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こうだいかむら
4 years ago
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1 ミニメタルバルブ型名品名品目番号製品コートミニメタルバルブ A 使用真空領域大気圧 ~10-8 Pa 程度許容加熱温度シール材 ( ガスケット ) 銅合金初期封止トルク約 15.7N m 最大封止トルク 23.5N m 操作手動 ( トルクレンチを推奨 ) 全開時コンダクタンス 4L/sec リーク量 Pa m 3 /sec 以下 0.7kg 1. バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態の値です

2 φ38 メタルバルブ型名品名品目番号製品コート φ38 メタルバルブ A 使用真空領域大気圧 ~10-8 Pa 程度許容加熱温度シール材 ( ガスケット ) 銅合金初期封止トルク 29.4~34.3N m 最大封止トルク 127.4N m 操作手動 ( トルクレンチを推奨 ) 全開時コンダクタンス 30L/sec リーク量 Pa m 3 /sec 以下 1.6kg 1. バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態の値です

3 2.5 メタルバルブ型名品名品目番号製品コートメタルバルブ A 使用真空領域大気圧 ~10-8 Pa 程度許容加熱温度シール材 ( ガスケット ) 銅合金初期封止トルク 78.4~127.4N m 最大封止トルク 225.4N m 操作手動 ( トルクレンチを推奨 ) 全開時コンダクタンス 100L/sec リーク量 Pa m 3 /sec 以下 7kg 1. バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態の値です

4 ミニポリイミドバルブ型名品名品目番号製品コートミニポリイミドバルブ A 使用真空領域大気圧 ~10-8 Pa 程度許容加熱温度 300 1,2 シール材 ( ガスケット ) ポリイミド樹脂推奨締付シール力 ( 参考締付トルク ) 1225~1921N(2.0~3.4N m) 3 最大締付シール力 ( 参考締付トルク ) 2626N(5.9N m) 3 操作手動コンダクタンス 1L/sec リーク量 Pa m 3 /sec 以下 kg 1. バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態の値です 2. 連続加熱を行う場合は 260 となります 3. 締付トルクはベーキング等により駆動ネジの摩擦係数が増加し締付トルクと締付シール力の関係が変化しますので参考値です 4. ポリイミド樹脂のガス透過は仕様外です

5 φ38 ポリイミドバルブ品名型名品目番号製品コート φ38 ポリイミドバルブ A 使用真空領域大気圧 ~10-8 Pa 程度許容加熱温度 300 1,2 シール材 ( ガスケット ) ポリイミド樹脂推奨締付シール力 ( 参考締付トルク ) 3920~4900N(4.9~5.9N m) 3 最大締付シール力 ( 参考締付トルク ) 7840N(14.7N m) 3 操作手動 ( ベーキングを数回行った場合カニメスパナを使用 ) コンダクタンス 30L/sec リーク量 Pa m 3 /sec 以下 4 1.6kg 1. バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態の値です 2. 連続加熱を行う場合は 260 となります 3. 締付トルクはベーキング等により駆動ネジの摩擦係数が増加し締付トルクと締付シール力の関係が変化しますので参考値です 4. ポリイミド樹脂のガス透過は仕様外です

6 V シリーズあら引きバルブ注 : 継手外径は φ11mm 未満の物を御使用下さい圧空手動型名品名品目番号製品コート V-025RV-CN NW25 圧空駆動 L 型バルブ A V-025RV-MN NW25 手動 L 型バルブ A 型名 V-025RV-CN V-025RV-MN 駆動方式圧空手動使用圧力領域大気圧 ~10-4 Pa 程度 Heリーク量静止時 Pa m 3 /sec 以下 1 開閉時 ~10-5 Pa m 3 /sec コンダクタンス 7L/sec 許容加熱温度 60 作動エアー圧 0.4~0.6MPa - エアー消費量 (L/ サイクル ) エアー供給口 M5 - 開閉センサセンサスイッチ仕様参照 - 使用流体大気またはガス ( 腐食性ガスを除く ) 0.63kg 0.58kg 1. ふっ素ゴム O リングのガス透過は仕様外です 2. エアー圧 0.5MPa 時 1 サイクル ( 開閉 ) でのエアー消費量です

7 センサスイッチ仕様項目プログラマブルコントローラ ( シーケンサ ), リレー用種類配線方式有接点,2 線式負荷電圧 DC12/24V AC110V 負荷電流 5~50mA 7~20mA 内部降下電圧 2.4V 以下ランプ発光ダイオード (ON 時点灯 ) 漏れ電流 0mA 内部回路右図参照リード線長さ 1m( 耐油性ビニールキャブタイヤコード 2 芯 0.2mm 2 ) 最大衝突 294m/s 2 (30G) 絶縁抵抗 DC500V メガーにて 20MΩ 以上絶縁耐圧 AC1000V 1 分間印加にて異常なきこと周囲温度 -10~+60 保護構造 IEC 規格 IP67,JIS C0920( 防浸形 ), 耐油注 1. 磁気感応形センサスイッチの為外部磁場の強い場所での使用及び大電流の動力線への接近は避けて下さい 2. センサスイッチは直接電源に接続せず必ず負荷を直列に接続して仕様の負荷電流範囲内でご使用下さい 3. 誘導性負荷 ( 電磁リレー等 ) を接続する場合はセンサスイッチの OFF 時にサージ電圧 ( 誘導性サージ ) が発生しますので接点保護回路を必ず設けて下さい DCの場合 : 一般用整流ダイオード,AC の場合 :CR(C コンデンサ 0.33~0.1μF,R 抵抗 1~3kΩ) 4.DC 用としてご使用の場合茶線が+ 側青線が- 側になるように接続して下さい

9 センサスイッチ仕様項目仕様用途フロクラマフルコントローラ ( シーケンサ ), リレー用種類, 配線方式有接点,2 線式負荷電圧 DC12/24V AC110V 負荷電流 5~50mA 7~20mA 内部降下電圧 2.4V 以下ランプ発光タイオート (ON 時点灯 ) 漏れ電流 0mA 内部回路右図参照リード線長さ 1m( 耐油性ヒニールキャフタイヤコート 2 芯 0.2mm 2 ) 最大衝突 294m/s 2 (30G) 絶縁抵抗 DC500V メカーにて 20MΩ 以上絶縁耐圧 AC1000V 1 分間印加にて異常なきこと周囲温度 -10~+60 保護構造 IEC 規格 IP67,JIS C0920( 防浸形 ), 耐油注 1. 磁気感応形センサスイッチの為外部磁場の強い場所での使用及び大電流の動力線への接近は避けて下さい 2. センサスイッチは直接電源に接続せず必ず負荷を直列に接続して仕様の負荷電流範囲内でご使用下さい 3. 誘導性負荷 ( 電磁リレー等 ) を接続する場合はセンサスイッチのOFF 時にサージ電圧 ( 誘導性サージ ) が発生しますので接点保護回路を必ず設けて下さい DCの場合 : 一般用整流ダイオード ACの場合 :CR( コンデンサ 0.033~0.1μF,R 抵抗 1~3kΩ) 4.DC 用としてご使用の場合茶線が+ 側青線が- 側になるように接続して下さいオーダリングインフォメーション圧空駆動タイプ STD MSB 呼び径型名品目番号製品コード備考 V-040LV-SCI φ70icf 付 V-040LV-SCN NW40 付 040 V-040LV-SCB 旧 JIS40A 付 V-040LV-SCA V-065LV-SCI φ114icf 付 065 V-065LV-SCB V-065LV-SCA 旧 JIS65A 付 V-100LV-SCI φ152icf 付 100 V-100LV-SCB V-100LV-SCA 旧 JIS100A 付 040 V-040LV-MCI φ70icf 付 065 V-065LV-MCI φ114icf 付 100 V-100LV-MCI φ152icf 付手動タイプ STD MSB 呼び径型名品目番号製品コード備考 V-040LV-SMI φ70icf 付 V-040LV-SMN NW40 付 040 V-040LV-SMB 旧 JIS40A 付 V-040LV-SMA V-065LV-SMI φ114icf 付 065 V-065LV-SMB V-065LV-SMA 旧 JIS65A 付 V-100LV-SMI φ152icf 付 100 V-100LV-SMB V-100LV-SMA 旧 JIS100A 付 040 V-040LV-MMI φ70icf 付 065 V-065LV-MMI φ114icf 付 100 V-100LV-MMI φ152icf 付

10 NC タイプ呼び径型名品目番号製品コード備考 V-040LV-SDI φ70icf 付 V-040LV-SDN NW40 付 040 V-040LV-SDB 旧 JIS40A 付 STD V-040LV-SDA V-065LV-SDI φ114icf 付 065 V-065LV-SDB 旧 JIS65A 付 V-065LV-SDA NC タイフでは 1ホート側を大気圧以上にした場合内部リークが発生します

11 バリアブルリークバルブ型名品名品目番号製品コート備考 A φ8sus 管付バリアブルリークバルブ A φ34icf 付使用真空領域大気圧 ~10-8 Pa 程度調節可能最小リーク量 Pa m 3 /sec 以下 1 バルブ全閉時リーク量 Pa m 3 /sec 以下 2 許容加熱温度ガスケット寿命約 300 回シール ( 室温使用時 ) 約 30 回シール ( ベーキングを伴う場合 ) 1.3kg 1. 圧力 0.2MPa の He ガスをのガス導入側に接続し φ70icf 側を真空に排気している状態での値です 2. 御使用状況により再調整が必要となります 3. ガス導入側及び φ70icf 側を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です

12 インレットバルブ型名品名品目番号製品コート備考 A φ70icf 付, ベローズ軸シールインレットバルブ A NW25 付, ベローズ軸シール使用真空領域大気圧 ~10-7 Pa 程度バルブ全閉時リーク量 Pa m 3 /sec 以下 1 オリフィス径 φ8.5mm 許容加熱温度 2 バルブ開時 150, バルブ閉時 kg 1. ふっ素ゴムのガス透過は仕様外 2. ベーキングはハンドルを取り外してから行って下さい

リークバルブ 951-7177 951-7178 型名品名品目番号製品コート備考 951-7177 0190-09393A 31010 φ70icf 付, O リング軸シール 951-7178 リークバルブ 0190-09362A 31011 NW25 付, O

13 リークバルブ型名品名品目番号製品コート備考 A φ70icf 付, O リング軸シールリークバルブ A NW25 付, O リング軸シール使用真空領域大気圧 ~10-7 Pa 程度バルブ全閉時リーク量 Pa m 3 /sec 以下 1 オリフィス径 φ3.5mm 許容加熱温度 kg 1. ふっ素ゴムのガス透過は仕様外 2. ベーキングはハンドルを取り外してから行って下さい

14 エアーリークバルブ型名品名品目番号製品コート備考 A φ70icf 付, O リングシール握り式エアーリークバルブ A NW25 付, O リングシール握り式 A NW40 付, O リングシール握り式使用真空領域大気圧 ~10-7 Pa 程度バルブ全閉時リーク量 Pa m 3 /sec 以下 1 オリフィス径 φ10mm 許容加熱温度 kg 1. ふっ素ゴムのガス透過は仕様外

15 アイソレイトバルブ型名品名品目番号製品コート備考 V-025SV A AC100V V-025SV-200 アイソレイトバルブ A AC200V 型名 V-025SV-100 V-025SV-200 使用圧力領域大気圧 ~10-2 Pa 程度リーク量 <10-6 Pa m 3 /sec コンダクタンス 420L/min 1 電磁弁通電後の排気開始時間約 15sec 2 電磁弁非通電後のベント開始時間約 0.5sec メンテナンスタイム 10,000 サイクルまたは 1 年使用流体大気またはガス ( 腐食性ガスを除く ) 使用環境温度 10 ~40, 湿度 90% 以下 ( 結露なし ) 電磁弁定格 1φ,AC100V,50/60Hz,3.1W 1φ,AC200V,50/60Hz,3.4W 1kg 1.20 空気に対する分子流領域での参考値です 2. 被排気系側が大気圧の場合は瞬時に排気します

16 排気系構成例配線配線は油回転ポンプのモーター停止時にバルブへの電力供給が停止するように配慮願いますバルブ動作原理 ( 斜線部真空 RP: 油回転ポンプ )

17 手動ゲートバルブ呼び径 1.5 には握り手は付きません STD タイプ呼び径型名品目番号製品コート備考 φ70icf 付 φ114icf 付 φ152icf 付 φ203icf 付 φ253icf 付 MSB タイプ呼び径型名品目番号製品コート備考 A φ70icf 付 A φ114icf 付 A φ152icf 付 A φ203icf 付 A φ253icf 付寸法一覧呼び径寸法 A B C E K D F G H J STD MSB STD MSB L φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ86

18 駆動方式手動駆動使用真空領域 STD: 大気圧 ~10-7 Pa 程度 MSB: 大気圧 ~10-8 Pa 程度リーク量 Pa m 3 /sec 以下 1 全開時コンダクタンス下記一覧参照許容加熱温度バルブ開時 :150, バルブ閉時 :125 2,3 許容最大差圧バルブ静止時 :±1 気圧, バルブ動作時 :±133Pa 寿命ベローズ :10,000 サイクル, メンテナンスタイム :5,000 サイクルまたは 1 年下記一覧参照 1. ふっ素ゴム O リングのガス透過は仕様外 2. 自動ゲートバルブのアクチュエータ電磁弁は加熱不可で許容周囲温度は MSBタイプのみバルブ開時加熱温度が 6 時間以内であれば 200 まで可能全開時コンダクタンス呼び径コンダクタンス L/sec L/sec 4 600L/sec 6 1,450L/sec 8 2,730L/sec 一覧呼び径 STD MSB kg 3.0kg kg 7.9kg kg 12.6kg kg 19.8kg kg 30.8kg ポジションインディケータ定格電圧 (V) 無誘導負荷 (A) 誘導負荷 (A) 抵抗負荷ランプ負荷誘導負荷電動機負荷常時閉路常時開路常時閉路常時開路常時閉路常時開路常時閉路常時開路 AC AC DC DC DC DC DC ( 注 ) リード線色 ( 線長 300mm): 開信号用 / 赤 (COM), 白閉信号用 / 青 (COM), 緑

19 自動ゲートバルブ STD タイプ呼び径型名品目番号製品コート備考 φ70icf 付 φ114icf 付 φ152icf 付 φ203icf 付 φ253icf 付 A φ305icf 付 A φ356icf 付 MSB タイプ呼び径型名品目番号製品コート備考 A φ70icf 付 A φ114icf 付 A φ152icf 付 A φ203icf 付 A φ253icf 付 A φ305icf 付 A φ356icf 付

20 寸法一覧呼び径寸法 A B C D E K F G H J STD MSB STD MSB L M N φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ φ 駆動方式空圧による自動駆動使用真空領域 STD: 大気圧 ~10-7 Pa 程度 MSB: 大気圧 ~10-8 Pa 程度リーク量 Pa m 3 /sec 以下 1 全開時コンダクタンス下記一覧参照許容加熱温度バルブ開時 :150, バルブ閉時 :125 2 許容最大差圧バルブ静止時 :±1 気圧, バルブ動作時 :±133Pa 寿命ベローズ :10,000 サイクル, メンテナンスタイム :5,000 サイクルまたは 1 年動作エア圧範囲 1.5 ~4 :0.3~0.5MPa,6 ~12 :0.4~0.5MPa 電磁弁種類 4 方口電磁弁 (AC200V 50/60Hz) 接続口 Rc1/4 下記一覧参照 1. ふっ素ゴム O リングのガス透過は仕様外 2. 自動ゲートバルブのアクチュエータ電磁弁は加熱不可で許容周囲温度は MSBタイプのみバルブ開時加熱温度が 6 時間以内であれば 200 まで可能全開時コンダクタンス呼び径コンダクタンス L/sec L/sec 4 600L/sec 6 1,450L/sec 8 2,730L/sec 10 4,350L/sec 12 6,420L/sec 一覧呼び径 STD MSB kg 3.5kg kg 8.4kg kg 13.0kg kg 20.6kg kg 31.8kg kg 54.0kg kg 74.0kg ポジションインディケータ交流定格 125AC 抵抗負荷電流 (A) 5 直流定格 8VDC 14VDC 30VDC 115VDC 抵抗負荷抵抗負荷抵抗負荷抵抗負荷電流 (A) ( 注 ) リード線色 ( 線長 300mm): 開信号用 / 赤 (COM), 白閉信号用 / 青 (COM), 緑

形式 :WYPD 絶縁 2 出力計装用変換器 W UNIT シリーズパルスアイソレータ ( センサ用電源付 2 出力形 ) 主な機能と特長パルス入力信号を絶縁して各種のパルス出力信号に変換オープンコレクタ電圧パルスリレー接点パルス出力を用意センサ用電源内蔵耐電圧 2000V AC 密着

形式 :WYPD 絶縁 2 出力計装用変換器 W UNIT シリーズパルスアイソレータ ( センサ用電源付 2 出力形 ) 主な機能と特長パルス入力信号を絶縁して各種のパルス出力信号に変換オープンコレクタ電圧パルスリレー接点パルス出力を用意センサ用電源内蔵耐電圧 2000V AC 密着絶縁 2 出力計装用変換器 W UNIT シリーズパルスアイソレータ ( センサ用電源付 2 出力形 ) 主な機能と特長パルス入力信号を絶縁して各種のパルス出力信号に変換オープンコレクタ電圧パルスリレー接点パルス出力を用意センサ用電源内蔵耐電圧 2000V AC 密着取付可能アプリケーション例フィールド側のパルス信号を直流的に絶縁してノイズ対策を行うパルス出力の種類を変換 ( 例