CNC CNC CNC 1

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1 形 状 測 定 機 Catalog No 測 定 のトータルスループットの 向 上 で 生 産 性 向 上 に 大 きく 貢 献 新 時 代 の 自 動 測 定 を 提 案 するCNC 形 状 測 定 機 シリーズ パートプログラムを 切 換 えることで 測 定 物 にあった 専 用 測 定 機 に 変 身

2 CNC CNC CNC 1

3 測 定 対 象 物 測 定 条 件 測 定 時 間 測 定 箇 所 数 : 約 40 箇 所 測 定 位 置 :ピン / ジャーナル / スラスト 面 測 定 方 向 : 円 筒 部 軸 方 向 / スラスト 部 サイド 面 段 取 り :ワーク 移 動 / ワーク 姿 勢 変 更 / 通 り 出 し 解 析 内 容 : 表 面 粗 さ / 真 直 度 測 定 方 向 の 通 り 出 しやシャフトを 立 てる 作 業 は 工 数 が 掛 かり 2 人 作 業 になりがち! 測 定 箇 所 数 : 約 60 箇 所 測 定 位 置 :6 面 の 表 面 と 穴 内 径 測 定 方 向 : 上 面 下 面 側 面 斜 め 穴 等 多 数 方 向 段 取 り :ワーク 移 動 / ワーク 姿 勢 変 更 / 通 り 出 し 等 解 析 内 容 : 表 面 粗 さ / 輪 郭 形 状 測 定 位 置 へ 移 動 させる 姿 勢 変 更 が 10 回 以 上 必 要 な ため 測 定 効 率 は 非 常 に 悪 い! 測 定 箇 所 数 : 約 4 箇 所 測 定 位 置 :ギヤ 頂 角 測 定 方 向 : 接 線 方 向 段 取 り :ワーク 回 転 移 動 / ワーク 位 置 決 め 解 析 内 容 : 輪 郭 形 状 90 毎 の 回 転 位 置 決 めが 単 純 作 業 になるが 作 業 者 による 熟 練 度 で 工 数 精 度 に 差 が 発 生! 測 定 箇 所 数 : 約 20 箇 所 測 定 位 置 :シート 面 と 穴 測 定 方 向 : 上 面 穴 3 方 向 の 内 径 段 取 り :ワーク 移 動 / ワーク 姿 勢 変 更 / 通 り 出 し 等 解 析 内 容 : 表 面 粗 さ シート 面 は 簡 単 にワークを 移 動 させて 測 定 できる けれど 穴 内 径 粗 さは 測 定 位 置 が 見 えないので 位 置 決 めが 不 安! 測 定 箇 所 数 : 約 3 箇 所 / 1ワーク 測 定 位 置 : 円 筒 母 線 上 測 定 方 向 : 母 線 軸 方 向 段 取 り :ワーク 交 換 / 通 り 出 し 解 析 内 容 : 表 面 粗 さ / 真 直 度 1 本 当 たり 単 純 な 測 定 だけど 1 日 の 測 定 本 数 が 多 く その 度 に 必 要 な 通 り 出 しの 工 数 は 合 計 すると 多 大! 90 CNC CNC CNC 5 ( 推 定 時 間 は 4 歯 分 ) 40 CNC CNC 15 ( 推 定 時 間 は 10 本 分 ) / 測 定 箇 所 数 : 約 2 箇 所 測 定 位 置 : 光 軸 断 面 直 行 位 置 測 定 方 向 :スタライス 引 き 方 向 段 取 り :ワーク 回 転 / ワークレベル 出 し / 光 軸 位 置 出 し 解 析 内 容 : 輪 郭 形 状 / 設 計 値 照 合 / 表 面 粗 さ 光 軸 位 置 の 断 面 形 状 を 測 定 することが 重 要 であり そのセッティングは 多 大 な 工 数 が 発 生! 測 定 箇 所 数 : 約 2 箇 所 / 1ワーク 測 定 位 置 : 円 筒 母 線 上 測 定 方 向 : 母 線 軸 方 向 段 取 り :ワーク 交 換 / 通 り 出 し 解 析 内 容 : 表 面 粗 さ / 真 直 度 1 個 の 測 定 は 単 純 だけど 多 数 個 を 測 定 するので 1 個 のセッティングは 工 数 多 大! 2 40 CNC 5 40 CNC 20 ( 推 定 個 数 は 20 個 分 )

4 CNC 追 従 測 定 機 能 Z2 軸 制 御 により 検 出 器 の 測 定 範 囲 よりも 広 い 範 囲 の 形 状 ( 輪 郭 )の 倣 い 測 定 が 可 能 従 来 機 では 複 数 回 に 分 けて 測 定 していた 箇 所 を 一 回 で 測 定 可 能 検 出 部 の 上 下 運 動 上 下 面 連 続 測 定 機 能 ( 輪 郭 形 状 測 定 のみ) 両 側 円 すいスタイラスとの 組 合 せにより 上 下 面 の 連 続 測 定 連 続 測 定 が 可 能 です 従 来 測 定 することが 困 難 だった ねじの 有 効 径 等 を 上 下 面 連 続 データを 用 いて 簡 単 に 解 析 できます 下 向 き( 下 面 ) 測 定 Z 2 上 向 き( 上 面 ) 測 定 測 定 方 向 斜 め 測 定 機 能 ( 表 面 粗 さ) X 軸 とY 軸 の 同 期 制 御 を 行 うことにより 斜 め 移 動 測 定 を 実 現 測 定 方 向 を 駆 動 部 に 平 行 になるようにワークの 再 セッティング することなく 連 続 測 定 が 可 能 Y 軸 テーブルを 使 用 することにより 多 数 個 の 連 続 自 動 測 定 を 実 現 α 軸 ( 駆 動 部 傾 斜 ) 付 のモデルでは 途 中 で 段 取 り 替 えすること 無 く 傾 斜 面 を 含 む 複 数 箇 所 の 表 面 を 連 続 測 定 可 能 α 軸 またはオプションのオートレベリングテーブルを 使 用 した 自 動 水 平 出 し 機 能 搭 載 Y 軸 テーブル 付 世 界 最 高 速 の 最 大 200mm/s の 高 駆 動 速 度 と 多 軸 同 時 制 御 に より 測 定 箇 所 への 高 速 位 置 決 めを 実 現 ( CS-5000CNC は 最 大 40mm/s) α 軸 付 3

5 アイコンを 使 用 した 分 かり 易 い 操 作 ボタンを 装 備 自 動 実 行 中 も 自 由 に 速 度 変 更 可 能 な 速 度 オーバーライドつまみも 装 備 速 度 をリアルタイムに 変 更 可 能 な 速 度 オーバーライドつまみ アイコン 使 用 した 分 かり 易 い 操 作 ボタン 安 全 装 置 により 衝 突 発 生 時 に 測 定 機 が 自 動 停 止 輪 郭 形 状 検 出 器 安 全 装 置 作 動 衝 突 方 向 表 面 粗 さ 検 出 器 CNC FORMTRCEPK ワーク 同 定 ( 座 標 系 設 定 ) パートプログラム 作 成 時 の 位 置 とワークがずれていても ワーク 座 標 系 を 設 定 し 同 じ 位 置 を 測 定 可 能 エッジ 測 定 により 座 標 系 を 同 定 複 数 部 品 測 定 対 応 1 個 分 のパートプログラムをループ 機 能 により 繰 返 し 実 行 して 同 一 形 状 の 多 数 個 を 一 括 測 定 可 能 ループ 機 能 による 繰 返 し 測 定 1 個 分 のパートプログラム 4

6 CNC CNC SV-3000CNC ( 駆 動 部 傾 斜 機 構 +Y 軸 テーブル 付 仕 様 ) SV-M3000CNC (Y 軸 コラム 移 動 形 表 面 粗 さ 測 定 機 ) ( 写 真 は 特 殊 仕 様 です) SV-C4500CNC ( 輪 郭 形 状 測 定 用 検 出 器 装 着 例 ) ( 駆 動 部 傾 斜 機 構 +Y 軸 テーブル 付 仕 様 ) 5

7 CS-H5000CNC (Y 軸 テーブル 付 仕 様 ) SV-3000CNC+VISION CS-H5000CNC+VISION 6

8 CNC SV-3000CNC X 1 (Y) Z2 軸 の 最 大 駆 動 速 度 は 最 大 200mm/sで 高 速 位 置 決 めでき 複 数 断 面 測 定 や 複 数 ワーク 測 定 の 高 スループット 化 が 可 能 です Y 軸 付 のタイプでは X Y 軸 方 向 の2 軸 同 時 制 御 による 斜 め 測 定 が 可 能 です α 軸 付 のタイプでは X1 軸 を 電 動 傾 斜 により 水 平 面 斜 面 の 連 続 測 定 が 可 能 です Y 軸 テーブル 付 のタイプでは Y 方 向 に 測 定 領 域 が 拡 大 するため 複 数 ワークの 一 括 測 定 も 実 現 できます Z1 軸 検 出 器 は 測 定 力 4mNタイプと0.75mNタイプの2 種 類 より 選 択 可 能 です 検 出 器 駆 動 部 のケーブルをすべて 本 体 内 配 線 にすることにより 測 定 誤 差 要 因 になる 配 線 の 擦 れを 無 くし 高 速 駆 動 を 実 現 します Z1 軸 検 出 器 には 衝 突 安 全 装 置 が 内 蔵 されていますので 万 一 検 出 器 本 体 がワークや 治 具 に 干 渉 した 場 合 には 自 動 停 止 します α 軸 付 タイプ Y 軸 付 タイプ α 及 び Y 軸 付 タイプ α 及 び Y 軸 無 しタイプにそれぞれ 標 準 コラム 及 びハイコラム の 計 8 機 種 をラインアップ PLC(プログラマブルロジックコントロール)との 双 方 向 通 信 (RS-232C)による 外 部 制 御 機 能 を 追 加 するオプション ソフトウェア(FORMEio)をご 用 意 しています SV-3000CNC ( 駆 動 部 傾 斜 機 構 +Y 軸 テーブル 付 仕 様 ) 7

9 SV-3000CNC コラムタイプ 標 準 コラム ハイコラム X1 軸 測 定 範 囲 200mm 分 解 能 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニアエンコーダ 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s 測 定 速 度 0.02~2mm/s 測 定 方 向 引 き 方 向 真 直 精 度 0.5µm/200mm Z2 軸 (コラム) 移 動 範 囲 300mm 500mm 分 解 能 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニアエンコーダ 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s ベースサイズ( 幅 x 奥 行 ) 750x600mm ベース 素 材 斑 れい 岩 測 定 解 析 仕 様 22ページのFORMTRCEPK 表 面 粗 さ 測 定 解 析 仕 様 をご 参 照 ください 外 観 寸 法 ( 幅 x 奥 行 x 高 さ) 800x620x1000mm 800x620x1200mm 質 量 (Y 軸 テーブル 部 及 び 防 振 台 は 含 まない) 240kg 250kg 使 用 温 度 湿 度 範 囲 15~25 C 20~80%RH(ただし 結 露 しないこと) 保 存 温 度 湿 度 範 囲 -10~50 C 5~90%RH(ただし 結 露 しないこと) 測 定 機 本 体 構 成 品 の 一 部 に 自 然 石 を 使 用 しているため 石 表 面 に 模 様 のある 場 合 があります α 軸 部 ( 搭 載 機 種 のみ 共 通 ) 傾 斜 角 度 -45 ( 反 時 計 回 り) +10 ( 時 計 回 り) 傾 斜 回 転 速 度 1rpm 傾 斜 角 度 分 解 能 質 量 9kg 防 振 台 ( 必 須 オプション) 除 振 機 構 固 有 振 動 数 減 衰 機 構 水 平 維 持 機 構 供 給 空 気 圧 搭 載 許 容 質 量 外 観 寸 法 ( 幅 x 奥 行 x 高 さ) 質 量 ダイヤフラム 型 空 気 ばね 2.5~3.5Hz オリフィス メカニカルバルブによる 自 動 制 御 0.4MPa 350kg 1000x895x715mm 280kg Y 軸 テーブル 部 ( 搭 載 機 種 のみ 共 通 ) 測 定 範 囲 200mm 最 小 表 示 量 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニアエンコーダ 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s 最 大 積 載 質 量 20kg( 重 心 位 置 はテーブル 中 心 からø100mm 以 内 ) 真 直 精 度 0.5µm/200mm 指 示 精 度 (20 C 輪 郭 モード) ±(2+2L/100)µm L: 任 意 2 点 間 寸 法 (mm) テーブルサイズ 200x200mm 外 観 寸 法 ( 幅 x 奥 行 x 高 さ) 320x646x105mm 質 量 35kg 8

10 Y SV-M3000CNC エンジンブロック クランクシャフト 等 の 大 型 重 量 ワークに 対 応 したCNC 表 面 粗 さ 測 定 機 です X 1 Y Z 2 軸 の 最 大 駆 動 速 度 は 最 大 200mm/sで 高 速 位 置 決 めでき 複 数 断 面 測 定 や 複 数 ワーク 測 定 の 高 スループット 化 が 可 能 です コラム(Z2 軸 ) 移 動 構 造 を 採 用 した 評 価 型 表 面 粗 さ 測 定 機 です 小 型 表 面 粗 さ 測 定 機 (ハンディータイプ)を 用 いて 製 造 現 場 でしか 評 価 できなかった 大 型 重 量 ワークの 表 面 粗 さ 測 定 をする 事 も 可 能 です 検 出 器 ホルダはご 用 途 に 合 わせて 下 記 3 種 類 から 選 択 頂 けます 1 標 準 型 ( 検 出 器 : 下 向 き) 2ロング 型 ( 検 出 器 : 下 向 き+ 深 穴 等 への 対 応 可 ) 3 回 転 型 ( 検 出 器 : 下 向 き 上 向 き 前 向 き 後 ろ 向 きの4 段 階 切 替 え) 耐 荷 重 100kgの 大 型 回 転 テーブル(オプション)にも 特 注 対 応 可 能 です Z1 軸 検 出 器 は 測 定 力 4mNタイプと0.75mNタイプの2 種 類 より 選 択 可 能 です 検 出 器 駆 動 部 のケーブルをすべて 本 体 内 配 線 にすることにより 測 定 誤 差 要 因 になる 配 線 の 擦 れを 無 くし 高 速 駆 動 を 実 現 します Z1 軸 検 出 器 には 衝 突 安 全 装 置 が 内 蔵 されていますので 万 一 検 出 器 本 体 が ワークや 治 具 に 干 渉 した 場 合 には 自 動 停 止 します PLC(プログラマブルロジックコントロール)との 双 方 向 通 信 (RS-232C)による 外 部 制 御 機 能 を 追 加 するオプションソフトウェア(FORMEio)をご 用 意 しています 標 準 型 検 出 器 ホルダ ロング 型 検 出 器 ホルダ 測 定 例 )ロング 型 検 出 器 ホルダ 回 転 型 検 出 器 ホルダ( 検 出 器 : 下 向 き) 回 転 型 検 出 器 ホルダ( 検 出 器 : 上 向 き) 測 定 例 ) 回 転 型 検 出 器 ホルダ ( 検 出 器 : 後 ろ 向 き) SV-M3000CNC (Y 軸 コラム 移 動 形 表 面 粗 さ 測 定 機 ) ( 写 真 は 特 殊 仕 様 です) 9 大 形 θテーブル(オプション)

11 SV-M3000CNC X1 軸 測 定 範 囲 200mm 分 解 能 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニアエンコーダ 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s 測 定 速 度 0.02~2mm/s 真 直 精 度 標 準 型 検 出 器 ホルダ 使 用 時 0.5µm/200mm ロング 型 検 出 器 ホルダ 使 用 時 0.7µm/200mm 回 転 型 検 出 器 上 下 方 向 0.5µm/200mm ホルダ 使 用 時 前 後 方 向 0.7µm/200mm システム 標 準 型 検 出 器 ホルダ 使 用 時 Rz<0.1µm ノイズ Rz ロング 型 検 出 器 ホルダ 使 用 時 Rz<0.2µm 回 転 型 検 出 器 ホルダ 使 用 時 上 下 方 向 : Rz<0.2µm 前 後 方 向 : Rz<0.4µm Z2 軸 (コラム) 移 動 範 囲 500mm 分 解 能 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニアエンコーダ 測 定 力 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s Y 軸 測 定 範 囲 800mm 分 解 能 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニアエンコーダ 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s 測 定 速 度 0.02~2mm/s 真 直 精 度 標 準 型 検 出 器 ホルダ 使 用 時 狭 範 囲 0.5µm/50mm 広 範 囲 2µm/800mm ロング 型 検 出 器 ホルダ 使 用 時 狭 範 囲 0.7µm/50mm 広 範 囲 3µm/800mm 回 転 型 検 出 器 ホルダ 使 用 時 狭 範 囲 0.7µm/50mm ( 上 下 方 向 ) 広 範 囲 3µm/800mm システム 標 準 型 検 出 器 ホルダ 使 用 時 Rz<0.2µm ノイズ Rz ロング 型 検 出 器 ホルダ 使 用 時 Rz<0.3µm 回 転 型 検 出 器 ホルダ 使 用 時 Rz<0.3µm 測 定 解 析 仕 様 22ページのFORMTRCEPK 表 面 粗 さ 測 定 解 析 仕 様 をご 参 照 ください ベース 部 ベースサイズ( 幅 x 奥 行 ) 600x1500mm ベース 材 質 スチール 許 容 積 載 質 量 300kg 防 振 ユニット 供 給 空 気 圧 0.4MPa 除 振 機 構 ダイヤフラム 型 空 気 ばね 固 有 振 動 数 4.0~5.0Hz 減 衰 機 構 オリフィス&オイルダンパ 水 平 維 持 機 構 メカニカルバルブによる 自 動 制 御 外 観 寸 法 ( 幅 x 奥 行 きx 高 さ) 1085x1695x1922mm 質 量 1600kg( 防 振 ユニット 含 む) 使 用 温 度 湿 度 範 囲 15~25 C 20~80%RH(ただし 結 露 しないこと) 保 存 温 度 湿 度 範 囲 -10~50 C 5~90%RH(ただし 結 露 しないこと) システムノイズ Rzはガラス 製 オプチカルフラットを 以 下 の 条 件 で 測 定 1X1 軸 水 平 状 態 2 測 定 速 度 : 0.5mm/sec 3λc: 区 間 数 : 5(ISO ) α 軸 部 ( 搭 載 機 種 のみ 共 通 ) 傾 斜 角 度 -45 ( 反 時 計 回 り) +10 ( 時 計 回 り) 傾 斜 回 転 速 度 1rpm 傾 斜 角 度 分 解 能 質 量 9kg 10

12 CNC SV-3000CNC + VISION CS-H5000CNC + VISION サーフテスト/フォームトレーサエクストリームに 画 像 プローブユニットQVP-Ⅱを 搭 載 し 測 定 位 置 同 定 や 画 像 測 定 が 可 能 なCNC 表 面 粗 さ/ 表 面 性 状 測 定 機 です 正 確 なアプローチが 難 しい 場 所 ( 微 少 なくぼみ 等 々)へ 画 像 プローブユニットQVP-Ⅱを 用 いて 高 精 度 な 位 置 決 めを 行 い 接 触 式 測 定 子 に 切 り 替 えて 微 小 な 形 状 の 自 動 測 定 が 行 えます 画 像 プローブユニットQVP-Ⅱは 画 像 測 定 機 三 次 元 測 定 機 で 長 年 培 った 技 術 をベースに 開 発 されたCNC 形 状 測 定 機 用 プローブです レンズ 系 を 通 る 垂 直 落 射 照 明 を 標 準 装 備 し リングライト 照 明 をオプションでご 用 意 して おります 光 源 は 共 に 明 るく 長 寿 命 の 白 色 LED です 専 用 のオフセット 値 取 得 キットを 測 定 することにより 接 触 式 測 定 子 とQVP-Ⅱの 座 標 を 共 有 させることができ ますので 接 触 非 接 触 混 在 の 自 動 測 定 も 可 能 です スタイラスによる Z1 軸 検 出 器 QVP-Ⅱには 衝 突 安 全 装 置 を 内 蔵 していますので ワークや 治 具 に 干 渉 しても 自 動 停 止 します 多 彩 な 画 像 処 理 機 能 (ツール)によって 様 々な 形 状 のエッジを 高 速 で 検 出 することができます CS-H5000CNC+VISION SV-3000CNC+VISION 11

13 符 号 SV-3000CNC+VISION CS-H5000CNC+VISION X1 軸 測 定 範 囲 200mm 分 解 能 0.05µm µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニアエンコーダ レーザホロスケール 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s 最 大 40mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s 0~40mm/s 形 状 測 定 測 定 速 度 粗 さ 測 定 時 0.02~2mm/s 0.02~0.2mm/s 輪 郭 測 定 時 ~2mm/s 測 定 方 向 引 き 方 向 引 き 押 し 両 方 向 真 直 精 度 0.5µm/200mm ( L)µm 1 2 指 示 精 度 (20 ) - ±( L)µm 2 システムノイズ Rz 3 Rz<0.1µm - 画 像 測 定 測 定 精 度 (20 ) 1 4 E1X ±(2+3L1/1000)µm 5 Z1 軸 ( 検 出 部 ) 測 定 範 囲 800µm/80µm/8µm 24mm 分 解 能 0.01µm(800µm) 0.001µm(80µm) µm(8µm) 0.002µm スタイラス 上 下 動 円 弧 運 動 測 長 ユニット 差 動 インダクタンス レーザホロスケール 指 示 精 度 (20 ) - ±( H )µm 6 測 定 力 0.75mN または 4mN 0.75mN 一 定 追 従 角 度 - 登 り60 下 り60 ( 面 性 状 による) 測 定 面 方 向 下 向 き Z2 軸 (コラム) 移 動 範 囲 350mm (Y 軸 テーブル 面 より) 分 解 能 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニアエンコーダ 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s Y 軸 テーブル 部 測 定 範 囲 200mm 最 小 表 示 量 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニヤエンコーダ 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s 最 大 積 載 質 量 20kg( 重 心 位 置 はテーブル 中 心 からø100mm) 形 状 測 定 真 直 精 度 0.5µm/200mm 指 示 精 度 (20 ) ±(2+2L/100)µm 2 画 像 測 定 測 定 精 度 (20 ) 3 E1Y ±(2+3L1/1000)µm 5 テーブルサイズ mm 測 定 解 析 仕 様 22ページをご 参 照 ください 1: 弊 社 検 査 方 法 による 2:L= 駆 動 長 さ(mm) 3:システムノイズ Rzはガラス 製 オプチカルフラットを 以 下 の 条 件 で 測 定 1X1 軸 水 平 状 態 2 測 定 速 度 : 0.5mm/sec 3λc: 区 間 数 : 5(ISO ) 4: 精 度 保 証 光 学 条 件 10 倍 対 物 レンズ(ML10 ) 5:L1= 任 意 2 点 間 寸 法 (mm) 6:H= 測 定 高 さ(mm) 測 定 機 本 体 構 成 品 の 一 部 に 自 然 石 を 使 用 しているため 石 表 面 に 模 様 のある 場 合 があります 12

14 CNC SV-C4500CNC 輪 郭 形 状 測 定 と 表 面 粗 さ 測 定 を 検 出 器 交 換 することで1 台 で 行 える 複 合 機 種 です 輪 郭 形 状 測 定 パワーアップした 新 検 出 器 ( 輪 郭 形 状 測 定 専 用 )を 搭 載 しています 1 測 定 範 囲 が10mm 拡 大 ( 従 来 比 )しています 2アーム 取 付 け 部 にマグネットジョイントを 採 用 しアーム 交 換 がスピーディーに 行 えます 3 両 側 円 すいスタイラスとの 組 合 わせにより 上 下 面 連 続 測 定 が 可 能 です 4 測 定 力 をデータ 処 理 装 置 部 (FORMTRCEPK)から 指 定 (5 段 階 )できます 表 面 粗 さ 測 定 JIS(2001/1994/1982), ISO, DINなど 各 国 の 規 格 に 対 応 したパラメータ 解 析 が 可 能 です Z1 軸 検 出 器 は 測 定 力 0.75mNタイプが 標 準 設 定 されています 共 通 仕 様 X1 (Y) Z2 軸 の 最 大 駆 動 速 度 は 最 大 200mm/sで 高 速 位 置 決 めでき 複 数 断 面 測 定 や 複 数 ワーク 測 定 の 高 スループット 化 が 可 能 です Y 軸 付 のタイプでは X Y 軸 方 向 の2 軸 同 時 制 御 による 斜 め 測 定 が 可 能 です α 軸 付 のタイプでは X1 軸 を 電 動 傾 斜 により 水 平 面 斜 面 の 連 続 測 定 が 可 能 です Y 軸 テーブル 付 のタイプでは Y 方 向 に 測 定 領 域 が 拡 大 するため 複 数 ワークの 一 括 測 定 も 実 現 できます 検 出 器 駆 動 部 のケーブルをすべて 本 体 内 配 線 にすることにより 測 定 誤 差 要 因 になる 配 線 の 擦 れを 無 くし 高 速 駆 動 を 実 現 します Z1 軸 検 出 器 には 衝 突 安 全 装 置 が 内 蔵 されていますので 万 一 検 出 器 本 体 がワーク や 治 具 に 干 渉 した 場 合 には 自 動 停 止 します α 軸 付 タイプ Y 軸 付 タイプ α 及 び Y 軸 付 タイプ α 及 び Y 軸 無 しタイプにそれぞれ 標 準 コラム 及 びハイコラムの 計 8 機 種 をラインアップ PLC(プログラマブルロジックコントロール)との 双 方 向 通 信 (RS-232C)による 外 部 制 御 機 能 を 追 加 するオプションソフトウェア(FORMEio)をご 用 意 しています SV-C4000CNC 50 mm 10 mm Z1 軸 測 定 範 囲 が10mmアップ ( 片 角 スタイラス SPH-71 を 取 り 付 けた 場 合 ) SV-C4500CNC SV-C4000CNC( 従 来 形 ) アームはねじ 固 定 下 向 き( 下 面 ) 測 定 有 効 径 解 析 アーム 側 着 脱 部 検 出 器 側 着 脱 部 上 下 の 測 定 方 向 は ソフトウェアにて 切 替 SV-C4500CNC 上 下 面 連 続 測 定 機 能 60 mm 19 mm 上 向 き( 上 面 ) 測 定 穴 径 解 析 検 出 器 スタンド SV-C4500CNC( 輪 郭 形 状 測 定 用 検 出 器 装 着 ) SV-C4500CNC( 表 面 粗 さ 測 定 用 検 出 器 装 着 ) 13

15 SV-C4500CNC コラムタイプ 標 準 コラム ハイコラム X1 軸 ( 駆 動 部 ) 測 定 範 囲 200mm 分 解 能 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニヤエンコーダ 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s 測 定 速 度 0.02~2mm/s 輪 郭 形 状 測 定 方 向 押 し 引 き 両 方 向 真 直 精 度 2µm/200mm 指 示 精 度 (20 ) ±(0.8+4L/1000)µm L: 測 定 長 さ(mm) 表 面 粗 さ 測 定 方 向 引 き 方 向 真 直 精 度 0.5µm/200mm Z1 軸 ( 検 出 部 ) 輪 郭 形 状 測 定 範 囲 60mm( 水 平 状 態 より±30mm) 分 解 能 0.02µm 測 定 方 向 上 下 両 方 向 (FORMTRCEPKにより 方 向 切 替 ) スタイラス 上 下 動 円 弧 運 動 測 長 ユニット 円 弧 スケール 指 示 精 度 (20 ) ±(0.8+ 2H /100)µm H: 水 平 位 置 からの 測 定 高 さ(mm) 測 定 力 10, 20, 30, 40, 50mN(ソフトウェアによる 切 替 ) 追 従 角 度 登 り70 下 り70 ( 面 性 状 による) スタイラス 先 端 形 状 円 すい30 超 硬 合 金 表 面 粗 さ 測 定 範 囲 800µm/80µm/8µm 分 解 能 0.01µm/ 0.001µm / µm 測 定 力 0.75mN Z2 軸 (コラム) 測 定 範 囲 300 mm 500 mm 分 解 能 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニヤエンコーダ 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s 指 示 精 度 α 軸 無 機 種 ±(1.5+10H /1000)µm H:Z2 軸 測 定 高 さ(mm) (20 ) α 軸 付 機 種 - ベースサイズ(W D) mm ベース 材 質 斑 れい 岩 測 定 解 析 仕 様 22ページをご 参 照 ください 測 定 機 本 体 構 成 品 の 一 部 に 自 然 石 を 使 用 しているため 石 表 面 に 模 様 のある 場 合 があります α 軸 部 ( 搭 載 機 種 のみ 共 通 ) 傾 斜 角 度 -45 ( 反 時 計 回 り) +10 ( 時 計 回 り) 傾 斜 回 転 速 度 1rpm 傾 斜 角 度 分 解 能 質 量 9kg Y 軸 テーブル 部 ( 搭 載 機 種 のみ 共 通 ) 測 定 範 囲 200mm 最 小 表 示 量 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニアエンコーダ 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s 最 大 積 載 質 量 20kg( 重 心 位 置 はテーブル 中 心 からø100 以 内 ) 真 直 精 度 表 面 粗 さモード 0.5µm/200mm 輪 郭 モード 2µm/200mm 指 示 精 度 (20 C 輪 郭 モード) ±(2+2L/100)µm L: 任 意 2 点 間 寸 法 (mm) テーブルサイズ 200x200mm 外 観 寸 法 ( 幅 x 奥 行 x 高 さ) 320x646x105mm 質 量 35kg 14

16 CNC CS-5000CNC/CS-H5000CNC 表 面 粗 さと 輪 郭 形 状 を 一 括 測 定 可 能 な 高 精 度 触 針 式 CNC 表 面 性 状 測 定 機 です X1 軸 の 最 大 駆 動 速 度 は 最 大 40mm/s (Y) Z2 軸 の 最 大 駆 動 速 度 は 最 大 200mm/sで 高 速 位 置 決 めでき 複 数 断 面 測 定 や 複 数 ワーク 測 定 の 高 スループット 化 が 可 能 です X1 軸 Z1 軸 にはレーザホロスケールを 搭 載 し X1 軸 :6.25nm Z1 軸 :4nm/8nm(CS) 1nm/2nm(CS-H)の 高 分 解 能 を 実 現 し 輸 郭 形 状 表 面 粗 さの 一 括 測 定 に 対 応 しています Z1 軸 検 出 器 にはアクティブ 制 御 方 式 を 採 用 し 動 的 測 定 力 の 変 動 を 押 さえたワイドレンジ 測 定 が 可 能 です X Y 軸 方 向 2 軸 同 時 制 御 による 斜 め 測 定 が 可 能 です Z1 軸 検 出 器 には 衝 突 安 全 装 置 が 内 蔵 されていますので 万 一 検 出 器 本 体 がワークや 治 具 に 干 渉 した 場 合 でも 自 動 停 止 します α 軸 付 タイプ(CS-5000CNC)では X1 軸 を 電 動 傾 斜 により 水 平 面 斜 面 の 連 続 測 定 が 可 能 です Y 軸 テーブル 付 では 複 数 ワークの 測 定 などY 方 向 位 置 決 めにより 測 定 領 域 が 拡 大 します 検 出 器 駆 動 部 のケーブルをすべて 本 体 内 配 線 にすることにより 測 定 誤 差 要 因 になる 配 線 の 擦 れを 無 くし 高 速 駆 動 を 実 現 します Z1 軸 検 出 器 には 衝 突 安 全 装 置 が 内 蔵 されていますので 万 一 検 出 器 本 体 がワークや 治 具 に 干 渉 した 場 合 には 自 動 停 止 します 本 機 は 高 精 度 が 要 求 される 非 球 面 レンズの 測 定 にも 実 績 があります 高 精 度 な 本 体 もさることながら 測 定 精 度 に 大 きな 影 響 を 及 ぼすワークセッティング( 傾 き 及 びピーク 点 ボトム 点 検 出 )を 簡 単 かつ 自 動 で 行 えるオプション(Y 軸 テーブル 3Dオートレベリングテーブル) 及 び 測 定 手 順 作 成 解 析 が 簡 単 に 行 える 専 用 ソフトウェア(SLPK: 23ページ 参 照 下 さい)がご 好 評 いただいています PLC(プログラマブルロジックコントロール)との 双 方 向 通 信 (RS-232C)による 外 部 制 御 機 能 を 追 加 するオプション ソフトウェア(FORMEio)をご 用 意 しています アクティブ 制 御 方 式 を 採 用 したワイド レンジ 検 出 器 CS-H5000CNC (Y 軸 テーブル 付 仕 様 ) 15

17 符 号 CS-5000CNC CS-H5000CNC コラムタイプ 標 準 コラム ハイコラム 標 準 コラム X1 軸 測 定 範 囲 200mm 分 解 能 µm 測 長 ユニット レーザホロスケール 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 40mm/s ジョイスティックモード 0~40mm/s 測 定 速 度 粗 さ 測 定 時 :0.02~0.2mm/s 輪 郭 測 定 時 :0.02~2mm/s 測 定 方 向 引 き 押 し 両 方 向 真 直 精 度 標 準 長 さスタライス 使 用 時 ( L)µm L: 駆 動 長 さ(mm) ( L)µm L: 駆 動 長 さ(mm) 2 倍 長 さスタライス 使 用 時 ( L)µm H: 駆 動 長 さ(mm) ( L)µm H: 駆 動 長 さ(mm) 指 示 精 度 (20 ) ±( L)µm L: 駆 動 長 さ(mm) ±( L)µm L: 駆 動 長 さ(mm) Z1 軸 ( 検 出 部 ) 測 定 範 囲 標 準 長 さスタライス 使 用 時 12mm 2 倍 長 さスタライス 使 用 時 24mm 分 解 能 標 準 長 さスタライス 使 用 時 0.004µm 0.001µm 2 倍 長 さスタライス 使 用 時 0.008µm 0.002µm スタライス 上 下 運 動 円 弧 運 動 測 長 ユニット レーザホロスケール 指 示 精 度 (20 ) ±( H )µm H: 測 定 高 さ(mm) ±( H )µm H: 測 定 高 さ(mm) 測 定 力 標 準 長 さスタライス 使 用 時 4mN 一 定 2 倍 長 さスタライス 使 用 時 0.75mN 一 定 追 従 角 度 登 り60 下 り60 ( 面 性 状 による) スタライス 標 準 長 さスタライス 先 端 半 径 5µm 先 端 角 度 40 ダイヤモンド 先 端 標 準 長 さボールスタライス 先 端 ボール 半 径 0.25mm サファイヤ 2 倍 長 さスタライス 先 端 半 径 5µm 先 端 角 度 40 ダイヤモンド 2 倍 長 さスタライス - 先 端 半 径 2µm 先 端 角 度 60 ダイヤモンド 2 倍 長 さポールスタライス 先 端 ボール 半 径 0.25mm サファイヤ 測 定 面 方 向 下 向 き Z2 軸 (コラム) 移 動 範 囲 300mm 500mm 300mm 分 解 能 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニアエンコーダ 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s ベースサイズ( 幅 x 奥 行 ) 750x600mm ベース 材 質 斑 れい 岩 測 定 解 析 仕 様 22ページをご 参 照 ください 測 定 機 本 体 構 成 品 の 一 部 に 自 然 石 を 使 用 しているため 石 表 面 に 模 様 のある 場 合 があります α 軸 部 (CS-5000CNCのみ 搭 載 可 ) 傾 斜 角 度 -45 ( 反 時 計 回 り) +10 ( 時 計 回 り) 傾 斜 回 転 速 度 1rpm 傾 斜 角 度 分 解 能 質 量 9kg Y 軸 テーブル 部 ( 搭 載 機 種 のみ 共 通 ) 測 定 範 囲 200mm 最 小 表 示 量 0.05µm 測 長 ユニット 反 射 型 リニアエンコーダ 駆 動 速 度 CNCモード 最 大 200mm/s ジョイスティックモード 0~50mm/s 最 大 積 載 質 量 20kg( 重 心 位 置 はテーブル 中 心 からø100 以 内 ) 真 直 精 度 0.5µm/200mm 指 示 精 度 (20 C 輪 郭 モード) ±(2+2L/100)µm L: 任 意 2 点 間 寸 法 (mm) テーブルサイズ 200x200mm 外 観 寸 法 ( 幅 x 奥 行 x 高 さ) 320x646x105mm 質 量 35kg 16

18 FORMTRCEPK 測 定 手 順 ウインドウに 表 示 されている 項 目 を 直 接 変 更 する 事 が 可 能 です 例 : 評 価 条 件 変 更 粗 さ 規 格 変 更 による 再 計 算 等 々 次 の 手 順 を 説 明 する 操 作 メッセージウィンドウ 搭 載 タブを 選 択 することにより 輪 郭 や 粗 さ 照 合 結 果 など 見 たいデータを 確 認 できます 画 面 の2 分 割 4 分 割 表 示 が 可 能 ですので 測 定 データ( 輪 郭 粗 さ) 解 析 結 果 輪 郭 照 合 な ど 複 数 の 解 析 データを 自 由 に 配 置 して 表 示 できます 図 形 ウィンドウには 測 定 図 形 だけでなく 測 定 値 ( 合 否 判 定 含 む) 解 析 グラフなどの 貼 付 け が 可 能 です 図 形 ウィンドウのみで 図 形 と 測 定 結 果 が 一 目 で 確 認 できます 17

19 1 回 のみの 測 定 にはシングルモード パートプログラムを 作 成 し 同 一 ワークを 複 数 個 測 定 するにはティーチングモードなど 用 途 に 合 わせたモードを 備 えております また 測 定 から 報 告 書 印 刷 までの 一 連 の 流 れをパートプログラ ムに 組 込 む 事 ができ 効 率 よく 測 定 解 析 報 告 書 出 力 が 行 えます さらに 任 意 のタイミングで 写 真 入 のコメントを 表 示 す る 機 能 もあり ワークの セッティングなどの 注 意 点 を 指 示 する 測 定 手 順 書 の 役 割 を 組 込 む 事 も できます 操 作 手 順 の 呼 び 出 しは プルダウンメニューから 簡 単 に 選 択 でき すぐに 測 定 を 行 なえます いつでも 閲 覧 できるオンラインヘルプを 搭 載 目 次 別 やキー ワード 検 索 に 加 え クリックするだけでメニューやウィンドウの ヘルプを 表 示 する 状 況 保 存 ヘルプボタンを 搭 載 しています 使 用 頻 度 の 低 いボタンは 隠 すことができます よく 使 うボタン だけを 表 示 し その 分 図 形 ウィンドウを 大 きく 表 示 するなど お 客 様 の 使 い 勝 手 に 合 わせた 画 面 のカスタマイズが 可 能 です 対 応 言 語 につきましては P22の 仕 様 一 覧 をご 参 照 ください 測 定 解 析 レイアウト 画 面 は 言 語 切 替 が 可 能 です 測 定 を 行 った 後 に 他 言 語 に 変 換 して 報 告 書 作 成 が 可 能 です ワール ドワイドにご 利 用 いただけます Excel 等 別 プログラムを 利 用 することなく 粗 さパラメータや 輪 郭 解 析 結 果 の 統 計 計 算 が 可 能 です 対 応 言 語 につきましては P22の 仕 様 一 覧 をご 参 照 ください 18

20 FORMTRCEPK 解 析 の 基 本 要 素 となるコマンドは 点 (10 種 類 ) 線 (6 種 類 ) 円 (6 種 類 )と 多 種 にわたり 要 素 を 組 み 合 わせた 角 度 ピッ チ 距 離 など 豊 富 な 計 算 コマンドや 輪 郭 照 合 機 能 設 計 値 生 成 機 能 も 標 準 装 備 しています 普 段 ご 使 用 にならないような コマンドは 隠 すなど 計 算 コマンドボタンのカスタマイズ 機 能 と 合 わせ 使 用 環 境 に 合 わせた 画 面 のカスタマイズが 可 能 です 設 計 データと 測 定 データとを 最 適 な 位 置 に 座 標 移 動 させるベストフィット 機 能 が 標 準 装 備 されています 照 合 結 果 は ビジュアルな 図 形 表 示 だけでなく 各 座 標 における 誤 差 量 や 誤 差 量 展 開 を 表 示 させたり テキストファイル 形 式 で 出 力 が 可 能 ですので 加 工 機 へのフィードバックデータなどにご 利 用 いただけます 測 定 点 を 予 め 登 録 しておいた 参 照 データと 同 一 の 座 標 系 に 一 致 させます この 機 能 により 自 動 解 析 時 のワークのセッティング のズレによる 影 響 を 排 除 することができます 輪 郭 照 合 結 果 例 同 一 形 状 が 定 ピッチで 有 る 場 合 一 箇 所 解 析 を 入 れてピッチを 指 定 することにより 一 括 で 解 析 することができます 特 徴 点 を 検 出 して2つのデータの 重 ね 合 わせができます マウスでのドラック 操 作 で 測 定 点 列 を 自 由 に 動 かし 重 ねること ができます 円 線 自 動 あてはめコマンドを 用 いれば コマンドボタンを 何 度 も 押 す 必 要 なく データ 内 に 含 まれるすべての 円 線 を 自 動 算 出 することもできます 測 定 物 の 外 観 形 状 の 問 題 で 複 数 箇 所 に 分 割 して 測 定 した データを 一 つの 図 形 として 合 成 し 解 析 することが 可 能 です

21 FORMTRCEPK FORMTRCEPKは ISO JIS NSI VDなどの 規 格 に 対 応 した 表 面 粗 さの 解 析 が 行 なえます 測 定 値 と 許 容 限 界 値 との 比 較 ルールとして16%ルール 最 大 値 ルールをご 利 用 いただけます また パラメータ 計 算 だけではなく 豊 富 なグラフ 解 析 機 能 を 備 えていますので 日 常 の 品 質 管 理 から R&D 部 門 でも 幅 広 く 活 用 できます 傾 斜 やR 面 などの 形 状 除 去 ( 補 正 ) 機 能 データ 削 除 機 能 なども 充 実 しています 表 面 粗 さのデータから 段 差 や 面 積 だけでなく 輪 郭 解 析 と 同 様 に 点 線 円 と 多 種 にわたり 要 素 を 組 み 合 わせた 角 度 ピッチ 距 離 など 豊 富 な 計 算 コマンドを 標 準 装 備 しています ISO/JIS 粗 さ 規 格 の 図 面 指 示 記 号 に 合 わせて 入 力 するだけで 煩 わしい 測 定 条 件 設 定 が 簡 単 入 力 できます 図 示 の 例 研 削 Ra /Rzmax 6.7 入 力 指 示 の 例 U X /Rz8max 3.3 測 定 条 件 の 基 準 長 さ 設 定 において 規 格 準 拠 を 選 択 すること により ISO/JIS 規 格 で 定 義 されている 標 準 値 を 表 示 させるこ とが 可 能 です 移 動 量 を 入 力 するだけで 簡 単 に 複 数 箇 所 測 定 用 のパートプロ グラムを 作 成 することができます 規 格 や 曲 線 種 フィルタなど 各 種 解 析 条 件 を 簡 単 に 変 更 するこ とが 可 能 です また 傾 斜 やR 面 放 物 線 などの 形 状 除 去 ( 補 正 ) においてはプレビュー 機 能 搭 載 なのでその 場 での 確 認 ができ ます 規 格 で 定 められている 評 価 長 さを 測 定 できないワークに 対 し て 複 数 箇 所 を 測 ったデータから 粗 さパラメータの 演 算 や 16%ルールなどの 許 容 限 界 値 との 比 較 ルールを 行 うことが できます 予 備 測 定 の 結 果 から 自 動 でR 面 のピーク 又 はボトムを 基 準 に 測 定 長 さを 割 り 振 って 測 定 することができます 20

22 FORMTRCEPK 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 真 円 度 の 測 定 結 果 や 測 定 図 形 などを 一 枚 の 紙 面 にレイアウトすることが 簡 単 操 作 で 行 えます また 保 存 されたファイルを 指 定 しての 貼 り 付 けが 可 能 となりましたので 複 数 ファイルからの 結 果 の 貼 り 付 けが 容 易 です 別 途 真 円 度 円 筒 形 状 解 析 プログラムROUNDPK( 対 応 バージョンは 別 途 お 問 合 せください)が 必 要 になります 測 定 結 果 / 条 件 / 図 形 そしてコメント/ 円 / 線 / 矢 印 なども 自 由 に レイアウトでき 測 定 結 果 報 告 書 として 印 刷 することが 可 能 です 一 度 作 成 したレイアウトを 保 存 し 同 様 の 測 定 時 に 再 利 用 することが 可 能 です 演 算 結 果 測 定 条 件 測 定 図 形 など 印 刷 したい 項 目 を 選 択 する だけの 簡 単 操 作 で 検 査 成 績 書 を 自 動 レイアウトし 印 刷 します 測 定 図 形 サイズ 測 定 結 果 フォントなどの 詳 細 設 定 も 可 能 で す 簡 単 に 印 刷 したいという 用 途 にご 利 用 ください 要 素 挿 入 バーに 表 示 されている 解 析 内 容 をマウスでドラック& ドロップすることで レイアウト 上 に 貼 り 付 けできます 測 定 結 果 報 告 書 をPDFファイルやhtmlファイルとして 出 力 が 可 能 ですので レイアウト 編 集 プログラムがインストールされ ていないPCでも 結 果 確 認 ができます 21

23 FORMTRCEPK 輪 郭 形 状 測 定 解 析 仕 様 点 点 ピーク 点 ボトム 点 接 点 垂 線 の 足 交 点 中 点 変 曲 点 ( 距 離 ) 変 曲 点 ( 角 度 ) 変 曲 点 ( 角 度 変 化 ) 点 の 呼 び 出 し 線 線 接 線 垂 線 平 行 線 中 線 線 ( 点 角 度 ) 線 の 呼 び 出 し 円 円 円 ( 中 心 ー 半 径 ) 円 (2 点 ) 接 円 接 円 ( 測 定 点 ) 円 ( 半 径 / 中 心 固 定 ) 円 の 呼 び 出 し 楕 円 ( 2 次 曲 線 コマンドにて 計 算 ) 座 標 座 標 差 ( 軸 座 標 差 Z 軸 座 標 差 角 度 差 動 径 差 ) 位 置 判 定 距 離 角 度 距 離 段 差 ( 平 均 最 大 最 小 ) 溝 寸 法 ピッチ(ピッチ ピッチ[ 心 間 ]) 角 度 道 のり 演 算 処 理 計 算 座 標 座 標 系 の 原 点 設 定 座 標 系 回 転 演 算 集 計 演 算 ( 足 算 引 算 掛 算 割 算 絶 対 値 平 方 根 ) 統 計 ( 平 均 値 最 大 値 最 小 値 標 準 偏 差 偏 差 標 準 偏 差 総 和 ) データ 登 録 デ ー タ クリ ア 削 除 平 行 移 動 回 転 反 転 位 置 合 わせ 分 割 オフセット 理 想 化 フェアリング フィルタ 測 定 点 のスケール 処 理 測 定 点 編 集 ( 極 座 標 展 開 ) 結 合 拡 張 機 能 面 積 2 次 曲 線 ( 楕 円 双 曲 線 方 物 線 ) 円 線 自 動 決 定 コマンド( 指 定 した 範 囲 に 含 まれる 複 数 の 円 線 要 素 を 自 動 的 に 算 出 ) 輪 郭 照 合 輪 郭 照 合 ベストフィット 設 計 値 生 成 設 計 値 読 込 み 任 意 位 置 の 結 果 吹 き 出 し 表 示 その 他 機 能 公 差 照 合 寸 法 表 示 簡 易 表 示 計 算 サポート 機 能 計 算 コマンドヘルプの 自 動 表 示 (ON/OFF) 測 定 補 助 機 能 ( 輪 郭 粗 さ 共 通 ) ビークボトム 検 出 ( 手 動 ) ボール 測 定 ワーク 同 定 機 能 水 平 だし 直 角 だし 通 りだし R 面 自 動 測 定 機 能 ( 粗 さ 測 定 時 のみ) CNC 測 定 機 能 測 定 パートプログラム 複 数 部 品 統 計 処 理 簡 易 統 計 機 能 データファイル 入 出 力 出 力 :テキスト 設 計 値 IGES, DXF 入 力 :テキスト 設 計 値 (IGES, DXFは 設 計 値 生 成 ユーティリティにて 読 込 み) SJシリーズからのデータインポート 座 標 コントロール 原 点 設 定 座 標 系 回 転 ワーク 同 定 による 座 標 系 の 設 定 各 軸 のゼロセット リセット スタイラス 校 正 一 括 校 正 キットによる 自 動 校 正 GB, 基 準 半 球, ビンゲージによる 手 動 校 正 校 正 履 歴 スタイラスに 保 存 され 件 数 の 制 限 なし 真 直 度 補 正 機 能 真 直 度 補 正 機 能 搭 載 測 定 ピッチ μm( 測 定 機 に 依 存 ) データ 点 数 最 大 100,000 点 ( 測 定 機 に 依 存 ) 倍 率 表 示 縦 任 意 値 (0.001 単 位 ) 自 動 および ,000,000 倍 倍 率 表 示 横 任 意 値 (0.001 単 位 ) 自 動 および ,000,000 倍 FORMTRCEPK 表 面 粗 さ 測 定 解 析 仕 様 粗 さ 規 格 対 応 JIS1982, JIS1994, JIS2001, ISO1997, NSI, VD, OLDMIX Ra, Rq, Sk, Ku, Rp, Rv, Ry, RyDIN, RzDIN, Rt, Rc, Rz, R3z, R3t, S, Δa, Δq, λa, λq, Lo, Ir, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, パラメータ 1, 2, Sm, Pc, HSC, mr, mrd, δc, Vo, Rx, R, R, NR, NCRX, CPM, SR, SR, Wx, W, W, Wte, NW, SW, SW ( 面 積 高 さ 関 係 のパラメータは 輪 郭 解 析 コマンドにて 解 析 可 能 ) パラメータの 合 否 判 定 方 法 平 均 値 最 大 値 ルール 16%ルール 評 価 曲 線 断 面 曲 線 粗 さ 曲 線 ろ 波 うねり 曲 線 うねり 曲 線 転 がり 円 うねり 断 面 曲 線 転 がり 円 うねり 曲 線 エンベロープ 残 差 曲 線 DF 曲 線 (DIN4776/ISO ) 粗 さモチーフ( 包 絡 うねり 曲 線 は モチーフ 評 価 時 に 表 示 ) グラフ 解 析 表 示 負 荷 曲 線 振 幅 分 布 曲 線 パワースペクトル 自 己 相 関 Walshパワースペクトル Walsh 自 己 相 関 山 高 さ 分 布 傾 斜 角 分 布 パラメータ 分 布 ( 摩 耗 量 重 ね 合 わせは 輪 郭 解 析 で 面 積 等 の 解 析 可 能 ) 形 状 除 去 機 能 最 小 二 乗 直 線 R 面 補 正 楕 円 補 正 放 物 線 補 正 双 曲 線 補 正 コーニック 補 正 多 項 式 補 正 ( 自 動 または 任 意 2 次 7 次 ) フィルタ 種 別 ガウシアンフィルタ, 2CRPC75, 2CRPC50, 2CR75, 2CR50, ロバストスプラインフィルタ フィルタ カ ット オ フ 波 長 ( λc):0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80mm 任 意 カットオフ 波 長 (λs):0.8, 2.5, 8, 25, 80, 250, 800μm 任 意 微 細 輪 郭 解 析 FORMTRCEPK 輪 郭 形 状 測 定 解 析 仕 様 の 演 算 処 理 をご 参 照 下 さい 統 計 処 理 簡 易 統 計 機 能 測 定 補 助 機 能 ( 輪 郭 粗 さ 共 通 ) ピークボトム 検 出 ( 手 動 ) ボール 測 定 ワ ーク 同 定 機 能 水 平 だし 直 角 だし 通 りだし R 面 自 動 測 定 機 能 ( 粗 さ 測 定 時 のみ) 測 定 補 助 機 能 図 面 指 示 記 号 による 簡 単 入 力 基 準 長 さ 設 定 ダイアログボックス N 箇 所 測 定 機 能 スタイラス 校 正 粗 さ 標 準 片 段 差 標 準 片 校 正 履 歴 スタイラスに 保 存 され 件 数 の 制 限 なし データ 点 数 最 大 100,000 点 倍 率 表 示 縦 任 意 値 (0.001 単 位 ) 自 動 および ,000,000 倍 倍 率 表 示 横 任 意 値 (0.001 単 位 ) 自 動 および ,000,000 倍 対 応 言 語 オンラインヘルプは 日 本 語 と 英 語 のみ 対 応 日 本 語 英 語 ドイツ 語 フランス 語 イタリア 語 スペイン 語 ポーランド 語 ハンガリー 語 スウェーデン 語 チェコ 語 中 国 語 ( 簡 体 字 ) 中 国 語 ( 繁 体 字 ) 韓 国 トルコ 語 ポルトガル 語 22

24 FORMTRCEPK FORMTRCEPK-PRO Y 軸 テーブルを 用 いた 三 次 元 表 面 粗 さ 測 定 データを 解 析 するソフト ウェアです シューディング( 陰 影 ) 表 示 網 掛 け 表 示 等 高 線 表 示 など 様 々な ビジュアル 表 現 方 法 を 備 えています 3D 粗 さパラメータ 計 算 切 断 面 ( 面 積 体 積 ) 解 析 のほか 負 荷 曲 線 BC 振 幅 分 布 図 DC パワースペクトル 解 析 など 表 面 性 状 をあ らゆる 角 度 から 分 析 することが 可 能 です SLPK 非 球 面 一 般 式 の 諸 元 とレンズ 有 効 径 を 入 力 するだけで 非 球 面 レンズの 評 価 パートプログラム 作 成 が 可 能 なソフト ウェアです デザインRやベストフィットR 解 析 はもちろん それらの 結 果 から 非 球 面 疑 似 粗 さパラメータや 非 球 面 精 度 評 価 量 の 算 出 が 容 易 に 可 能 です 非 球 面 簡 易 プログラム 作 成 画 面 非 球 面 疑 似 粗 さパラメータ 解 析 非 球 面 精 度 評 価 量 Fʼ,ʼ,Sʼ 解 析 ] 23

25 3 MCubeMap CNC 表 面 粗 さ 測 定 機 CNC 表 面 性 状 測 定 機 向 けの3D 表 面 性 状 解 析 ソフトウェアです 測 定 データをカラー 等 高 線 3Dビュー 3Dビュー+メッシュ 写 真 などの 豊 富 な 表 示 機 能 により 表 面 の 特 徴 が 容 易 に かつ 鮮 明 に 認 識 で きます 解 析 結 果 は 自 由 なレイアウトでグラフィカルなレポート 作 成 が 可 能 です ( 最 新 のISO Dの 表 面 性 状 パラメータ 規 格 に 対 応 しております ) FORMEio CNC 形 状 測 定 機 の 外 部 制 御 機 能 を 追 加 するオプションソフトウェアです PLC(プログラマブル ロジック コントロール)からRS-232C 通 信 により 測 定 機 の 状 態 監 視 と 測 定 機 の 制 御 を 行 なう ことができます CNC 形 状 測 定 機 データ 処 理 装 置 PC ワーク 装 置 解 析 ソフト FORMTCEPK 外 部 通 信 ソフト FORMEio RS-232C PLC * 操 作 シグナルタワー 各 種 信 号 接 SW,リ ットSW * Programmable Logic Controller 24

26 CS-5000CNC/CS-H5000CNCは 除 きます スキッドレス ノーズピーズ 12B 検 出 器 コードNo. 測 定 力 mN ʼ97 ISO ʼ01JIS 準 拠 の 検 出 器 mN 従 来 規 格 や 一 般 的 に 使 用 されていた 検 出 器 12G202 継 足 ロッド 50 継 足 し 量 50mm 12G203 継 足 ロッド100 継 足 し 量 100mm 継 足 ロッドは 2 本 以 上 接 続 できません E882(1μm) E924(1μm) 12C731(2μm) 1 12B403(5μm) 3 12B415(10μm) 12E883(250μm) E898(2μm) E914(5μm) S 5/ S 5/ S 5/ C732(2μm) 1 12B404(5μm) 12B416(10μm) 12C733(2μm) 1 12B405(5μm) 12B417(10μm) 12C734(2μm) 1 12B406(5μm) 12B418(10μm) E892(2μm) E908(5μm) E884(φ1.6mm) J662(φ0.5mm) E938(2μm) E940(5μm) 倍 12C740(2μm) 1 12B413(5μm) 12B425(10μm) 倍 12C741(2μm) 1 12B414(5μm) 12B426(10μm) 1: 先 端 角 度 60 2: 下 向 き 測 定 のみ 可 ( 検 出 器 の 測 定 力 は 保 証 外 となります) φ : 先 端 半 径 1μm 2μm 5μm 10μm 250μm φ1.2 識 別 色 白 黒 色 無 し 黄 切 欠 き 色 共 に 無 し 4: 校 正 用 として 段 差 標 準 片 (No オプション)が 別 途 必 要 φ2.4 25

27 CS-5000CNC/CS-H5000CNCは 除 きます 10mm C735(2μm) B409(5μm) 12B421(10μm) 2 20mm 2 30mm mm mm C736(2μm) 1 12B408(5μm) 12B420(10μm) 12C737(2μm) 1 12B407(5μm) 12B419(10μm) ( ): 先 端 半 0.9 径 mm 12E893(2μm) E909(5μm) mm mm 12E895(2μm) 1 12E911(5μm) 30mm E894(2μm) E910(5μm) 40mm 90 12B339(2μm) B410(5μm) E896(2μm) 1 12E912(5μm) 1 12B422(10μm) 20mm 1 30mm B338(φ1.588) E886(250μm) Ball C738(2μm) 1 12B411(5μm) 12B423(10μm) M601(2μm) M603(5μm) φ φ C739(2μm) B412(5μm) 12B424(10μm) E899(2μm) E915(5μm) : 先 端 角 度 60 2: 下 向 き 測 定 のみ 可 ( 検 出 器 の 測 定 力 は 保 証 外 となります) ご 注 文 により 特 殊 測 定 子 を 製 作 いたします 対 応 可 能 な 仕 様 等 に つきましては 弊 社 最 寄 りの 営 業 課 へお 問 い 合 わせください : 先 端 半 径 2μm 5μm 10μm 識 別 色 黒 色 無 し 黄 4: 校 正 用 として 段 差 標 準 片 (No オプション)が 別 途 必 要 26

28 SV-C4500CNC スタイラス 名 符 号 パーツ No. 適 用 スタイラス ストレートアーム B-31 12M101 1 SPH-5*, 6*, 7*, 8*, 9* SPHW-56, 66, 76 2 心 違 いアーム B-32 12M102 3 SPH-5*, 6*, 7*, 8*, 9* SPHW-56, 66, 76 ス ートアーム B-31 いアーム B-32 アーム B 小 穴 アーム 2 3 B-33 12M103 SPH-41, 42, スタイラス 名 符 号 パーツ No. 適 用 アーム No. H(mm) SPHW-56 12M095 1 B-31, B 両 側 円 すい SPHW-66 12M096 3 B-31, B スタイラス SPHW-76 12M097 3 B-31, B SPH B-31, B-32 6 SPH B-31, B 片 角 スタイラス SPH B-31, B SPH B-31, B SPH B-31, B SPH B-31, B-32 6 SPH B-31, B 両 角 スタイラス SPH B-31, B SPH B-31, B SPH B-31, B SPH B-31, B-32 6 円 すいスタイラス SPH B-31, B 先 端 角 度 30 SPH B-31, B 材 質 :サファイヤ SPH B-31, B SPH B-31, B 円 すいスタイラス 先 端 角 度 30 材 質 : 超 硬 合 金 円 すいスタイラス 先 端 角 度 20 材 質 : 超 硬 合 金 SPH B-31, B-32 6 SPH B-31, B SPH B-31, B SPH B-31, B SPH B-31, B SPH-57 12E865 B-31, B-32 6 SPH-67 12E866 B-31, B SPH-77 12E867 B-31, B SPH-87 12E868 B-31, B SPH-97 12E869 B-31, B 円 すいスタイラス 先 端 角 度 50 SPH B-31, B 材 質 :ダイヤモンド SPH B-31, B-32 6 SPH B-31, B ナイフエッジ SPH B-31, B スタイラス SPH B-31, B SPH B-31, B SPH B-31, B-32 6 SPH B-31, B ボール SPH B-31, B スタイラス SPH B-31, B SPH B-31, B 小 穴 スタイラス 5 SPH-42 12M105 B-33 4 SPH-41 12M B-33 2 SPH-43 12M B :SV-C4500CNCの 標 準 付 属 品 です 2:アームスタイラス 標 準 セット(オプション 品 No.12N461) 構 成 品 です 3:アームスタイラス 上 下 測 定 セット(オプション 品 No.12N462) 構 成 品 です 4: 円 すいスタイラスSPH-76( 標 準 付 属 品 ) 取 付 時 5: 旧 シリーズ 用 のスタイラスSPH は SV-C4500CNCには 使 用 できません すいスタ ラス 3 H 先 端 角 度 :30 先 端 半 径 :25μm 材 質 : 超 硬 合 金 スタ ラス 3 H 先 端 角 度 :12 先 端 半 径 :25μm 材 質 : 超 硬 合 金 スタ ラス 3 H 先 端 角 度 :20 先 端 半 径 :25μm 材 質 : 超 硬 合 金 すいスタ ラス 3 H 先 端 角 度 :30 (SPH-79のみ50 ) 先 端 半 径 :25μm 先 端 材 質 :サファイヤ 超 硬 合 金 (SPH-79のみダイヤモンド) すいスタ ラス 3 H フ ッジスタ ラス 3 H H 先 端 角 度 :20 先 端 半 径 :25μm 材 質 : 超 硬 合 金 先 端 角 度 :20 先 端 幅 :3mm 先 端 半 径 :25μm 材 質 : 超 硬 合 金 ールスタ ラス 3 先 端 ボール 径 :1mm 先 端 材 質 : 超 硬 合 金 スタ ラス SPH-41 H 0.4 H スタ ラス SPH スタ ラス SPH-43 H 2.5 アームスタイラス 名 符 号 パーツ No. H(mm) SPHW-31 12M 両 側 小 穴 アームスタイラス SPHW-32 12M SPHW-33 12M110 9 アームスタ ラスSPHW-31 アームスタ ラス SPHW-33 H H 先 端 形 状 : 円 すい 先 端 角 度 :30 先 端 半 径 :25μm 先 端 材 質 : 超 硬 合 金 アームスタ ラス SPHW-32 H 先 端 形 状 : 片 角 先 端 角 度 :20 先 端 半 径 :25μm 先 端 材 質 : 超 硬 合 金 先 端 形 状 : 片 角 先 端 角 度 :20 先 端 半 径 :25μm 先 端 材 質 : 超 硬 合 金 先 端 形 状 : 片 角 先 端 角 度 :20 先 端 半 径 :25μm 先 端 材 質 : 超 硬 合 金 先 端 形 状 : 円 すい 先 端 角 度 :30 先 端 半 径 :25μm 先 端 材 質 : 超 硬 合 金 先 端 形 状 : 円 すい 先 端 角 度 :30 先 端 半 径 :25μm 先 端 材 質 : 超 硬 合 金 27

29 28 CS-5000CNC/CS-H5000CNC 107 (66) ø1.2 (31.5) (36) ø (6.5) ø4 40 ø1.2 (31.5) (66) (36) ø (6.8) ø4 ø0.5mm ø1.2 (31.5) (146) (116) ø6 (19) 25 ø4 40 ø1.2 (31.5) (146) (116) ø6 (19) 25 ø4 60 ø1.2 (31.5) (146) (116) ø6 (19.3) ø4 ø0.5mm 0.4 ø (36) (66) ø4 ø6 1.6 (1.1) 74.5 (31.5) ø ø4 ø6 1.2 (1.1) 74.5 (31.5) (36) (66) 6 ø4 ø ø6 (6.5) (36) ø1.2 (66) 74.5 (31.5) mm 40 5µm 12.75mm 0.25mm 2 25mm 40 5µm mm 0.25mm 0.4mm 40 5µm 0.6mm 40 5µm 12.5mm 40 5µm 12D J D544 1, 2 12D546 1, 2 12D J mm 60 2µm 12J D653 12D652 12D651 mm 1: CS-5000CNC 2: CS-H5000CNC

30 : 必 須 機 能 : 推 奨 機 能 機 能 Y 1 2 2D 3D 項 目 自 動 レベリング 自 動 通 り 出 し 多 数 ワーク 一 括 測 定 Y 軸 方 向 測 定 XY 面 斜 め 測 定 * 1 表 面 の3D 表 面 粗 さ 測 定 / 評 価 * 1 Y 方 向 の 複 数 本 測 定 (Y 方 向 の 位 置 決 め) 半 径 方 向 の 複 数 本 測 定 (XY 面 回 転 方 向 位 置 決 め) X 軸 方 向 の 斜 面 測 定 X 軸 方 向 の 斜 め 穴 測 定 円 筒 母 線 の 多 数 本 測 定 裏 表 測 定 *1: 表 面 粗 さ 測 定 のみ 対 応 十 字 動 付 載 物 台 などに 装 着 します 固 定 方 式 締 付 部 の 開 き 量 締 付 部 の 幅 締 付 部 の 深 さ 総 高 さ 両 締 方 式 36mm 44mm 16mm 38mm 3 3 軸 調 整 テーブルを 使 用 すると FORMTR- CEPKのガイダンスに 従 って 操 作 するだけ で 通 り 出 しと 水 平 出 し 調 整 が 簡 単 に 行 え るようになります 経 験 と 勘 は 不 要 です 小 物 部 品 の 測 定 で 操 作 性 が 良 くローレッ トリングで 容 易 に 固 定 できます 内 爪 での 外 径 φ1~φ36mm 保 持 範 囲 内 爪 での 内 径 φ16 ~φ69mm 外 爪 での 外 径 φ25~φ79mm 外 観 寸 法 (D H) φ118 41mm 質 量 1.2kg

31 X 軸 方 向 の 斜 面 測 定 自 動 通 り 出 し X 軸 方 向 の 斜 め 穴 測 定 XY 面 斜 め 測 定 多 数 ワーク 一 括 測 定 円 筒 母 線 の 多 数 本 測 定 半 径 方 向 の 複 数 本 測 定 裏 表 測 定 30

32 本 社 川 崎 市 高 津 区 坂 戸 お 問 い 合 わせは 東 北 営 業 課 仙 台 市 若 林 区 卸 町 東 電 話 (022) ファクス (022) 仙 台 オフィス 電 話 (022) 郡 山 オフィス 電 話 (024) 北 関 東 営 業 1 課 宇 都 宮 市 平 松 本 町 電 話 (028) ファクス (028) 宇 都 宮 オフィス 電 話 (028) つくばオフィス 電 話 (029) 北 関 東 営 業 2 課 伊 勢 崎 市 宮 子 町 電 話 (0270) ファクス (0270) 伊 勢 崎 オフィス 電 話 (0270) さいたまオフィス 電 話 (048) 新 潟 オフィス 電 話 (025) 南 関 東 営 業 1 課 川 崎 市 高 津 区 坂 戸 電 話 (044) ファクス (044) 川 崎 オフィス 電 話 (044) 東 京 オフィス 電 話 (03) 南 関 東 営 業 2 課 厚 木 市 旭 町 リヴ ロード1 階 電 話 (046) ファクス (046) 厚 木 オフィス 電 話 (046) 富 士 オフィス 電 話 (0545) 甲 信 営 業 課 諏 訪 市 中 洲 電 話 (0266) ファクス (0266) 諏 訪 オフィス 電 話 (0266) 上 田 オフィス 電 話 (0268) 東 海 営 業 1 課 安 城 市 住 吉 町 電 話 (0566) ファクス (0566) 安 城 オフィス 電 話 (0566) 浜 松 オフィス 電 話 (053) 東 海 営 業 2 課 名 古 屋 市 昭 和 区 鶴 舞 電 話 (052) ファクス (052) 名 古 屋 オフィス 電 話 (052) 四 日 市 オフィス 電 話 (059) 関 西 営 業 1 課 大 阪 市 住 之 江 区 南 港 北 電 話 (06) ファクス (06) 大 阪 オフィス 電 話 (06) 神 戸 オフィス 電 話 (078) 関 西 営 業 2 課 滋 賀 県 栗 東 市 手 原 電 話 (077) ファクス (077) 栗 東 オフィス 電 話 (077) 金 沢 オフィス 電 話 (076) 中 四 国 営 業 課 東 広 島 市 八 本 松 東 電 話 (082) ファクス (082) 東 広 島 オフィス 電 話 (082) 岡 山 オフィス 電 話 (086) 西 部 営 業 課 福 岡 市 博 多 区 博 多 駅 南 電 話 (092) ファクス (092) 福 岡 オフィス 電 話 (092) 霧 島 オフィス 電 話 (0995) M 3 Solution Center 商 品 の 実 演 を 通 して 最 新 の 計 測 技 術 をご 提 案 しています 事 前 に 弊 社 営 業 課 にご 連 絡 ください UTSUNOMIY 宇 都 宮 市 下 栗 町 電 話 (028) ファクス (028) TOKYO 川 崎 市 高 津 区 坂 戸 電 話 (044) ファクス (044) SUW 諏 訪 市 中 洲 電 話 (0266) ファクス (0266) NJO 安 城 市 住 吉 町 電 話 (0566) ファクス (0566) OSK 大 阪 市 住 之 江 区 南 港 北 電 話 (06) ファクス (06) HIROSHIM 呉 市 広 古 新 開 電 話 (082) ファクス (082) FUKUOK 福 岡 市 博 多 区 博 多 駅 南 電 話 (092) ファクス (092) M 3 Solution CenterのM(エムキューブ)はMitutoyo, 3 Measurement, Metrologyの3つのMを 表 しています 計 測 技 術 者 養 成 機 関 各 種 のコースが 開 催 されています 詳 細 は 弊 社 営 業 課 にご 連 絡 ください ミツトヨ 計 測 学 院 川 崎 市 高 津 区 坂 戸 電 話 (044) ファクス (044) ホームページ 弊 社 商 品 は 外 国 為 替 及 び 外 国 貿 易 法 に 基 づき 日 本 政 府 の 輸 出 許 可 の 取 得 を 必 要 とする 場 合 があります 製 品 の 輸 出 や 技 術 情 報 を 非 居 住 者 に 提 供 する 場 合 は 最 寄 りの 営 業 課 へご 相 談 ください お 求 めは 当 店 で 外 観 仕 様 などは 商 品 改 良 のために 一 部 変 更 することがありますのでご 了 承 ください 本 カタログに 掲 載 されている 仕 様 は2014 年 4 月 現 在 のものです (1) E-(CH) HS123