV OFHC HV O HV UHV HV HV CF114 SG- - -CF l/s CF152 SG- - -CF l/s 350, , , ,000 CF203 SG- - -CF l/s 420, , , ,000 CF253 SG- - -CF l/s 540, , , ,000 CF305 SG- - -CF l/s 980,000 1,040, , ,000 CF152 SmartGateValve SG-A-UHV-CF152 ISO, A R AM350 O FKM FKM HV FKM UHV OFHC HV FKM OFHC He HV E-9Pam3/sec UHV 1 10E-11Pam3/sec SUS304L SUS304L HV E-9Pam3/sec AdvanTorr Vol_2016/12-2

5 A A B C D E(UHV) E(HV) F G H I J(UHV) J(HV) F PCD F F CF M CF M CF M CF M CF M R A B C D E F G H I J J F PCD F F CF M CF M CF M CF M CF M /11 AdvanTorr Vol_2016/12-2

6 3. ビューポート ビュポートシャッタービューポート ( 株 ) トヤマサイエンスをかたちにするテクノロジー Advantorr のビューポートは OEM 製品として長年海外の真空メーカーでさまざまな真空装置に使われており 窓 材の接合は台湾キンライ社の自社工場の真空ろう付装置で接合されています 図 1 図 2 図 3 フランジ外径 型式 Kodial -KD FusedSilica -QZ Sapphire -SH 視野径価格視野径価格視野径価格 CF34 VP- -CF34 図 1 φ16 10,000 図 2 φ15 39,000 図 1 φ15 41,000 CF70 VP- -CF70 図 1 φ38 11,500 図 2 φ32 46,000 図 1 φ32 58,000 CF114 VP- -CF114 図 2 φ64 17,000 図 2 φ63 138,000 図 1 φ63 115,000 CF152 VP- -CF152 図 2 φ89 39,000 図 2 φ89 179,000 図 1 φ89 260,000 CF203 VP- -CF203 図 2 φ137 71,000 図 2 φ136 CALL 図 1 φ136 CALL NW25 VP-KD-KF25 図 3 φ16 15,000 NW50 VP-KD-KF50 図 3 φ38 16,000 ISO フランジも製作可能ですのでご相談下さい Kodial grass: コーニング社 alkali borosilicate 7056, ホウケイ酸ガラス 仕様 寸法表 項目コンフラットフランジ NW フランジ 窓材とフランジの接合真空ろう付け真空ろう付け 使用圧力大気圧 ~1X10E-9Pa 大気圧 ~1X10E-7Pa リーク量 1X10E-9Pam3/sec 以下 1X10E-7Pam3/sec 以下 使用温度 Kodial:250 ~-20 FuseSilica:200 ~-20 Sappire: 200 ~ ~-20 Kodial のみ 最大昇温速度 3 /min 3 /min フランジ外径 型式 Kodial -KD FusedSilica -QZ Sapphire -SH φa B C φa B C φa B C CF34 VP- -CF CF70 VP- -CF CF114 VP- -CF CF152 VP- -CF CF203 VP- -CF NW25 VP-KD-KF NW50 VP-KD-KF 窓材の一般的な透過率のデータは下記図を参考にして下さい 別途有償にて透過率の測定も可能です Kodial Advantorr セレクト部品カタログ Vol_2016/12-2 ViewPort 性能向上のため予告なく仕様 価格を変更することがあります

7 ( 株 ) トヤマサイエンスをかたちにするテクノロジー 合成石英 サファイア ビューポート シャッター ビューポートを熱源や蒸発物から保護するビューポート付シャッターです 両面の CF フランジなので 別途ビューポートを用意して下さい 1. 材質 :SUS304L 超高真空仕様 2. 駆動方式 磁気式回転導入機 定価表 フランジ外径 型式 価格 A B φ114 VPS-CF , φ152 VPS-CF , φ203 VPS-CF , 注 ) 交換用シャッターもあります Advantorr セレクト部品カタログ Vol_2016/12-2 ViewPort 性能向上のため予告なく仕様 価格を変更することがあります

8 CF ISO3669 ISO3669 OEM OFHC 2.1 A B CF34 CF-CS CF70 CF-CS CF70 CF-CS CF114 CF-CS CF152 CF-CS CF203 CF-CS CF253 CF-CS CF305 CF-CS-305 CALL ( ) CF34 CF70 CF114 CF152 NW NW O ( ) A B NW10 KF-CRO-10-AL NW16 KF-CRO-16-AL NW25 KF-CRO-25-AL 1, NW40 KF-CRO-40-AL 1, O NW Ni 2 ( ) A B C NW10 16 KF-WC NW25 KF-WC NW40 KF-WC Advantorr Vol_2016/12-2

9 CNC SUS304 ( ) A B C NW10 16 KF-CC , NW25 KF-CC , NW40 KF-CC , NW 4 /set SUS304 ( ) A B KF-SC , Advantorr Vol_2016/12-2

10 ( 株 ) トヤマサイエンスをかたちにするテクノロジー 5. 溶接用穴あきフランジ ハーフニップル ISO3669 適合の SUS304L 製穴あき CF フランジ適用パイプは国内サイズになっております Advantorr の CF フランジは長年 OEM にて海外の真空機器 装置に使用されています 材料のステンレスは最新設備を備えた台湾の製鉄所から直接仕入れ CNC 旋盤とコンピューター管理で製作されています パイプサイズは国内で広く流通しているものに合わせました 固定フランジ 回転フランジ 定価表 型式例 CF-BF- 径 パイプ寸法 ( タップ ) CF-HN- 径ハーフニップル ( パイプ付 ) 外径 型式 パイプ径 厚み 定価 固定 定価 回転 ホール タップ ホール タップ φ34 CF-BF-34X19 φ ,050 1,050 φ34 CF-HN-34 ( ハーフニップル ) 38.1 CALL φ70 CF-BF-70X38 φ38x ,400 1,500 1,800 1,800 φ70 CF-BF-70X42.7 φ42.7x CALL CALL CALL CALL φ70 CF-HN-70 ( ハーフニップル ) 62.5 CALL φ114 CF-BF-114X63.5 φ63.5x ,600 3,800 5,500 5,500 φ152 CF-BF-152X101.6 φ101.6x ,200 8,000 CALL CALL φ203 CF-BF-203X152.4 φ152.4x ,500 14,000 CALL CALL φ253 CF-BF-253X203.2 φ203.2x ,500 19,000 CALL CALL 寸法表承認図を用意しております ハーフニップルは別表を参照下さい フランジ φl1 外径 φd(b) φd2(c) L9 厚み φl4 PCD L7 備考 CF CF70X CF70X CF CF CF CF NW 溶接用フランジ類 図 1 図 2 図 3 Advantorr セレクト部品カタログ Vol_2016/12-2 穴あきフランジ性能向上のため予告なく仕様 価格を変更することがあります

11 ( 株 ) トヤマサイエンスをかたちにするテクノロジー 穴あき NW フランジ SUS304L 型式 :KF-BF-パイプ径 フラン 型式 図 A B C E D ジ φ6.5 φ9.65 φ12.95 NW10 KF-BF-10X NW16 KF-BF-16X NW25 KF-BF-25X NW40 KF-BF-40X NW ハーフニップル SUS304L 図 A B C D E: 長さ 価格 NW10 KF-HN ,220 NW16 KF-HN ,200 NW25 KF-HN ,760 NW40 KF-HN ,200 Advantorr セレクト部品カタログ Vol_2016/12-2 穴あきフランジ性能向上のため予告なく仕様 価格を変更することがあります

12 CF ISO3669 CF: DF ZL 305 CF CF70 CF-BL-CF70 CF CF-ZL-CF114X70 CF70 CF-DF-70X70 BL DF ZL ZeroLength Blank CF34 CF70 CF114 CF152 CF203 CF253 CF34 CF , CF70 CF- -70X 1, , CF114 CF- -114X 3, , CF152 CF- -152X 7, , CF203 CF- -203X 15, , CF253 CF- -253X 23, ,150 A B D( ) PCD B CF34 CF70 CF114 CF152 CF203 CF CF CF CF CF CF NW SUS A B NW10 KF-BL NW16 KF-BL NW25 KF-BL NW40 KF-BL AdvanTorr Vol_2016/12-4 CF

13 Advan orr ISO JIS A A A CF34 CF-FN ,100 CF-90MEL ,500 CF70 CF-FN ,800 CF-90MEL ,800 CF114 CF-FN ,700 CF-90MEL ,000 NW16 KF-FN ,500 KF-MEL ,800 NW25 KF-FN ,650 KF-MEL ,500 NW40 KF-FN ,700 KF-MEL ,350 CF-CF ( CF34 CF70 CF114 CF70 CF-SR-70X 45mm 4,650 CF114 CF-SR-114X 70mm 8,550 75mm 10,600 CF152 CF-SR-152X 127mm 17,800 95mm 23,400 CF-NW NW10 NW16 NW25 NW40 CF34 AD-KFCF- x34 C:44.5 2,350 C:44.5 2,450 CF70 AD-KFCF- x70 C:45.2 4,600 C:45.2 4,900 NW-NW E NW16 NW25 NW25 KF-SRN-25X ,820 NW40 KF-SRN-40X ,900 2,800 AdvanTorr Vol_2016/12-2

14 T AdvanTorr T SUS304L : T,4 2, 6 3,6 CF-ET-34 CF-4C-34 CF-6C-34 CF34 CF-ET-CF34 A: 38.1 CF-4C-CF34 A:38.1 CF-6C-CF34 A: ,000 18,000 27,000 CF70 CF-ET-CF70 A:62.5 CF-4C-CF70 A:62.5 CF-6C-CF70 A: ,500 20,000 40,000 CF114 CF-ET-CF114 A:85.5 CF-4C-CF114 A:85.9 CF-6C-CF114 A:86 38,800 47, ,000 CF152 CF-ET-CF152 A:110 CF-4C-CF152 A:110 CF-6C-CF152 A:135 73,000 85, ,000 NW16 KF-ET-NW16 A:58.4 KF-4C-NW16 A:58.4 KF-6C-NW16 A:80,B: B:29.2 5,550 B:29.2 7, ,000 NW25 KF-ET-NW25 A:100 KF-4C-NW25 A:100, KF-6C-NW25 A:130,B B:50 6,050 B:50 9,350 :65 20,000 NW40 KF-ET-NW40 A:122 KF-4C-NW40 A:122, KF-6C-NW40 A:140,B B:61 8,050 B:60 11,500 :70 24,600 NW Flexible Hoses NW16 MH-KF-16- L ,200 8,200 11,300 NW25 MH-KF-25- L ,600 8,600 11,600 NW40 MH-KF-40- L ,700 11,000 14,800 AdvanTorr Vol_2016/12-2 T 6

15 CF34 MB-CF L ,700 CF70 MB-CF L ,800 CF114 MB-CF L ,800 6 A Tap CF34 CF-6CU-34M 22, M4 CF70 CF-6CU-70M 42, M6 CF114 CF-6CU-114M 143, M8 CF152 CF-6CU-152M CALL AdvanTorr Vol_2016/12-2 T 6

16 ( 株 ) トヤマサイエンスをかたちにするテクノロジー お問い合わせ先 TEL (FAX ) 営業部 salesdept@toyama-jp.com 住所 神奈川県足柄上郡山北町岸 TEL /FAX 関西営業所 兵庫県姫路市北条口 1-35 藤和シティコア姫路駅前 101 会社紹介弊社は 60 年以上の精密機械加工 組立を通して お客様から高い評価を頂いており この加工技術を生かした 特殊な環境の超高真空を必要とする理科学機器用真空装置は国内外より高い評価を頂いています この度 真空装置メーカーのトヤマは台湾キンライ社の Advantorr 真空部品を日本国内総代理店として 自社で使用する真空部品も含め 国内ユーザーの皆様方に 安価で高信頼性の真空部品を提供出来るようになりました 是非 真空装置は ( 株 ) トヤマへ真空部品は台湾 Advantorr(Kinglai 社 ) へご用命下さい 業務内容受注機器の設計 製作 各種真空装置の設計 製作 表面 ガス分析装置の設計 製作 放射光施設向け各種コンポーネントの設計製作 主要設備マシニングセンタ CNC 旋盤 超精密旋盤 ワイヤー放電加工機 汎用フライス 旋盤 三次元測定器 レーザー顕微鏡 硬度計 He リークディテクタ ガス放出測定器 クリーンルーム 真空熱処理炉など トヤマの販売協力会社様 < 工事中 > 会社沿革 1954 年現在の東京都新宿区戸山町に遠藤製作所を創業 1968 年株式会社トヤマに社名変更 1973 年神奈川県座間市相模が丘に移転 1986 年座間市ひばりが丘へ移転 2006 年創立 50 周年遠藤克己が第 3 代社長に就任 2015 年神奈川県山北町に新社屋 移転 2016 年創立 60 周年 AdvanTorr セレクト部品カタログ Vol_2016/12 Toyama 性能向上のため予告なく仕様 価格を変更することがあります

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