3M Novec 高機能性液体 3M Novec Engineered Fluids
Smart. Safe. Sustainable. High-performing science with a purpose helping to protect people and the planet 3M フッ素ケミカルテクノロジー 3M 社では 1995 年の定フロン全廃後 定フロン代替製品としてハイドロフルオロエーテル (HFE) 構造を持つ製品の開発に成功いたしました その高い安全性と低環境負荷が評価され 1997 Heroes of Chemistry 賞 を授与されました Novec は 3M 社のフッ素化学製品の中で環境を重視した製品の信頼の証のブランドです 3M Novec の分子構造 C F O H C4F9OCH3 Novec 高機能性液体とは Novec 高機能性液体は熱的 化学的安定性にすぐれ かつ適度な溶解性を持つ液体です オゾン破壊係数はゼロ しかも HFC や PFC に比べ地球温暖化係数が大幅に低く 環境への負荷を抑制できます Novec / は EPA( 米国環境保護局 ) の定める定フロン代替物リスト (SNAP リスト ) の洗浄 冷媒分野で Acceptable( 制限なしに利用可 ) に指定 グリーン調達を進める先進企業に理想的なソリューションを提供します 1
製品 名称成分沸点容器容量 Novec 7000 34 C ガラス容器 4.5kg 金属缶 136kg Novec ハイドロフルオロエーテル 61 C 金属缶 1kg Novec 76 C ポリ容器 5kg 金属缶 15kg Novec 98 C 金属缶 272.1kg Novec 71IPA ハイドロフルオロエーテル共沸様混合物 (Novec 95% イソプロピルアルコール 5% 未満 ) 54.5 C 金属缶 15 kg 1kg 缶 5kg 缶 15kg 缶 環境 安全性安全性データに関する詳細は安全データシート (SDS) をご参照ください 性 Novec 7000 Novec Novec Novec オゾン破壊係数 (ODP)CFC-11=1 0 0 0 0 大気寿命単位 : 年 5.0 4.7 0.8 3.8 地球温暖化係数 (GWP)CO2=1, 100 年積算 1 530 297 57 310 引火点なし ( 消防法非該当 ) 2 急性吸入毒性 ALC/LC50(4 時間 ) 揮発性有機化合物 (VOC) 3 低毒性 2: 製品によっては燃焼範囲を有するものもあります 環境性能比較 ODP/GWP 比較 ODP:CFC-11=1 ODP GWP:CO2=1, 100 年積算 0 Novec 7000 0 Novec 0 Novec 0 Novec 57 297 310 530 GWP 0.033 0.025 0 0 0 HFE-347pcf HCFC-225cb HCFC-225ca HFC-43-10mee HFE-43 10pccc124 127 525 889 1,650 2,820 0.1 0.05 500 1,000 許容濃度比較 Novec Novec Novec HFE-347pcf 塩化メチレン HCFC-225 HFC-43-10mee 750 200 100 50 50( 最大許容濃度 ) 100 200( 天井値 400) (ppm) 3M 社及びメーカーカタログ資料より 環境データについて ODP(Ozone Depleting Potential): CFC-11( フロン 11) のオゾン破壊係数を 1 とした場合の値 大気寿命 : OH ラジカルとの反応性によって算出され 大気中における物質の寿命を示す GWP(Global Warming Potential):CO2 の温暖化係数を 1 とした場合の値 1:IPCC Report 2013(Novec は IPCC Report 2007) 参照 VOC(Volatile Organic Compounds): 光化学オキシダントの原因となる揮発性有機化合物 3:VOC 規制に対する該当 非該当は 対象となる施設の種類や規模によって基準が異なりますので 法規制をご確認ください 許容濃度 : 1 日 8 時間 1 週 40 時間の正規の労働条件で大多数の労働者が繰り返し曝露されても健康障害を起こさないとされる濃度 Novec の許容濃度は American Industrial Hygiene Association による設定値です Novec Novec の許容濃度は 3M 社内で設定した推奨値です 名称 Novec HCFC-225 HFC-43-10mee 塩化メチレン PRTR 法非該当第 1 種指定化学物質非該当第 1 種指定化学物質 労働安全衛生法 非該当 (71IPA 以外 ) 非該当 非該当 第 2 類定化学物質第 2 種有機溶剤 地球温暖化対策推進法非該当非該当該当非該当 オゾン層保護法非該当定化学物質非該当非該当 2016 年 8 月現在 2
長 製品の長利点お客様のメリット 環 境 オゾン破壊係数ゼロ低い地球温暖化係数 環境負荷低減 環境方針の遵守を可能とする 低毒性 安 全 高い許容濃度 安全性 良好な作業環境の確保 消防法 危険物の制限枠を超えない 不燃 引火点なし 低い表面張力 粘度低い蒸発潜熱高密度 洗浄 比重分離効果 プラスチック 金属材料を侵しにくい 短い乾燥時間 パーティクル ホコリ等の除塵 水シミ残りのない水切り 乾燥 熱に弱い電子部品の低温による乾燥 ミクロン単位の隙間に浸透しての洗浄 液の蒸留再生が可能で 繰り返し使用によるコスト低減 性 能 優れた材料適合性適度な溶解性電気絶縁性能に優れる 溶剤 速い蒸発速度 優れた適合性 乾燥時間短縮 製品不良率の低減 均一な拡がり性と濡れ性 熱伝達性に優れる低温での粘性変化が少ない熱的 化学的安定性 冷却 & 温調 電気性 低粘度 メンテナンス性と電気絶縁性に優れた熱媒体 冷却ブライン 液体としての温度範囲が広い 用途例と要求性一覧 マーケット用途要求性能 半導体 液晶製造装置 ドライエッチング装置 ステッパー露光装置 プローバ イオンインプランター装置 ハンドラ等の冷却ブライン用途 半導体製造装置の部品洗浄 フッ素系堆積物 ( デポ物 ) の除去 電気絶縁性流動性 ( 低粘性 ) 材料適合性不燃性伝熱性 電気 電子 電子部品のパーティクルの精密洗浄 CCD CMOS イメージセンサーチップやカメラモジュール洗浄 有機 EL ディスプレイ 光学部品 レンズ洗浄 半導体用ケース ウェーハ洗浄 乾燥 気密性テスト 耐電圧テストの媒体 フッ素オイル フッ素樹脂 フッ素コーティング剤の溶剤 コンピュータサーバー レーダー センサー コンデンサー トランス機器等の冷却 浸透性不燃性材料適合性伝熱性 MEMS デバイスの洗浄 乾燥 工業用市場 整流器の冷却 ヒートパイプ ヒートポンプの作動液 冷凍粉砕の作動液 恒温槽の熱媒体 自動車エンジン部品の洗浄 エナメル線のピンホールテスト 通信用機器の洗浄 航空機部品の洗浄 流動性 ( 低粘性 ) 電気絶縁性熱安定性表面張力蒸発潜熱 化学 医薬品市場 引火点調整剤 抽出溶媒 反応熱除去 合成反応溶媒 医療用機器部品の洗浄 フリーズドライのブライン 不燃性低毒性低温性溶解性 その他 廃熱利用システム 材料適合性伝熱性 3
代表性データ代表物性値 代表物性は 25 におけるものです ( 沸点 凝固点 蒸発潜熱を除く ) 規格値ではありません 性 Novec 7000 Novec Novec Novec 沸点 34 61 76 98 凝固点 123 135 138 38 蒸気圧 MPa 0.065 0.028 0.016 0.006 蒸発潜熱 ( 沸点 ) kj/kg 142 126 126 102 密度 kg/m 3 1,400 1,520 1,430 1,660 絶対粘度 Pa s 4.5 10-4 5.8 10-4 5.7 10-4 1.2 10-3 動粘度 cst 0.32 0.38 0.40 0.70 比熱 J/kgK 1,300 1,172 1,214 1,137 熱伝導度 W/mK 0.075 0.069 0.069 0.062 表面張力 mn/m 12.4 13.6 13.6 15.0 屈折率 1.26 1.27 1.28 1.28 膨張係数 m 3 /m 3 K 0.00219 0.00171 0.00158 0.00144 絶縁耐力 kv(2.54 mm gap) 40 28 23 27 体積抵抗 Ω m (DC 500 V) 10 8 10 9 10 8 10 9 水の溶解度 ppm (wt.) 60 95 92 67 水への溶解度 ppm (wt.) < 50 12 < 20 <1 比誘電率 1 khz 7.4 7.5 7.4 6.1 誘電正接 1 khz < 0.02 < 0.27 < 0.27 0.02 Novec は 流動点 性 Novec 71IPA 沸点 54.5 密度 kg/m 3 1,440 絶対粘度 Pa s 6.8 10-4 引火点 なし 表面張力 mn/m 14.0 Novec 71IPA は 共沸様混合物です 化学式 Novec 7000:C3F7OCH3 Novec :C4F9OCH3 Novec :C4F9OC2H5 Novec :C2F5CF(OCH3)C 3F7 用途別分類 溶剤洗浄乾燥 すすぎ熱媒体その他 用 途 Novec 7000 Novec Novec Novec 溶媒 分散媒 1 液によるパーティクル洗浄 洗浄剤との組合せによる 2 液洗浄 水切り乾燥 すすぎ乾燥 ブライン 恒温槽 沸騰冷却 合成反応溶媒 引火点調整 Novec 71IPA 4
冷却コイル洗浄 精密洗浄用途 表面張力や粘度が低く 浸透性に優れていること 適度な溶解力を有していることから 超音波洗浄との併用で効果を発揮します 3M Novec 1 液による洗浄方式 ( ニート洗浄 ) 長 1 液での洗浄が可能 洗浄装置をコンパクトにでき 省設置スペースが可能 乾燥性能に優れる 材料との適合性に優れる 不燃性である 工程概念図 3 乾燥ゾーン 用途例 CCD CMOS センサ等電子デバイスの除塵 ( パーティクル除去 ) CCD CMOS モジュールの IR ガラス 鏡筒部の洗浄 乾燥 半導体製造装置部品 チャンバの洗浄 軽質油 中質油の洗浄 フッ素系オイル グリースの洗浄 パーティクルの拭き取り洗浄 プレス部品のスタンピング後の洗浄 ヒーター 2 蒸気によるすすぎゾーン 1 超音波 蒸気発生槽 洗浄槽 P 洗浄剤との組み合わせによる 2 液洗浄方式 ( コ ソルベント洗浄 ) 長 洗浄装置の不燃化が可能で 引火の危険性を抑えることができる エアオーブン乾燥工程が不要で装置の小型化 省スペースが可能 油分残渣量が少なく 品質が向上する 乾燥時の温度が低く ワークへの熱衝撃が少ない 材料との適合性に優れる 表面張力が低く ワークの微細部に浸透し洗浄 乾燥が可能 工程概念図 炭化水素系洗浄槽 リンス槽 用途例 液晶セル パネルの洗浄 ハードディスクドライブのサスペンション アームの脱脂洗浄 乾燥 精密加工部品のシリコーンオイル洗浄 乾燥 エンジンガスケットのプレス後洗浄 シリンダーバルブの樹脂洗浄 航空機部品の切削油除去洗浄 超音波 超音波 1 洗浄 2 Novec によるリンス 水切り 乾燥方式 長 エアオーブンによる熱風乾燥に比べ 乾燥時間が短縮できる 乾燥時の温度が低く ワークへの熱衝撃が少ない しみの発生が抑えられる 水切り性能に優れる 材料との適合性に優れる 用途例 カメラなどのレンズの水切り 乾燥 CCD CMOS センサ-パッケージの水切り 乾燥 ハードディスクドライブ等の精密部品の水切り 乾燥 工程概念図 水系洗浄槽 超音波 純水リンス槽 超音波 1 洗浄 2 リンス 5
冷却コイルNovec 71IPA 100 95 95.4% 超音波 :28kHz 浸漬時間 :5 分液温 :55 (Novec ) 50 (Novec 71IPA) 60 ( 超純水 ) パーティクル :1.112μmPSL 粒子 90 88.4% 85 83.5% 80 75 70 Novec Novec 71IPA 超純水 パーティクル除去率 (%) 蒸気槽 ヒーター 3 Novec による蒸気乾燥 冷却コイルすすぎ性能比較 ( 油分残渣量 ) Novec (61 C= 沸点 ) すすぎ 30 秒蒸気乾燥 30 秒すすぎ 1 分蒸気乾燥 30 秒 エアオーブン (100 C) 5 分 10 分 エアオーブン (120 C) 5 分 部品 :M10 ナット 10 分 <0.001 <0.001 >1,000 0.001 0.01 0.1 1 10 100 1,000(mg/ 個 ) 洗浄剤 : パラフィン系洗浄剤 ( 引火点 70 C) 洗浄剤との相溶性 炭化水素系 洗浄剤 Novec Novec パラフィン系溶解 ( 高温 ) 溶解 エステル系不溶解溶解 ナフテン系不溶解溶解 芳香族系溶解溶解 グリコールエーテル系溶解溶解 アルコール系溶解溶解 シリコーン系溶解溶解 テルペン系溶解 ( 高温 ) 溶解 溶解 : 室温で任意の割合で混合する溶解 ( 高温 ): 室温では限られた溶解性を持つが フッ素系溶剤の沸点付近では任意の割合で混合する不溶解 : 高温の状態でも限られた溶解性しか持たない 念のため 洗浄剤との適合性及び相溶性はご確認ください MEMS デバイスのスティクションフリー乾燥事例 Novec 71IPA 水切り槽 蒸気槽 浸漬前 Novec 71IPA に浸漬 乾燥 超音波 ヒーター 100μm 200 14mm MEMS 構造の維持 3 による水切り 4 Novec 71IPA による蒸気乾燥 100μm 200 15mm 超純水に浸漬 乾燥 3 IPA による水切り 4 Novec による蒸気乾燥 100μm 200 13mm 微細構造へのダメージ ( 破壊と貼り付き現象 ) 6
冷却 熱管理用ブライン用途 急速に微細化が進む半導体プロセスにおいて 熱対策や温度管理に用いられるブライン ( 熱媒体 ) の要求もいっそう高度化し 多様化してきています 2 次冷却ブライン用途 凝固点が 100 以下と非常に低く 超低温域 ( 100 40 ) での 2 次冷却を可能とします 優れた流動性を示し 循環系への負荷を小さくすることができ メンテナンス性が向上します 半導体製造装置ブライン 2 次冷却 長 優れた電気絶縁性 幅広い温度範囲に適用可能 スラッジを発生させない 不燃性 用途例 ドライエッチング装置 露光装置 イオン注入器 プローバ IC テスタ 冷却イメージ 長 液相で使用できる温度範囲が広い 絶対粘度が超低温域において低い ポンプへの負荷が小さい 部材との適合性に優れる 単一成分なので濃度管理が不要 防錆剤 防腐剤が不要で ph 管理も不要 不燃性で化学的安定性が高い 用途例 食品工業用冷却装置 フリーズドライ 環境試験室 医薬品工業用冷却装置 化学工業用冷却装置 ゴム プラスチックの凍結粉砕 装置概念図ドライエッチング装置電極部温度コントロール用途 2 次冷却のデザイン例 1 次冷凍器屋外設置型の場合 熱交換器 放熱 アノード チャンバ カソード ウェーハ 3M Novec 熱交換器 ポンプによる循環 液相循環 ( 往路 ) 液相循環 ( 復路 ) 冷凍 ショーケース RF 電源 液相温度域 Novec 7000 123 34 Novec 135 61 Novec 138 76 Novec 38 98 水 エチレングリコール (70%) プロピレングリコール (60%) エタノール (59%) 0 100 40 118 40 105 45 82 温度 ( C) Novec 高機能性液体は広い液相温度域を持つため 幅広い用途に対応できます 絶対粘度 (Pa s) 1 0.1 0.01 0.001 Novec 7000 0.0001 Novec Novec 塩化カルシウム溶液 (29.6%) プロピレングリコール (60%) エチレングリコール (70%) エタノール (59%) -100-80 -60-40 -20 0 20 40 60 温度 ( C) Novec 高機能性液体は 40 C 以下の超低温域において 非常に優れた流動性を示します 7
溶剤用途 Novec 高機能性液体は 溶剤として塗布表面に均一な濡れを生じさせ すばやく乾燥します 使用温度範囲 要求蒸発速度にあった沸点を持つ製品の選択ができます その他の用途 恒温槽 アルコール シリコーンオイル代替 不燃性で引火の危険がない 材料適合性に優れる 溶剤 分散媒 長 材料との適合性 不燃性 適度な乾燥速度 低粘度かつ低表面張力により 均一な拡がりと濡れを生じさせる 用途例 ハードディスク用潤滑剤の希釈 PTFE フッ素樹脂の分散媒 エアゾール用溶剤 フッ素コーティング剤 フッ素オイル用溶剤 可燃性溶剤の引火点調整 反応溶媒 分析用抽出溶媒 HD 潤滑剤コーティングイメージ 耐電圧テスト 直接浸漬方式での適合性 絶縁性 気密試験テスト 不燃性 後工程での洗浄が不要 テスト時間の短縮 テストピースの不良率の低減 エナメル線のピンホールテスト 非破壊検査 乾燥性に優れる 腐食しにくい 廃熱回収 適度な沸点 熱性 不燃性 環境性 KB 値カウリブタノール値 Novec 7000 :10 Novec :10 Novec :10 Novec : 5 Novec 71IPA:10 SP 値 Small 法から算出した溶解度パラメータ Novec 7000 :13.1(MPa) 0.5 Novec :12.4(MPa) 0.5 Novec :12.6(MPa) 0.5 Novec :12.5(MPa) 0.5 Novec 71IPA:14.3(MPa) 0.5 廃熱エネルギー回収装置概念図 ポンプ タービン 各種溶剤の溶解性 (wt.%) 溶 剤 Novec 7000 Novec Novec Novec メタノール 混合可 混合可 混合可 1.6 エタノール 混合可 混合可 混合可 混合可 アルコール系 IPA 混合可 混合可 混合可 混合可 1- ブタノール NA 16.8 混合可 1.3 エチレングリコール < 0.1 < 0.1 < 0.1 < 0.1 ヘキサン 混合可 混合可 混合可 混合可 ヘプタン 混合可 混合可 混合可 混合可 イソオクタン 混合可 混合可 混合可 混合可 炭化水素系 ドデカン 6.2 5.9 混合可 2.4 シクロヘキサン混合可混合可混合可 16.6 トルエン 混合可 混合可 混合可 混合可 キシレン 混合可 混合可 混合可 混合可 ミネラルオイル < 0.1 < 0.1 < 0.1 < 0.1 アセトン 混合可 混合可 混合可 混合可 ケトン系 MEK 混合可 混合可 混合可 混合可 MIBK 混合可 混合可 混合可 混合可 エーテル系 ジエチルエーテル 混合可 混合可 混合可 混合可 エステル系 酢酸エチル 混合可 混合可 混合可 混合可 データは 25 C におけるものです 8
材料適合性データ 条件 : 高温にて 1 週間浸漬 条件 : 室温にて 1 週間浸漬 条件 : 沸点下にて 1 週間浸漬 プラスチックとの適合性 Novec Novec Novec (61 C) (76 C) (98 C) Novec 7000 Novec Novec Novec アクリロニトリルブタジエンスチレン ABS 体積変化 (%) - 0.1 0.0 + 1.0 0.0 0.0 0.0 + 0.1 重量変化 (%) - 0.2-0.3 + 0.3-0.2 0.0-0.1-0.2 エポキシガラス epoxy 体積変化 (%) 0.0 0.0 + 1.0 - - 0.1 0.0 + 0.1 glass 重量変化 (%) - 0.1-0.1 + 0.5-0.0 0.0 + 0.1 ナイロン 6 Nylon 6 体積変化 (%) - 0.5-0.4-2.5-0.8-0.1 + 0.1-0.1 重量変化 (%) - 0.3-0.6-2.9-0.5 0.0-0.1-0.2 ナイロン 66 Nylon 体積変化 (%) - 0.4-0.4-2.3-0.1-0.1-0.1-0.2 66 重量変化 (%) - 0.4-0.7-2.8-0.2 0.0-0.1 0.0 ポリブチレン体積変化 (%) - 0.4-0.3-0.8 - - 0.5-0.3-0.3 PBT テレフタレート重量変化 (%) - 0.3-0.2-0.5 - - 0.3-0.3-0.2 ポリカーボネート PC 体積変化 (%) + 0.1 + 0.4 + 0.2 + 0.1-0.1 + 0.4 0.0 重量変化 (%) 0.0 0.0 + 0.2-0.1 0.0 + 0.1-0.1 ポリエチレン PE 体積変化 (%) + 0.1 + 0.3 + 0.1 0.0-0.1 + 0.2 + 0.2 重量変化 (%) + 0.4 + 0.6 + 0.5-0.1 0.0 0.0 + 0.3 ポリエチレン体積変化 (%) - 0.3-0.2 - - - 0.2 0.0 - PET テレフタレート重量変化 (%) - 0.2-0.4 - - - 0.1 0.0 - フェノール PF 体積変化 (%) - 0.5-0.4-3.3-0.4-0.1-0.1 + 0.2 重量変化 (%) - 0.5-0.7-3.8-0.2 0.0-0.1 0.0 アクリル PMMA 体積変化 (%) - 0.1 + 0.2-0.2 0.0-0.1 + 0.6-0.1 重量変化 (%) - 0.3-0.3-0.6-0.2-0.1 + 0.2 + 0.6 ポリアセタール POM 体積変化 (%) 0.0 + 0.1 + 0.1 0.0-0.1 + 0.3 + 0.4 重量変化 (%) 0.0-0.1-0.1-0.1 0.0 + 0.1 + 0.1 ポリプロピレン PP 体積変化 (%) + 0.6 + 1.6 + 0.6-0.2-0.1 + 0.2-0.1 重量変化 (%) + 1.2 + 2.6 + 2.1 + 0.1 0.0 + 0.1 + 0.1 ポリフェニレン体積変化 (%) - 0.1 + 0.2-0.1 + 0.1-0.1 + 0.1 0.0 PPO オキシド重量変化 (%) - 0.1 0.0-0.1 0.0-0.1 0.0-0.1 ポリフェニレン体積変化 (%) - 0.1 0.0 + 0.2 + 0.1 0.0 + 0.1-0.3 PPS サルファイド重量変化 (%) 0.0-0.1 + 0.2 0.0 0.0 0.0-0.1 ポリスチレン PS 体積変化 (%) 0.0 + 0.2 + 0.2 - - 0.1 + 0.2 + 1.0 重量変化 (%) - 0.1-0.1 0.0-0.0 0.0 + 1.0 塩化ビニル ( 硬質 ) PVC 体積変化 (%) - 0.1 + 0.2-1.1-0.0 + 0.1 + 0.4 (hard) 重量変化 (%) - 0.1-0.2-0.6-0.0 0.0 + 0.3 PTFE 体積変化 (%) + 2.6 + 2.7 + 2.9 + 1.7 + 0.8 + 1.0-0.2 重量変化 (%) + 2.3 + 1.9 + 2.9 + 1.3 + 0.9 + 0.7 + 0.2 FEP 体積変化 (%) + 4.0 + 4.1 + 14.7 - + 0.5 + 1.2 + 3.1 重量変化 (%) + 3.1 + 2.8 + 11.0 - + 0.4 + 0.6 + 1.7 PFA 体積変化 (%) - + 5.0 + 9.2 - - - 0.3 + 1.1 重量変化 (%) - + 4.3 + 7.7 - - + 0.2 + 1.2 同じ材料名でも 添加剤の量および種類により 上記データの挙動が変化します 金属との適合性 Novec AI( 合金 ) Be/Cu 真鍮 (260) Cu( 合金 ) Cu(110) Mg( 合金 ) モリブデン ニッケル ステンレス 銅 タンタル チタン タングステン すず 真鍮 銅は酸化により変色する可能性があります 長期暴露の場合 Novec 高機能性液体は多くの金属あるいは硬質プラスチックに対して良好な適合性を有します 但し 軟質プラスチックやゴム材料に関しては含まれる可塑剤等の添加剤が長期暴露により Novec 高機能性液体に溶出し 材料が劣化することがありますので ご注意ください シール材をご検討の場合は添加剤が少ない材料を選定する必要があります また フッ素ゴム フロロシリコーンゴム シリコーンゴムは膨潤が大きく出るために シール材としては不適といえます 短期暴露の場合 Novec 高機能性液体による洗浄といった短時間の暴露ではほとんどの金属 プラスチック ゴムに対して良好な適合性を有します アクリルのような適合性の乏しいプラスチックに対しても影響を及ぼすことはほとんどありません 条件 : 高温にて 1 週間浸漬 条件 : 室温にて 1 週間浸漬 ゴムとの適合性 9 Novec (61 C) Novec (76 C) Novec (98 C) Novec 7000 Novec Novec Novec クロロプレンゴム CR 体積変化 (%) - 7.2-9.6-5.9-1.2-4.8-3.1-1.1 重量変化 (%) - 3.8-5.9-3.7-0.5-2.5-1.9-0.7 クロロスルフォン化体積変化 (%) - 5.7-8.6-8.9-1.3-1.3-1.7-0.6 CSM PE ゴム重量変化 (%) - 3.4-5.4-5.9-0.7-0.8-1.1-0.9 EPDM ゴム EPDM 体積変化 (%) - 1.2-4.7-0.8 + 0.5-0.3-1.6 + 0.1 重量変化 (%) + 0.1-2.3 + 0.4 + 1.0 + 0.4-0.4 + 0.5 EPDM ゴム体積変化 (%) + 2.1 + 3.2 - - + 1.2 + 1.8 - EPDM ( 可塑剤無し ) 重量変化 (%) + 3.6 + 5.1 - - + 2.1 + 2.9 - ブチルゴム IIR 体積変化 (%) - 5.9-6.6-4.9-2.1-2.7-3.9-1.8 重量変化 (%) - 3.7-4.0-3.3-1.0-1.7-2.3-1.2 ニトリルゴム NBR 体積変化 (%) - 7.9-7.8-8.6-0.9-2.3-2.5-1.5 重量変化 (%) - 4.5-4.6-5.4-0.3-1.2-1.3-0.9 天然ゴム NR 体積変化 (%) - 6.8-8.7-2.9-0.5-4.6-6.1-0.9 重量変化 (%) - 3.3-4.5-1.5 + 0.2-2.3-3.1-0.4 シリコーンゴム VMQ 体積変化 (%) + 19.1 + 32.7 + 9.7 + 14.6 + 14.9 + 24.3 + 6.9 重量変化 (%) + 26.2 + 40.8 + 13.2 + 18.3 + 20.7 + 30.4 + 9.5 スチレン体積変化 (%) - 3.7-4.4-3.9-2.0-2.6-3.5-2.0 SBR ブタジエンゴム重量変化 (%) - 1.7-2.2-1.9-0.6-1.1-1.6-1.0 ウレタンゴム U 体積変化 (%) + 5.5 + 4.2 + 1.7 + 5.9 + 2.6 + 1.9 + 0.3 重量変化 (%) + 7.6 + 5.6 + 2.5 + 7.6 + 3.5 + 2.5 + 0.5 フッ素ゴム二元系 FKM 体積変化 (%) + 37.2 + 28.9 + 29.3 + 35.1 + 20.7 + 8.7 + 2.6 重量変化 (%) + 31.7 + 22.9 + 26.6 + 27.9 + 17.7 + 6.9 + 2.3 フッ素ゴム三元系 FKM 体積変化 (%) + 118.3 + 99.7 + 80.8 + 76.4 + 117.8 + 96.6 + 80.6 重量変化 (%) + 95.5 + 75.3 + 70.7 + 56.5 + 95.4 + 73.2 + 71.3 同じ材料名でも 添加剤の量および種類により 上記データの挙動が変化します
カスタマーテクニカルセンター案内 カスタマーテクニカルセンター (CTC) は お客様の技術的課題の解決をめざし新しいコンセプトでつくられたソリューションセンターです 3M のテクノロジープラットフォーム ( 技術基盤 ) の展示 技術 製品のご紹介を中心に フッ素ケミカルについても洗浄実験 評価 分析等のお客様のご要望に応えるための分析機器 クリーンルーム設備等を備えております ( 当社相模原事業所内 ) 技術サポート案内 3M では ご使用条件最適化のために 長年のノウハウに基づいた様々な技術サポートおよびソリューションを提供いたします ぜひご活用ください コーポレートディスプレイエリア 部品材料との適合性テスト 液体の分析 ( イオンなどのコンタミネーション分析 ) 液体の純度分析 クリーンルームでの洗浄試験 静電気対策 液ロス対策 ブライン変更のサポート 洗浄条件の最適化 部材選定の提案 各種用途の提案 3M Novec 高機能性液体取り扱い上の注意 詳細につきましては 当社発行の安全データシート (SDS) をご参照ください 安全上の注意事項 1. 工業用途に限定します 医療用具または医薬品用ではありません 2. 蒸気を吸入しないでください 3. 皮膚および眼に触れないでください 4. 換気の良好な区域でのみ使用してください 5. 環境に排出しないでください 6. 分解物を吸入しないでください ( 使用中禁煙 ) 7. 眼に入った場合または皮膚に触れた場合は 多量の水で洗浄してください 改善しない場合は医師の診断を受けてください 不燃性 低毒性で非常に安全性の高い液体ですが 沸点を超える非常に高い温度で加熱された場合は 微量の PFIB 1 ( パーフロロイソブチレン ) フッ化水素 2 を含む有害な分解生成物を生じる場合がありますので 注意事項を厳守してください ( 参考 ) パーフロロイソブチレン 1 2 フッ化水素 沸点 約 7 C 19.9 C LC50( ラット ) 3 0.5 ppm(6 時間 ) 1,276 ppm(1 時間 ) 許容濃度上限値 (ACGIH TLV Ceiling) 4 0.01 ppm 2 ppm ( 許容濃度上限値以外は文献数値より引用 ) ( 許容濃度上限値以外は文献数値より引用 ) 3 LC50 Lethal Concentration50(50% 致死濃度 ) の略で試験動物 ( ラット ) を 薬液蒸気の充満する環境において一定時間曝露後 その 50% の数の動物を死亡させる ところの蒸気濃度 4 許容濃度上限値 (ACGIH TLV Ceiling) たとえ瞬間的にも超えてはならない曝露限界値 保管上の注意事項 室温で保管してください Novec 高機能性液体の廃棄につきましては当社までご相談ください 10
Smart. Safe. Sustainable. High-performing science with a purpose helping to protect people and the planet 各種数値は参考値であり 保証値ではありません 仕様及び外観は 予告なく変更されることがありますのでご了承ください 本書に記載してある事項 技術上のデータ並びに推奨は すべて当社の信頼している実験に基づいていますが その正確性若しくは完全性について保証するものではありません 使用者は使用に先立って製品が自己の用途に適合するか否かを判断し それに伴う危険と責任のすべてを負うものとします 売主及び製造者の義務は 不良であることが証明された製品を取り替えることに限定され それ以外の責任は負いません 本書に記載されていない事項若しくは推奨は 売主及び製造者の役員が署名した契約書によらない限り 当社は責任を負いません 3M Novec は 3M 社の商標です 電子用製品事業部 https://www.3mcompany.jp/3m/ja_jp/novec-jp/ Please Recycle. Printed in Japan. 3M 2019. All Rights Reserved. EMS-235-AD(0319) カスタマーコールセンター 製品のお問い合わせはナビダイヤルで 0570-022-123 8:45~17:15 / 月 ~ 金 ( 土日祝年末年始は除く ) 全国どこからでも市内料金でご利用いただけます