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1 Q Series Q M R RRc PT M F Q QR mm /8" /" /" /8" /8" /" /" /" /"/" /"/8" /8"0.08" /"/" /"/8" /8"0.08" /8"/" /"/" /8"/" /"/" /"/8" /8"/" /"/8" /8"/" /"/8" /"/8" /"/8" /"/8" /8" /" /" /8" /8" /" /" /" D F D D D

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3 Q Series (0) Q0 Q0 Q0 Q0 W PF.0MPa (MPa) () /8" /" /" ø /" ø /8" /" "

4 PT M W " " " " " " 8" " 8" " " 8" " 8" " " " " " " " 8" 8" " " " Q-M Q-M Q-M QD-M Q-M QF-M Q-M Q-M Q-M QD-M Q-M Q-M Q-M QD-M Q-M Q-M Q-M QD-M RPT M W ø ø ø ø ø ø " " " 8" 8" " " " Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M R(PT) () W () W Q Series

5 Q-F RcPT M W ø ø ø ø ø ø " " " 8" 8" " " " Y Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F RcPT M W " " " " " " 8" " 8" " " 8" " 8" " " " " " " " 8" 8" " " " Y Q-F Q-F Q-F QD-F Q-F QF-F Q-F Q-F Q-F QD-F Q-F Q-F Q-F QD-F Q-F Q-F Q-F QD-F øy () Rc(PT) W W Q Series

6 / Q-M RPT M " " " " " " 8" " 8" " " 8" " 8" " " " " " " " 8" 8" " " " Q-M Q-M Q-M QD-M Q-M QF-M Q-M Q-M Q-M QD-M Q-M Q-M Q-M QD-M Q-M Q-M Q-M QD-M RPT M ø ø ø ø ø ø " " " 8" 8" " " " Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M R(PT) () () Q Series

7 SM Q-F RcPT M ø ø ø ø ø ø " " " 8" 8" " " " Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F RcPT M " " " " " " 8" " 8" " " 8" " 8" " " " " " " " 8" 8" " " " ø. ø. ø. ø ø ø. ø. ø ø. ø. ø. ø ø ø. ø. ø Y Y Q-F Q-F Q-F QD-F Q-F QF-F Q-F Q-F Q-F QD-F Q-F Q-F Q-F QD-F Q-F Q-F Q-F QD-F ØY () Rc(PT) 7 Q Series

8 SM / RPT F M " " " 8" 8" " " " ø ø " " " " " " 8" " 8" " " 8" " 8" " " " " QRD-M QRD-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QRD-M QR-M QR-M QR-M QRF-M QR-M QRD-M QR-M QR-M QR-M RPT F M " " " 8" 8" " " " ø ø QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M QR-M ø ø ø ø ø ø QR-M R(PT) -Ø () () () F 8 Q Series

9 SM RcPT F M ø ø Y ø. ø. ø ø ø. ø. ø ø " " " " " " 8" " 8" " " 8" " 8" " " " " " " " 8" 8" " " " QRD-F QRD-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QRD-F QR-F QR-F QR-F QRF-F QR-F QRD-F QR-F QR-F QR-F RcPT F M " " " 8" 8" " " " ø ø Y ø. ø. ø ø ø. ø. ø ø QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F QR-F ø ø ø ø ø ø QR-F Rc(PT) () () F ØY () -Ø Q Series

10 SM / RPT F M " " " 8" 8" " " " ø ø " " " " " " 8" " 8" " " 8" " 8" " " " " QD-M QD-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M QD-M Q-M Q-M Q-M QF-M Q-M QD-M Q-M Q-M Q-M RPT F M " " " 8" 8" " " " ø ø Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M Q-M ø ø ø ø ø ø Q-M R(PT) -Ø () () F () 0 Q Series

11 SM ØY RcPT F M ø ø Y ø. ø. ø ø ø. ø. ø ø " " " " " " 8" " 8" " " 8" " 8" " " " " " " " 8" 8" " " " QD-F QD-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F QD-F Q-F Q-F Q-F QF-F Q-F QD-F Q-F Q-F Q-F RcPT F M " " " 8" 8" " " " ø ø Y ø. ø. ø ø ø. ø. ø ø Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F Q-F ø ø ø ø ø ø Q-F -Ø Rc(PT) F () () 7.. Q Series

12 SM SM / Q QT M ø ø QT QT QT QT QT QT QT QT QT ø ø ø ø ø QT QT QT QT QT QT QT QT QT " " " 8" " " 8" " " F M M ø ø Q Q Q Q Q Q Q Q Q ø ø ø M ø ø Q Q Q Q Q Q Q Q Q " " " 8" " " 8" " " F Ø () () -Ø () () () F Q Series

13 SM / K J M t W ø. ø0. ø. ø QP QP QP QP QP QP QP QP QP ø ø ø ø. ø0. ø. ø QP QP QP QP QP QP QP QP QP " " " 8" " " 8" " " K J M t W M W QU QU QU QU QU QU QU QU QU ø ø ø QU QU QU QU QU QU QU QU QU " " " 8" " " 8" " " M W QU () () W ØK J () () (max.t) W QP W W Q Series

14 SM SM SM SM T P U mm /"/" /"/8" /8"0.08" /8"/" /"/" /"/8" /8"/" /"/8" /"/8" t S Q Q Series

15 Q P 07 øø øø ø ø ø /8"0.08" /"/8" /"/" /8"/" /"/8" /"/8" classm. classm. Q U 0 U U classm. classm. øø øø ø ø ø /8"0.08" /"/8" /"/" /8"/" /"/8" /"/8" Q P classm. classm. Q Series

16 ø ø /8" /" ø /" /8" /" /" Q-07 Q-07 Q-0 Q-0 Q /"/8" /8"Q-U0 /" Q-U07 /8" Q-U0 ss'y q Q, Series M-0- Q Series

17 00% cetic acid 00% cetone 0% mmonium fluoride 0% mmonium hydroxide 00% utyl acetate 00% Methylne chloride 8% ydrochloric acid 0% ydrofluoric acid 0% ydrogen peroxide 00% Methanol Methyl ethyl Ketone 70% itric acid 8% Phosphoric acid 8% austic potash 00% Sulfuric acid Toluene Xylene 00% Sodium hydroxide..- 00%..-Trichloroethane Rhosphorus pentachloride Isobutyl alcohol Isopropyl alcohol Ozone thyl acetate Pure water itrogen Ultrapure water Tmah 00 SM 7

18 q SMM-0- Q Series q w e r t q w q Q, Series M-0- w / m eqq /8 / /8 / / m r m

19 q w e r a) b) c) t q q wq q mm q q w e øø ø ø ø /8"0.08" /"/8" /"/" /8"/" /"/8" /"/8" (mm) (mm) w SMM-0- Q Series

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