RPS/DPS 8000 シリーズ RPS/DPS 8100 シリーズ 高 精 度 シリコン 振 動 式 圧 力 センサ 永 年 に 渡 って Druck は 工 業 航 空 石 油 ガス 及 び 研 究 分 野 における 各 種 アプリケーション 向 けの 高 精 度 圧 力 センサを 開 発 して 来 ました 現 在 Druck は GE の 一 員 であり お 客 様 の 要 求 を 満 足 できる 圧 力 センサを 開 発 し 続 けています RPS/DPS 8000 は TERPS (Trench Etched Resonant Pressure Sensor) 技 術 を 採 用 した 初 代 の 圧 力 セン サであり 金 属 ダイアフラムと 封 入 されたシリコ ーン オイルによって センサ 素 子 が 圧 力 媒 体 か らアイソレートされる 構 造 になっています また RPS/DPS 8100 は 低 レンジ 及 び 大 気 圧 レンジ の 性 能 を 最 大 に 引 き 出 すために センサ 素 子 が 直 に 圧 力 媒 体 を 触 れる 構 造 になっています TERPS の 心 臓 部 は 単 結 晶 シリコンから 成 るダイア フラム 部 振 動 素 子 そして 真 空 層 の 3 層 構 造 か ら 成 り 立 っています これらの 層 は 最 新 の MEMS 技 術 で 作 られ SFB (Silicon Fusion Bonding) 製 法 で 結 合 しています 振 動 素 子 は 真 空 状 態 にあり 圧 力 媒 体 の 密 度 の 変 化 から 完 全 に 影 響 を 受 けない ので 優 れた 安 定 性 を 実 現 できます TERPS は 従 来 のシリコン ピエゾ 抵 抗 式 圧 力 センサ よりおよそ 10 倍 の 精 度 及 び 安 定 性 を 有 するため 高 精 度 且 つ 優 れた 長 期 安 定 性 を 要 する 圧 力 計 測 分 野 に 向 いています 特 長 高 精 度 ±0.01% FS( 非 直 線 性 ヒステリシス 繰 り 返 し 性 温 度 特 性 ) 優 れた 長 期 安 定 性 ±0.01% FS/Year 圧 力 レンジ 200kPa(abs) to 7MPa(abs) 及 び 大 気 圧 広 温 度 範 囲 40 to +85 TTL 周 波 数 及 びダイオード 電 圧 アナログ 出 力 又 は RS-232, RS-485 ディジタル 出 力 各 種 圧 力 継 手 電 気 接 続 コネクタ GE Imagination at work
RPS/DPS 8000/8100 製 品 仕 様 基 本 性 能 圧 力 レンジ RPS/DPS 8000 (media isolated) 3.5~200 kpa(abs) 3.5~700 kpa(abs) 3.5 kpa(abs) ~ 1.4 MPa(abs) 3.5 kpa(abs) ~ 2 MPa(abs) 3.5 kpa(abs) ~ 3.5 MPa(abs) 3.5 kpa(abs) ~ 7 MPa(abs) RPS/DPS 8100 (exposed silicon) 3.5~200 kpa(abs) 3.5~350 kpa(abs) 大 気 圧 レンジ 750~1150 hpa(abs) 保 証 耐 圧 力 センサの 特 性 に 影 響 を 与 えない 許 容 過 大 圧 力 フルスケール x1.5 最 大 耐 圧 力 フルスケール x2 破 壊 圧 力 圧 力 レンジ 700kPa(abs):7MPa 圧 力 レンジ>700kPa(abs) : 20MPa 電 源 電 圧 と 出 力 電 気 仕 様 オプ ション 番 号 電 源 電 圧 (V) 出 力 消 費 電 流 *** (ma) 0 6~28 周 波 数 ^&ダイ 3.5 オード^^( 低 消 費 電 力 )* 1 6~28 周 波 数 ^&ダイ 10 オード^^( 低 ノイズ)** A 11~28 RS-485 定 常 16.5 最 大 32 B 11~28 RS-232 定 常 16.5 最 大 32 * 低 消 費 電 力 ではジッターが 120nS 以 下 ** 低 ノイズではジッターが 75ns 以 下 *** 最 小 電 源 電 圧 で 25 にて ^ 圧 力 信 号 : 矩 形 波 25kHz 4~10kHz/span ^^ 温 度 信 号 :ダイオード 順 方 向 電 圧 0.5 to 0.7V @ 25-2mV/ 応 答 特 性 ステップ 応 答 (10%から 90%FS までの 到 達 時 間 ) 周 波 数 &ダイオード 出 力 :25ms 以 下 RS232/485 出 力 :300ms 以 下 電 源 投 入 応 答 周 波 数 &ダイオード 出 力 : 電 源 投 入 から 出 力 精 度 が 保 証 値 以 下 になるまでの 時 間 = 500ms 以 内 RS232/485: 電 源 投 入 から 安 定 した 読 み 値 が 得 ら れるまでの 時 間 = 20s 以 内 電 気 的 保 護 電 源 ラインと 信 号 ラインの 短 絡 は 本 製 品 の 破 壊 に 至 りません 精 度 ( 非 直 線 性 +ヒステリシス+ 繰 り 返 し 性 + 温 度 影 響 ) 標 準 :±0.02%FS 精 度 向 上 :±0.01%FS 周 波 数 &ダイオード 出 力 の 場 合 製 品 に 添 付 されて いる 多 項 式 を 利 用 することによって 上 記 の 精 度 が 得 られます 補 償 温 度 範 囲 標 準 温 度 仕 様 : -10 ~ +50 広 範 囲 温 度 仕 様 : -40 ~ +85 温 度 特 性 全 温 度 域 による 出 力 誤 差 は 精 度 仕 様 に 含 まれて います 長 期 安 定 性 標 準 :±0.02%FS/ 年 精 度 向 上 :±0.01%FS/ 年 注 意 : 特 に 規 定 がなければ 上 記 の 仕 様 は 周 囲 温 度 が 25±5 に て 満 たされます 保 存 温 度 範 囲 補 償 温 度 範 囲 内 使 用 温 度 範 囲 補 償 温 度 範 囲 内 適 合 する 媒 体 RPS/DPS 8000 : SUS316L と Hastelloy C276 に 適 合 する 媒 体 RPS/DPS 8100 : Si, SiO 2, RTV 接 着 剤, SUS316L に 適 合 するドライ ガス IP 等 級 電 気 接 続 コネクタを 参 照
耐 振 動 RTCA/DO-160E に 準 拠 した 振 動 試 験 Curve W, Sine sweep 5Hz ~ 2kHz, level to 20g n を 印 加 したときの 出 力 特 性 の 変 動 が 0.02kPa/g n 以 下 耐 衝 撃 RTCA/DO-160E に 準 拠 した 衝 撃 試 験 20g n, 11ms terminal saw-tooth に 合 格 耐 湿 度 MIL-STD-810D Method 507.2 Procedure III (Aggravated humidity environment, 65, 95%RH) に 合 格 圧 力 継 手 G1/4 Female G1/4 Male Flat G1/4 Male 60 internal cone G1/8 Male 60 internal cone NPT1/4 Female NPT1/4 Male NPT1/8 Male M20x1.5 M14x1.5 60 internal cone M12x1 internal cone 7/16-20 UNJF Male 74 external cone G1/2 Male G1/4 quick connect NPT1/2 Male G1/4 Male Flat Long 7/16-20 UNF Female Depth Cone (G1/4 Female) 7/16-20 UNF Male Short Flat 注 意 :センサを 設 置 する 場 合 適 切 なシールを 施 さなければなりま せん シール 方 法 が 適 切 でなけば センサの 性 能 や 精 度 に 影 響 を 及 ぼします 例 えば G1/4Male コネクタの 場 合 ボンデッド シールを 使 用 して 先 端 でシールしなければいけません 電 気 接 続 コード コネクタ 種 類 使 用 温 度 範 囲 IP 等 級 0 コネクタなし -40 ~ +85-1 ポリウレタン ケーブル -40 ~ +80 65 2 レイケム ケーブル -40 ~ +85 65 3* ポリウレタン 水 深 用 ケーブル 0 ~ +30 68 4* Hytrel 水 深 用 ケーブル 0 ~ +30 68 6 MIL-C-26482-40 ~ +85 - C 1/2NPT コンジット -40 ~ +80 67 G M12x1 5pin -40 ~ +85 - H PTFE ケーブル( 橙 ) -40 ~ +85 54 *RPS/DPS 8100 の 場 合 この 電 気 接 続 オプションが 選 択 できます が センサ 素 子 が 圧 力 媒 体 を 直 に 触 れるため センサ 本 体 が 水 深 用 に 使 用 できないので 注 意 して 下 さい 電 気 接 続 詳 細 コネク タ 種 類 バ ラ 線 ケ ブ ル レ イ ケ ム コ ド 出 力 信 号 タイプ 周 波 数 & ダイオード ディジタル RS485 0 赤 電 源 + 電 源 + 電 源 + 黄 周 波 数 RS485 B Rx 緑 温 度 + RS485 A Tx 青 電 源 - 電 源 - 電 源 - 橙 EEPROM NC NC 黒 温 度 - NC NC 1, 3, 4, c, ディジタル RS232 赤 電 源 + 電 源 + 電 源 + 黄 周 波 数 RS485 B Rx 青 温 度 + RS485 A Tx 白 電 源 - 電 源 - 電 源 - 橙 EEPROM NC NC 黒 温 度 - NC NC 網 NC NC NC 2 赤 電 源 + 電 源 + 電 源 + 白 周 波 数 RS485 B Rx 緑 温 度 + RS485 A Tx 青 電 源 - 電 源 - 電 源 - 黒 EEPROM NC NC 網 NC NC NC MIL-C 6 A 電 源 + 電 源 + 電 源 + B 周 波 数 RS485 B Rx C 温 度 + RS485 A Tx D 電 源 - 電 源 - 電 源 - E EEPROM NC NC F 温 度 - NC NC M12 G 1 電 源 + 電 源 + 電 源 + 2 周 波 数 RS485 B Rx 3 電 源 - 電 源 - 電 源 - 4 温 度 + RS485 A Tx 5 EEPROM NC NC PTFE H 赤 電 源 + 電 源 + 電 源 + 黄 周 波 数 RS485 B Rx 緑 温 度 + RS485 A Tx 青 電 源 - 電 源 - 電 源 - 黒 EEPROM NC NC 白 温 度 - NC NC 網 NC NC NC
認 証 規 格 CE マーキング RoHS 対 応 EMC 規 格 BS EN 61000-6-1 : 2007 イミュニティ- 軽 工 業 BS EN 61000-6-2 : 2005 イミュニティ- 重 工 業 BS EN 61000-6-3 : 2007 エミッション- 軽 工 業 BS EN 61000-6-4 : 2007 エミッション- 重 工 業 BS EN 61326-1 : 2006 計 測 用 電 子 機 器 BS EN 61326-2-3 : 2006 圧 力 計 測 機 器
構 造 図 面 備 考 1. 上 記 の 寸 法 は 参 考 値 であり 予 告 なし 変 更 される 場 合 があります 2. 寸 法 単 位 mm 3. その 他 の 圧 力 継 手 及 び 電 気 接 続 コネクタに 関 して 当 社 に 問 い 合 わせて 下 さい 4. Low Pressure : P 700kPa 5. Medium Pressure : 700kPa < P 7MPa
注 文 情 報 (1) 型 式 を 選 択 Main Product Variant R RPS Frequency & Diode Output (Note 1) E DPS Digital Output (Note 1) Product Series 8 RPS/DPS 8000 series Diameter and Material 0 25mm Stainless Steel Oil Isolated 1 25mm Stainless Steel Silicon Exposed Electrical Connector 0 No Electrical Connector 1 Polyurethane Cable 2 Raychem Cable 3 Polyurethane Cable (Depth) 4 Hytrel Cable (Depth) 6 MIL-C-26482 (6-pin Shell Size 10)(Mating connector not supplied) C 1/2 NPT Conduit (Polyurethane Cable) G H M12x1, 5-pin male (Mating connector not supplied) Orange PTFE Cable Output Option 0 Frequency & Diode (Low Power <3.5mA) 1 Frequency & Diode (Low Jitter approx. 75ns) A B RS485 RS232 Compensated Temperature Range TA -10 to +50 C TB -40 to +85 C (Note 2) Accuracy A1 Standard 0.02% A2 Improved 0.01% Calibration CC Full Thermal Calibration Hazardous Area Approval H0 None Pressure Connector PA G1/4 Female PB G1/4 Male Flat PC G1/4 Male 60 Internal Cone PD G1/8 Male 60 Internal Cone PE 1/4 NPT Female PF 1/4 NPT Male PG 1/8 NPT Male PH M20 x 1.5 PJ M14 x 1.5 60 Internal Cone PK M12 x 1 Internal Cone PL 7/16-20 UNJF Male 74 external cone PN G1/2 Male PQ G1/4 Quick Connect PR 1/2 NPT Male via adaptor PT G1/4 Male Flat Long PV 7/16-20 UNF Female PW Depth Cone (G1/4 Female) PX 7/16-20 UNF Male Flat E 8 0 4 1 - TA - A2 - CC - H0 - PA Typical Model Number Note 1 : RPS タイプの 場 合 出 力 オプションは 0 又 は 1 に DPS タイプの 場 合 出 力 オプションは A 又 は B に 指 定 する 必 要 があります Note 2 : 圧 力 レンジ 200 と 700kPa の RPS/DPS 8000 の 場 合 この 温 度 範 囲 は 指 定 できません (2) 圧 力 レンジと 単 位 を 指 定 例 :3.5kPa(abs) ~ 2MPa(abs), 0.5psi(abs) ~100psi(abs) 指 定 可 能 な 圧 力 単 位 :bar, mbar, psi, Pa, hpa, kpa, MPa, mmh2o, cmh2o, inh2o, fth2o, mmhg, inhg, kgf/cm 2, atm, Torr (3) ケーブル 長 を 指 定 例 :10m
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