L 型真空ベローズバルブ 従来同様 ボディにSUS304を採用し耐久性 低コスト化を考慮した真空バルブです IVIVは まで 数 らしたなによし 容 ななにな います SS30) の 用によ にれいに対 です によいます IVは 用するによ しました IVは 用するによ なしました 弁 弁 注 空弁

L 型真空ベローズバルブ 従来同様 ボディにSUS304を採用し耐久性 低コスト化を考慮した真空バルブです IVIVは まで 数 らしたなによし 容 ななにな います SS30) の 用によ にれいに対 です によいます IVは 用するによ しました IVは 用するによ なしました 弁 弁 注 空弁の流れは 空 に対しらのな 計 し ます にした場合 する流体 度によ しくするます に 空 れるめします に -15 100は a70) 110-6 210 5 Pa(abs) 0.1Pa(G) SS30 SS316 6063 気 用 ) の 対 いたします 100 の 空状態 ) 圧 で 用 れた場合 のはいたします ) 0. 0.7PaG) 110-10 Pam 3 sec 110-10 Pam 3 sec 16 23 2 3 60 70 6 10 12 15 20 20 30 30 0 5 11 2 2 60 5 125 320 13 16 33 56 136 136 25 13 16 33 56 50 50 112 注 当 は 的な 気圧 気で 用するで 空容 にしの 用はでま し 用する場合 は 用温度にるでるなくい

高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブウェットシステム N16 30 5 3 3 32.5-6 N25 0 60 3 3 0 3 5- N0 55 60 50 50 0.5 5- N50 75 7 70 70 50 10 5- 系バルブ 系 継手 N16 30 3 3 32-6.5 3 11 5.5 Rc 1 N25 0 3 3 0 5-6 5.5 11.5 11.5 52 5 Rc 1 N0 55 50 50 0 5-10.5 5.5 11.5 11.5 52 5 Rc 1 N50 75 70 70 50 5-136 60.5 12 12 6 7 Rc 1 N16 30 3 3 32-6.5 6 11-5.5 Rc 1 N25 0 3 3 0 5-6 7.5 11.5-52 5 Rc 1 N0 55 50 50 0 5-10.5 7.5 11.5-52 5 Rc 1 N50 75 70 70 50 5-136 5.5 12-6 7 Rc 1 N16 30 3 3 32-6.5 6-5.5 Rc 1 N25 0 3 3 0 5-6 7.5-11.5 52 5 Rc 1 N0 55 50 50 0 5-10.5 7.5-11.5 52 5 Rc 1 N50 75 70 70 50 5-136 5.5-12 6 7 Rc 1

N50 75 0 70 70 17 65 0 N63 7 100 211 73 0 N0 11 100 105 105 237 2 0 N100 13 125 130 130 27 101 55 N50 75 70 70 126 71 1.5-77 Rc 1 N63 7 152 1.5 23 - Rc 3 N0 11 167 1.5 23 - Rc 3 N100 13 130 130 222 10 25-117 Rc 3 N50 75 70 70 126 71 1.5 1.5 77 Rc 1 N63 7 160 77 1 12 6 Rc 1 N0 11 176 77 1 12 6 Rc 1 N100 13 130 130 230 1 1.5 1.5 77 Rc 1

高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手ウェットシステム5 L 型真空ベローズホットバルブ IVBH シリーズは ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを内蔵し 弁開 弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できる真空バルブです 本バルブは外部ヒーターだけでなく ベローズの内部から加熱することによりコールドスポットをなくし 生成物付着を極力少なくすることを可能にしました 内部 外部ヒーターは個別のチャンネルを持ち それぞれ Max180 まで任意の温度で加熱することが可能です また オプションとして磁気近接開閉スイッチ サーモスタットなどを準備しております によ のし するです のし のなくな 力 しました ののなくな のでました 100 ) はIS KFIS VFVGIS Fなに対 です 対 ) 気 ) のにのる です の 用 )なに対 いたします 150 10 )で 気 用する場合には の温度 70で 用くい のは 温度に合 たしくい によ 温度はなます しくは 当にくい K 対 用の温度 による 110-6 210 5 Pa(abs) 0.1Pa(G) SS30 SS316 6063 気 用 ) / の 対 いたします 状態に 100 の 空状態 ) 圧 で 用 れた場合 のはいたします ) 0. 0.7PaG) 110-10 Pam 3 sec 110-10 Pam 3 sec 23 0 70 6 12 20 25 30 0 11 3 65 135 320 100 100 100 100 100200 0 106 106 120 172212 0 120 120 250 35300 13 56 70 136 25-21 26 50 112 5 5 5 3 3 真空バルブ 系バルブ 系継手 注 当 は 的な 気圧 気で 用する で 空容 に し の 用はで ま し 用する場合 は 用温度に る で る な く い

N25 0 50 50 167 103 52.5 55 57 Rc 1 N0 55 65 65 13 133 77 6.5 55 Rc 1 N50 75 70 70 203 13 77 66 55 Rc 1 N0 11 21.5 163.5 1 55 10 Rc 3 N100 13 130 130 31 217 117 6 55 123.5 Rc 3 N0 55 65 65 120.5 60.5 52 6.5 55 57 Rc 1 N50 75 70 70 130.5 65.5 52 6.5 55 57 Rc 1 N0 11 1.5 71.5 6 1.5 55 71 Rc 1 N100 13 130 130 15 7 77 7 55 Rc 1

高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブウェットシステム L 型真空ベローズソフト排気バルブ IVB_X,VX シリーズは チャンバー内部で発生するパーティクルの巻き上げを防止します メインバルブとバイパスバルブが一体となっており 大気から真空に排気する場合 若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な圧力変動を抑え メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により圧力コントロールをします バイパスバルブには流量の固定と排気スピードが調整可能なタイプの 2 種類を用意しています このバイパスバルブは 15A サイズを除く IVB IVBL IVBH シリーズ全てに対応可能です の 気 体 な で 気 のです 気 でるVは 気 のにでます はのくい はするによIVの 用に にするです はによ 数 るです は 当にくい までの 系 気弁 用 の系 のは なるです しで PCTF しいた場合 は 110 - Pam 3 sec なます 系バルブ PCTF PCTF 1 12 1 12 1 12 1 12 0.3 0.5 0.3 0.5 0.03 0.2 0.05 0.7 0.03 0.2 0.05 0.7 1.0mm 1.5mm 1.0mm 1.5mm 1.0mm 1.5mm 1.0mm 1.5mm 0. 0.7Pa 系継手 注 流量 は の NFF 弁 し 流量 する で 用 によ は 流量 する場合 ます 当 は 的な 気圧 気で 用する で 空容 に し の 用はで ま し 用する場合 は 用温度に る で る な く い

N25 0 3 3 132.5 7.5 11.5 - Rc 1 52 5 N0 55 50 50 13 7.5 11.5 - Rc 1 52 5 N50 75 70 70 163 5.5 12 - Rc 1 6 7 N25 0 3 3 10 5.5 11.5 11.5 Rc 1 52 5 N0 55 50 50 11.5 5.5 11.5 11.5 Rc 1 52 5 N50 75 70 70 12 60.5 12 12 Rc 1 6 7 PCTF PCTF PCTF PCTF 0.5 - -.5 6-0.5 7.5 6 7 5.5 2.5 101 102 3 5 Rc 1 8

高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブ N63 7 152 1.5 23 - Rc 3 6 N0 11 167 1.5 23 - Rc 3 6 N100 13 130 130 222 10 25 - Rc 3 117 6.5 N63 7 160 77 1 Rc 1 6 7 N0 11 176 77 1 Rc 1 6 7 N100 13 130 130 230 1 1.5 11 Rc 1 77 7 PCTF PCTF PCTF PCTF 100.5-112.5 11.5 - - 121.5 123 - - 112.5 11.5 - - 121.5 123 - - 131.5-131 - 13-3 5 Rc 1 系バルブ 系継手ウェットシステム

N0 55 65 65 13 71 1.5 1.5 Rc 1 77 7 N50 75 70 70 203 76 1.5 1.5 Rc 1 77 7 N0 11 22.5 1.5 23 16.5 Rc 3 6 N100 13 130 130 31 10 25 21 Rc 3 117 6.5 N0 55 65 65 11.5 5.5 11.5 11.5 Rc 1 52 5 N50 75 70 70 10.5 6.5 11.5 11.5 Rc 1 52 5 N0 11 1.5 70.5 12 12 Rc 1 6 N100 13 130 130 15 6 1.5 1.5 Rc 1 77 7-102 10.5 111 5.5 102 10.5 111 10 112.5 112 121.5 - - - 10.5 3 Rc 1 8

高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブ 系 バルブ 系 継手 ウェットシステム8

IVBH 用 PID 制御デジタル温度コントローラー IVBH-C015 は L 型真空ベローズシールホットバルブ用のデジタル温度コントローラーです このデジタル温度コントローラー 1 台で 内部ヒーター 外部ヒーターの 2 チャンネルのヒーターを同時に加熱することが出来ます 温度 : 温 a10 用温度 :K 対 用 :C100V 00 00 C200V 00 00 入力 :C100V200V 用 出力 : 1a 出力 用 ) 示 : ) : に 流 に :0 50 5 5 Rh 示 : 気 による 位 出 8

高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手ウェットシステム8 IVBシリーズ用オプション IVB IVBL IVBH シリーズのエアーシリンダー式バルブ (NC NO DA) は バルブの開閉状態を検知する磁気近接スイッチを取り付けることが出来ます C5 2V C:2V 0.1 0m 0.5V 50 C2V) 1ms 1ms C500V に 100 ) C1500V 1 ) 2ms 2 1.5mm10 55z 2 ) 0 70し な) PVC0.15mm 2 3 2.6mm IP67IC ) IS C020 N ) C:2V C:110V C:5 0m C:5 20m 3V 0 1ms 1ms C500V に 100 ) C1500V 1 ) 2ms 2 1.5mm10 55z 2 ) 0 70し な) PVC0.2mm 2 2 2.6mm IP67IC ) IS C020 N ) 注 ) 誘導負荷 ( リレー等 ) を使用する場合は 必ず負荷に保護回路 (SK-100) を付けてください 真空バルブ 系バルブ 系継手

NW フランジボールバルブホットボールバルブ コンパクトさと シンプルな構造を併せ持ち かつ配管作業が容易なバルブです ボディ内でステムを軸として ボールが 90 度回転します 開または閉状態でのオン オフ動作で使用するバルブです によ 流量 なで流すでます です のでます なの 用 します -10 200 10 170 200います はにくい 110-6 Pa(abs) 610 5 Pa(abs) 0.5Pa(G) SCS13 SS30 SS30 PTF PTF 0.3 0.6Pa(G) ハイパータイト PTFE Rは株式会社キッツの登録商標です 1.5 0 5 注 当 は 的な 気圧 気で 用する で 空容 に し の 用はで ま し 用する場合 は 用温度に る で る な し く い は に する ますので 的に し め い い められる用 空 空 められる用 には し いま です 数 の で しますので は め します 8

高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブウェットシステム85 N25 6 161 37-0 3 73-160 - N0 11 163-55 6-230 - N50 121 17 5-75 56.5 107.5-230 - 系バルブ 系継手 N25 6 272 37 165 0 3 73 Rc 1 173 50 N0 11 35 217 55 6 Rc 1 213.5 5 N50 121 35 5 22 75 56.5 107.5 Rc 1 213.5 5

真空バタフライバルブ IVWF シリーズは 半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持った遮断弁です 構造は フラッパ式の弁体が 90 度回転することにより流路を遮断するバタフライバルブです なによ 量 たし 容 です のによのでます は 度 によ 流量 し によの 度ででます のは のによ 度ので 差 によるでます 33 51.3 7 100 110-6 Pa(abs) 210 5 Pa(abs) 0.1Pa(G) 0.101 Pa ( 圧 ) -15 100 110-10 Pam 3 sec 110-10 Pam 3 sec 気状態で 10 IS KF IS VFVG に対 0. 0.7Pa(G) 式 -20 60 注 当 は 的な 気圧 気で 用する で 空容 に し の 用はで ま し 用する場合 は 用温度に る で る な く い 気 用 で 用の場合 当に く い 8

高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブウェットシステム8 25 0 12 5 55 33-5 20-10 50 120 15 5 75 51.3-5 20-10 0 160 225 0 11 7 0 76 20 55 10 100 15 250 0 13 100 102 75 20 55 10 系バルブ 系継手 25 0 130 5 33 70 35 20-10 10 50 120 160 5 51.3 100 53 20-10 10 0 160 225 0 7 135 0 20 55 10 12 100 15 250 0 100 160 102 20 55 10 12

25 0 162.5 60.5 6 33 55 5 20 - Rc 1 50 120 12.5 60.5 6 51.3 75 5 20 - Rc 1 0 160 253 77.5 103 7 11 76 20 0 Rc 1 100 15 27 77.5 103 100 13 75 20 102 Rc 1 25 0 162.5 60.5 6 33 70 20 35 Rc 1 10 50 120 12.5 60.5 6 51.3 100 20 53 Rc 1 10 0 160 253 77.5 103 7 135 20 0 Rc 1 12 100 15 27 77.5 103 100 160 20 102 Rc 1 12 88

高純度ガス系バルブ高純度ガス系継手真空バルブウェットシステム8 25 0 110 55 13 12 33 55 5 20-50 120 16 55 13 12 51.3 75 5 20-0 160 205 60 13 12 7 11 76 20 0 100 15 22 60 13 12 100 13 75 20 102 系バルブ 系継手 25 0 13 55 13 12 33 70 20 35 10 50 120 16 55 13 12 51.3 100 20 53 10 0 160 205 60 13 12 7 135 20 0 12 100 15 22 60 13 12 100 160 20 102 12

高純度ガス系バルブウェットシステム 角型真空ゲートバルブ UXG,LG シリーズは 半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです ボディはアルミニウム製で 複動式エアーアクチュエーターにより作動します ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる加熱だけでなく 可動部である弁体内部にもヒーターを持ち 外部と内部の両方から加熱することにより 高い均熱性能を特長としたバルブです ボディと弁体は Max180 まで任意の温度に設定する事が可能です 温 するでるため の 積 のらし にするでます 弁体 はで の温度 にでます するに しにくいいます 用 るなのの場合 ます 流体温度 流体 のによ の し KR 1Chemraz 2 用 します 12(300mm ) 110-6 Pa 0.101 Pa(abs) 0.101 Pa( 圧 ) 0.02 Pa(G) 1.3 KPa 110 Pam 3 sec ( 温 30) 110-5 Pam 3 sec (30) 容 量 :110-10 Pam 3 sec 0.5 0.7 Pa(G) 0. 2sec) 1.5 2sec) 10 160の場合 ) 温度に1.5hr で 温度に 210) 60) C500Vに10 100 た0.1mの 数 0.3 社内試験による参考値 N₂ ガス供給量 :1cf/min サンプリング量:0.2cf/min バルブ開閉スピード:6 秒 / サイクル ( 開 閉 開 ) 高純度ガス系継手真空バルブ 系バルブ 系 1 2 KR は upont Performance lastomers の 標です Chemraz は Greene Teed の 標です 継手 注 当 は 的な 気圧 気で 用する で 空容 に し の 用はで ま し 用する場合 は 用温度に る で る な く い