L 型真空ベローズバルブ 従来同様 ボディにSUS304を採用し耐久性 低コスト化を考慮した真空バルブです IVIVは まで 数 らしたなによし 容 ななにな います SS30) の 用によ にれいに対 です によいます IVは 用するによ しました IVは 用するによ なしました 弁 弁 注 空弁

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2 L 型真空ベローズバルブ 従来同様 ボディにSUS304を採用し耐久性 低コスト化を考慮した真空バルブです IVIVは まで 数 らしたなによし 容 ななにな います SS30) の 用によ にれいに対 です によいます IVは 用するによ しました IVは 用するによ なしました 弁 弁 注 空弁の流れは 空 に対しらのな 計 し ます にした場合 する流体 度によ しくするます に 空 れるめします に は a70) Pa(abs) 0.1Pa(G) SS30 SS 気 用 ) の 対 いたします 100 の 空状態 ) 圧 で 用 れた場合 のはいたします ) PaG) Pam 3 sec Pam 3 sec 注 当 は 的な 気圧 気で 用するで 空容 にしの 用はでま し 用する場合 は 用温度にるでるなくい

3 高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブウェットシステム N N N N 系バルブ 系 継手 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1

4 N N N N N Rc 1 N Rc 3 N Rc 3 N Rc 3 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1

5 高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手ウェットシステム5 L 型真空ベローズホットバルブ IVBH シリーズは ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを内蔵し 弁開 弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できる真空バルブです 本バルブは外部ヒーターだけでなく ベローズの内部から加熱することによりコールドスポットをなくし 生成物付着を極力少なくすることを可能にしました 内部 外部ヒーターは個別のチャンネルを持ち それぞれ Max180 まで任意の温度で加熱することが可能です また オプションとして磁気近接開閉スイッチ サーモスタットなどを準備しております によ のし するです のし のなくな 力 しました ののなくな のでました 100 ) はIS KFIS VFVGIS Fなに対 です 対 ) 気 ) のにのる です の 用 )なに対 いたします )で 気 用する場合には の温度 70で 用くい のは 温度に合 たしくい によ 温度はなます しくは 当にくい K 対 用の温度 による Pa(abs) 0.1Pa(G) SS30 SS 気 用 ) / の 対 いたします 状態に 100 の 空状態 ) 圧 で 用 れた場合 のはいたします ) PaG) Pam 3 sec Pam 3 sec 真空バルブ 系バルブ 系継手 注 当 は 的な 気圧 気で 用する で 空容 に し の 用はで ま し 用する場合 は 用温度に る で る な く い

6 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 3 N Rc 3 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1 N Rc 1

7 高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブウェットシステム L 型真空ベローズソフト排気バルブ IVB_X,VX シリーズは チャンバー内部で発生するパーティクルの巻き上げを防止します メインバルブとバイパスバルブが一体となっており 大気から真空に排気する場合 若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な圧力変動を抑え メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により圧力コントロールをします バイパスバルブには流量の固定と排気スピードが調整可能なタイプの 2 種類を用意しています このバイパスバルブは 15A サイズを除く IVB IVBL IVBH シリーズ全てに対応可能です の 気 体 な で 気 のです 気 でるVは 気 のにでます はのくい はするによIVの 用に にするです はによ 数 るです は 当にくい までの 系 気弁 用 の系 のは なるです しで PCTF しいた場合 は Pam 3 sec なます 系バルブ PCTF PCTF mm 1.5mm 1.0mm 1.5mm 1.0mm 1.5mm 1.0mm 1.5mm Pa 系継手 注 流量 は の NFF 弁 し 流量 する で 用 によ は 流量 する場合 ます 当 は 的な 気圧 気で 用する で 空容 に し の 用はで ま し 用する場合 は 用温度に る で る な く い

8 N Rc N Rc N Rc N Rc N Rc N Rc PCTF PCTF PCTF PCTF Rc 1 8

9 高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブ N Rc 3 6 N Rc 3 6 N Rc N Rc N Rc N Rc PCTF PCTF PCTF PCTF Rc 1 系バルブ 系継手ウェットシステム

10 N Rc N Rc N Rc 3 6 N Rc N Rc N Rc N Rc 1 6 N Rc Rc 1 8

11 高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブ 系 バルブ 系 継手 ウェットシステム8

12 IVBH 用 PID 制御デジタル温度コントローラー IVBH-C015 は L 型真空ベローズシールホットバルブ用のデジタル温度コントローラーです このデジタル温度コントローラー 1 台で 内部ヒーター 外部ヒーターの 2 チャンネルのヒーターを同時に加熱することが出来ます 温度 : 温 a10 用温度 :K 対 用 :C100V C200V 入力 :C100V200V 用 出力 : 1a 出力 用 ) 示 : ) : に 流 に : Rh 示 : 気 による 位 出 8

13 高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手ウェットシステム8 IVBシリーズ用オプション IVB IVBL IVBH シリーズのエアーシリンダー式バルブ (NC NO DA) は バルブの開閉状態を検知する磁気近接スイッチを取り付けることが出来ます C5 2V C:2V 0.1 0m 0.5V 50 C2V) 1ms 1ms C500V に 100 ) C1500V 1 ) 2ms 2 1.5mm10 55z 2 ) 0 70し な) PVC0.15mm mm IP67IC ) IS C020 N ) C:2V C:110V C:5 0m C:5 20m 3V 0 1ms 1ms C500V に 100 ) C1500V 1 ) 2ms 2 1.5mm10 55z 2 ) 0 70し な) PVC0.2mm mm IP67IC ) IS C020 N ) 注 ) 誘導負荷 ( リレー等 ) を使用する場合は 必ず負荷に保護回路 (SK-100) を付けてください 真空バルブ 系バルブ 系継手

14 NW フランジボールバルブホットボールバルブ コンパクトさと シンプルな構造を併せ持ち かつ配管作業が容易なバルブです ボディ内でステムを軸として ボールが 90 度回転します 開または閉状態でのオン オフ動作で使用するバルブです によ 流量 なで流すでます です のでます なの 用 します います はにくい Pa(abs) Pa(abs) 0.5Pa(G) SCS13 SS30 SS30 PTF PTF Pa(G) ハイパータイト PTFE Rは株式会社キッツの登録商標です 注 当 は 的な 気圧 気で 用する で 空容 に し の 用はで ま し 用する場合 は 用温度に る で る な し く い は に する ますので 的に し め い い められる用 空 空 められる用 には し いま です 数 の で しますので は め します 8

15 高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブウェットシステム85 N N N 系バルブ 系継手 N Rc N Rc N Rc

16 真空バタフライバルブ IVWF シリーズは 半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持った遮断弁です 構造は フラッパ式の弁体が 90 度回転することにより流路を遮断するバタフライバルブです なによ 量 たし 容 です のによのでます は 度 によ 流量 し によの 度ででます のは のによ 度ので 差 によるでます Pa(abs) Pa(abs) 0.1Pa(G) Pa ( 圧 ) Pam 3 sec Pam 3 sec 気状態で 10 IS KF IS VFVG に対 Pa(G) 式 注 当 は 的な 気圧 気で 用する で 空容 に し の 用はで ま し 用する場合 は 用温度に る で る な く い 気 用 で 用の場合 当に く い 8

17 高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブウェットシステム 系バルブ 系継手

18 Rc Rc Rc Rc Rc Rc Rc Rc

19 高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブウェットシステム 系バルブ 系継手

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21 高純度ガス系バルブウェットシステム 角型真空ゲートバルブ UXG,LG シリーズは 半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです ボディはアルミニウム製で 複動式エアーアクチュエーターにより作動します ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる加熱だけでなく 可動部である弁体内部にもヒーターを持ち 外部と内部の両方から加熱することにより 高い均熱性能を特長としたバルブです ボディと弁体は Max180 まで任意の温度に設定する事が可能です 温 するでるため の 積 のらし にするでます 弁体 はで の温度 にでます するに しにくいいます 用 るなのの場合 ます 流体温度 流体 のによ の し KR 1Chemraz 2 用 します 12(300mm ) Pa Pa(abs) Pa( 圧 ) 0.02 Pa(G) 1.3 KPa 110 Pam 3 sec ( 温 30) Pam 3 sec (30) 容 量 : Pam 3 sec Pa(G) 0. 2sec) 1.5 2sec) の場合 ) 温度に1.5hr で 温度に 210) 60) C500Vに た0.1mの 数 0.3 社内試験による参考値 N₂ ガス供給量 :1cf/min サンプリング量:0.2cf/min バルブ開閉スピード:6 秒 / サイクル ( 開 閉 開 ) 高純度ガス系継手真空バルブ 系バルブ 系 1 2 KR は upont Performance lastomers の 標です Chemraz は Greene Teed の 標です 継手 注 当 は 的な 気圧 気で 用する で 空容 に し の 用はで ま し 用する場合 は 用温度に る で る な く い

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