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1 SILL OPTICS Laser Optics made in Germany 太平貿易株式会会社開発営業課 -00 東京都中央区日本橋室町 1-1- TEL FAX /

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3 Table of Contents LASER OPTICS 4 nm Fθ レンズ /f-theta LENSES 標準 fθ レンズ溶融石英 fθ レンズテレセントリック fθ レンズ p. - p.4 溶融石英テレセントリック fθ レンズ 色補正 fθ レンズ nm/4nm ビームエキスパンダ & アクセサリー /BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES 標準ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) 溶融石英ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) ハイパワーレーザ用ビームエキスパンダ ( 固定倍率 )0nm-0nm ファイバーレーザ用ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) ズーム ビームエキスパンダ ( 倍率可変 ) アクセサリー p. - p.7 エアスペース型集光レンズ /AIRSPACED FOCUSING LENSES エアスペース溶融石英集光レンズ組込み型 p.8 - p. エアスペース集光レンズ組込み型 ダブレットレンズ & 単レンズ /DOUBLETS AND SINGLETS ダブレットレンズ接着型平凸レンズ平凹レンズ ( 溶融石英 ) p. - p. 両凹レンズ ( 溶融石英 ) 平凹レンズ両凹レンズ LASER OPTICS nm Fθ レンズ /f-theta LENSES 標準 fθ レンズ溶融石英 fθ レンズテレセントリック fθ レンズ溶融石英テレセントリック fθ レンズ 色補正 fθ レンズ nm/4nm ビームエキスパンダ & アクセサリー /BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES 標準ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) 溶融石英ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) ズーム ビームエキスパンダ ( 倍率可変 ) アクセサリー エアスペース型集光レンズス型集光レンズ /AIRSPACED FOCUSING LENSES エアスペース溶融石英集光レンズ組込み型 p.1 エアスペース集光レンズ組込み型 ダブレットレンズ & 単レンズ /DOUBLETS AND SINGLETS ダブレットレンズ接着型 平凹レンズ ( 溶融石英 ) 平凸レンズ ( 溶融石英 ) 両凹レンズ ( 溶融石英 ) 平凸レンズ p.1 - p.1 p.14 - p.1 p. -1-

4 Table of Contents LASER OPTICS UVnm - 40nm Fθ レンズ /f-theta LENSES 標準 fθ レンズテレセントリック fθ レンズ p.18 ビームエキスパンダ & アクセサリー /BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) ズーム ビームエキスパンダ ( 倍率可変 ) アクセサリー p.1 - p.0 エアスペース型集光レンズ /AIRSPACED FOCUSING LENSES 溶融石英集光レンズ組込み型 p.1 LASER OPTICS 各種波長用 Fθ レンズ /f-theta LENSES 標準 fθ レンズ CO.μm 用テレセントリック fθ レンズ CO.μm 用 標準 fθレンズ 808nm/80nm テレセントリックfθレンズ 808nm/80nm テレセントリック fθ レンズ短パルス用 808nm/80nm 標準 fθレンズ nm 用テレセントリックfθレンズ nm~70nm 用色補正 fθレンズ 808nm+40nm 色補正テレセントリックfθレンズ 40nm~40nm 用 fθレンズ, マスクイメージング用エキシマ48nm 用標準 fθレンズエキシマ用 ビームエキスパンダ & アクセサリー /BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) ズーム ビームエキスパンダ ( 可変倍率 ) アクセサリー p. - p.4 p. - p. 製品索引 p.7 - p. --

5 f -THETA LENSES 1,04nm 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください 標準 fθ レンズ M x 1 S4LFT00/ x or 74.4 M x 1 S4LFT01/ x M8 x M x 1 S4LFT01/ x or. M x 1 S4LFT01/ x M8 x S4LFT1/ x M8 x S4LFT1/ x M8 x 1 1. S4LFT00/ x M8 x S4LFT4/ x M8 x S4LFT44/ x M8 x S4LFT14/ x M8 x 1 0. S4LFT000/ x M8 x 1.0 S4LFT00/ x M8 x S4LFT04/ x M8 x S4LFT040/ x M1 x S4LFT008/ x M8 x S4LFT0/ x M1 x S4LFT08/ x M x 注 ) はアパーチャーストップ位置での 1 ケのミラーによる場合の値です 溶融石英 fθ レンズ S4LFT/ x M8 x S4LFT0/ x M8 x S4LFT100/ x M8 x 注 ) はアパーチャーストップ位置での1ケのミラーによる場合の値です --

6 f-theta LENSES 1,04nm 標準テレセントリック fθ レンズ S4LFT008/1 S4LFT00/1 S4LFT0080/ x 1 1 x 1 x M8 x 1 M8 x 1 M8 x S4LFT1/ x M8 x S4LFT0/ x M8 x 1.8 S4LFT1/ x M8 x S4LFT1/ x M8 x S4LFT00/ x TK 注 ) はアパーチャーストップ位置での1ケのミラーによる場合の値です 溶融石英テレセントリック fθ レンズ S4LFT401/ x M8 x 注 ) はアパーチャーストップ位置での 1 ケのミラーによる場合の値です S4LFT x M8 x 1.07 注 ) はアパーチャーストップ位置での 1ケのミラーによる場合の値です 色補正 fθ レンズ (nm/4nm) S4LFT/ x 1.00 / M8 x 1 1. S4LFT84/ x / M8x1. 注 ) はアパーチャーストップ位置での1ケのミラーによる場合の値です -4-

7 BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES 1,04nm A B 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください 標準ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) 倍率 最大入射径 Φ 最大出射径 Φ A B SASS0/1 1.x SASS1/1 x SASS04/1 x SASS014/1 4x SASS0/1 x SASS0/1 x SASS1/1 7x SASS18/1 8x SASS/1 x SASS1/1 1x SASS0/1 0x SASS10/1 0x SASS4/1 40x 拡がり角設定 0 にて最大 mm 長くなります 溶融石英ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) 倍率 最大入射径 Φ 最大出射径 Φ A B SASS1/1 1.x SASS4/1 x SASS/1.x SASS/1 x SASS14/1 4x SASS4/1 x SASS/1 x SASS/1 7x SASS8/1 8x SASS41/1 x SASS41/1 x 拡がり角設定 0 にて最大 mm 長くなります --

8 BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES 1,04nm ハイパワーレーザ用ビームエキスパンダ ( 固定倍率 )0-0nm 0 倍率 最大入射径 Φ 最大出射径 Φ A B SASS008/8 0.8x SASS0807/8 1.1x SASS01/8 1.x SASS081/8 1.x SASS/8 1.x SASS0884/8 1.8x SASS/8.0x SASS1/8.x SASS1/8.0x 拡がり角設定 0 にて最大 mm 長くなります ファイバーレーザ用ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) 倍率 最大入射径 Φ 最大出射径 Φ A B SASS081/1 1.x SASS080/1 x SASS080/1 x SASS071/1 4x SASS070/1 x 拡がり角設定 0 にて最大 mm 長くなります ズーム ビームエキスパンダムエキスパンダ ( 可変倍率 ) 最大 A B 倍率出射径 Φ Φ 材質 拡り角調整機能 モーター駆動 SASS/1 1x - x 溶融石英ガラス --- SASS074/1 1x - 8x 光学ガラス SASS07/1 1x -8x 光学ガラス --- SASS7/1 1x -8x x 70.0 光学ガラス SASS07/1 1x -8x 溶融石英ガラス --- SASS7/1 1x -8x x 70.0 溶融石英ガラス SASS07/1 1x -8x 光学ガラス SASS07/1 1x -8x 光学ガラス --- 最大入射径は Φmm 出射径は倍率によって制限されます --

9 BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES 1,04nm アクセサリー 品種 SASS00 SASS77 モーターズームアダプタ 手動コントロールユニット 外径 Φ fθ レンズ型式 外径 Φ fθ レンズ型式 S4LPG0001/ S4LFT008/1 S4LPG000/081 S4LPG0/ S4LFT00/1 S4LPG0/ S4LFT01/1 S4LPG0/081 S4LPG0004/ S4LFT01/1 S4LPG000/081 S4LPG000/ S4LFT01/1 S4LPG000/ S4LFT00/1 S4LPG80/ S4LFT0080/ S4LFT04/1; S4LFT/081; S4LFT14/1; S4LFT1/1; S4LFT1/1; S4LFT00/1; S4LFT000/1; S4LFT08/1; S4LFT1/1; S4LFT4/1; S4LFT44/1; S4LFT0/1; S4LFT1/1; S4LFT1/1; S4LFT84/081; ズームエキスパンダ モーターズームアダプタ概要図 モーターズーム駆動付ズームエキスパンダ -7-

10 AIRSPACED FOCUSING LENSES 1,04nm 鏡筒外径 有効径 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください エアスペース溶融石英集光レンズ組込み型 鏡筒外径 φ 有効径 Φ レンズ枚数 SASS0/1 SASS00/1 SASS0/1 SASS0/ SASS080/ SASS/ SASS1/ SASS10/ SASS10/ SASS10/ SASS/ SASS1/ SASS0/ SASS01/ SASS00/ SASS0/

11 AIRSPACED FOCUSING LENSES 1,04nm エアスペース集光レンズス集光レンズ組込み型 鏡筒外径 φ 有効径 Φ レンズ枚数 SASS00/ SASS0/ SASS/ SASS00/ SASS00/ SASS000/ SASS01/ SASS00/ SASS0074/ SASS004/ SASS018/ SASS001/ SASS007/ SASS008/ SASS0/ SASS07/ SASS0078/1 SASS0/1 SASS00/1 SASS00/1 SASS008/1 SASS0087/1 SASS008/1 SASS8/1 SASS01/1 SASS007/1 SASS0081/1 SASS008/1 SASS00/1 SASS008/

12 DOUBLETS AND SINGLETS 1,04nm レンズ径 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください ダブレットレンズ接着型 平凸レンズ レンズ径 Φ レンズ径 Φ S1LAO0/ S1LPX0070/ S1LAO007/ S1LPX004/ S1LAO00/ S1LPX/ S1LAO0/ S1LPX0141/ S1LAO007/ S1LPX0071/ S1LAO0/ S1LPX008/ S1LAO0071/ S1LPX00/ S1LAO00/ S1LPX00/ S1LAO070/ S1LPX014/ S1LAO004/ S1LPX01/ S1LAO0080/ S1LPX01/ S1LAO008/ S1LPX0/ S1LAO007/ S1LPX014/ S1LAO0/ S1LPX0144/ S1LAO007/ S1LPX00/ S1LAO00/ S1LPX0/ S1LAO00/ S1LPX0/ S1LAO007/ S1LPX01/ S1LAO00/ S1LPX018/ S1LAO00/ S1LPX08/ S1LAO0070/ S1LPX0140/ S1LAO001/ S1LPX00/ S1LAO00/ S1LPX0/ S1LAO00/ S1LPX0/ S1LAO000/ S1LPX00/ S1LAO008/ S1LPX00/ S1LAO8/ S1LPX007/ S1LAO008/ S1LAO01/

13 DOUBLETS AND SINGLETS 1,04nm 平凹レンズ ( 溶融石英 ) 平凹レンズ レンズ径 Φ レンズ径 Φ SLPK000/ S1LPK0070/ SLPK0/ S1LPK00/ S1LPK0040/ 両凹レンズ ( 溶融石英 ) S1LPK007/ S1LPK008/ レンズ径 Φ S1LPK004/ S1LPK000/ SLDK410/ S1LPK007/ SLDK1/ S1LPK001/ SLDK08/ S1LPK008/ SLDK07/ S1LPK00/ SLDK1/ SLDK007/ SLDK00/ SLDK00/ 両凹レンズ レンズ径 Φ SLDK001/1-0.0 SLDK001/ SLDK001/ SLDK0014/

14 f-theta LENSES nm 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください 標準 fθ レンズ S4LFT00/ x M / M 7.01 S4LFT01/ x M8 x S4LFT01/ S4LFT1/ S4LFT01/ S4LFT14/ S4LFT14/ S4LFT000/ x x x x x x M8x1 M8 x 1 M / M M8 x 1 M8 x 1 M8 x S4LFT041/ x M8 x S4LFT008/ x M8x S4LFT08/ x M x 注 ) はアパーチャーストップ位置での1ケのミラーによる場合の値です 溶融石英 fθ レンズ S4LFT0/ x M8 x S4LFT0/ x M8 x 1.41 注 ) はアパーチャーストップ位置での1ケのミラーによる場合の値です -1-

15 f-theta LENSES nm 標準テレセントリック fθ レンズ S4LFT008/ x M8 x 1.8 S4LFT00/ x M8 x S4LFT0080/ x M8 x S4LFT4/ x S4LFT0/ x M8 x 1. S4LFT1/ x M8 x S4LFT1/ x M8 x S4LFT000/ x TK S4LFT00/ x TK 注 ) はアパーチャーストップ位置での1ケのミラーによる場合の値です 溶融石英テレセントリック fθ レンズ S4LFT401/ x M8 x S4LFT00/ x M8 x 注 ) はアパーチャーストップ位置での1ケのミラーによる場合の値です 色補正 fθ レンズ (nm/4nm) S4LFT/ x 1.00 / M8 x 1 1. S4LFT84/ x / M8 x 1. 注 ) はアパーチャーストップ位置での1ケのミラーによる場合の値です -1-

16 BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES nm A B 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください 標準ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) 倍率 最大入射径 Φ 最大出射径 Φ A B Φ SASS/ 1.x SASS/ x SASS4/ x SASS0/ x SASS0/ x SASS18/ 8x SASS/ x SASS/ x SASS41/ 1x SASS40/ 0x 拡がり角設定 0 にて最大 mm 長くなります 溶融石英ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) 倍率 最大入射径 Φ 最大出射径 Φ A B Φ SASS1/ 1.x SASS14/ x SASS/.x SASS/ x SASS14/ 4x SASS4/ x SASS/ x SASS/ 7x SASS8/ 8x SASS41/ x SASS41/ x 拡がり角設定 0 にて最大 mm 長くなります -14-

17 BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES nm ズーム ビームエキスパンダムエキスパンダ ( 倍率可変 ) 最大 A B Φ 倍率出射径 Φ 材質 拡り角調整機能 モーター駆動 SASS/ SASS074/ SASS07/ SASS7/ 1x - x 1x - 8x 1x - 8x 1x - 8x x 70.0 光学ガラス 溶融石英ガラス --- 光学ガラス 光学ガラス --- SASS07/ 1x - 8x 溶融石英ガラス --- SASS7/ 1x - 8x x 70.0 溶融石英ガラス SASS07/ 1x - 8x 光学ガラス SASS07/ 1x - 8x 光学ガラス --- 最大入射径は Φmm 出射径は倍率によって制限されます アクセサリー 品種 SASS00 SASS77 モーターズームアダプター手動コントローラー 外径 Φ fθ レンズ型式 外径 Φ fθ レンズ型式 S4LPG0001/ S4LFT008/ S4LPG80/ S4LFT0080/ S4LPG0/ S4LFT00/ S4LPG000/ S4LFT/081 S4LPG0/ S4LFT01/ S4LPG00/ S4LFT041/; S4LFT14/ S4LPG0004/ S4LFT01/ S4LPG000/ S4LFT000/; S4LFT08/; S4LPG0/ S4LFT0/ S4LFT1/; S4LFT0/; S4LPG000/ S4LFT01/; S4LFT84/081 S4LFT4/ ズームエキスパンダモーターズームアダプタ概要図モーターズーム駆動付ズームエキスパンダ -1-

18 AIRSPACED FOCUSING LENSES nm 鏡筒外径 有効径 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください エアスペース溶融石英集光レンズ組込み型 鏡筒外径 Φ 有効径 Φ レンズ枚数 SASS00/ SASS0/ SASS00/ SASS0/ SASS00/ SASS10/ SASS00/ エアスペース集光レンズ組込み型 鏡筒外径 Φ 有効径 Φ レンズ枚数 SASS0/ SASS07/ SASS001/ SASS40/ SASS0/ SASS00/ SASS0/ SASS70/ SASS80/ SASS0/

19 DOUBLETS AND SINGLETS nm レンズ径 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください ダブレットレンズ接着型 平凸レンズ レンズ外径 Φ レンズ外径 Φ S1LAO00/ S1LPX008/ S1LAO0/ S1LPX0/ S1LAO0/ S1LPX08/ S1LAO00/ S1LPX00/ S1LAO081/ S1LAO08/ S1LAO008/ 平凹レンズ ( 溶融石英 ) 両凹レンズ ( 溶融石英 ) レンズ外径 Φ レンズ外径 Φ SLPK000/ SLDK1/ SLPK0/ SLDK1/ 平凸レンズ ( 溶融石英 ) SLDK007/ SLDK00/ SLDK00/ レンズ外径 Φ SLPX01/

20 f-theta LENSES - 40nm 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください 標準 fθ レンズ 波長 (nm) S4LFT10/ x M8 x S4LFT07/ x M x S4LFT080/ x M8 x1 8.4 S4LFT0/ x M8 x1 14. S4LFT10/ x M8 x S4LFT0/ x M8 x1 0. S4LFT07/ x M8 x S4LFT080/ x M8 x1 71. S4LFT081/ x M8 x1 8. S4LFT00/ x M8 x S4LFT0/ x M8 x1 1. S4LFT10/ x M8 x S4LFT0/ x M8 x 注 ) はアパーチャーストップ位置での 1 ケのミラーによる場合の値です テレセントリック fθ レンズ 波長 (nm) 40 nm S4LFT800/ x M8 x S4LFT401/ x M8 x S4LFT00/ x M8 x1 7.8 S4LFT41/ x M8 x S4LFT410/ x M8 x1 4. S4LFT/ x M8 x S4LFT400/ x M8 x1 8.0 S4LFT00/ x M8 x S4LFT4/ x M8 x1 14. S4LFT41/ x M8 x1.7 注 ) はアパーチャーストップ位置での 1 ケのミラーによる場合の値です -18-

21 BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES - 40nm A B 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) 波長 倍率 最大入射径 Φ 最大出射径 Φ A B Φ 40 nm nm nm SASS1/ 1.x SASS4/ x SASS/ x SASS4/ x SASS47/ 7x SASS41/ x SASS410/ 0x SASS0/07 1.x SASS1/07 1.x SASS4/07 x SASS/07 x SASS4/07 x SASS4/07 4x SASS4/07 x SASS47/07 7x SASS48/07 8x SASS41/07 x SASS41/07 x SASS410/07 0x SASS1/1 1.x SASS4/1 x SASS/1 x SASS4/1 x SASS41/1 x SASS410/1 0x 拡がり角設定 0 にて最大 mm 長くなります -1-

22 BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES - 40nm ズーム ビームエキスパンダムエキスパンダ ( 倍率可変 ) 波長 倍率 最大出射径 A B 材質 拡り角調整機能 モーター駆動 nm nm SASS/07 1x - x 溶融石英ガラス SASS07/07 1x - 8x 溶融石英ガラス SASS7/07 1x - 8x x 70.0 溶融石英ガラス SASS07/ 1x - 8x 溶融石英ガラス SASS7/1 1x - 8x x 70.0 溶融石英ガラス 最大入射径は Φmm 出射径は倍率によって制限されます アクセサリー 機能 SASS00 SASS77 電動ズームアダプター 手動コントローラ 波長 外径 Φ fθ レンズ型式 40 nm S4LPG0/ S4LFT10/ ; S4LFT080/ S4LPG40/ S4LFT00/07 nm S4LPG0/ S4LFT0/07 ; S4LFT10/07 ; S4LFT080/07 S4LPG0/ S4LFT0/07 S4LPG410/ S4LFT40/07 ; S4LFT410/07 S4LPG40/ S4LFT400/1 nm S4LPG0/ S4LFT0/1 ; S4LFT10/1 S4LPG410/ S4LFT4/1 ; S4LFT41/1 ズームエキスパンダモーターズームアダプタ概要図モーターズーム駆動付ズームエキスパンダ -0-

23 AIRSPACED FOCUSING LENSES - 40nm 鏡筒外径 有効径 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください エアスペース溶融石英集光レンズ組込み型 波長 鏡筒外径 Φ レンズ有効径 Φ レンズ枚数 nm nm SASS00/07 SASS0/07 SASS00/ SASS18/07 SASS10/ SASS00/1 SASS0/ SASS00/ SASS18/ SASS10/

24 f-theta LENSES VARIOUS WAVELENGTHS 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください 標準 fθ レンズ CO.μm 用 Φ Φ メニカス型 ( レンズ枚数 1) S4LFT08/ x M8 x S4LFT0/ x M8x S4LFT1/ x M8 x S4LFT4/ x M8 x フラットフィールド型 ( 枚組レンズ ) S4LFT/ x M8 x S4LFT10/ x M8 x 注 ) はアパーチャーストップ位置での1ケのミラーによる場合の値です テレセントリック fθ レンズ CO.μm 用 Φ Φ S4LFT/ x M8 x S4LFT0/ x M8 x 注 ) はアパーチャーストップ位置での 1ケのミラーによる場合の値です --

25 f-theta LENSES VARIOUS WAVELENGTHS 標準 fθ レンズ 808nm/80nm 用 中間中間最大入射 保護 84nmにてビーム径 84nmにて Φ ガラス 808nm 80nm 808nm 80nm S4LFT01/ x M8 x S4LFT01/ x M8 x S4LFT1/ x M8 x S4LFT00/ x M8 x S4LFT4/ x M8 x S4LFT00/ x M8 x S4LFT000/ x M8 x S4LFT0400/ x M8 x S4LFT040/ x M1 x S4LFT0/ x M8x S4LFT0/ x M1 x S4LFT08/ x M x 注 ) はアパーチャーストップ位置での1ケのミラーによる場合の値です テレセントリック fθ レンズ 808nm/80nm 用 中間中間最大入射 保護 84nm にてビーム径 Φ( ガラス 84nmにて 808nm 80nm 808nm 80nm S4LFT00/ x M8 x S4LFT007/ x TK S4LFT0080/ x M8 x S4LFT0/ x M8 x 注 ) はアパーチャーストップ位置での1ケのミラーによる場合の値です テレセントリック fθ レンズ短パルス用 808nm/80nm 用 808nm 80nm 中間 84nm にて S4LFT008/ x TK 注 ) はアパーチャーストップ位置での 1 ケのミラーによる場合の値です 中間 84nm にて 最大入射ビーム径 Φ 808nm 80nm --- 標準 fθ レンズ各種波長用 波長 Φ nm S4LFT01/ x 無

26 f-theta LENSES VARIOUS WAVELENGTHS テセレントリック fθ レンズ 波長 mm ± mm mm x mm Φ mm mm mm mm 70 nm nm S4LFT88/ x TK S4LFT14/ x TK S4LFT40/ x TK S4LFT007/ x 無 S4LFT88/ x TK S4LFT00/ x 無 S4LFT10/ x 無 S4LFT14/ x TK S4LFT40/ x TK S4LFT000/ x TK 色補正 fθ レンズ 波長 Φ Φ nm S4LFT x M8 x 1 1. 波長 色補正テレセントリック fθ レンズ 最大取付 保護ビーム径 Φ ネジ ガラス Φ 40-0 nm S4LFT001/ x TK fθ レンズマスクイメージング用エキシマ 48nm 用 倍率 Φ Φ S4LFT400/ x x M8 x 標準 fθ レンズエキシマ用 Φ Φ S4LFT40/18 1 nm 48 nm 1.0 x M8 x x M8 x

27 BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES VARIOUS WAVELENGTHS A B 本製品には上記外形図と異なる形状のものがございます 外形図や寸法など詳細につきましては別途図面をご用意しておりますので そちらをご確認ください ビームエキスパンダ ( 固定倍率 ) 波長 倍率 最大入射径 Φ 最大出射径 Φ A B 最大径 Φ. μm 808 / 08 nm nm nm 1 / 48 nm SASS/181 1.x SASS00/ x SASS00/181 x SASS00/04 x SASS1/04 x SASS04/04 x SASS0/04 x SASS07/04 x SASS400 x SASS404 4x SASS40 x SASS/1 x SASS/1 x SASS/1 x SASS/1 x SASS1/1 x SASS/1 1x SASS10/1 0x SASS4/18.x SASS40/18 x SASS400/18 x 拡がり角設定 0 にて最大 mm 長くなります ズーム ビームエキスパンダ ( 可変倍率 ) 波長 倍率 最大入射径 Φ 最大出射径 Φ A B Φ 材質 拡り角調整機能 モーター駆動. μm SASS00/ x - x ZnSe / 80 nm SASS07/04 1x - 8x 光学ガラス

28 BEAM EXPANDER AND ACCESSORIES VARIOUS WAVELENGTHS アクセサリー 機能 SASS00 SASS77 電動ズームアダプター 手動コントローラ 波長 外径 Φ mm mm fθ レンズ型式 808 / 40 nm S4LPG007/ S4LFT00/04 S4LPG0004/ S4LFT01/04 S4LPG000/ S4LFT01/04 S4LPG80/ S4LFT0080/04 S4LPG000/ S4LFT81 S4LPG000/ S4LFT00/04; S4LFT000/04; S4LFT1/04; S4LFT4/04 --

29 型式型式ページ型式ページページ索引 S1LPX00/1 S1LPX00/1 S1LPX007/1 S1LPX008/ S1LPX008/1 S4LFT000/1 S4LFT00/1 S4LFT00/ S4LFT00/1 S4LFT0/1 S4LFT07/07 S4LFT00/04 S1LAO00/1 S1LAO00/1 S1LAO008/1 S1LAO00/1 S1LAO004/1 S1LAO001/1 S1LAO00/ 型式型式ペジ型式ペジペジ S1LPX00/1 S1LPX00/ 1 18 S1LPX0/1 S1LPX0/1 S1LPX08/ S4LFT00/1 S4LFT07/ S4LFT0400/04 S4LFT04/1 S1LPX008/1 S1LPX00/1 S1LPX01/1 S1LPX0/1 S1LPX0/ S4LFT00/04 S4LFT000/04 S4LFT000/ S4LFT000/1 S1LAO00/ S1LAO00/1 S1LAO007/1 S1LAO008/1 S1LAO00/1 S1LAO00/ S1LAO00/1 S1LAO00/ S1LPX08/ S1LPX08/1 S1LPX0/1 S4LFT04/1 S4LFT041/ S4LFT040/04 S4LFT040/1 S4LFT008/ S4LFT008/1 S4LFT0/04 S4LFT080/ S1LPX01/1 S1LPX01/1 S1LPX014/1 S1LPX0/1 S1LPX018/1 S1LAO007/1 S1LAO007/1 S1LAO0080/1 S1LAO00/1 S1LAO0070/1 S1LAO0071/1 S1LAO007/1 S1LAO007/ S4LFT08/1 S4LFT080/ S4LFT080/07 S4LFT0/04 S4LFT0/1 S4LFT081/07 S4LFT08/04 S4LFT08/ S1LPX018/1 S1LPX0140/1 S1LPX0141/1 S1LPX014/1 S1LPX0144/1 S1LPX/1 S4LFT00/04 S4LFT00/ S1LAO0080/1 S1LAO008/ S1LAO008/1 S1LAO00/1 S1LAO01/1 S1LAO0/1 S1LAO0/ S1LAO0/ S4LFT08/1 S4LFT00/07 S4LFT40/0 S4LFT40/0 S4LFT88/0 S4LFT88/0 S4LFT4/ S4LFT10/1 S4LFT00/1 S4LFT008/ S4LFT008/1 S4LFT001/0 S4LFT00/ S4LFT00/1 S4LFT00/ S4LFT007/04 S1LAO0/1 S1LAO000/1 S1LAO0/ S1LAO08/ S1LAO081/ S1LAO070/1 S1LAO8/1 S1LAO0/ S4LFT 00/ S4LFT14/0 S4LFT14/0 S4LFT/081 S4LFT14/ S4LFT14/1 S4LFT100/1 S4LFT1/04 S4LFT0080/04 S4LFT0080/ S4LFT0080/1 S4LFT008/04 S4LFT00/1 S4LFT01/04 S4LFT007/04 S4LFT007/1 S1LPK00/1 S1LPK007/1 S1LPK008/1 S1LPK000/1 S1LPK001/1 S1LPK004/1 S LAO 08/ S1LAO0/ S4LFT00/ S4LFT00/1 S4LFT0/ S4LFT/1 S4LFT00/07 / S4LFT1/ S4LFT1/1 / S4LFT01/ S4LFT01/ S4LFT01/1 S4LFT01/04 S4LFT01/ S4LFT01/1 S4LFT01/1 S1LPK0040/1 S1LPK0070/1 S1LPX004/1 S1LPX00/1 / S1LPK007/1 S1LPK008/1 S1LPK00/ S4LFT0/ S4LFT0/1 1 S4LFT10/07 S4LFT01/1 S4LFT00/04 S4LFT000/ S1LPX0070/1 S1LPX0071/1 S1LPX00/1-7-

30 索引 型式 ページ 型式 ページ 型式 ページ S4LFT10/ 18 S4LPG000/081 7 SASS07/ 1 S4LFT10/1 18 S4LPG0004/070 SASS07/1 S4LFT1/1 S4LPG0004/081 7 SASS0/07 1 S4LFT14/ 1 S4LPG0004/081 1 SASS0/1 8 S4LFT4/04 S4LPG000/070 SASS0807/8 S4LFT4/1 S4LPG000/081 7 SASS081/8 S4LFT0/07 18 S4LPG000/081 1 SASS081/1 S4LFT0/ 1 S4LPG007/0 SASS080/1 S4LFT0/1 S4LPG000/ SASS080/1 S4LFT400/1 18 S4LPG000/04 SASS0884/8 S4LFT401/07 18 S4LPG0/ SASS0/ 1 S4LFT401/ 1 S4LPG0/ SASS0/1 S4LFT401/1 4 S4LPG00/081 1 SASS/1 S4LFT40/18 4 S4LPG000/ SASS/1 8 S4LFT407/18 4 S4LPG000/04 SASS8/1 S4LFT4/1 18 S4LPG80/ SASS1/04 S4LFT41/07 18 S4LPG80/04 SASS1/1 S4LFT410/07 18 S4LPG0/ 1 SASS14/ 14 S4LFT41/1 18 S4LPG0/181 1 SASS1/07 1 S4LFT400/18 4 SASS00/1 SASS1/ 14 S4LFT44/1 SASS000/1 SASS1/1 S4LFT0/04 SASS00/1 SASS1/ 1 S4LFT0/ 1 SASS004/1 SASS1/1 1 S4LFT0/1 4 SASS00/1 SASS/ 14 S4LFT1/ 1 SASS00/1 SASS/1 S4LFT1/1 4 SASS007/1 SASS18/ 14 S4LFT1/ 4 SASS0074/1 SASS18/1 S4LFT1/1 1 SASS0078/1 SASS1/1 S4LFT/07 18 SASS0081/1 SASS00/07 1 S4LFT1/1 4 SASS008/1 SASS00/ 1 S4LFT71 4 SASS008/1 SASS00/1 S4LFT800/ 18 SASS008/1 SASS00/1 1 S4LFT81 4 SASS008/1 SASS00/07 1 S4LFT84/ SASS0087/1 SASS00/ 1 S4LFT08/181 8 SASS00/1 SASS00/1 8 S4LFT0/181 SASS007/1 SASS00/1 1 S4LFT/181 SASS008/1 SASS070/1 S4LFT/181 SASS04/04 SASS071/1 S4LFT10/181 SASS04/1 SASS07/ 1 S4LFT1/181 SASS0/04 SASS07/1 S4LFT4/181 SASS0/ 14 SASS074/ 1 S4LFT0/181 SASS0/1 SASS074/1 S4LPG0/07 0 SASS0/ 14 SASS07/04 S4LPG0/07 0 SASS0/1 SASS07/ 1 S4LPG0/ 0 SASS07/04 SASS07/1 S4LPG0/ 0 SASS0/1 SASS07/ 1 S4LPG40/07 0 SASS0/ 1 SASS07/1 S4LPG40/18 0 SASS0/1 SASS/1 S4LPG410/07 0 SASS014/1 SASS/1 S4LPG410/ 0 SASS01/1 SASS4/07 1 S4LPG0001/081 7 SASS018/1 SASS4/ 1 S4LPG0001/081 1 SASS01/1 SASS4/1-8-

31 索引 型式ページ型式ページ型式ページ SASS4/1 1 SASS/1 SASS/1 SASS1/1 SASS/1 SASS10/1 SASS10/1 SASS404 SASS008/8 SASS40 SASS4/07 1 SASS4/07 1 SASS4/ 14 SASS4/1 SASS4/ 1 SASS0/1 8 SASS4/1 1 SASS1/1 SASS0/1 SASS4/1 SASS41/ SASS40/ SASS47/07 SASS47/ SASS48/07 SASS41/07 SASS41/ SASS01/8 SASS1/1 SASS10/1 SASS10/ SASS00/ SASS00/1 SASS00/181 SASS00/181 SASS00/04 SASS00/181 SASS/181 SLDK001/1 SASS0/07 1 SASS41/1 SLDK001/1 SASS0/ 1 SASS41/ 1 SLDK0014/1 SASS0/1 8 SASS41/1 1 SLDK001/1 SASS0/1 1 SASS41/07 1 SLDK00/ SASS0/ 1 SASS41/ 14 SLDK00/1 SASS0/1 8 SASS41/1 SLDK00/081 SASS/ 14 SASS410/07 1 SLDK007/081 SASS SASS410/ 1 SLDK007/ SASS/ SASS/07 SASS/ SASS/1 SASS/ SASS/1 SASS4/ SASS410/1 SASS400/18 SASS4/18 SASS40/18 SASS00/1 SASS07/07 SASS07/ SASS/ 14 SASS07/ 1 SASS/ 14 SASS07/1 SASS/1 SASS080/1 8 SASS8/ 14 SASS10/07 1 SASS8/1 SASS10/1 8 SASS/ 14 SASS10/1 1 SASS/1 SASS10/1 0/ 8 SASS4/07 1 SASS/1 8 SASS/8 SASS1/1 8 SASS/8 SASS0/1 8 SASS1/8 SASS18/07 1 SASS1/8 SASS18/1 1 SASS14/ 14 SASS01/1 8 SASS14/1 SASS00/ 1 SASS/ 14 SASS/07 0 SASS/1 SASS/ 1 SASS SASS/1 SASS7/07 0 SASS0/ 1 SASS7/ 1 SASS40/ 1 SASS7/1 SASS70/ 1 SASS7/1 0 SASS80/ 1 SASS7/ 1 SASS0/ 1 SASS7/1 SASS001/ 1 SASS400 SASS001/1 SLDK07/1 SLDK08/1 SLDK1/ SLDK1/1 SLDK1/ SLDK1/1 SLDK410/1 SLPK000/ SLPK000/1 SLPK0/ SLPK0/1 SLPX01/