エレクトロニクス産業 洗浄用/プロセス用 一流体スプレーノズル

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1 No.J91C

2 HYDRAULIC NOZZLES for ELECTRONICS CONTENTS P3 / P3 P4 PVDF P4 UPE P5 PPS P6 / P8 PFA P8 P9 PVC P1 2 P11

3 P L S FullJet / VeeJet / ProMax QuickJet.3852L/min.9347L/min.5335L/min.3734L/min SUS33SUS316PVC 2 BSPT1/81/2 / 1 2 NPTBSPTPTR P L/min L/min L/min L/min PP/PVDF PP PP PP 2 BSPT1/81/4 BSPT1/43/8 BSPT1/43/8 BSPT1/43/8 1 2 NPTBSPTPTR 3

4 PVDF Ceramic Nozzle / UPE Nozzle PVDF セラミックノズル < 材質 > オリフィス : ハイアルミナセラミックボディ :PVDF YB1/4MPVDFVP-652IC YB1/4MPVDFVP-653IC YB1/4MPVDFVP-92IC YB1/4MPVDFVP-93IC 高純度セラミックのオリフィスをPVDFボディにインサート成形 耐摩耗性に優れ 長期間の使用が可能 は65 9 の2 種類 相当オリフィス径 六角 ) φ UPE ノズル UPE 高分子ポリエチレン ) 材を使用した切削加工ノズル 耐摩耗性に優れ 研磨剤のスプレーに最適 オリフィス部は反射ミストなど研磨剤の影響を受けにくい設計 < 材質 >UPE 高分子ポリエチレン ) 相当オリフィス径 時 ) YB1/4U-UPE651.2 YB1/4U-UPE 平行部 ) 時 ) 65 9 P プリント基板 用途プリント基板の洗浄 リンス ご注文方法をご明示ください P プリント基板 用途研磨剤スプレー φ ご注文方法をご明示ください 4

5 < 材質 >PPS ポリフェニレンサルファイド ) PPS フルコーンノズル プリント基板の現像 エッチングに好適な山形流量分布 ベーン 内部羽根 ) が工具なしで脱着可能 メンテナンスが容易 ホールド機構により 使用中の脱落なし 円形タイプと角形タイプの 2 種類 P プリント基板 PPS Full Cone Nozzle 円形タイプ オリフィス呼び径 時 ) Y32226-B1/4HH-PPS Y32226-B1/4HH-PPS Y32226-B1/4HH-PPS 角形タイプ オリフィス呼び径 時 ) Y32226-B1/4HH-PPS8.4SQ 円形タイプ ベーン 11 用途プリント基板の現像 エッチング φ ) ご注文方法をご明示ください 角形タイプ ベーン 11 φ ) 5

6 Kynar FullJet / VeeJet Nozzle カイナーフルジェット / カイナービージェットノズル R 高純度 PVDF Kynar ) 製スプレーノズル 優れた強度と耐久性 標準的なサイズ 流量サイズをカバー フルコーン HH-KY) タイプはレンチによる取付が容易なフランジ付きボディ フラット VV-KY U-KY) タイプはフランジ平行部によりスプレー方向の設定が容易 HH-KY タイプ 小型 VV-KY タイプ U-KY タイプ P L プリント基板 液晶 S 半導体 流量範囲.5~11L/min.25~1.8L/min ~68L/min 52 ~82 4 ~12.3 時 ) 4 ~12.3 時 ) 推奨圧力範囲.7~.7.3~3.5.3~3.5 材質 R 高純度 PVDFKynar ) BSPT1/8 1/4 3/8 オス ) BSPT1/8 1/4 オス ) BSPT1/4 3/8 オス ) 用途各種洗浄 リンス 現像 エッチング 冷却 鎮塵 消泡など HH-KY タイプ フルコーン ) R < 材質 > 高純度 PVDFKynar ) オリフィス呼び径 各圧力における.7.15 BSPT) B1/8HH-KY B1/8HH-KY3 B1/8HH-KY /8 オス ) B1/8HH-KY B1/4HH-KY6 B1/4HH-KY /4 オス ) B3/8HH-KY B3/8HH-KY8 BSPT オス ) A 六角 ) /8 オス ) B3/8HH-KY B 直径 ) L 全長 ) 6 ご注文方法をご明示ください L 全長 ) A 六角 ) B 直径 ) BSPT1/8 オス ) BSPT1/4 オス ) BSPT3/8 オス ) NPT もあります BSPTのネジ寸法はPTおよびRの規格に相当します

7 小型 VV-KY タイプ フラット ) R < 材質 > 高純度 PVDFKynar ) ノズルタイプ HB1/8VV-KY HB1/4VV-KY.3 時 ) 流量サイズ 相当オリフィス径 BSPT) 1/8 または 1/4 オス ) Kynar FullJet / VeeJet Nozzle 液温により推奨圧力範囲が変わる場合があります ご注文方法ノズルタイプ 流量サイズをご明示ください 例 HB1/8VV-KY 4 2 ノズルタイプ 流量サイズ φ15.9 *7/16 インチのレンチに適合 11.3 六角 ) * 14.3 フランジ平行部 ) ) NPT もあります BSPT のネジ寸法は PT および R の規格に相当します #5 相当のストレーナーを装着できます オプション ) BSPT1/8 または 1/4 オス ) ストレーナー オプション ) U-KY タイプ フラット ) R < 材質 > 高純度 PVDFKynar ) ノズルタイプ.3 時 ) 流量サイズ 相当オリフィス径 BSPT) HB1/4U-KY HB3/8U-KY /4 または 3/8 オス ) 液温により推奨圧力範囲が変わる場合があります ご注文方法ノズルタイプ 流量サイズをご明示ください 例 HB1/4U-KY 4 1 ノズルタイプ 流量サイズ φ *11/16 インチのレンチに適合 17.5 六角 ) * 19 フランジ平行部 ) 11.9 NPT もあります BSPT のネジ寸法は PT および R の規格に相当します BSPT1/4 または 3/8 オス ) 7

8 PFA Full Cone Nozzle / Full Cone Nozzle with Small Capacity < 材質 >PFA パーフルオロアルコキシアルカン ) オリフィス呼び径 PFA フルコーンノズル 低圧 微小流量でも安定した円形フルコーンパターンを生成 中央部が均等な流量分布 エッチング 現像に好適 耐食性に優れた PFA 製 設置場所を選ばないコンパクト形状.7 Y32223-B1/8HH-PFA 用途液晶 半導体の洗浄 リンス 現像 エッチングなど フランジ平行部 ) ご注文方法をご明示ください φ 各圧力における R1/8 L 液晶 S 半導体 R1/8 小流量フルコーンノズル 少流量薬液スプレー用樹脂製ノズル フルコーンノズル中最小流量 少流量において優れた均一流量分布を形成 L 液晶 S 半導体 < 材質 >PVC オリフィス呼び径 各圧力における R1/8 1 平行部 ) Y32223-B1/8HH-PVC R1/8 φ12 22 用途液晶 半導体の洗浄 リンス 現像 エッチングなど ご注文方法をご明示ください 8

9 B1/8K-PVC B1/4K-PVC mm PVC L/min SUS BSPT /8 1/4 L S Hollow Cone Fine Spray Nozzle / Flood Jet Nozzle B A BSPT1/8 1/4 B1/8K-PVC.5 T L mm L A B T BSPT1/8K BSPT1/4K NPTBSPTPTR 9

10 Compact Hydraulic Spray Header コンパクト一流体ヘッダー 仕様 ヘッダー部 全長材質耐圧インレット mm) SUS34SUS316での製作も可能 ) 約 3.5 Rc1/4 ヘッダー両端 ) 特長 超軽量仕様 ヘッダー全長 25mm で約 2.8kg) 小流量スプレーでも安定した性能を実現 高さ 16mm 厚み 16mm のコンパクト設計 ヘッダー全長は ~25mm と幅広いラインアップ 狭いスペースでも小流量ノズルの配置が可能 ノズルチップ スプレーパターン 材質 フラットスプレーチップガスケットリテーナーリング SUS33 PTFE SUS34 L 液晶 ノズルチップ単体 ヘッダー TOTAL ノズルチップ流量サイズ 相当オリフィス径 目安値 ) [ mm] 時 ) 流量 L/min) の目安.3 時 ノズルピッチ5mmの場合 mm 2) 15mm 3) 2mm 4) 25mm 5) ) 内はノズル個数 2 性能確保のため ヘッダー本体の形状を調整することがあります 製作例ヘッダー材質 :SUS34/ ヘッダー全長 :25mm/ ノズルピッチ :5mm/ ノズル設置数 :5 個 M6 P5 49=245 A Rc-1/4 Rc1/4 矢視 A ヘッダーマニフォールド MAX) 3 M9 1 インレット部詳細 取付プレート 取付ネジ 2-M6) ) 38 φ8 φ7.6 ガスケット PTFE) スプレーチップ リテーナーリング SUS33)SUS34) ノズルチップ 5 2-M Rc1/4 19 用途液晶洗浄 薬液供給 基板への補水 湿潤 装置内治具洗浄など ご注文方法 例 上記製作例に流量サイズ 33 のノズルチップを装着した場合 YH 弊社識別番号 ヘッダー型式 ヘッダー全長 ノズル ピッチ ノズルチップ流量サイズ ノズル 設置数 1

11 1 粘性によるスプレー分布の変化 使用ノズル :PFA フルコーンノズル / 圧力 :.16 / 測定位置 : ノズルから 165mm 1mPa s 水 ) の場合 エッチング工程における液の粘性とスプレー性能 スプレー液体の粘度が上がるほど スプレー状態は勢いを失い スプレー分布が変化します 水量 [%] 距離 [mm] 単位 :1cP センチポアズ ) =1mPa s ミリパスカル秒 ) 2 粘性液にあわないノズルのスプレー状態 参考例 :3mPa s 粘性液スプレー 圧力 :.15 技術情報 ノズル本来のスプレーパターンを形成しにくく 特に低圧ではパターンの形成が著しく低下します Technical Data 2mPa s 粘性液の場合 圧力 :.2 水量 [%] 距離 [mm] 3mPa s 粘性液の場合 圧力 :.3 水量 [%] 距離 [mm] 3 粘性液にあったノズルのスプレー分布とスプレー状態 使用ノズル :3mPa s エッチング液用オーダーメイド品 / 測定位置 : ノズルから 165mm 水量 [%] 水量 [%] 圧力 : 圧力 : 距離 [mm] 距離 [mm] 圧力 :.15 粘性液のスプレーにはご使用条件に適したノズルの選定が必要です エッチング液スラッジの堆積によるスプレー分布の経時変化 エッチング液使用後の水分布測定事例 エッチング液 塩化第二鉄液など ) は ノズル内部ベーン 液体を旋回させスプレーパターンを形成させる部品 ) 表面にスラッジを堆積させます スラッジの堆積は使用時間と共に増加し スプレー分布やスプレーパターンに影響を与えます スラッジの堆積と共にスプレー分布は外周部に流体が集まる傾向を示します エッチング液使用前使用後 / スラッジの堆積小使用後 / スラッジの堆積大 定期的な点検やメンテナンス ノズル交換が必要です ノズル位置はグラフ中央 11

12 FAX FAX

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