フッ素樹脂熱交換器 HRSH ペルチェ素子 サーモモジュール 脱イオン水 純水 フッ化水素酸 アンモニア過酸化水素水 など HRS100/150 循環液種類 ケミカルサーモコン 温度コントローラ RoHS HRSH090 フッ素樹脂 熱交換器の採用により 薬液のダイレクト温調を実現 SEMI Standard S2-0706, F47-0706 HRS ペルチェ式薬液温調機 ケミカルサーモコン HED Series AT HRSE THERMO-COM SEL RET 薬液槽 POWER HRZ ON OFF 放熱水 業界トップクラスの高耐水圧 0.35MPaを実現 HECR 漏液検知機能付 HRW HRZD ポンプ 10 c 60 c 0.1 c HEC 設定温度範囲 HEB 温度安定性 ± 冷却能力 水にて 300W 500W 750W HED 技術資料 314
薬液のダイレクト温調を実現 接液部材質にPFAを使用しているため溶出金属イオンによる汚染を防止します チューブ熱交換器が不要 直接温調方式 間接温調方式 チューブ熱交換器不要 薬液の直接温調が可能 THERMO-COM AT 薬液槽 SEL RET 薬液槽 POWER ON OFF 水用 サーキュレータ チューブ 熱交換器 温度 コントローラ ポンプ フッ素樹脂 熱交換器 ケミカルサーモコン ポンプ HED Series 小型 軽量 ペルチェ素子 サーモモジュール 形状にマッチした独自開発の熱交換器を採用 小型 軽量化を実現 W 従来品 H D 熱交換器 型式 W D H 質量 HED003 130 263 170 150 294 222 8kg 14kg 15kg HED005 HED007 外形寸法に取付フート チューブなどの突起部は含まず HEDシリーズ ペルチェ素子 サーモモジュール W H 温度コントローラ D 型式 W D H 質量 HED003 100 140 165 320 350 447 215 215 215 6kg 8kg 13kg HED005 HED007 外形寸法に取付フート ねじ コネクタなどの突起部は含まず アプリケーション 洗浄装置 適応流体例 薬品名 使用温度範囲 薬品名 10 60 アンモニア過酸化水素水 10 60 めっき装置 フッ化水素酸 フッ酸 10 40 水酸化ナトリウム 10 60 ウエットエッチング装置など 硫酸 発煙硫酸は除く 10 50 オゾン水 10 60 硫酸銅水溶液 10 50 ただし結露なきこと 注 本製品は防爆構造ではありませんので 引火性流体はご使用になれません 315 使用温度範囲 脱イオン水 純水
ペルチェ素子 サーモモジュール 電子冷熱素子 の原理 冷却の場合 HRS ペルチェ素子 サーモモジュール 電子冷熱素子 はP型半導体 N型半導体を交互に配列した板状の素子です ペルチェ素子に直流電流を流すと素子の面間で熱が移動し 片面は発熱して温度が上がり 反対面は吸熱し て温度が下がる現象が起こります このペルチェ素子に入力する電流の方向を切替ることで 加熱 冷却が 行えます 応答が速く 高速で加熱と冷却の切替が可能ですので 高精度な温度コントロールができます 加熱の場合 吸熱 冷える 加熱 温まる P ホール流 N 電子流 放熱水 P ホール流 HRSH N 電子流 HRS100/150 循環液 HRSH090 循環液 放熱水 電流 放熱 温まる 直流電源 HRZ 直流電源 吸熱 冷える HRSE 電流 HRZD 構造 原理 ノイズフィルタ 温度 コントローラ コントローラ HRW 電源スイッチ ファン PE DC電源 熱交換器 循環液側 T 温度センサ ペルチェ素子 循環液 IN 熱交換器 放熱側 HEC サーモモジュール HECR 循環液 OUT 熱交換器 漏液センサ 放熱水 OUT HEB 放熱水 IN HED 温度コントローラは熱交換器を通過する循環液温度を制御します 熱交換器内に設けた温度センサ 白金測温抵抗体 からコントローラに信号が入り 設定温度との差に応じて 内蔵DC電源の出力方向と通電時間をコントロールすることにより循環液温度を制御します 循環液の漏れを検知する漏液センサを標準装備していますので 安心してご使用いただけます 技術資料 316
CONTENTS HED Series ケミカルサーモコン HED Series 機種選定方法... P.318 型式表示方法... P.319 主な仕様... P.320 熱交換器仕様... P.320 温度コントローラ仕様... P.320 冷却能力... P.321 加熱能力... P.321 循環液側圧力損失... P.322 放熱水側圧力損失... P.322 外形寸法図... P.323 コネクタ仕様... P.325 アラーム機能... P.326 メンテナンスについて... P.326 適応流体... P.327 製品個別注意事項... P.328 317
HED HEBHED Series HRSE HRSH HRSH090 HRS100/150 HRS HRZ HRZD HRW HECR HEC 318
HED Series 007 B HED W 2 003 005 007 W 2 A B 13 19 007 B HED C 2 003 005 007 2 A B 007 13 13 HED H W 003 005 007 W 13 19 HED003-W2A13 HED003-W2A19 HED003-W2B13 HED003-W2B19 HED005-W2A13 HED005-W2A19 HED005-W2B13 HED005-W2B19 HED007-W2A13 HED007-W2A19 HED007-W2B13 HED007-W2B19 RoHS 319
HED HEBHED Series HED003-HW13 HED003-HW19 HED005-HW13 HED005-HW19 HED007-HW13 HED007-HW19 HRZ HRSE HRSH HRSH090 HRS100/150 HRS HED003-C2A HED003-C2B HED005-C2A HED005-C2B HED007-C2A HED007-C2B HEC HECR HRW HRZD 320
HED Series HED003 HED005 HED007 HED003 HED005 HED007 321
HED HEBHED Series HED003 HED005 HED007 HED003-HW13 HED005-HW13 HED007-HW13 HRS HED003-HW19 HED005-HW19 HED007-HW19 HRS100/150 HRSH090 HED003 HED005 HED007 HRSH HRSE HRZ HRZD HEC HECR HRW 322
ø HED003-W2 ø HED005-HW HED005-C2 HED003-HW HED003-C2 HED005-W2 HED Series 323
ø HED007-HW HED007-C2 HED007-W2 HED Series 324 HRS HRS100/150 HRSH090 HRSH HRSE HRZ HRZD HRW HECR HEC HED HEB
HED003-C2, HED005-C2 HED003-C2, HED005-C2, HED007-C2 HED003-C2A, HED005-C2A, HED007-C2A HED003-C2B, HED005-C2B, HED007-C2B HED003-C2, HED005-C2, HED007-C2 HED003-C2, HED005-C2 HED003-C2, HED005-C2, HED007-C2 HED007-C2 HED007-C2 HED003-C2, HED005-C2 HED007-C2 HED003-C2, HED005-C2 HED007-C2 HED Series 325
HED Series 326 HRS HRS100/150 HRSH090 HRSH HRSE HRZ HRZD HRW HECR HEC HED HEB
HED Series Hydrofluoric acid Buffered hydrogen fluoride Hydrofluoric acid and Nitric acid mixture Nitric acid Hydrochloric acid Copper sulfate solution Sulfuric acid Ozone Ammonium hydroxide Ammonia hydrogen peroxide solution Sodium hydroxide DI water Ultra pure water A 327
q w q q w e q w e r t q w e r HED Seriesq 328 HRS HRS100/150 HRSH090 HRSH HRSE HRZ HRZD HRW HECR HEC HED HEB
q w e r t y u i o q q w e HED Seriesw 329
q q w e r t y q q w e r HED Seriese 330 HRS HRS100/150 HRSH090 HRSH HRSE HRZ HRZD HRW HECR HEC HED HEB