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品川清掃工場 平成 28 年度環境測定結果 1 排ガス測定結果 1 (1) 煙突排ガス 1 (2) 煙道排ガス 2 2 排水測定結果 3 3 焼却灰等測定結果 5 (1) 主灰 ( 含有 性状試験 ) 5 (2) 飛灰処理汚泥 ( 含有 溶出試験 ) 6 (3) 汚水処理汚泥 ( 含有試験 ) 7

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練馬清掃工場 平成 28 年度環境測定結果 1 排ガス測定結果 1 (1) 煙突排ガス 1 (2) 煙道排ガス 2 2 排水測定結果 3 3 焼却灰等測定結果 5 (1) 主灰 ( 含有 性状試験 ) 5 (2) 飛灰処理汚泥 ( 含有 溶出試験 ) 6 (3) 汚水処理汚泥 ( 含有試験 ) 7

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足立清掃工場 平成 28 年度環境測定結果 1 排ガス測定結果 1 (1) 煙突排ガス 1 (2) 煙道排ガス 2 2 排水測定結果 3 3 焼却灰等測定結果 5 (1) 主灰 ( 含有 性状試験 ) 5 (2) 飛灰処理汚泥 ( 含有 溶出試験 ) 6 (3) 汚水処理汚泥 ( 含有試験 ) 7

世田谷清掃工場 平成 27 年度環境測定結果 1 排ガス測定結果 1 (1) 煙突排ガス 1 (2) 煙道排ガス 2 2 排水測定結果 3 3 焼却灰等測定結果 5 (1) 不燃物 ( 含有 性状試験 ) 5 (2) 飛灰処理汚泥 ( 含有 溶出試験 ) 6 (3) スラグ ( ガス化溶融 )( 含

有明清掃工場 平成 28 年度環境測定結果 1 排ガス測定結果 1 (1) 煙突排ガス 1 (2) 煙道排ガス 2 2 排水測定結果 3 3 焼却灰等測定結果 5 (1) 主灰 ( 含有 性状試験 ) 5 (2) 飛灰処理汚泥 ( 含有 溶出試験 ) 6 (3) 汚水処理汚泥 ( 含有試験 ) 7

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練馬清掃工場 平成 29 年度環境測定結果 1 排ガス測定結果 1 (1) 煙突排ガス 1 (2) 煙道排ガス 2 2 排水測定結果 3 3 焼却灰等測定結果 5 (1) 主灰 ( 含有 性状試験 ) 5 (2) 飛灰処理汚泥 ( 含有 溶出試験 ) 6 (3) 汚水処理汚泥 ( 含有試験 ) 7

品目 1 四アルキル鉛及びこれを含有する製剤 (1) 酸化隔離法多量の次亜塩素酸塩水溶液を加えて分解させたのち 消石灰 ソーダ灰等を加えて処理し 沈殿濾過し更にセメントを加えて固化し 溶出試験を行い 溶出量が判定基準以下であることを確認して埋立処分する (2) 燃焼隔離法アフターバーナー及びスクラバ

中央清掃工場 平成 29 年度環境測定結果 1 排ガス測定結果 1 (1) 煙突排ガス 1 (2) 煙道排ガス 2 2 排水測定結果 3 3 焼却灰等測定結果 5 (1) 主灰 ( 含有 性状試験 ) 5 (2) 飛灰処理汚泥 ( 含有 溶出試験 ) 6 (3) 汚水処理汚泥 ( 含有試験 ) 7

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Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 2013 OEG セミナー 硫黄系アウトガスによる電子機器の障害事例 身近に潜む腐蝕原因ガス 2013 年 7 月 9 日 環境事業部 鈴木康之

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 2 目次 1. アウトガスとは? 2. 分析方法 3. 事例 1 ( 梱包資材から出てくる硫黄系ガス ) 4. 事例 2 (LEDの電極を腐蝕させる硫黄系ガス) 5. まとめ

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 3 1. アウトガスとは? 製品に影響を与える様々な汚染物質が いろいろな物から発生している 建築資材 ( クリーンルームなども ) 製造装置構成材料建築資材製品梱包資材 コーキング シーラント 接着剤 製造装置構成材料 製品 梱包資材 パッキン 電源基板 コントローラレンズ封入材 ダンボール

1. アウトガスとは? 大気中には多くの汚染物質が含まれています 移動発生源 固定発生源 車 トラック 火力発電所 PM2.5 分布 ピーク時濃度は 100μg/m3 程度 航空機 火山地帯 PM2.5 火力発電所の稼働率増 汚染物質の環境濃度が増加傾向 Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 4

1. アウトガスとは? 低分子シロキサン 接点障害 (OEG セミナー 2012 で発表 ) 一般的に広く使用されているシリコーンから出てくるシロキサンが接点障害の原因となる シロキサンがガス化し 接点上に付着 接点上にアーク火花により酸化分解し SiO2 の膜が生成することにより導通不良が発生する 硫黄系ガス 金属腐食 硫化水素 二酸化硫黄などの硫黄系ガスは 金属腐食の代表的な原因物質 特に銀は硫黄に対する感受性が強く ごく微量の濃度でも硫化銀を生成し変色 ( 腐蝕 ) が発生する Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 5

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 6 1. アウトガスとは? 基板など電子機器類の硫黄系ガスによる腐蝕事例の報告が最近増加している 特に LEDでは電極 配線などに銀を用いる電子回路を使用しており 急増している 使用環境大気中 封止樹脂 LED 素子 反射板 ( 銀めっき ) S Ag 電極 基板 銀めっき電極膜 S LED 構造 S 梱包材緩衝材 構成材料 LED の電極腐蝕が進行すると 光度及び全光束の低下

2. 分析方法 従来 硫黄系ガス分析するには 純水抽出法で硫酸イオン量を測定していた 測定された硫黄系成分がガス化するかどうかの判定は不可能 効率も悪い 銀は微量の硫黄系ガスにより腐食するどの部材から硫黄系ガスが発生するか特定するには多数の候補を試験する必要がある 高感度な分析が必要 効率のよい分析が必要 材料や製品などから発生する硫黄系ガスを高感度に 効率よく分析する方法を開発した Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 7

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 8 3. 事例 1 ( 梱包資材から出てくる硫黄系ガス ) 暴露試験 銀 銅 銀 銅 SUS アルミ 硫化水素 :200ppm 暴露時間 :48h SUS アルミ 腐蝕テスト前 腐蝕テスト後 測定フロー < 問題点 症状 > < 原因解析 > < 解析結果 > 材料の変色 元素分析 硫黄元素の検出 < 発生源の特定 1> < 発生源の特定 2> < 発生源の特定 3> 周辺部材の調査選定 部材の発生ガス分析 部品 ( 材料 ) の特定

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 9 3. 事例 1 ( 梱包資材から出てくる硫黄系ガス ) 製品の腐蝕要因として 使用状況 腐食の時期等を考察し その梱包材から硫黄成分が発生していることが疑われた ダンボールの一部をガラス容器に分取 ガラス容器容量は 20ml ヘッドスペースガスクロマトグラフ FPD 法

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 10 3. 事例 1 ( 梱包資材から出てくる硫黄系ガス ) 梱包材から発生する硫黄ガスを分析したところ 硫化カルボニル 硫化水素 二硫化炭素の発生が認められた 45 硫化カルホ ニル 35 検出器強度 25 15 硫化水素 二硫化炭素 Unknown 5-5 0 5 10 15 20 25 30 保持時間 (min) ダンボール材発生ガスクロマトグラム

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 11 3. 事例 1 ( 梱包資材から出てくる硫黄系ガス ) 市販されているダンボール数種について調査した 腐蝕性 5 倍単位 ppb(w/w) 試料名称 成分名 硫化カルホ ニル COS 硫化水素 H 2 S 二硫化炭素 CS 2 二酸化硫黄 SO 2 海外製 A 280 80 53 <1.0 海外製 B 440 52 85 <1.0 海外製 C 290 200 130 <1.0 海外製 D 500 69 79 <1.0 国内製 E 160 160 37 <1.0 使用環境の調査や保管場所の再確認 管理方法の確立が必要硫化原因の特定するためには硫化カルボニル 硫化水素の発生について注意が必要

4. 事例 2 (LED の電極を腐蝕させる硫黄系ガス ) LED 素子の腐蝕要因として 構成材料から硫黄成分が発生していることが疑われた 銀電極の変色が確認された 腐蝕箇所 蛍光 X 線による元素分析 硫黄が検出 未使用品 不具合品 Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 12

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 13 4. 事例 2 (LED の電極を腐蝕させる硫黄系ガス ) どこから出てくるのか? 設置場所 保管方法からは硫黄系ガスの発生が考えにくい場合 製品の構成部材から硫黄系ガスが発生していることが疑われる どの部材から 硫黄系ガスが発生するか特定するのには多数の候補を試験する必要がある ヘッドスペースサンプラーとガスクロマトグラフ FPD を組み合わせて硫化にかかわる硫黄系ガス分析を展開することとした 効率のよい分析が可能となり 短期間で原因材料の特定が可能となった

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 14 4. 事例 2 (LED の電極を腐蝕させる硫黄系ガス ) 市販されている直管型 LED 照明 4 種について構成材料から発生する硫黄系ガスを調査した 1 2 3 4 1 2 3 4 メーカー海外メーカー A 海外メーカー B 海外メーカー C 国内メーカー D

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 15 4. 事例 2 (LED の電極を腐蝕させる硫黄系ガス ) 腐蝕原因の分析フロー 1 LED を分解 2 各構成部材をガラス容器に入れ重量を計測 プラグカバー 3 オートサンプラーにガラス容器を入れ測定 ケーシング 電源基板 LED 基板 その他 ( 基板カバー等 ) 構成部材プラグカバーケーシング電源基板 LED 基板その他 ( 基板カバー等 )

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 16 4. 事例 2 (LED の電極を腐蝕させる硫黄系ガス ) 海外メーカー A の LED 基板から 硫化カルボニル 硫化水素 二硫化炭素の発生が認められた 115 硫化水素 95 検出器濃度 75 55 35 15 硫化カルボニル 二硫化炭素 LED 基板 -5 0 5 10 15 20 25 30 保持時間 (min) LED 構成材発生ガスクロマトグラム

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 17 4. 事例 2 (LED の電極を腐蝕させる硫黄系ガス ) 海外メーカー B のその他部材から 硫化水素の発生が認められた 採取量が少ないので 下記の検出器濃度でも 硫化水素は高い濃度である 5 4 硫化水素 検出器濃度 3 2 1 その他部材 0-1 0 5 10 15 20 25 30 保持時間 (min) 正体は 粘着テープ LED 構成材発生ガスクロマトグラム

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 18 4. 事例 2 (LED の電極を腐蝕させる硫黄系ガス ) 1 海外メーカー A の測定結果 単位 ppb(w/w) 部材名称 成分名 硫化カルホ ニル COS 硫化水素 H 2 S 二硫化炭素 CS 2 二酸化硫黄 SO 2 LED 基板 3.3 31 20 <1.0 電源基板 <1.0 <1.0 <1.0 <1.0 プラグカバー <1.0 <1.0 <1.0 <1.0 ケーシング <1.0 <1.0 <1.0 <1.0 その他 8.3 870 26 <1.0

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 19 4. 事例 2 (LED の電極を腐蝕させる硫黄系ガス ) 2 海外メーカー B の測定結果 単位 ppb(w/w) 部材名称 成分名 硫化カルホ ニル COS 硫化水素 H 2 S 二硫化炭素 CS 2 二酸化硫黄 SO 2 LED 基板 <1.0 <1.0 1.9 <1.0 電源基板 <1.0 <1.0 <1.0 <1.0 プラグカバー <1.0 <1.0 <1.0 <1.0 ケーシング <1.0 <1.0 <1.0 <1.0 その他 <1.0 1600 18 <1.0

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 20 4. 事例 2 (LED の電極を腐蝕させる硫黄系ガス ) 3 海外メーカー C の測定結果 単位 ppb(w/w) 部材名称 成分名 硫化カルホ ニル COS 硫化水素 H 2 S 二硫化炭素 CS 2 二酸化硫黄 SO 2 LED 基板 <1.0 <1.0 <1.0 <1.0 電源基板 4.8 <1.0 2.6 <1.0 プラグカバー <1.0 <1.0 <1.0 <1.0 ケーシング <1.0 <1.0 <1.0 <1.0 その他 1.2 <1.0 <1.0 <1.0

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 21 4. 事例 2 (LED の電極を腐蝕させる硫黄系ガス ) 4 国内メーカー D の測定結果 単位 ppb(w/w) 部材名称 成分名 硫化カルホ ニル COS 硫化水素 H 2 S 二硫化炭素 CS 2 二酸化硫黄 SO 2 LED 基板 5.9 <1.0 23 <1.0 電源基板 4.3 <1.0 <1.0 <1.0 プラグカバー <1.0 <1.0 <1.0 <1.0 ケーシング <1.0 <1.0 <1.0 <1.0 その他 <1.0 <1.0 <1.0 <1.0

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 22 4. 事例 2 (LED の電極を腐蝕させる硫黄系ガス ) 直管型 LED 照明構成材料から発生する硫黄系ガス調査のまとめ 海外メーカー A B でかなり高濃度の硫化水素を発生する構成材料が確認された 実際に直管型 LED の体積に換算すると 海外メーカー A 硫化水素発生濃度 140ppb 海外メーカー B 硫化水素発生濃度 260ppb 電子機器 部品の小型化 密閉化により上記のような微量の硫化水素ガスでも問題になる可能性がある

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 23 5. まとめ LED 電極の腐蝕について LED 照明のように長期間の使用を目的としたものに対しては 構成部材から硫黄系ガスの発生を抑制することが大変重要であると考えます 本資料では LEDに特化した内容でしたが それ以外にも様々な電子機器や車載部品なども 同様の対応が重要であると考えます OKI エンジニアリングでは 構成部材ごとのアウトガス分析 構成部材の選定や製造時のロット検査 硫化 シロキサンにかかわる故障解析など様々なご要望にお応え致します

Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 24 ご清聴いただき ありがとうございました お問合せ先 環境事業部調査分析グループ TEL:03-5920-2356 担当 : 鈴木康之 URL: ご連絡をお待ちしております