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1 取扱説明書 Transpector MPS

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3 Transpector MPH INFICON

4

5 INFICON Inc. Two Technology Place East Syracuse, NY USA

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7

8

9 PN P1A 1-1

10 PN P1A 1-2

11 PN P1A 1-3

12 PN P1A 1-4

13 PN P1A 1-5

14 PN P1A 1-6

15 PN P1A 1-7

16 PN P1A 1-8

17 PN P1A 1-1

18 PN P1A 1-2

19 PN P1A 1-3

20 PN P1A 1-4

21 1 2 3 PN P1A 1-5

22 (C) (B) (A) mm (6.69 in.) 115 mm (4.53 in.) mm (4.79 in.) PN P1A 1-6

23 PN P1A Electrical Connection 1-7

24 PN P1A 1-8

25 1 2 3 PN P1A 1-9

26 1 2 Flange Copper Gasket Flange 3 4 PN P1A 1-10

27 mm (9.81 in.) PN P1A 193 mm (7.83 in.) MPS100M, MPS200M mm (7.61 in.) 143 mm (5.63 in.) MPS100F, MPS200F 1-11

28 PN P1A 1-12

29 mm (4.79 in.) PN P1A mm (2.375 in.) mm (2.263 in.) mm (4.526 in.) 1-13

30 Ethernet Port 1 2 PN P1A

31 PN P1A 1-15

32 AUX I/O STAT LAN +24V PN P1A V PIN 1 RELAY COMON PIN 2 RELAY NORMALLY OPEN PIN 3 RELAY NORMALLY CLOSED PIN 4 RESERVED PIN 5 RESERVED PIN 6 RESERVED PIN 7 +24V AUX RET PIN 8 +24V AUX VO PIN 9 ANALOG IN+ PIN 10 ANALOG IN- PIN 11 RESERVED PIN 12 RESERVED PIN 13 REMOTE LOGIC 2 (EMISSION OFF) PIN 14 REMOTE LOGIC 1 (EMISSION ON) PIN 15 GROUND PIN 1 TD+ PIN 2 TD- PIN 3 RD+ PIN V PIN V PIN 6 RD- PIN 7 NO CONNECT PIN 8 CHASSIS GROUND PIN 4 +24V PIN 3 +24v PIN 1 +24V RETURN PIN 2 +24V RETURN 1-16

33 PN P1A 2-1

34 PN P1A 2-2

35 PN P1A 2-3

36 PN P1A 2-4

37 PN P1A 2-5

38 PN P1A 2-6

39 1 PN P1A 2 2-7

40 3 4 PN P1A 2-8

41 5 6 PN P1A 2-9

42 PN P1A 2-10

43 1 2 PN P1A 2-11

44 3 4 PN P1A 2-12

45 5 6 PN P1A

46 1 2 PN P1A 2-14

47 PN P1A 2-15

48 PN P1A 2-16

49

50 Ion Source Quadrupole Detector 3-2

51 Electron Repeller Filament (Cathode) Anode (with Cage) Focus Lens Source Exit Lens 3-3

52 3-4

53 3-5

54 Y X Z X = Vcos 2 ft + U + PZ [1] Y = Vcos 2 ft + U + PZ [2] V f t U PZ 3-6

55 V = Mf 2 r2 0 [3] V M f r 0 r 0 M f 3-7

56 Zero Blast 3-8

57 - Signal Output Faraday Cup Quadrupole Exit Lens Detector 3-9

58 3-10

59 CEM Cone Electron Collector Deflector Shield Signal Output 3-11

60 3-12

61 4-1

62 4-2

63 4-3

64 H He ~100.0 B C N O F Ne Na Al Si P S Cl

65 Ar Ar + 8 N Ar 2+ Ar 3+ x10 Ar 4+ x Electron Energy (ev) From a paper by W. Bleakney, Physical Review, 36, p. 1303, published in

66 4-6

67 4-7

68 b PP a = K ab I ab [1] PP a K ab I ab a b K ab M ab A b b PP a = M ab A b I ab M ab 1 M ab = FF ab XF a [2] [3] 4-8

69 FF ab b a b a XF a XF N 4-9

70 . 4-10

71 4-11

72 A b 1 A a = TF b DF ab G S [4] TF b b b b DF ab G S PP a FF N28 = FF ab XF ab TF b DF ab G S I ab [5] PP a a FF ab b FF N28 N 2+ XF a 4-12

73 TF b b T FM = 28 / M DF ab a b G S I ab a b 4-13

74 4-14

75 4-15

76 4-16

77 5-1

78 5-2

79 5-3

80 5-4

81 5-5

82 5-6

83 5-7

84 5-8

85 5-9

86 5-10

87 5-11

88 5-12

89 5-13

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101 5-25

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106 5-30

107 6-1

108 6-2

109 6-3

110 6-4

111

112 2 3 1 A 6-6

113 2 B 3 6-7

114 4 5 C D

115 1 A B 2 6-9

116 3 C

117 1 A B C

118 3 D 6-12

119 4 E

120 Detector Pins

121 6-15

122 6-16

123

124 6-18

125 7-1

126 7-2

127 7-3

128 7-4

129 7-5

130 7-6

131 8-1

132 8-2

133 9-1

134 9-2

135 9-3

136 9-4

137 9-5

138 9-6

139 9-7

140 9-8

141 10-1

142 10-2

143 10-3

144 10-4

145 11-1

146 11-2

147 11-3

148 11-4

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150 12-2

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198

198 197 198 199 200 201 202 A B C D E F G H I J K L 203 204 205 A B 206 A B C D E F 207 208 209 210 211 212 213 214 215 A B 216 217 218 219 220 221 222 223 224 225 226 227 228 229 A B C D 230 231 232 233 A

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