ロボット0611.indd

INDEX

3 RO-UW3 RC-420 2 RC-234

4 5

7 COVER CLOSE COVER LOCK PLACEMENT UNLOAD LOAD EMO EMO 6

RZ MTBF MTBF = 8 9

J.PAT. No.2739413 RR717L1521-3A6 RR716L1523-3A6 RR713L1522-3A3 RR713L1521-3A3 L1522-3A3 RR716L1523-3A6 RR717L1521-3A6 R 1 R622 R733 R716 300 330 300 300mm 200g R mm 0.1 0.03 Z mm 0.02 0.05 2 R sec sec 1.6 sec R 1.2 1.3 1.2 2.0 2.5 1.5 kg 45 40 41 RR717L1521-3A6 RR716L1523-3A6 10 11

RR700L1521-204 RR700L0911-204 RR700L1522-3A3 J.PAT. No.2739413 RR701L1211-204 RR701L0951-204 RR701L0911-204 12 RR700L0911-021 L0911-204 L1211-021 L1211-204 L1211-303 L1521-021 L1521-204 L1521-303 L1522-204 L1522-303 R 1 R408 R462 R532 R590 R528 330 3 3 3 20 200 20 200 300 20 200 300 200 300 100 300mm 200g R mm 0.008 0.05 0.02 0.012 Z mm R 2 R sec sec 0.7 1.3 0.8 1.5 1.0 1.8 1.5 1.8 sec kg 0.6 17 2.0 24 0.6 19 2.0 26 3.0 27 0.6 22 2.0 29 3.0 30 2.0 29 3.0 30 RR701L0911-021 L0911-204 L1211-021 L1211-204 L1211-303 L1521-204 L1521-303 R 1 R373 R427 R512 R582 330 3 3 20 200 20 200 300 200 300 100 300mm 200g R mm 0.008 0.05 0.02 0.012 Z mm R sec sec 0.7 1.3 0.8 1.5 1.0 1.8 R 2 sec kg 0.6 19 2.0 26 0.6 23 2.0 30 3.0 34 2.0 36 3.0 40 13

R R Z R LONG ARM 1065 515 0.022 0.0012 2.0sec/550mm 2.4sec/180 SHORT ARM 870 70 420 0.018 0.0012 0.01 1.6sec/450mm 2.0sec/180 1.0sec/20mm 14 15

RR352L200-122 RR452L200-112 16 RR352L150-112 L150-122 L200-112 L200-122 L250-122 S250-112 3 R R Z R kg mm mmsecsec sec 1 R568 R518 R650 R600 R700 R750 2 50 330 300mm 10-6 200g 0.2 0.1 0.2 0.1 0.008 34 34 20 4 RR452L150-112 L150-122 L200-112 L200-122 S250-112 S250-251 3 R R Z R kg mm mmsecsec sec 1 R568 R518 R650 R600 R750 330 10 20 50 300mm 200g 2 10-6 0.1 0.008 0.1 34 34 34 30 4 17

19 mm sec RA210-C12 300mm Si 0.2 0.1 4.5 15 kg R 2 RA210-C12 18 mm sec RA310-C12 RA310-512 RA310-812 300mm Si 300,200mm Si 125,150,200mm Si 0.2 0.1 5 3mm 14 11 kg R RA310-C12

21 FORS-300 sec RV201-F05 SEMI FOUP 15 sec 10 65 kg R R 20 mm sec RA401-512 125,150, 200mm Si 0.1 0.03 11 15 kg R RA401-512 RA401-512

23 RE120-002 RE120-002 125200mm 0.02 mm mm 2 7 sec kg 1 RE120-002 22 RE119-121 RE119-121 125200mm 0.01 mm mm 6 6 sec kg 1 RE119-121

25 24

WAFER SORTER POWER PRESENCE PLACEMENT LOAD MANUAL MODE UNLOAD ERROR CLAMP/UNCLAMP DOCK/UNDOCK COVER LOCK COVER CLOSE PLACEMENT LOAD UNLOAD AUTO MANUAL PRESENCE PLACEMENT PRESENCE LOAD CLAMP/UNCLAMP PLACEMENT UNLOAD ERROR DOCK/UNDOCK AUTO PRESENCE MANUAL PLACEMENT PRESENCE PLACEMENT LOAD UNLOAD ERROR CLAMP/UNCLAMP DOCK/UNDOCK LOAD UNLOAD OPERATOR ACCESS PUSH STOP Mainte. RUN WAFER SORTER MAINTENANCE DC24V 232C IN AIR 232C OUT EMO EMO PORT 1 PORT 2 PORT 1 PORT 2 26 27

28 29

RE201-181 mm 200mm SMIF-Pod 0.01 mm sec 1 kg 7.5 18 30 31

液晶ガラス基板搬送機 カセットステーション 1100 1250 クラス RRG-80 外形寸法 1100 1250 搭載ロボット 3465 φ18 00 EMERGENCY OFF MODE SWITCH AUTO TEACHING EQ-20 EQ-20 EQ-20 EQ-20 1200 1360 1360 1360 1200 6480 EMERGENCY OFF EMERGENCY OFF 特 長 第五世代大型基板に対応したローダ アンローダ装置です 1. ロボット RR420 を搭載し 小さな旋回半径でロングリーチを実現しました 2. 高剛性 CFRP エンドエフェクタに カセットとの干渉を避けて基板のたわみを抑える特殊形状 特許出願中 を採用し FLOOR TO TOP 2200 RR420 PASS LINE 1100 RRG-80 FLOOR TO SIGNAL TOWER 2500 3465 6480 t0.5 基板の搬送にも対応可能です また 基板ずれを検知するためのセンサも装備しています 3. 精密ラック ピニオン方式の走行軸の採用により 10m 以上の高速長距離搬送が可能です 4. 各ステージ毎に分割可能な構造とし AGV MGV へ対応 RGV やストッカへの対応も容易です EMERGENCY OFF EMERGENCY OFF 5. カセット位置決め機構に カセット底面からの発塵を抑えるため フローティング機構を採用しました 6. アルミプロファイルを多用することにより FFU イオナイザなど豊富なオプションに容易に対応でき 狭い場所への設置や 設置後の分解 再組立が可能な構造です 7. 装置の側面もしくは内側からの保守を可能にし AGV の移動範囲や ストッカ内からの保守作業の必要をなくし 保守作業 5120 での安全性が向上しました 1100X1250mm より小さい基板に対しては RRG-10 70 にて対応します 詳しくはもよりの FA センターまでお問合せください 550 X 650mm 680X 880mm 730X 920mm 等 EMERGENCY OFF EMERGENCY OFF 改良型エフェクタでt0.5mmガラス基板搬送を実現 GLASS 1100 3760 5.9 PICK UP 30 9.23 233 ガラスたわみ 18.59 Glass Pitch 36 660 ガラス支持点 608 液晶ガラス基板搬送機 GLASS 1250 233 ガラス支持点 472 特殊形状によってたわみが軽減され 搬送が可能となりました 32 33

c 303FN-3720 z 303FN-1196 313FN-4640 x 303FN-1677 v 3A-FN21054 2 3 4 5 6 7 8 9 303FN-1196 A 195 175 195 206 175 175 B 1.7 1.7 3.0 3.0 2.1 3.0 206 221 230 1.7 3.0 1.7 303FN-1196-1 z 313FN-4640 C 1.6 1.6 2.9 2.9 2.0 2.9 A 221 195 B 2.1 2.1 C 2.0 2.0 1.6 2.9 1.6 303FN-1196 FN- - x 303FN-1677 A 195 195 195 221 165 175 B 3.0 2.1 1.7 1.7 1.7 1.7 175 2.1 230 2.1 3A-FN21054-1 C 2.9 2.0 1.6 1.6 1.6 1.6 2.0 2.0 c v 303FN-3720 3A-FN21054 A 158 188 228 B 111 141 181 A 315 275 290 B 245 205 220 RA401-512 RA401-312 -FN - 34 35

RORZE ROBOTECH INC. RORZE SYSTEMS CORPORATION RORZE TECHNOLOGY CONSULTANTS (SIP) CO.,LTD. RORZE TECHNOLOGY, INC. RORZE AUTOMATION, INC. RORZE TECHNOLOGY SINGAPORE PTE. LTD. RORZE TECHNOLOGY, INC. 1F., No.12, Industry East Road.,, Science-based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan, R.O.C. Telephone +886-3-5776482 Facsimile +886-3-5776461 RORZE AUTOMATION, INC. 1625 McCandless Drive, Milpitas, CA 95035, U.S.A. Telephone +1-408-935-9100 Facsimile +1-408-935-9101 RORZE SYSTEMS CORPORATION 919 Korim-Dong, Yongin-City, Kyunggi-Do, 449-923, Korea Telephone +82-31-335-9100 Facsimile +82-31-337-1811 RORZE ROBOTECH INC. Nomura-Haiphong Industrial Zone Km13 Road No.5 Anduong District, Haiphong City, Vietnam Telephone +84-31-3743030 Facsimile +84-31-3743044 RORZE TECHNOLOGY SINGAPORE PTE. LTD. 627A, Aljunied Road, #10-11, Biztech Centre Singapore 389842 Telephone +65-68445502 Facsimile +65-68445510 RORZE TECHNOLOGY CONSULTANTS (SIP) CO.,LTD. Room C1711, No.360, Hengtong Road, Shanghai 200070, China SHI 061201