真空コンポーネント部品VACUUM　COMPONENT

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1 真空コンポーネント部品 VACUUM COMPONENT 総合カタログ 1

2 目次 Contents NW 規格 (NW Standard) NW フランジシリーズ (Short/Long Flange) ブランクフランジ (Blank Flange) クランプシリーズ (Clamp Ring) NW アダプアー (Adaptor) ゲージポート (Gage Port) センターリングシリーズ (Center Ring/Outer Ring) 変換レジューサ (Reducer)/ ティー (Tees) クロス (Cross)/ エルボ (Elbow) ニップル (Nipple)/ フレキシブルチューブ (Flexible Tube) ICF 規格 (ICF Standard) ミニフランジ (Mini Flange) ブランクフランジ ( 固定 )(Blank Flange) 穴あきフランジ ( 固定 )(Bored Flange) ブランクフランジ ( 回転 )(Rotatable Blank Flange) 穴あきフランジ ( 回転 )(Rotatable Bored Flange) 両面エッジフランジ ( ブランク / 穴あき )(Doublesided Flange) 変換フランジ (Zerolength Adaptor) ビューポート (View port) ニップル (Nipple)/ エルボ (Elbow) テェー (Tees)/ クロス (Cross) 6 方向クロス /ICF アダプター (Adaptor) ガスケットシリーズ (Gasket) ISO 規格 (ISO Standard) クロークランプシリーズ (Single, Double Claw Clamp) 5P 7P 8P 9P 10P 11P 1P 13P 15P 16P 17P 18P 19P 0P 1P P 3P 4P 5P 6P 7P

3 目次 Contents JIS B 90(VF/VG) フランジ (VF/VG Flange) 真空ホース (Vacuum Metal Hose) その他部材 (Other Parts) 保護キャップ (Flanges Cap)/NW 用 O リング (NW O-Ring) 関連製品 (Other Components) 真空配管類 (Vacuum Pipes) ガス配管 (Gas Pipes) 8P 3P 33P 34P 35P 3

4 NW Standard NW/KF 規格製品 NW/KF(Klein Flange) 規格は真空分野での低真空から高真空領域で使用される配管継手部品から構成されます 同じサイズのフランジの間に 封止するための O リングをつけてクランプで締め付けることで 真空を保つことができます カップリングの基本原理 NW/KF 規格のクランプは一対のアルミボディをスイングさせてフランジに取り付けて蝶ネジで締めこみます これにより配管 / 継手を接合させ 真空装置や他機器間への真空引きができます 4

5 NW Standard NW/KF 規格は 真空装置やコンポーネットを構成する中でも真空配管や排気部分等 真空領域を作り出すためには不可欠は役割を担っております 弊社では国内 / 海外の製造会社と協力して JIS パイプに適応するショートフランジ及びロングフランジを製造販売しております NW Short Flange NW フランジ NW ショートフランジ 10L 材質 :SUS304 規格 製品コード TYPE A B C D E NW16 KFS1610 B NW5 KFS510 A NW40 KFS4010 A NW50 KFS5010 B NW ショートフランジ 0L 材質 :SUS304 規格 製品コード TYPE A B C D E NW16 KFS160 B KFS160-K E KFS50 A NW5 KFS50-5S A KFS400 A NW40 KFS400-5S A KFS500 B NW50 KFS500-5S B NW63 KFS630 C KFS800-T C NW80 KFS800-S D NW100 KFS1000-T C KFS1000-S D TYPE:A TYPE:B TYPE:C TYPE:D TYPE:E 5

6 NW Standard NW Long Flange NW フランジ NW ロングフランジ 50L 材質 :SUS304 規格製品コード TYPE A B C D E NW16 KFL1650 B KFL1650-K E NW5 KFL550 A NW40 KFL4050 A NW50 KFL5050 B NW63 KFL6350 C NW ロングフランジ L 材質 :SUS304 規格 製品コード TYPE A B C D E NW16 KFL16 KFL16-K B E NW5 KFL5 A NW40 KFL40 A 特型 NW フランジ 材質 :SUS304 規格 製品コード A B C D L NW5 KF5/5A-0L NW5 KF5/5A-30L NW40 KF40/40A-0L NW40 KF40/40A-30L

7 NW Standard Blank Flange ブランクフランジ NW ブランクフランジ材質 :SUS304 規格製品コード φa φb φc t t1 KFB NW16 KFB16-B KFB16-B KFB16-B KFB NW5 KFB5-B KFB5-B KFB5-B KFB NW40 KFB40-B KFB40-B KFB40-B KFB NW50 KFB50-B KFB50-B KFB50-B NW63 KFB NW80 KFB NW100 KFB

8 NW Standard Clamp Ring クランプリング アルミクランプ ( 二点式 ) 本体 :AL A 規格製品コード A B C NW16 NW5 NW40 NW50 Clamp Chain KF16-CP KF16-CPK KF5-CP KF5-CPK KF40-CP KF40-CPK KF50-CP KF50-CPK クランプチェーン 本体 : ステンレス +AL TYPE:A TYPE:B 規格 製品コード TYPE φa φb D T NW16 KF16-CC A 60 0 NW5 KF5-CC A 3 0 NW40 KF40-CC A NW50 KF50-CC A NW63 KF63-CC B NW80 KF80-CC B NW100 KF100-CC B

9 NW Standard NW Adaptor NW アダプター 材質 SUS304 継手 SUS316L 表面処理 酸洗 オスタイプも製作できます ( 型式末を M に変更して下さい ) 製品コード φa φb φc KFB5-1/4VF KFB5-3/8VF KFB5-1/VF KFB40-1/4VF KFB40-3/8VF KFB40-1/VF KFB50-1/4VF KFB50-3/8VF KFB50-1/VF Gageport ゲージポート 材質 :SUS304 規格製品コード φa φb h L GP15 GP15-PL GP18 GP18-PL O リング押えは SUS と真鍮がございます 規格 製品コード Oリンク 押え φa φb φb L GP15 GP15-S SUS GP15 GP15-B 真鍮 GP18 GP18-S SUS GP18 GP18-B 真鍮

10 NW Standard センターリング付 O リングは 内側のリング側に封止用のゴムをつけた構成です 使用条件 用途に応じて組合せが異なります Center Ring センターリング センターリング材質 :SUS304+ フッ素ゴム O リング線径 NW16~NW80 φ5 NW100~ φ5.33 規格 製品コード φa φb NW16 KF16-CR NW5 KF5-CR 6 5 NW40 KF40-CR NW50 KF50-CR 5 50 NW63 KF63-CR 68 NW80 KF80-CR NW100 KF100-CR NW100 以上も取り扱っておりますのでご相談ください Outer Ring アウターリング アウターリング付センターリング材質 :SUS304+ フッ素ゴム O リング線径 NW16~NW80 φ5 NW100~ φ5.33 規格型式 φa φb φc φd NW16 KF16-OR NW5 NW40 KF5-OR KF40-OR NW50 KF50-OR

11 NW Standard 継手類 真空装置と真空機器間の気体搬送等を行います ご要望に応じて特注配管の製作も行なっております 別途お問い合わせください NW Reducer 変換レジューサ 材質 :SUS304( 標準材質 ) 材質 SUS304 表面処理 酸洗 その他電解研磨 /GBB も製作可能です 特殊寸法の製作も可能です 規格 製品コード φa φb C φd NW5/16 KF5/16-RE NW40/16 KF40/16-RE NW40/5 KF40/5-RE NW50/5 KF50/5-RE NW50/40 KF50/40-RE NW Tees NW ティー NW50 以上のサイズも製作いたします 材質 SUS304 表面処理 GBB その他電解研磨 / 酸洗も製作可能です その他特殊寸法も製作可能です 規格 製品コード φa B C φd NW16 KF16-TE NW5 KF5-TE NW40 KF40-TE NW50 KF50-TE

12 NW Standard NW Cross NW クロス 材質 SUS304 表面処理 GBB その他電解研磨 / 酸洗も製作可能です 特殊寸法の製作も可能です 規格製品コード φa B φc NW16 KF16-X NW5 KF5-X NW40 KF40-X NW50 KF50-X NW50 以上のクロスも製作しております NW Elbow NW エルボ 材質 SUS304 表面処理 GBB その他電解研磨 / 酸洗も製作可能です 特殊寸法の製作も可能です 規格 製品コード φa B φc NW16 KF16-EL NW5 KF5-EL NW40 KF40-EL NW50 KF50-EL NW50 以上のエルホ も製作しております 1

13 NW Standard NW Nipple NW ニッフ ル 材質 SUS304 表面処理 GBB その他電解研磨 / 酸洗も製作可能です 特殊寸法の製作も可能です 規格 製品コード φa φb φc NW16 KF16-NI NW5 KF5-NI NW40 KF40-NI NW50 KF50-NI NW Flexible Tube フレキシフ ルチューフ 材質 :SUS304 チューブ材質 :SUS304 仕様圧力範囲 :MAX0.MPa~ 超高真空 製品コード ID OD D L 曲げ半径長さ KF16-FT50 50 KF16-FT KF16-FT KF5-FT50 50 KF5-FT KF5-FT KF40-FT50 50 KF40-FT KF40-FT KF50-FT50 50 KF50-FT KF50-FT L 以外の長さも製作いたします ブレード付も製作いたします 13

14 ICF Standard CF 規格製品 CF(Conflat Flang) 規格製品は SUS304L を標準に取り扱いしております CF 規格の形状は真空側に彫られた尖ったミゾ ( ナイフエッジ ) に無酸素銅ガスケットを入れて相手のフランジと挟み込み ボルトでフランジを締め込むことにより高い真空度を保つことができます ICF フランジ ICF フランジは用途に応じてブランク / 穴あき キリ穴 / タップ穴 固定 / 回転の仕様の組み合わせで製造されております 鋭角なナイフエッジが相手方のフランジとかみ合い ガスケットによって締め付けられることにより超高真空領域まで真空引きを実現いたしました 通常のフランジに加え フランジサイズを変換させるゼロレングス変換やフランジ両面にナイフエッジ加工を施した両面エッジフランジも揃えております 14

15 ICF Standard ICF Mini Flange ICF ミニサイス フランシ 材質 SUS304L ボルト穴は末尾が H= キリ穴 T= タップでご指示ください 固定フランジ 規格製品コード TYPE φd φc H PCD ハ イフ 外径 ICF34-BH a ICF34-6.4FH c ICF34-9.6FH c ICF34 ICF34-1.8FH c ICF FH b ICF FH b ICF34-BT a - - M4 7 - ICF FT b M 回転フランジ 規格 製品コード TYPE φd φc φe H PCD ハ イフ 外径 ICF34-RFH d ICF34 ICF RFH e ICF RFH e

16 ICF Standard ICF Blank Flange ICF ブランクフランジ ( 固定 ) 材質 SUS304L ボルト穴は末尾が H= キリ穴 T= タップでご指示ください 規格製品コード φa t N-φn t3 PCD ICF ICF114 ICF15 ICF03 ICF53 ICF-BH φ ICF-BT ICF114-BH M6 8-φ ICF114-BT xM8 9.1 ICF15-BH φ ICF15-BT M ICF03-BH φ ICF03-BT M ICF53-BH φ ICF53-BT M

17 ICF Standard ICF Bored Flange ICF 穴あきフランジ ( 固定 ) 材質 SUS304L ボルト穴は末尾が H= キリ穴 T= タップでご指示ください CF-4.7 は φc の部分が図面と異なります 規格製品コード φa t φb φc N-φn t1 t3 ハ イフ 外径 ICF ICF114 ICF15 ICF-7.FH 6-φ ICF-7.FT 6-M ICF-34FH 6-φ ICF-34FT 6-M ICF-38FH 6-φ ICF-38FT 6-M6 ICF-41FH 6-φ ICF-41FT 6-M6 ICF-4.7FH 6-φ ICF-4.7FT 6-M6 ICF FH 8-φ ICF FT 8-M8 ICF FH 8-φ ICF FT 8-M8 ICF FH 16-φ ICF FT 16-M ICF03 ICF03-153FH φ8.5 ICF03-153FT 0-M ICF53 ICF53-03FH 4-φ ICF53-03FT 4-M

18 ICF Standard ICF Rotatable Blank Flange ICF ブランクフランジ ( 回転 ) 材質 SUS304L ボルト穴は末尾が H= キリ穴 T= タップでご指示ください 規格製品コード φa t φe N-φn t t3 PCD ICF ICF-BRH φ ICF114 ICF114-BRH φ ICF15 ICF15-BRH φ ICF03 ICF03-BRH φ ICF53 ICF53-BRH φ

19 ICF Standard ICF Rotatable Bored Flange ICF 穴あきフランジ ( 回転 ) 材質 SUS304L ボルト穴は末尾が H= キリ穴 T= タップでご指示ください CF-4.7 は φc の部分が図面と異なります 規格製品コード φa t φb φc φe N-φn t1 t t3 ICF-7.RFH φ ICF-34RFH φ ICF ICF-38RFH φ ICF-41RFH φ ICF-4.7RFH φ ICF114 ICF RFH φ ICF RFH φ ICF15 ICF RFH φ ICF03 ICF03-153RFH φ ICF53 ICF53-03RFH φ

20 ICF Standard ICF Doublesided Bored Flange 両面エッジフランジ 材質 SUS304L 規格製品コード φa B φc ICF34 ICF34-DB ICF ICF-DB ICF114 ICF114-DB ICF15 ICF15-DB ICF03 ICF03-DB ICF Doublesided Blank Flange 両面エッジブランクフランジ 材質 SUS304L 規格製品コード φa B C(φ)x 穴数 PCD ICF34 ICF34-DB x6 7 ICF ICF-DB 1.7 ICF114 ICF114-DB ICF15 ICF15-DB x6 8.3x8 8.3x ICF03 ICF03-DB x

21 ICF Standard ICF Zero Length Flange Adaptor ICF 変換フランジ 材質 SUS304L 規格製品コード φa B φc φd ICF/34 ICF M4( 深さ 6) 17 ICF114/34 ICF M4( 深さ8) 17 ICF114/ ICF M6( 深さ8) 38 ICF15/34 ICF M4( 深さ 8) 17 ICF15/ ICF M6( 深さ 10) 38 ICF15/114 ICF M8( 深さ 10) 65 ICF03/34 ICF M4( 深さ 9) 17 ICF03/ ICF M6( 深さ 10) 38 ICF03/114 ICF M8( 深さ 10) 65 ICF03/15 ICF M8( 深さ 10) 103 1

22 ICF Standard ICF Viewport ICF ビューポート コバールビューポート Kodial Viewport 材質 フランシ 部 (SUS304L) 規格製品コード φa φb C D ICF34 ICF34-VK ICF ICF-VK ICF-VKLA ICF114 ICF114-VK ICF15 ICF15-VK ICF03 ICF03-VK 合成石英ビューポート Quarts Viewport 材質 フランシ 部 (SUS304L) 規格 製品コード φa φb C D ICF ICF-VQ ICF114 ICF114-VQ ICF15 ICF15-VQ ICF03 ICF03-VQ その他サファイアビューポート等も取り扱っております

23 ICF Fixed ICF 接続部品 ICF Nipple ICF ニップル 材質 SUS304/SUS316L 表面処理 電解研磨/ 酸洗 /GBB 受注製作品 その他特殊寸法の製作も可能です 規格製品コード A φb φc ICF34 ICF34-NI ICF ICF-NI 100 ICF114 ICF114-NI ICF15 ICF15-NI ICF03 ICF03-NI ICF Elbow ICF エルボ 材質 SUS304/SUS316L 表面処理 電解研磨/ 酸洗 /GBB 受注生産品 その他特殊寸法の製作も可能です 規格 製品コード A φb φc ICF34 ICF34-EL ICF ICF-EL ICF114 ICF114-EL ICF15 ICF15-EL ICF03 ICF03-EL

24 ICF Fixed ICF 接続部品 ICF Tee ICF ティー 材質 SUS304/SUS316L 表面処理 電解研磨/ 酸洗 /GBB 受注生産品 その他特殊寸法の製作も可能です 規格製品コード A B φc φd ICF34 ICF34-TE ICF ICF-TE ICF114 ICF114-TE ICF15 ICF15-TE ICF03 ICF03-TE ICF Cross ICF クロス 材質 SUS304/SUS316L 表面処理 電解研磨/ 酸洗 /GBB 受注生産品 その他特殊寸法の製作も可能です 規格製品コード A φb φc φd ICF34 ICF34-4X ICF ICF-4X ICF114 ICF114-4X ICF15 ICF15-4X ICF03 ICF03-4X

25 ICF Fixed ICF 接続部品 ICF Cross ICF6 方向クロス 材質 SUS304/SUS316L 表面処理 電解研磨/ 酸洗 /GBB 受注生産品 その他特殊寸法の製作も可能です 規格製品コード A B φc φd ICF ICF-6X ICF114 ICF114-6X ICF15 ICF15-6X ICF Adaptor ICF アダプター 材質 SUS304 継手 SUS316L 表面処理 酸洗 その他電解研磨 /GBBも可能です オスタイプも製作できます ( 型式末を M に変更して下さい ) 規格型式 A φb φc D ICF34-1/4VF ICF34 ICF34-3/8VF ICF34-1/VF ICF-1/4VF ICF ICF-3/8VF ICF-1/VF 30.5 ICF 以上の製作も可能です

26 ICF Fixed ICF 接続部品 ICF Gasket ICF ガスケット φa φb アルミ (AL) 金メッキ (AU) 銀メッキ (AG) フッ素ゴム (FK) 取扱いございます キリンス処理 真空パック包装 規格製品コード A B ICF34 ICF34-G ICF ICF-G ICF114 ICF114-G ICF15 ICF15-G ICF03 ICF03-G ICF53 ICF53-G 真空パック包装 ( キリンス処理なし ) 規格 製品コード A B ICF34 ICF34-GN ICF ICF-GN ICF114 ICF114-GN ICF15 ICF15-GN ICF03 ICF03-GN ICF53 ICF53-GN ビニール包装 ( 真空パックなし キリンス処理なし ) 規格 製品コード A B ICF34 ICF34-GNP ICF ICF-GNP ICF114 ICF114-GNP ICF15 ICF15-GNP ICF03 ICF03-GNP ICF53 ICF53-GNP

27 ISO Standard ISO 規格製品 国際規格 (ISO) に準じたフランジ 継手製品を取り扱っております ISO 規格には つのタイプがございます 1 クロー締めタイプ : ツメ状の形をしており 上下からフランジを締めこむ ボルト締めタイプ : ボルト / ナットで構成され 上下からフランジを締めこむ いずれも用途に応じて使い分けられます お気軽にお問い合わせ下さい 取り扱い製品 クロー (MF) タイプ用フランジ ボルト (BT) タイプ用フランジ センターリング シングルクロークランプ ダブルクロークランプ その他継手類 Single Claw Clamps シングルクロー 本体材質 :AL 規格 製品コード A B ISO63~100 ISO63/100SCC.3 M8 ISO160~50 ISO160/50SCC 3.8 M10 ISO30~500 ISO30/500SCC 30.0 M1 Double Claw Clamps ダブルクロー 本体材質 :AL 規格 製品コード A B ISO63~100 ISO63/100DCC 50.3 M8 ISO160~50 ISO160/50DCC 5.1 M10 ISO30~500 ISO30/500DCC 68.0 M1 7

28 JIS Flange Series VF Flange Series VF JIS B90 VF ブランクフランジ SUS304 規格 型式 φd t φpcd N φn VF10 VF10-B VF0 VF0-B VF5 VF5-B VF40 VF40-B VF50 VF50-B VF65 VF65-B VF80 VF80-B VF100 VF100-B VF15 VF15-B VF150 VF150-B VF00 VF00-B VF50 VF50-B VF300 VF300-B

29 JIS Flange Series VF Flange Series VF JIS B90 VF フランジ SUS304 規格製品コード φd t φpcd N-φn φa φa S W VF0 VF0-0A φ VF5 VF40 VF5-5A VF40-40A φ10 4-φ VF50 VF50-50A φ VF65 VF65-65A φ VF80 VF80-80A φ VF100 VF A φ VF15 VF15-15A φ VF150 VF A φ VF00 VF00-00A φ VF50 VF50-50A φ VF300 VF A φ

30 JIS Flange Series VG Flange Series VG JIS B90 VG ブランクフランジ SUS304 規格製品コード φd t φpcd N φn G1 G H VG10 VG10-B VG0 VG0-B VG5 VG5-B VG40 VG40-B VG50 VG50-B VG65 VG65-B VG80 VG80-B VG100 VG100-B VG15 VG15-B VG150 VG150-B VG00 VG00-B VG50 VG50-B VG300 VG300-B

31 JIS Flange Series VG Flange Series VG JIS B90 VG フランジ SUS304 規格製品コード φd t φpcd N-φn φa φa S W G1 G h VG0 VG0-0A φ VG5 VG5-5A φ VG40 VG40-40A φ VG50 VG50-50A φ VG65 VG65-65A φ VG80 VG80-80A φ VG100 VG A φ VG15 VG15-15A φ VG150 VG A φ VG00 VG00-00A φ VG50 VG50-50A φ VG300 VG A φ

32 Vacuum Metal Hose Small-bore tube-end type KKT チューブエンド 長さ : チューブ材質 :SUS304/316L 金具 :SUS316L 仕様圧力範囲 :MAX0.MPa~ 超高真空 特別長さも製作いたします 呼び径製品コード D( チューフ サイス ) ID OD d L 曲げ半径 1/4 KKT-1/4 φ /8 KKT-3/8 φ / KKT-1/ φ Small-bore tube-end Bladed type KKT5 フ レート 付 長さ : チューブ材質 :SUS304/316L 金具 :SUS316L ブレード材質 :SUS304 仕様圧力範囲 :1MPa~ 超高真空 特別長さも製作いたします 呼び径製品コード D( チューフ サイス ) ID OD d L 曲げ半径 1/4 KKT5-1/4 φ /8 KKT5-3/8 φ / KKT5-1/ φ

33 Other Parts Flanges Cap 保護キャップ 材質 : ポリウレタン 最小ロットは 10 個 ~ フランジサイズ NW16 NW5 NW40 NW50 製品コード KF16CAP KF5CAP KF40CAP KF50CAP NW O-Ring NW 用 O リング 材質 :4 種 D( フッ素ゴム ) その他 JIS B 401(P G V)S AS 規格等取扱っております お気軽にご相談ください NW100 以上のサイス もございます 規格製品コード線径 (φa) 内径 (φb) NW10 4DNW NW16 4DNW NW5 4DNW5 5 8 NW40 4DNW NW50 4DNW NW63 4DNW63 5 NW80 4DNW NW100 4DNW

34 Other Components 1 関連製品 真空配管類 Vacuum pipes 半導体製造装置 液晶製造装置 有機 EL 製造装置において欠くことの無い真空配管を素材 (SUS304~SUS316L) から切削加工 TIG 溶接組付け一貫製作いたします 1 本 1 個からご注文承ります ご相談ください ベローズ付真空配管 ( 内面電解研磨 ) ベローズ付真空配管並びに φ350x350l 真空配管 アリ溝フランジ (300x600) NW50/16 ゲージポート付真空配管 NW160 仕様タンク 34

35 GAS PIPES GAS 配管 製品コード A φb 1/8-NI /4-NI /8-NI 材質 SUS316L 1/-NI 特殊寸法 内面 EP 仕様も製作しております 製品コード A φb 1/8-EL /4-EL /8-EL 材質 SUS316L 1/-EL 特殊寸法 内面 EP 仕様も製作しております 製品コード A B φc 1/8-TE /4-TE /8-TE 材質 SUS316L 1/-TE 特殊寸法 内面 EP 仕様も製作しております 材質 SUS316L 製品コード A B φc 1/8-X /4-X /8-X 材質 SUS316L 1/-X 特殊寸法 内面 EP 仕様も製作しております 35