191a02

ミニメタルバルブ 型名品名品目番号製品コート 951-7148 ミニメタルバルブ A23-04306 30030 使用真空領域 大気圧 ~10-8 Pa 程度 許容加熱温度 400 1 シール材 ( ガスケット ) 銅合金 初期封止トルク 約 15.7N m 最大封止トルク 23.5N m 操作 手動 ( トルクレンチを推奨 ) 全開時コンダクタンス 4L/sec リーク量 6.7 10-11 Pa m 3 /sec 以下 0.7kg 1. バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態の値です

φ38 メタルバルブ 型名品名品目番号製品コート 951-7150 φ38 メタルバルブ 0190-06152A 30010 使用真空領域 大気圧 ~10-8 Pa 程度 許容加熱温度 450 1 シール材 ( ガスケット ) 銅合金 初期封止トルク 29.4~34.3N m 最大封止トルク 127.4N m 操作 手動 ( トルクレンチを推奨 ) 全開時コンダクタンス 30L/sec リーク量 6.7 10-11 Pa m 3 /sec 以下 1.6kg 1. バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態の値です

2.5 メタルバルブ 型名品名品目番号製品コート 951-7152 2.5 メタルバルブ 0190-07158A 30020 使用真空領域 大気圧 ~10-8 Pa 程度 許容加熱温度 450 1 シール材 ( ガスケット ) 銅合金 初期封止トルク 78.4~127.4N m 最大封止トルク 225.4N m 操作 手動 ( トルクレンチを推奨 ) 全開時コンダクタンス 100L/sec リーク量 6.7 10-11 Pa m 3 /sec 以下 7kg 1. バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態の値です

ミニポリイミドバルブ 型名 品名 品目番号 製品コート 951-7145 ミニポリイミドバルブ 0190-04841A 30200 使用真空領域 大気圧 ~10-8 Pa 程度 許容加熱温度 300 1,2 シール材 ( ガスケット ) ポリイミド樹脂 推奨締付シール力 ( 参考締付トルク ) 1225~1921N(2.0~3.4N m) 3 最大締付シール力 ( 参考締付トルク ) 2626N(5.9N m) 3 操作 手動 コンダクタンス 1L/sec リーク量 6.7 10-11 Pa m 3 /sec 以下 4 0.41kg 1. バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態の値です 2. 連続加熱を行う場合は 260 となります 3. 締付トルクはベーキング等により駆動ネジの摩擦係数が増加し 締付トルクと締付シール力の 関係が変化しますので 参考値です 4. ポリイミド樹脂のガス透過は仕様外です

φ38 ポリイミドバルブ 品名 型名 品目番号 製品コート 951-7120 φ38 ポリイミドバルブ 0190-04833A 30210 使用真空領域 大気圧 ~10-8 Pa 程度 許容加熱温度 300 1,2 シール材 ( ガスケット ) ポリイミド樹脂 推奨締付シール力 ( 参考締付トルク ) 3920~4900N(4.9~5.9N m) 3 最大締付シール力 ( 参考締付トルク ) 7840N(14.7N m) 3 操作 手動 ( ベーキングを数回行った場合カニメスパナを使用 ) コンダクタンス 30L/sec リーク量 6.7 10-11 Pa m 3 /sec 以下 4 1.6kg 1. バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態の値です 2. 連続加熱を行う場合は 260 となります 3. 締付トルクはベーキング等により駆動ネジの摩擦係数が増加し 締付トルクと締付シール力の 関係が変化しますので 参考値です 4. ポリイミド樹脂のガス透過は仕様外です

V シリーズあら引きバルブ 注 : 継手外径は φ11mm 未満の物を御使用下さい 圧空 手動 型名 品名 品目番号 製品コート V-025RV-CN NW25 圧空駆動 L 型バルブ 0190-00253A 30000 V-025RV-MN NW25 手動 L 型バルブ 0190-00237A 30001 型名 V-025RV-CN V-025RV-MN 駆動方式 圧空 手動 使用圧力領域 大気圧 ~10-4 Pa 程度 Heリーク量 静止時 6.7 10-11 Pa m 3 /sec 以下 1 開閉時 ~10-5 Pa m 3 /sec コンダクタンス 7L/sec 許容加熱温度 60 作動エアー圧 0.4~0.6MPa - エアー消費量 (L/ サイクル ) 0.024 2 - エアー供給口 M5 - 開閉センサ センサスイッチ仕様参照 - 使用流体 大気またはガス ( 腐食性ガスを除く ) 0.63kg 0.58kg 1. ふっ素ゴム O リングのガス透過は仕様外です 2. エアー圧 0.5MPa 時 1 サイクル ( 開閉 ) でのエアー消費量です

センサスイッチ仕様 項目 プログラマブルコントローラ ( シーケンサ ), リレー用 種類 配線方式有接点,2 線式 負荷電圧 DC12/24V AC110V 負荷電流 5~50mA 7~20mA 内部降下電圧 2.4V 以下 ランプ 発光ダイオード (ON 時点灯 ) 漏れ電流 0mA 内部回路 右図参照 リード線長さ 1m( 耐油性ビニールキャブタイヤコード 2 芯 0.2mm 2 ) 最大衝突 294m/s 2 (30G) 絶縁抵抗 DC500V メガーにて 20MΩ 以上 絶縁耐圧 AC1000V 1 分間印加にて異常なきこと 周囲温度 -10~+60 保護構造 IEC 規格 IP67,JIS C0920( 防浸形 ), 耐油 注 1. 磁気感応形センサスイッチの為 外部磁場の強い場所での使用及び大電流の動力線への接近は避けて下さい 2. センサスイッチは直接電源に接続せず 必ず負荷を直列に接続して仕様の負荷電流範囲内でご使用下さい 3. 誘導性負荷 ( 電磁リレー等 ) を接続する場合は センサスイッチの OFF 時にサージ電圧 ( 誘導性サージ ) が発生 しますので 接点保護回路を必ず設けて下さい DCの場合 : 一般用整流ダイオード,AC の場合 :CR(C コンデンサ 0.33~0.1μF,R 抵抗 1~3kΩ) 4.DC 用としてご使用の場合 茶線が+ 側 青線が- 側になるように接続して下さい

センサスイッチ仕様 項目 仕様 用途 フ ロク ラマフ ルコントローラ ( シーケンサ ), リレー用 種類, 配線方式 有接点,2 線式 負荷電圧 DC12/24V AC110V 負荷電流 5~50mA 7~20mA 内部降下電圧 2.4V 以下 ランプ 発光タ イオート (ON 時点灯 ) 漏れ電流 0mA 内部回路 右図参照 リード線長さ 1m( 耐油性ヒ ニールキャフ タイヤコート 2 芯 0.2mm 2 ) 最大衝突 294m/s 2 (30G) 絶縁抵抗 DC500V メカ ーにて 20MΩ 以上 絶縁耐圧 AC1000V 1 分間印加にて 異常なきこと 周囲温度 -10~+60 保護構造 IEC 規格 IP67,JIS C0920( 防浸形 ), 耐油 注 1. 磁気感応形センサスイッチの為 外部磁場の強い場所での使用及び大電流の動力線への接近は避けて下さい 2. センサスイッチは直接電源に接続せず 必ず負荷を直列に接続して 仕様の負荷電流範囲内でご使用下さい 3. 誘導性負荷 ( 電磁リレー等 ) を接続する場合はセンサスイッチのOFF 時にサージ電圧 ( 誘導性サージ ) が 発生しますので 接点保護回路を必ず設けて下さい DCの場合 : 一般用整流ダイオード ACの場合 :CR( コンデンサ 0.033~0.1μF,R 抵抗 1~3kΩ) 4.DC 用としてご使用の場合 茶線が+ 側 青線が- 側になるように接続して下さい オーダリングインフォメーション 圧空駆動タイプ STD MSB 呼び径 型名 品目番号 製品コード 備考 V-040LV-SCI 0190-01039 - φ70icf 付 V-040LV-SCN 0190-02221 30103 NW40 付 040 V-040LV-SCB 0190-01055 30101 旧 JIS40A 付 V-040LV-SCA 0190-01047 30102 V-065LV-SCI 0190-01178 - φ114icf 付 065 V-065LV-SCB 0190-01194 30121 V-065LV-SCA 0190-01186 30122 旧 JIS65A 付 V-100LV-SCI 0190-01356 - φ152icf 付 100 V-100LV-SCB 0190-01372 30141 V-100LV-SCA 0190-01364 30142 旧 JIS100A 付 040 V-040LV-MCI 0190-00431 30109 φ70icf 付 065 V-065LV-MCI 0190-00782 30129 φ114icf 付 100 V-100LV-MCI 0190-01681 30149 φ152icf 付 手動タイプ STD MSB 呼び径 型名 品目番号 製品コード 備考 V-040LV-SMI 0190-01128 - φ70icf 付 V-040LV-SMN 0190-01110 30115 NW40 付 040 V-040LV-SMB 0190-01144 30113 旧 JIS40A 付 V-040LV-SMA 0190-01136 30114 V-065LV-SMI 0190-07425 - φ114icf 付 065 V-065LV-SMB 0190-01322 30133 V-065LV-SMA 0190-01314 30134 旧 JIS65A 付 V-100LV-SMI 0190-01495 - φ152icf 付 100 V-100LV-SMB 0190-01518 30153 V-100LV-SMA 0190-01500 30154 旧 JIS100A 付 040 V-040LV-MMI 0190-00512 30111 φ70icf 付 065 V-065LV-MMI 0190-00855 30131 φ114icf 付 100 V-100LV-MMI 0190-01738 30151 φ152icf 付

NC タイプ 呼び径型名品目番号製品コード備考 V-040LV-SDI 0190-01089 - φ70icf 付 V-040LV-SDN 0190-02239 30107 NW40 付 040 V-040LV-SDB 0190-01102 30105 旧 JIS40A 付 STD V-040LV-SDA 0190-01097 30106 V-065LV-SDI 0190-01217 - φ114icf 付 065 V-065LV-SDB 0190-01233 30125 旧 JIS65A 付 V-065LV-SDA 0190-01225 30126 NC タイフ では 1ホ ート側を大気圧以上にした場合 内部リークが発生します

バリアブルリークバルブ 型名品名品目番号製品コート 備考 951-7170 0190-04859A 31000 φ8sus 管付 951-7172 バリアブルリークバルブ 0190-04867A 31001 φ34icf 付 使用真空領域大気圧 ~10-8 Pa 程度調節可能最小リーク量 6.7 10-9 Pa m 3 /sec 以下 1 バルブ全閉時リーク量 6.7 10-11 Pa m 3 /sec 以下 2 許容加熱温度 450 3 ガスケット寿命 約 300 回シール ( 室温使用時 ) 約 30 回シール ( ベーキングを伴う場合 ) 1.3kg 1. 圧力 0.2MPa の He ガスを 951-7170 のガス導入側に接続し φ70icf 側を真空に排気している状態での値です 2. 御使用状況により 再調整が必要となります 3. ガス導入側及び φ70icf 側を 真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です

インレットバルブ 951-7179 951-7180 型名品名品目番号製品コート 備考 951-7179 0190-09388A 31020 φ70icf 付, ベローズ軸シール 951-7180 インレットバルブ 0190-09370A 31021 NW25 付, ベローズ軸シール 使用真空領域大気圧 ~10-7 Pa 程度バルブ全閉時リーク量 6.7 10-11 Pa m 3 /sec 以下 1 オリフィス径 φ8.5mm 許容加熱温度 2 バルブ開時 150, バルブ閉時 125 0.5kg 1. ふっ素ゴムのガス透過は仕様外 2. ベーキングはハンドルを取り外してから行って下さい

リークバルブ 951-7177 951-7178 型名品名品目番号製品コート 備考 951-7177 0190-09393A 31010 φ70icf 付, O リング軸シール 951-7178 リークバルブ 0190-09362A 31011 NW25 付, O リング軸シール 使用真空領域大気圧 ~10-7 Pa 程度バルブ全閉時リーク量 6.7 10-11 Pa m 3 /sec 以下 1 オリフィス径 φ3.5mm 許容加熱温度 2 125 0.4kg 1. ふっ素ゴムのガス透過は仕様外 2. ベーキングはハンドルを取り外してから行って下さい

エアーリークバルブ 型名 品名 品目番号 製品コート 備考 951-7190 0190-06097A 31030 φ70icf 付, O リングシール握り式 951-7192 エアーリークバルブ 0190-06102A 31031 NW25 付, O リングシール握り式 A26-03261 NW40 付, O リングシール握り式 使用真空領域 大気圧 ~10-7 Pa 程度 バルブ全閉時リーク量 6.7 10-11 Pa m 3 /sec 以下 1 オリフィス径 φ10mm 許容加熱温度 125 0.5kg 1. ふっ素ゴムのガス透過は仕様外

アイソレイトバルブ 型名品名品目番号製品コート 備考 V-025SV-100 0190-06160A 31092 AC100V V-025SV-200 アイソレイトバルブ 0190-06178A 31093 AC200V 型名 V-025SV-100 V-025SV-200 使用圧力領域 大気圧 ~10-2 Pa 程度 リーク量 <10-6 Pa m 3 /sec コンダクタンス 420L/min 1 電磁弁通電後の排気開始時間 約 15sec 2 電磁弁非通電後のベント開始時間 約 0.5sec メンテナンスタイム 10,000 サイクルまたは 1 年 使用流体 大気またはガス ( 腐食性ガスを除く ) 使用環境 温度 10 ~40, 湿度 90% 以下 ( 結露なし ) 電磁弁定格 1φ,AC100V,50/60Hz,3.1W 1φ,AC200V,50/60Hz,3.4W 1kg 1.20 空気に対する分子流領域での参考値です 2. 被排気系側が大気圧の場合は瞬時に排気します

排気系構成例 配線 配線は油回転ポンプのモーター停止時にバルブへの電力供給が停止するように配慮願います バルブ動作原理 ( 斜線部真空 RP: 油回転ポンプ )

手動ゲートバルブ 呼び径 1.5 には握り手は付きません STD タイプ 呼び径 型名 品目番号製品コート 備考 1.5 951-7720 822-1302 31210 φ70icf 付 2.5 951-7730 822-0700 31220 φ114icf 付 4 951-7740 822-0437 31230 φ152icf 付 6 951-7750 822-2803 31240 φ203icf 付 8 951-7760 822-1881 31250 φ253icf 付 MSB タイプ 呼び径 型名 品目番号 製品コート 備考 1.5 951-7723 A22-00272 31212 φ70icf 付 2.5 951-7733 A22-00274 31222 φ114icf 付 4 951-7743 A22-00300 31232 φ152icf 付 6 951-7753 A22-00309 31242 φ203icf 付 8 951-7763 A22-00317 31252 φ253icf 付 寸法一覧 呼び径 寸法 A B C E K D F G H J STD MSB STD MSB L 1.5 138 103 105 70 96 108 18 φ70 51.4-51 62 φ51 2.5 216 159 206 114 144 156 27 φ114 71-64 78 φ64 4 284 208 225 148 182 190 39 φ152 78 70 74 80 φ74 6 380 278 225 204 240 246 67 φ203 90 84 82 88 φ74 8 485 358 258 254 295 296 83 φ253 100 100 86 92 φ86

駆動方式 手動駆動 使用真空領域 STD: 大気圧 ~10-7 Pa 程度 MSB: 大気圧 ~10-8 Pa 程度 リーク量 6.7 10-11 Pa m 3 /sec 以下 1 全開時コンダクタンス下記一覧参照 許容加熱温度 バルブ開時 :150, バルブ閉時 :125 2,3 許容最大差圧 バルブ静止時 :±1 気圧, バルブ動作時 :±133Pa 寿命 ベローズ :10,000 サイクル, メンテナンスタイム :5,000 サイクルまたは 1 年 下記一覧参照 1. ふっ素ゴム O リングのガス透過は仕様外 2. 自動ゲートバルブのアクチュエータ 電磁弁は加熱不可で許容周囲温度は 50 3. MSBタイプのみバルブ開時 加熱温度が 6 時間以内であれば 200 まで可能 全開時コンダクタンス 呼び径 コンダクタンス 1.5 65L/sec 2.5 203L/sec 4 600L/sec 6 1,450L/sec 8 2,730L/sec 一覧 呼び径 STD MSB 1.5 2.3kg 3.0kg 2.5 6.4kg 7.9kg 4 10.3kg 12.6kg 6 17.8kg 19.8kg 8 28.6kg 30.8kg ポジションインディケータ 定格電圧 (V) 無誘導負荷 (A) 誘導負荷 (A) 抵抗負荷ランプ負荷誘導負荷電動機負荷 常時閉路 常時開路常時閉路 常時開路 常時閉路 常時開路 常時閉路常時開路 AC125 5 1.5 0.7 4 2.5 1.3 AC250 5 1 0.5 4 1.5 0.8 DC8 5 3 4 3 DC14 5 3 4 3 DC30 5 3 4 3 DC125 0.4 0.05 0.4 0.05 DC250 0.2 0.03 0.2 0.03 ( 注 ) リード線色 ( 線長 300mm): 開信号用 / 赤 (COM), 白閉信号用 / 青 (COM), 緑

自動ゲートバルブ STD タイプ 呼び径 型名 品目番号 製品コート 備考 1.5 951-7725 822-1301 31310 φ70icf 付 2.5 951-7735 822-0699 31320 φ114icf 付 4 951-7745 822-0436 31330 φ152icf 付 6 951-7755 822-2802 31340 φ203icf 付 8 951-7765 822-1880 31350 φ253icf 付 10 951-7775 A22-00247 31360 φ305icf 付 12 951-7785 A21-00195 31370 φ356icf 付 MSB タイプ 呼び径 型名 品目番号 製品コート 備考 1.5 951-7728 A22-00245 31312 φ70icf 付 2.5 951-7738 A22-00298 31322 φ114icf 付 4 951-7748 A22-00307 31332 φ152icf 付 6 951-7758 A22-00315 31342 φ203icf 付 8 951-7768 A22-00324 31352 φ253icf 付 10 951-7778 A22-00326 31362 φ305icf 付 12 951-7788 A21-00157 31372 φ356icf 付

寸法一覧 呼び径 寸法 A B C D E K F G H J STD MSB STD MSB L M N 1.5 138 103 105 70 96 108 18 φ70 51.4-51 62 48.5 φ53 2.5 216 159 156 114 144 156 27 φ114 71-64 78 47.5 φ64 4 284 208 180.5 148 182 190 39 φ152 78 70 74 80 46.5 φ74 6 380 278 184 204 240 246 67 φ203 90 84 82 88 41.5 φ90 8 485 358 224.5 254 295 296 83 φ253 100 100 86 92 44.5 φ100 10 601 443 227 316 354 358 113 φ305 116 100 97 102 44 φ110 12 700 518 241 370 407 414 138 φ356 127 110 107 114 40.5 φ137 103 駆動方式 空圧による自動駆動 使用真空領域 STD: 大気圧 ~10-7 Pa 程度 MSB: 大気圧 ~10-8 Pa 程度 リーク量 6.7 10-11 Pa m 3 /sec 以下 1 全開時コンダクタンス下記一覧参照 許容加熱温度 バルブ開時 :150, バルブ閉時 :125 2 許容最大差圧 バルブ静止時 :±1 気圧, バルブ動作時 :±133Pa 寿命 ベローズ :10,000 サイクル, メンテナンスタイム :5,000 サイクルまたは 1 年 動作エア圧範囲 1.5 ~4 :0.3~0.5MPa,6 ~12 :0.4~0.5MPa 電磁弁 種類 4 方口電磁弁 (AC200V 50/60Hz) 接続口 Rc1/4 下記一覧参照 1. ふっ素ゴム O リングのガス透過は仕様外 2. 自動ゲートバルブのアクチュエータ 電磁弁は加熱不可で許容周囲温度は 50 3. MSBタイプのみバルブ開時 加熱温度が 6 時間以内であれば 200 まで可能 全開時コンダクタンス 呼び径 コンダクタンス 1.5 65L/sec 2.5 203L/sec 4 600L/sec 6 1,450L/sec 8 2,730L/sec 10 4,350L/sec 12 6,420L/sec 一覧 呼び径 STD MSB 1.5 2.3kg 3.5kg 2.5 6.9kg 8.4kg 4 10.7kg 13.0kg 6 18.6kg 20.6kg 8 29.6kg 31.8kg 10 50.0kg 54.0kg 12 70.0kg 74.0kg ポジションインディケータ 交流定格 125AC 抵抗負荷 電流 (A) 5 直流定格 8VDC 14VDC 30VDC 115VDC 抵抗負荷抵抗負荷抵抗負荷抵抗負荷 電流 (A) 5 5 5 0.3 ( 注 ) リード線色 ( 線長 300mm): 開信号用 / 赤 (COM), 白閉信号用 / 青 (COM), 緑