エレクトロニクス産業　洗浄用／プロセス用　一流体スプレーノズル

No.J91C

HYDRAULIC NOZZLES for ELECTRONICS CONTENTS P3 / P3 P4 PVDF P4 UPE P5 PPS P6 / P8 PFA P8 P9 PVC P1 2 P11

P L S FullJet / VeeJet / ProMax QuickJet.3852L/min.9347L/min.5335L/min.3734L/min 4391 482 6124 1.51..31..33.5.33.5 SUS33SUS316PVC 2 BSPT1/81/2 / 1 2 NPTBSPTPTR P.3.3.593.2L/min 2511 3.928L/min 2595.741L/min 58 1.1L/min 11 1.3.31.4.51..3 PP/PVDF PP PP PP 2 BSPT1/81/4 BSPT1/43/8 BSPT1/43/8 BSPT1/43/8 1 2 NPTBSPTPTR 3

PVDF Ceramic Nozzle / UPE Nozzle PVDF セラミックノズル < 材質 > オリフィス : ハイアルミナセラミックボディ :PVDF YB1/4MPVDFVP-652IC YB1/4MPVDFVP-653IC YB1/4MPVDFVP-92IC YB1/4MPVDFVP-93IC 高純度セラミックのオリフィスをPVDFボディにインサート成形 耐摩耗性に優れ 長期間の使用が可能 は65 9 の2 種類 相当オリフィス径 1.4 1.4.5.8.8.1 1.7 1.7.2.3.4 3.5 3.5 2.8 4.2 2.8 4.2.8 3.3 4.9 3.3 4.9 1. 5.5 14 六角 ) φ15.2 25.4 UPE ノズル UPE 高分子ポリエチレン ) 材を使用した切削加工ノズル 耐摩耗性に優れ 研磨剤のスプレーに最適 オリフィス部は反射ミストなど研磨剤の影響を受けにくい設計 < 材質 >UPE 高分子ポリエチレン ) 相当オリフィス径.5.1.2.3.4.8 1..3 時 ) YB1/4U-UPE651.2 YB1/4U-UPE6512.8 2.2 3.3 4.2 4. 5. 4.6 5.8 5.7 7.1 6.6 8.2 7.4 9.2 65 12 平行部 ) 5.5.3 時 ) 65 9 P プリント基板 用途プリント基板の洗浄 リンス ご注文方法をご明示ください P プリント基板 用途研磨剤スプレー φ14.2 25.4 ご注文方法をご明示ください 4

< 材質 >PPS ポリフェニレンサルファイド ) PPS フルコーンノズル プリント基板の現像 エッチングに好適な山形流量分布 ベーン 内部羽根 ) が工具なしで脱着可能 メンテナンスが容易 ホールド機構により 使用中の脱落なし 円形タイプと角形タイプの 2 種類 P プリント基板 PPS Full Cone Nozzle 円形タイプ オリフィス呼び径.7.1.15.2.3.4.2 時 ) Y32226-B1/4HH-PPS6.5-65 2.2 2.5 2.9 3.5 4. 4.9 5.6 6.7 65 Y32226-B1/4HH-PPS8.1-7 2.5 3.1 4.4 5. 6.1 6.9 8.4 7 Y32226-B1/4HH-PPS9.8-75 4.4 5.3 6.1 7.3 8.3 1. 75 角形タイプ オリフィス呼び径.7.1.15.2.3.4.2 時 ) Y32226-B1/4HH-PPS8.4SQ-65 2.8 3.2 3.8 4.5 5.2 6.2 7.1 8.8 65 円形タイプ ベーン 11 用途プリント基板の現像 エッチング φ14 21 3) ご注文方法をご明示ください 角形タイプ ベーン 11 φ14 21 3) 5

Kynar FullJet / VeeJet Nozzle カイナーフルジェット / カイナービージェットノズル R 高純度 PVDF Kynar ) 製スプレーノズル 優れた強度と耐久性 標準的なサイズ 流量サイズをカバー フルコーン HH-KY) タイプはレンチによる取付が容易なフランジ付きボディ フラット VV-KY U-KY) タイプはフランジ平行部によりスプレー方向の設定が容易 HH-KY タイプ 小型 VV-KY タイプ U-KY タイプ P L プリント基板 液晶 S 半導体 流量範囲.5~11L/min.25~1.8L/min ~68L/min 52 ~82 4 ~12.3 時 ) 4 ~12.3 時 ) 推奨圧力範囲.7~.7.3~3.5.3~3.5 材質 R 高純度 PVDFKynar ) BSPT1/8 1/4 3/8 オス ) BSPT1/8 1/4 オス ) BSPT1/4 3/8 オス ) 用途各種洗浄 リンス 現像 エッチング 冷却 鎮塵 消泡など HH-KY タイプ フルコーン ) R < 材質 > 高純度 PVDFKynar ) オリフィス呼び径.7.15.2.3.4.7 各圧力における.7.15 BSPT) B1/8HH-KY1.3 1..5.7.8.97 1.1 1.3 1.4 52 65 59 B1/8HH-KY3 B1/8HH-KY4 1.5 1.9 1.1 1.5 2.2 1.9 2.5 2.2 2.6 3.4 4.1 3.3 4.4 52 52 65 65 59 59 1/8 オス ) B1/8HH-KY6 3.2 4.5 5.1 6.1 6.6 67 75 63 B1/4HH-KY6 B1/4HH-KY8 3.2 4.3 4.9 4.5 6. 5.1 6.8 6.1 8.2 6.6 8.8 67 58 75 7 63 64 1/4 オス ) B3/8HH-KY6 3.2 4.5 5.1 6.1 6.6 67 75 63 B3/8HH-KY8 BSPT オス ) A 六角 ) 4.3 4.9 6. 6.8 8.2 8.8 58 7 64 3/8 オス ) B3/8HH-KY1 2.8 3.8 5.4 6.2 7.4 8.5 1.2 11. 58 7 64 B 直径 ) L 全長 ) 6 ご注文方法をご明示ください L 全長 ) A 六角 ) B 直径 ) BSPT1/8 オス ) 22.2 9.5 15.9 BSPT1/4 オス ) 25.4 12.7 19.1 BSPT3/8 オス ) 26.2 12.7 19.1 NPT もあります BSPTのネジ寸法はPTおよびRの規格に相当します

小型 VV-KY タイプ フラット ) R < 材質 > 高純度 PVDFKynar ) ノズルタイプ HB1/8VV-KY HB1/4VV-KY.3 時 ) 4 5 65 8 95 11 12 流量サイズ 2 25 3 4 5 6 相当オリフィス径.91 1. 1.1 1.3 1.4.3.25.31.37.5.62.75.1.46.57.68.91 1.1 1.4.3.5.7 1..79.99 1. 1.3 1.5 2.5 3.1 1.5 3.6 1.4 2.2 2.9 3.6 4.3 2.6 3.1 4.1 5.1 6.1 3.5 2.7 3.4 4. 5.4 6.7 8.1 BSPT) 1/8 または 1/4 オス ) Kynar FullJet / VeeJet Nozzle 8 1. 3.2 4.1 4.8 5.8 8.2 1.8 液温により推奨圧力範囲が変わる場合があります ご注文方法ノズルタイプ 流量サイズをご明示ください 例 HB1/8VV-KY 4 2 ノズルタイプ 流量サイズ φ15.9 *7/16 インチのレンチに適合 11.3 六角 ) * 14.3 フランジ平行部 ) 1.9 22.2 33.3) NPT もあります BSPT のネジ寸法は PT および R の規格に相当します #5 相当のストレーナーを装着できます オプション ) BSPT1/8 または 1/4 オス ) ストレーナー オプション ) U-KY タイプ フラット ) R < 材質 > 高純度 PVDFKynar ) ノズルタイプ.3 時 ) 4 5 65 8 95 11 12 流量サイズ 相当オリフィス径.3.1.3.5.7 1. 3.5 BSPT) 1 3.9 5.1 6. 7.2 1.2 13.5 HB1/4U-KY HB3/8U-KY 15 2 3 4 2.8 3.6 4. 1.9 2.5 5. 3.4 4.6 6.8 9.1 5.9 7.9 1 15.8 7.6 1.2 15.3 2. 9. 12.1 18.1 24. 1.8 14.4 2 29. 15.3 2. 31. 41. 2. 27. 4. 54. 1/4 または 3/8 オス ) 5 4.4 6.2 11.4 19.7 25. 3. 36. 51. 68. 液温により推奨圧力範囲が変わる場合があります ご注文方法ノズルタイプ 流量サイズをご明示ください 例 HB1/4U-KY 4 1 ノズルタイプ 流量サイズ φ22.2 25.4 *11/16 インチのレンチに適合 17.5 六角 ) * 19 フランジ平行部 ) 11.9 NPT もあります BSPT のネジ寸法は PT および R の規格に相当します BSPT1/4 または 3/8 オス ) 7

PFA Full Cone Nozzle / Full Cone Nozzle with Small Capacity < 材質 >PFA パーフルオロアルコキシアルカン ) オリフィス呼び径 PFA フルコーンノズル 低圧 微小流量でも安定した円形フルコーンパターンを生成 中央部が均等な流量分布 エッチング 現像に好適 耐食性に優れた PFA 製 設置場所を選ばないコンパクト形状.7 Y32223-B1/8HH-PFA3 1.5 1.1.1 1.3 用途液晶 半導体の洗浄 リンス 現像 エッチングなど.15.2.3 2.2.4 12 フランジ平行部 ) ご注文方法をご明示ください φ14 2.8 各圧力における.7 52.15 18 65 59 R1/8 L 液晶 S 半導体 R1/8 小流量フルコーンノズル 少流量薬液スプレー用樹脂製ノズル フルコーンノズル中最小流量 少流量において優れた均一流量分布を形成 L 液晶 S 半導体 < 材質 >PVC オリフィス呼び径.7.1.15.2.3 各圧力における.7.15.3 R1/8 1 平行部 ) Y32223-B1/8HH-PVC.8.79.31.37.44.5.61 47 65 72 R1/8 φ12 22 用途液晶 半導体の洗浄 リンス 現像 エッチングなど ご注文方法をご明示ください 8

B1/8K-PVC B1/4K-PVC.5 1 2 5 1 15 mm.58.84 1.9 2.7 3.3 PVC.64 3.2 4.8.38.76 1.9 3.8 5.7 L/min.23.46.91 4.6 6.8.28.56 1.1 2.8 5.6 8.4.32.64 1.3 3.2 6.4 9.7 SUS33.39.79 3.9 7.9 1.46.91 4.6 9.1 1 83 114 115 98 89 13 113 128 133 113 75 122 128 129 142 145 123 BSPT.5.7.1.15.2.3.4.5.15.4 1/8 1/4 L S Hollow Cone Fine Spray Nozzle / Flood Jet Nozzle B A BSPT1/8 1/4 B1/8K-PVC.5 T L mm L A B T.51.5 23.8 7.9 12.7 11.1 BSPT1/8K 212 25.4 1.8 12.7 11.1 1518 3.9 14. 15.9 14.3 21 3.9 1.8 15.9 14.3 BSPT1/4K 1524 34.1 14. 15.9 14.3 NPTBSPTPTR 9

Compact Hydraulic Spray Header コンパクト一流体ヘッダー 仕様 ヘッダー部 全長材質耐圧インレット 15 2 25mm) SUS34SUS316での製作も可能 ) 約 3.5 Rc1/4 ヘッダー両端 ) 特長 超軽量仕様 ヘッダー全長 25mm で約 2.8kg) 小流量スプレーでも安定した性能を実現 高さ 16mm 厚み 16mm のコンパクト設計 ヘッダー全長は ~25mm と幅広いラインアップ 狭いスペースでも小流量ノズルの配置が可能 ノズルチップ スプレーパターン 材質 フラットスプレーチップガスケットリテーナーリング SUS33 PTFE SUS34 L 液晶 ノズルチップ単体 ヘッダー TOTAL ノズルチップ流量サイズ 相当オリフィス径 目安値 ) [ mm].1.2.3.5.3 時 ) 流量 L/min) の目安.3 時 ノズルピッチ5mmの場合 1 1 1 1 mm 2) 15mm 3) 2mm 4) 25mm 5) 33.1 -.11.13.17 2.6 3.9 5.2 6.5 5.15 -.16.2.25 4. 6. 8. 1. 67 1.2.25 -.23.22.32.26.39.34.51 11 5.2 7.8 7.8 11.7 1.4 15.6 1 19.5 2.4.46.64.79 1. 15.8 2 3 2 39.5 4.55.91 1.3 3 2 2 2 48. 64. 8. 1 ) 内はノズル個数 2 性能確保のため ヘッダー本体の形状を調整することがあります 製作例ヘッダー材質 :SUS34/ ヘッダー全長 :25mm/ ノズルピッチ :5mm/ ノズル設置数 :5 個 1242.5 25 15 2-M6 P5 49=245 A Rc-1/4 Rc1/4 矢視 A ヘッダーマニフォールド.3 5.5 MAX) 3 M9 1 インレット部詳細 28 16 3 取付プレート 取付ネジ 2-M6) 16 16.9) 38 φ8 φ7.6 ガスケット PTFE) スプレーチップ リテーナーリング SUS33)SUS34) ノズルチップ 5 2-M6 25 15 Rc1/4 19 用途液晶洗浄 薬液供給 基板への補水 湿潤 装置内治具洗浄など ご注文方法 例 上記製作例に流量サイズ 33 のノズルチップを装着した場合 YH 弊社識別番号 - 25-5 - 33 5 ヘッダー型式 ヘッダー全長 ノズル ピッチ ノズルチップ流量サイズ ノズル 設置数 1

1 粘性によるスプレー分布の変化 使用ノズル :PFA フルコーンノズル / 圧力 :.16 / 測定位置 : ノズルから 165mm 1mPa s 水 ) の場合 75 5 25 エッチング工程における液の粘性とスプレー性能 スプレー液体の粘度が上がるほど スプレー状態は勢いを失い スプレー分布が変化します 水量 [%] 距離 [mm] 単位 :1cP センチポアズ ) =1mPa s ミリパスカル秒 ) 2 粘性液にあわないノズルのスプレー状態 参考例 :3mPa s 粘性液スプレー 圧力 :.15 技術情報 ノズル本来のスプレーパターンを形成しにくく 特に低圧ではパターンの形成が著しく低下します Technical Data 2mPa s 粘性液の場合 圧力 :.2 水量 [%] 75 5 25 距離 [mm] 3mPa s 粘性液の場合 圧力 :.3 水量 [%] 75 5 25 距離 [mm] 3 粘性液にあったノズルのスプレー分布とスプレー状態 使用ノズル :3mPa s エッチング液用オーダーメイド品 / 測定位置 : ノズルから 165mm 水量 [%] 水量 [%] 圧力 :.15 75 5 25 圧力 :.2 75 5 25 距離 [mm] 距離 [mm] 圧力 :.15 粘性液のスプレーにはご使用条件に適したノズルの選定が必要です エッチング液スラッジの堆積によるスプレー分布の経時変化 エッチング液使用後の水分布測定事例 エッチング液 塩化第二鉄液など ) は ノズル内部ベーン 液体を旋回させスプレーパターンを形成させる部品 ) 表面にスラッジを堆積させます スラッジの堆積は使用時間と共に増加し スプレー分布やスプレーパターンに影響を与えます スラッジの堆積と共にスプレー分布は外周部に流体が集まる傾向を示します エッチング液使用前使用後 / スラッジの堆積小使用後 / スラッジの堆積大 定期的な点検やメンテナンス ノズル交換が必要です ノズル位置はグラフ中央 11

5-1-25 5-1-25 36 923-311 7614331 FAX 76143198 8-1-14 812-41 926271715 FAX 926271716 28-214 149-5