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1 Vol.78 No (よこまく ひろゆき) (さわだ ともゆき) がみすのは,,, をにきし,よりく,よりしく,より さくそのをさせ,なをげている この をでのをとしたにおい てしているのがクリーンルームである くは がのらかなスイスなどでしたように, において の は,にり れられていたあるともいえる その, のにのじめ のためにされた ( )フィルタのにより,なのが となり,のえはきくわることになっ た わがでは から,としてライ ンにおいてクリーンルームのがまり,その, をとする,,, へとがった では,クリーンルームは,ナノテクノロジーなどののをサ ポートするのとなっている クリーンルームをりくはこので きくした のはメモリの ()をに のがいだ しかし, にると,,バブルなどによりは いをい,わって,がをしにっ ている, にりクリーンルームに きなをえたのが ()で ある なかでもは をするとしてパ ソコン,テレビ,モバイル,などくの でされており,とりわけにおける のはである しかしながら,と,,のながであり, ますますしいがされる にメー カー, にメーカーのトレンドを す では,これまでりってきたクリーンルーム およびクリーンのにえ,けク リーンルームのエンジニアリング,クリーンルーム クリーンルームシステムのエンジ ニアリングに, システムズ システムクリーンシス テム, クリーンルームシステムのエンジ ニアリングに, システムズ システムクリーンシステ ム 457

2 Vol.78 No のトレーサビリティをう センサなどにも りんできている ではクリーンルームをりく,の みとのについてべる クリーンルームにおけるのは,( )においてにする が にした しかしながら, にすようにのをると, (:),( ), ドイツ(),()な ど,さまざまながすることがかる にに わたってされてきたは のに い にされたものの, にする でしにしやすかったことから,の においてはでもクラス ( µ)といったわ れがしている このため とのをせ ざるをず,にはもうしばらくがかかることが される バイオロジカルクリーンルーム()における のは, の(), の (), の()な どによりクリーンルームのがられている また, の によりにかかわる システムが にじたバリデーションを することになるため,クリーンルームのとし ても にすようにからプロセスまでの についてのされたドキュメントがますます となってきている クリーンルームはするとインダストリアルクリー ンルーム()と にされる は, などをとし, は, などをとしている ここでは,それぞれのに おけるクリーンルームのとについてべる はテレビをにがしており, ここでのへもしめたところである このをとしたもきなとしてげられ るのが,ガラスのによるのである ではいよいよ と をえるため, ももしてきており,の は というなものとなっている ののはのとおりであ り,これまでのクリーンルームではできない がしていることである としての クリーンルームとしたときののいをにす 458

3 Vol.78 No クリーンの(: / : ) のさ(: / : ) このことにより,のとの,,,,,,,などにおいて,さまざまなの がとなっている とりわけ,ガラスのやス トックヤードおよびにおけるクリーン はりにするであることから,で はでするでのやシミュ レーション,ベクトルなどのにより になクリーンをしに びつけている ではりの,イニシャルコストの, ランニングコストの,にするの いはまっており,もこのはくものとわ れる これまでは,のをにガラスを してきたが,なガラスのだけでは あたりのはすでににきているとのも あり,はのテレビのきさがも にできるサイズをとしてしていくようである このガラスサイズはにきながあり,カ セットによるバッチからを ずつす へのや,をきするジョブショップ からプロセスのにすフローショップへのな どがえられている クリーンルームはこれらの にしたシステムがめられており,には におけるミニエンバイロメントをいかにしてシステム していくかがなといえよう は,のがみ,では レベルで にまでしており,レベル では にまでしている また,の ではウェーハサイズが ( )のがん でいる ここでは,をけるにおけるク リーンシステムのについてする におけるクリーンルームのはおおむね クリーンブース( )/ クリーントンネル ( )/ ファンフィルタユニット) ( )/ ミニエンバイロメント( ) といったをたどりにっている ウェーハをオー プンカセットでしていた は, によ りクリーンルームをクリーンルームとし, クラス ()をしていた ウェーハは にのクリーンルームにされることで からられていた しかし,イニシャルコストやラン ニングコストがとなり,クリーンであるミニ エンバイロメントがりれられるようになった( ) このは ( )ウェーハプロセスから がまったで,をいからウェーハ がされるエリアのみをクラス ()とするのた め,がされるエリアはクラス () あるいはそれのでもがであるとい われている ウェーハのは ( ), ウ ェ ー ハは ()とばれ, じではあるもののまったくがなった となっている のをにできることか ら,エネルギー,イニシャル,ランニングともにコスト ダウンなといえる しかし,には 459

4 Vol.78 No のためのはではあるものの,な どからのによるをえるためにな ができず,にレベルはほどには できていないのがである のパターンがするにいり もし,クリーンルームにされるコンタミネー ションコントロールのもしてきている は,からしてきた,パーティクル にえ,(: )でされる(), (),(),および ドーパント()がげられる になり のがしたこともあり,デバイスへの, などのメカニズムのがみ,の, によるクリーンでながとなって きている はの のもと,メーカー とのでしにされているシステムであ る しかし,の(ファンドリー)が によるコストメリットをしてしており, メーカーはようやく へのをめたところであ る はさらなるによるたなのや でのなどがしくなることが され,をさらにめていくがあるとえら れる ミニエンバイロメントのによりクリーン あたりのがとし,したのリスク はをしている また,クリーンルームの によりラインでのへにすることが になっていることもあり,パーティクルや のリア ルタイムのモニタリングによりりを するなどのリスクはこれまでのがと えられる これまではのためのをすことが され,エネルギーはしとなっていたのがと いえる は,の,のなど までみんだがであり,このことなしで のスリムにはがあるとわれる さらには,は,の をうメーカーがあり,のラインを しは,やのとへの スムーズなもこれからしていくことがされる は,のによりされ,そ ので のとの として ()があり,そのた すべきはの となっている なりをにする にするおよびをする なをするシステムをする のは,よりよいなをするため のは,なくのりのためのであった の( )は, の にするコントロールの なと のの をいとしており,そのとして なをでするのではなくです る ところにある はでのおよび がであったものが,では と にし,は にのみすることにされた このことにより, をとしたへの,による スケールメリットをとしたへのが することがされ,ではのを にれた,( )がである このため,にもと にのファンドリーがされ,これにいクリー ンルームのサイトもするであろうとされる また,のののが, やをめたのとなり,のように のからきくがわることになる し たがって,やがとなり, でづけられているである バリデーショ ン ののがされることになる ではけにクリーンルーム,クリーン,シリンジ(じゅうてん), にえパーティクルセンサやなどのバリデー 460

5 Vol.78 No ションけのなどさまざまなシステム,をし てきている,では へしたが づけられており,エネルギー,リサイクル, ガス,()が テーマとなっている で におけ るりの,におけるバリデーションの, さらにはイニシャルコストをするというに えるクリーンルーム,クリーンなどがこれまでに められている のクリーンシステム クリーンルームのはしばらくはす るものとわれる のクリーンの,リターン シャフトの, サイズとしの,の,などをのと のをにする,これまでにない システムのがむものとわれる ラインのミニエンバイロメント するクリーンルームにおいて,に おいてはミニエンバイロメントをしきなをげ ている,においてもらかのにおいて ミニエンバイロメントがむことがされる の はコストでなクリーンエアとし てもにされているクリーンである はさらにによりさまざまな コストが されるものとわれる のエネルギータイプの ブラシレスモータ では,モータ ごとにプリントがされて きたが,モータを のでコントロールす るなど,コストもめられている に のするについてする き システムとセンサ クリーンルームでしているさまざまなを するためのセンサは,これまでにもやなど にいられている はコストなどでしきれな かったパーティクル,,,などの モニタリングについてもがみクリーンルーム あるいはにされ,ラインのリアルタイム やのバリデーションでのがされる ではだけにとどまらず,のクリー ンルームりまとめもじ,グローバルなをっ てきた グループのをしたみでさま ざまなシステム のをってきており,も のとクリーンルームでのに にチャレンジし り バリデーション など のにえていくである のでは のクリーンシステムのをごする, のクリーンルームなどにおけるとなればいであ る 461

6 * にされているおよびは,それぞれのがする またはであるがあります

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